JPS60238736A - 回転ミラ−の面倒れ角測定装置 - Google Patents
回転ミラ−の面倒れ角測定装置Info
- Publication number
- JPS60238736A JPS60238736A JP9470584A JP9470584A JPS60238736A JP S60238736 A JPS60238736 A JP S60238736A JP 9470584 A JP9470584 A JP 9470584A JP 9470584 A JP9470584 A JP 9470584A JP S60238736 A JPS60238736 A JP S60238736A
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- Japan
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- rotating mirror
- light
- mirror
- tilt angle
- photodetector
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明はレーザプリンタ等の光走査に用いられる回転ミ
ラーの面倒れ角を測定するための測定装置に関するもの
である。
ラーの面倒れ角を測定するための測定装置に関するもの
である。
技術の背景
従来よシレーザプリンタ等の光走査には回転ミラーが用
いられている。この回転ミラーにおいて、面の倒れは走
査光ビームの位置ずれを生じ、レーザプリンタでは印字
品質の低下の原因となる。このためミラー面の傾含の精
度は±５” （２５Ｘ １０−’ｒａｄ ）以内の高精
度にする必要がある。このため製造された回転ミラーが
この精度内に入っていることを確認するための高精度の
面倒れ角測定装置が必要である。
いられている。この回転ミラーにおいて、面の倒れは走
査光ビームの位置ずれを生じ、レーザプリンタでは印字
品質の低下の原因となる。このためミラー面の傾含の精
度は±５” （２５Ｘ １０−’ｒａｄ ）以内の高精
度にする必要がある。このため製造された回転ミラーが
この精度内に入っていることを確認するための高精度の
面倒れ角測定装置が必要である。
従来技術と問題点
従来の回転きラーの倒れ角測定には、オートコリメータ
とスト四ボを用いて傾れ角を目視によシ測定するか％ま
た回転ミラーによシ走査された光ビームの位置をナイフ
ェツジ法によ）検出する方式も用いられていた。ところ
が前者は倒れ角を自動的に検出することができないとい
う欠点があシ、後者は光量の変動とか、反射率の差等に
よって測定誤差が生じ精度が十分でないという欠点があ
った。
とスト四ボを用いて傾れ角を目視によシ測定するか％ま
た回転ミラーによシ走査された光ビームの位置をナイフ
ェツジ法によ）検出する方式も用いられていた。ところ
が前者は倒れ角を自動的に検出することができないとい
う欠点があシ、後者は光量の変動とか、反射率の差等に
よって測定誤差が生じ精度が十分でないという欠点があ
った。
発明の目的
本発明は上記従来の欠点に鑑み、ミラー面の面倒れ角を
自動的且つ高精度に測定できる回転ミラーの面倒れ角測
定装置を提供することを目的とするものである。
自動的且つ高精度に測定できる回転ミラーの面倒れ角測
定装置を提供することを目的とするものである。
発明の構成
そしてこの目的は本発明によれば、レーザ光ビームを回
転ミラーに入射するための光学系と、回転ミラーからの
反射光ビームを再度回転ミラーに反射させる九めの平面
鏡と、回転ミラーからの反射光を分割するためのビーム
スプリッタと、該ビームスグリツタによシ分割された光
をそれぞれ検知し、且つ互いに直交して配置された２つ
の光検知器系とを具備して構成されたことを特徴とする
回転ミラーの面倒れ角測定装置を提供することによりて
達成される。
転ミラーに入射するための光学系と、回転ミラーからの
反射光ビームを再度回転ミラーに反射させる九めの平面
鏡と、回転ミラーからの反射光を分割するためのビーム
スプリッタと、該ビームスグリツタによシ分割された光
をそれぞれ検知し、且つ互いに直交して配置された２つ
の光検知器系とを具備して構成されたことを特徴とする
回転ミラーの面倒れ角測定装置を提供することによりて
達成される。
発明の実施例
以下、本発明実施例を図面によって詳述する。
第１図は本発明による回転ミラーの面倒れ角測定装置を
説明するための図である。同図において、１はレーザ光
源、２及び３はビームスプリッタ、４は被測定回転ミラ
ー、５〜９は平面鏡、１０及び１１は光検知器系、１２
は表面反射三角プリズム、１３．１３’杜集光レンズ、
１４．１４’は光検知器をそれぞれ示す。
説明するための図である。同図において、１はレーザ光
源、２及び３はビームスプリッタ、４は被測定回転ミラ
ー、５〜９は平面鏡、１０及び１１は光検知器系、１２
は表面反射三角プリズム、１３．１３’杜集光レンズ、
１４．１４’は光検知器をそれぞれ示す。
本実施例は第１図に示す如く、被測定回転ミツ−４の鏡
面にレーザ光を投射する光源１と、該光源と回転ミラー
間に設けられたビームスグリツタ２と、回転ミ２−から
の反射光を貴び回転ミ２−に反射する複数個の平面鏡５
〜９（＃平面鏡は１個でも良い。複数個とすれば反射角
の異なる場所での面倒れ角が測定できる。）と、前記ビ
ームスプリッタ２からの反射光を２方向に分けるビーム
スプリッタ３と、核ビームスプリッタ３によシ２方向に
分けられた光をそれぞれ検出する光検知器系１０及び１
１とを具備して構成され、光検知器系１０及び１１唸そ
れぞれ表面反射三角プリズム１２と集光レンズ１３．１
３’と光検知器１４．１４’とからなシ、一方の光検知
器１０はその光軸が回転ミラー４０回転軸１５と平行に
なるように配置され、他方の光検知器系１１はその光軸
塀回転ミラー４０回転軸１５と直交するように配置され
１いる。なお本実施例に娘図示しない面倒れ角測淀用及
びタイミング測定用の電気系が設けられてＶる。
面にレーザ光を投射する光源１と、該光源と回転ミラー
間に設けられたビームスグリツタ２と、回転ミ２−から
の反射光を貴び回転ミ２−に反射する複数個の平面鏡５
〜９（＃平面鏡は１個でも良い。複数個とすれば反射角
の異なる場所での面倒れ角が測定できる。）と、前記ビ
ームスプリッタ２からの反射光を２方向に分けるビーム
スプリッタ３と、核ビームスプリッタ３によシ２方向に
分けられた光をそれぞれ検出する光検知器系１０及び１
１とを具備して構成され、光検知器系１０及び１１唸そ
れぞれ表面反射三角プリズム１２と集光レンズ１３．１
３’と光検知器１４．１４’とからなシ、一方の光検知
器１０はその光軸が回転ミラー４０回転軸１５と平行に
なるように配置され、他方の光検知器系１１はその光軸
塀回転ミラー４０回転軸１５と直交するように配置され
１いる。なお本実施例に娘図示しない面倒れ角測淀用及
びタイミング測定用の電気系が設けられてＶる。
このように構成された本実施例は、光検知器刃１１によ
シ回転ミラー４の面倒れ角の測定タイミングが検知され
、その時点での面倒れ角（回転嘲１５に対する）が光検
知器系１０によって測定切れる。
シ回転ミラー４の面倒れ角の測定タイミングが検知され
、その時点での面倒れ角（回転嘲１５に対する）が光検
知器系１０によって測定切れる。
即ち、光検知器系１０による回転ミラーの面９ｈｚ ４
ｈ ａ１１φ針 面一？−１ｆｒｒ入光ビームの変位を
９６反射三角プリズム１２で検出される。もし面倒れ角
が零ならば光ビーム社三角プリズム１２の中央に入射し
、光検知器１４．１４’には同等の光が入射する。また
面倒れがおるときは光ビーム社三角プリズム１２の中央
よシずれて入射し、光検知器１４．１４’の出力に差を
生ずる。この出力差は面倒れ角に比例する。
ｈ ａ１１φ針 面一？−１ｆｒｒ入光ビームの変位を
９６反射三角プリズム１２で検出される。もし面倒れ角
が零ならば光ビーム社三角プリズム１２の中央に入射し
、光検知器１４．１４’には同等の光が入射する。また
面倒れがおるときは光ビーム社三角プリズム１２の中央
よシずれて入射し、光検知器１４．１４’の出力に差を
生ずる。この出力差は面倒れ角に比例する。
いま光源１から回転ミー）−４までの距離をＬｌ。
回転ミラー４から平面鏡５〜９までの距離をＬｇ。
回転ミラー４から光検知器系１０までの距離を・ Ｌ３
とすれば回転ミラーの面倒れ角Δθと光検知器□ 系１
０の前面での光ビーム移動距離ｄとの関係はｄ＝４ （
Ｌ２ ＋Ｉ、ｌ ）八〇 となる。ここで係数が４となるのは光ビームが回転ミ２
−に２度入射する丸めである。
とすれば回転ミラーの面倒れ角Δθと光検知器□ 系１
０の前面での光ビーム移動距離ｄとの関係はｄ＝４ （
Ｌ２ ＋Ｉ、ｌ ）八〇 となる。ここで係数が４となるのは光ビームが回転ミ２
−に２度入射する丸めである。
１ 光検知器系１１による面倒れ角測定タイミングの測
定は、ビームスグリツタ３で反射された光を表面反射三
角プリズム１２で２方向に分割し、そり の光を光検知
器１４．１４！で受け、その光量が等１ １−／Ｓ−奔
に真を馴９タイｉングとするのである８第２図は光源一
回転ミラー間の距離Ｌ１と光量変化率との関係、第３図
は回転ミラー一平面鏡間の距離Ｌ２と光量変化、率との
関係をそれぞれ計算によ請求めた結果を示した図であシ
、この結果から光ビームの変位をよシ感度良く検知する
ためにはＬｌ ＊ ｌ ！を小さくする程有効であるこ
とがわかる。また第４図は光ビーム径と角度変位検知感
度及び測定範囲を示した図でアシ、図よシ光ビーム径の
大きさに最適値があることがわかる。また第５図は光ビ
ームの変位と光検知器の出力差を示した図であシ、光ビ
ームの変位がある範囲内では光検知器の出力差は光ビー
ムの変位に比例することがわかる。
定は、ビームスグリツタ３で反射された光を表面反射三
角プリズム１２で２方向に分割し、そり の光を光検知
器１４．１４！で受け、その光量が等１ １−／Ｓ−奔
に真を馴９タイｉングとするのである８第２図は光源一
回転ミラー間の距離Ｌ１と光量変化率との関係、第３図
は回転ミラー一平面鏡間の距離Ｌ２と光量変化、率との
関係をそれぞれ計算によ請求めた結果を示した図であシ
、この結果から光ビームの変位をよシ感度良く検知する
ためにはＬｌ ＊ ｌ ！を小さくする程有効であるこ
とがわかる。また第４図は光ビーム径と角度変位検知感
度及び測定範囲を示した図でアシ、図よシ光ビーム径の
大きさに最適値があることがわかる。また第５図は光ビ
ームの変位と光検知器の出力差を示した図であシ、光ビ
ームの変位がある範囲内では光検知器の出力差は光ビー
ムの変位に比例することがわかる。
発明の効果
以上、詳細に説明したように本発明の回転ミラーの面倒
れ角測定装置は回転ミラーで反射したレーザ光ビームを
再度回転ミラーに入射させることによシ、回転ミラーの
倒れ角の影響を拡大し、さらに光検知器側では表面反射
三角プリズムによシ光ビームの位置を正確に検知するこ
とが可能となル、回転ミラーの面倒れ角を自動的且つ高
精度に測定可能とした効果大なるものである。
れ角測定装置は回転ミラーで反射したレーザ光ビームを
再度回転ミラーに入射させることによシ、回転ミラーの
倒れ角の影響を拡大し、さらに光検知器側では表面反射
三角プリズムによシ光ビームの位置を正確に検知するこ
とが可能となル、回転ミラーの面倒れ角を自動的且つ高
精度に測定可能とした効果大なるものである。
第１図は本発明による回転ミラーの面倒れ角測定装置を
説明するための図、第２図は光源一回転ミラー間距離と
光量変化率の関係を示した図、第３図は回転ミラー下平
内鈍間距離と光量変化率の関係を示した図、第４図は光
ビーム径と最小光量変動量及び測定範囲の関係を示した
図、第５図は光ビームの変位と光探知器の出力差を示す
図である。 図面において、１は光源、２及び３はビームスプリッタ
、４は回転ミｙ−１ｓ〜９は平面鏡、１０．１１は光検
知器系、１２は表面反射三角プリズム、１３．１３’は
集光レンズ、１４．１４’は光検知器をそれぞれ示す。 第１図 第２図 第３図 ０１２３４’） Ｌ２（相対値） 第４図 ビーム径（ｍｍ ） 第５図
説明するための図、第２図は光源一回転ミラー間距離と
光量変化率の関係を示した図、第３図は回転ミラー下平
内鈍間距離と光量変化率の関係を示した図、第４図は光
ビーム径と最小光量変動量及び測定範囲の関係を示した
図、第５図は光ビームの変位と光探知器の出力差を示す
図である。 図面において、１は光源、２及び３はビームスプリッタ
、４は回転ミｙ−１ｓ〜９は平面鏡、１０．１１は光検
知器系、１２は表面反射三角プリズム、１３．１３’は
集光レンズ、１４．１４’は光検知器をそれぞれ示す。 第１図 第２図 第３図 ０１２３４’） Ｌ２（相対値） 第４図 ビーム径（ｍｍ ） 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 レーザ光ビームを回転ミラーに入射するための光
学系と、回転ミラーからの反射光ビームを再度回転ミラ
ーに反射させるだめの平面鏡と、回転ミラーからの反射
光を分割するためのビームスプリッタと、該ビームスプ
リッタにより分割された光をそれぞれ検知し、且つ互い
に直交して配置された２つの光検知器系とを具備して構
成されたことを特徴とする回転ミラーの面倒れ角測定装
置。 ２、前記光検知器系は、表面反射三角プリズムと、該三
角プリズムで２方向に反射した光を検知するための１対
の光検知器と、該１対の光検知器が検知した光量の差か
ら回転ミラーの面倒れ角を検知する電気系を備えたこと
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の回転ミラーの
面倒れ角測定装置。 ３、前記平面鏡は回転ミラーの同一面の反射角の異なる
場所での面倒れ角を測定するために複数個を扇状に配置
したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の回転
ミラーの面倒れ角測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9470584A JPS60238736A (ja) | 1984-05-14 | 1984-05-14 | 回転ミラ−の面倒れ角測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9470584A JPS60238736A (ja) | 1984-05-14 | 1984-05-14 | 回転ミラ−の面倒れ角測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60238736A true JPS60238736A (ja) | 1985-11-27 |
Family
ID=14117576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9470584A Pending JPS60238736A (ja) | 1984-05-14 | 1984-05-14 | 回転ミラ−の面倒れ角測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60238736A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03269311A (ja) * | 1990-03-20 | 1991-11-29 | Copal Electron Co Ltd | 光ビーム位置検出装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4940560A (ja) * | 1972-08-21 | 1974-04-16 | ||
| JPS5574519A (en) * | 1978-11-30 | 1980-06-05 | Fujitsu Ltd | Measuring method for deviation of scanning light beam |
-
1984
- 1984-05-14 JP JP9470584A patent/JPS60238736A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4940560A (ja) * | 1972-08-21 | 1974-04-16 | ||
| JPS5574519A (en) * | 1978-11-30 | 1980-06-05 | Fujitsu Ltd | Measuring method for deviation of scanning light beam |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03269311A (ja) * | 1990-03-20 | 1991-11-29 | Copal Electron Co Ltd | 光ビーム位置検出装置 |
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