JPH02204712A - 面倒れ測定装置 - Google Patents
面倒れ測定装置Info
- Publication number
- JPH02204712A JPH02204712A JP2377489A JP2377489A JPH02204712A JP H02204712 A JPH02204712 A JP H02204712A JP 2377489 A JP2377489 A JP 2377489A JP 2377489 A JP2377489 A JP 2377489A JP H02204712 A JPH02204712 A JP H02204712A
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- Japan
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- laser beam
- position detector
- polygon mirror
- mirror
- beam position
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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- Dot-Matrix Printers And Others (AREA)
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- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、レーザビームプリンタ等に用いられるレーザ
スキャナの高精度な測定装置に関するものである。
スキャナの高精度な測定装置に関するものである。
（従来の技術）
従来、第４図に示すように、レーザ光源１から出射した
ほぼ平行なレーザビームＬａをポリゴンミラー３に入射
し、その反射光Ｌｂを、第１のレーザビーム位置検出器
５に焦点を結ぶようにしたレンズ４を設ける方法により
面倒れ測定が行なわれている。
ほぼ平行なレーザビームＬａをポリゴンミラー３に入射
し、その反射光Ｌｂを、第１のレーザビーム位置検出器
５に焦点を結ぶようにしたレンズ４を設ける方法により
面倒れ測定が行なわれている。
（発明が解決しようとする課題）
前記従来の面倒れ測定装置では、ポリゴンミラー本来の
面倒れ成分によるレーザビームの位置ずれが発生するの
みでなく、ポリゴンミラーを回転させるスキャナモータ
の振動によるレーザビームの位置ずれも含まれてしまい
、ポリゴンミラー自身の性能の正しい測定・評価が行な
われなかった。
面倒れ成分によるレーザビームの位置ずれが発生するの
みでなく、ポリゴンミラーを回転させるスキャナモータ
の振動によるレーザビームの位置ずれも含まれてしまい
、ポリゴンミラー自身の性能の正しい測定・評価が行な
われなかった。
つまり高性能なレーザスキャナーの評価には、ポリゴン
ミラーによるレーザビームの位置すれと、ポリゴンミラ
ーを回すスキャナーモータの振動によるレーザビームの
位置ずれを切り分けて測定することが切望されていた。
ミラーによるレーザビームの位置すれと、ポリゴンミラ
ーを回すスキャナーモータの振動によるレーザビームの
位置ずれを切り分けて測定することが切望されていた。
（課題を解決するための手段）
本発明は、前記目的を達成するために、レーザ光源１か
ら出射した、はぼ平行なレーザビームＬ１を２つに分割
するようにハーフミラ−２を設け、このハーフミラ−２
からの透過光Ｌ２をポリゴンミラー３に入射しその反射
光Ｌ４を、第１のレーザビーム位置検出器５に焦点を結
ぶようにした第１のレンズ４を設け、又前記ハーフミラ
−２で分割した反射光Ｌ３を第２のレーザビーム位置検
出器７に焦点を結ぶようにした第２のレンズ６を設け、
前記２個の位置検出器の出力の差動をとることにより面
倒れを測定するようにしたものである。
ら出射した、はぼ平行なレーザビームＬ１を２つに分割
するようにハーフミラ−２を設け、このハーフミラ−２
からの透過光Ｌ２をポリゴンミラー３に入射しその反射
光Ｌ４を、第１のレーザビーム位置検出器５に焦点を結
ぶようにした第１のレンズ４を設け、又前記ハーフミラ
−２で分割した反射光Ｌ３を第２のレーザビーム位置検
出器７に焦点を結ぶようにした第２のレンズ６を設け、
前記２個の位置検出器の出力の差動をとることにより面
倒れを測定するようにしたものである。
（作用）
本発明によれば、レーザ光源１より出射したレーザビー
ムＬ１をポリゴンミラー３に入射するレーザビームＬ２
とポリゴンミラー３を通らずに直接筒２のレーザビーム
位置検出器７に入射するレーザビームＬ３とに分離する
ハーフミラ−２がポリゴンミラー３を回転させるスキャ
ナモータ８の近くに置く事ができるため、レーザビーム
Ｌ３はスキャナモータ８の振動のみを検出し、第２のレ
ーザビーム位置検出器７で測定される。又、第１のレー
ザビーム位置検出器５には、ポリゴンミラー３の面倒れ
成分と、スキャナモータ８の振動成分を含んだレーザビ
ームの位置ずれが検出される。
ムＬ１をポリゴンミラー３に入射するレーザビームＬ２
とポリゴンミラー３を通らずに直接筒２のレーザビーム
位置検出器７に入射するレーザビームＬ３とに分離する
ハーフミラ−２がポリゴンミラー３を回転させるスキャ
ナモータ８の近くに置く事ができるため、レーザビーム
Ｌ３はスキャナモータ８の振動のみを検出し、第２のレ
ーザビーム位置検出器７で測定される。又、第１のレー
ザビーム位置検出器５には、ポリゴンミラー３の面倒れ
成分と、スキャナモータ８の振動成分を含んだレーザビ
ームの位置ずれが検出される。
以上より、第１のレーザビーム位置検出器の出力から第
２のレーザビーム位置検出器の出力を引けば、ポリゴン
ミラー３のみの面倒れによるレーザビームの位置ずれが
測定できる。
２のレーザビーム位置検出器の出力を引けば、ポリゴン
ミラー３のみの面倒れによるレーザビームの位置ずれが
測定できる。
（実施例）
第１図は本発明の一実施例を説明する図であって、レー
ザ光源１から出射した、はぼ平行なレーザビームＬ１を
２つに分割するようにハーフミラ−２を設け、このハー
フミラ−２からの透過光Ｌ２をポリゴンミラー３に入射
したその反射光Ｌ４を、第１のレーザビーム位置検出器
５に焦点を結ぶようにした第１のレンズ４を設け、又前
記ハーフミラ−２で分割した反射光Ｌ３を第２のレーザ
ビーム位置検出器７に焦点を結ぶようにした第２のレン
ズ６を設け、前記、第１のレーザビーム位置検出器の出
力から、前記第２のレーザビーム位置検出器の出力を電
気的に差動をとるように差動アンプ９を設けたことによ
り、その出力をポリゴンミラーの面倒れのみによるレー
ザビーム位置ずれ量として測定出来る。
ザ光源１から出射した、はぼ平行なレーザビームＬ１を
２つに分割するようにハーフミラ−２を設け、このハー
フミラ−２からの透過光Ｌ２をポリゴンミラー３に入射
したその反射光Ｌ４を、第１のレーザビーム位置検出器
５に焦点を結ぶようにした第１のレンズ４を設け、又前
記ハーフミラ−２で分割した反射光Ｌ３を第２のレーザ
ビーム位置検出器７に焦点を結ぶようにした第２のレン
ズ６を設け、前記、第１のレーザビーム位置検出器の出
力から、前記第２のレーザビーム位置検出器の出力を電
気的に差動をとるように差動アンプ９を設けたことによ
り、その出力をポリゴンミラーの面倒れのみによるレー
ザビーム位置ずれ量として測定出来る。
第２図はポリゴンミラーの面倒れと、レーザビーム位置
検出器に入るレーザビームの位置ずれの関係を説明した
図であって、ポリゴンミラー面が５ａのように面倒れが
ない場合、レーザビームはＡのようになるが、ポリゴン
のミラー面が５ｂのようにθだけ倒れ１面倒れが発生し
たとき、レーザビームはＢのように傾き、レーザビーム
位置検出器５のところでｄだけの位置ずれとなる。従っ
て面倒少量θは θ＝ｔａｎ−１（ｄ／ｆ） として求められる。
検出器に入るレーザビームの位置ずれの関係を説明した
図であって、ポリゴンミラー面が５ａのように面倒れが
ない場合、レーザビームはＡのようになるが、ポリゴン
のミラー面が５ｂのようにθだけ倒れ１面倒れが発生し
たとき、レーザビームはＢのように傾き、レーザビーム
位置検出器５のところでｄだけの位置ずれとなる。従っ
て面倒少量θは θ＝ｔａｎ−１（ｄ／ｆ） として求められる。
実際にはレーザビーム位置検出器の出力をＡ／Ｄ変換し
てコンピュータに取り込み上記の計算を行ない面倒れ量
を求めている。
てコンピュータに取り込み上記の計算を行ない面倒れ量
を求めている。
第３図はビーム位置検出器の説明図であって、１３はレ
ーザビームを上下に置かれた高速フォトダイオード１１
．１２に各々レーザビームを分割して入射するための全
反射三角プリズムである。
ーザビームを上下に置かれた高速フォトダイオード１１
．１２に各々レーザビームを分割して入射するための全
反射三角プリズムである。
このプリズム１３に位置ずれのないレーザビームＬＡが
入射すると上下の高速フォトダイオード１１．１２に均
等にレーザパワーが入射するが、位置ずれをもったレー
ザビームＬＢが入射すると斜線図示のように、上の高速
フォトダイオード１１には少量のレーザビームＬＢＩ、
逆に下の高速フォトダイオード１２には大きいレーザビ
ームＬＢ２が入射することになり、レーザパワーの差に
よりレーザビームの位置ずれを検出することが出来る。
入射すると上下の高速フォトダイオード１１．１２に均
等にレーザパワーが入射するが、位置ずれをもったレー
ザビームＬＢが入射すると斜線図示のように、上の高速
フォトダイオード１１には少量のレーザビームＬＢＩ、
逆に下の高速フォトダイオード１２には大きいレーザビ
ームＬＢ２が入射することになり、レーザパワーの差に
よりレーザビームの位置ずれを検出することが出来る。
（発明の効果）
以上のように本発明の面倒れ測定装置によればスキャナ
モータの振動によるレーザビーム位置すれとポリゴンミ
ラーの面倒れによるレーザビームの位置ずれを切り分け
て測定することが出来るため、高性能レーザスキャナー
の測定が可能となり、−層のレーザスキャナの高性能化
の開発に拍車がかかるものである。
モータの振動によるレーザビーム位置すれとポリゴンミ
ラーの面倒れによるレーザビームの位置ずれを切り分け
て測定することが出来るため、高性能レーザスキャナー
の測定が可能となり、−層のレーザスキャナの高性能化
の開発に拍車がかかるものである。
第１図は本発明の一実施例を示す面倒れ測定装置の構成
図、第２図はポリゴンミラーの面倒れとレーザビーム−
検出器に入るレーザビームの位置ずれの関係を説明する
図、第３図はビーム位置検出器の説明図、第４図は従来
例を示す面倒れ測、定装置の構成図である。 １・・・・・・レーザ光源 Ｌｌ・・・・・・レーザ光源からの出射光２・・・・・
・ハーフミラ− Ｌ２・・・・・・ハーフミラ−の透過光３・・・・・・
ポリゴンミラー Ｌ３・・・・・・ハーフミラ−の反射光Ｌ４・・・・・
・ポリゴンミラーからの反射光４・・・・・・第１のレ
ンズ ５・・・・・・第１のレーザビーム位置検出器６・・・
・・・第２のレンズ ７・・・・・・第２のレーザビームの位置検出器８・・
・・・・スキャナモータ ９・・・・・・差動アンプ
図、第２図はポリゴンミラーの面倒れとレーザビーム−
検出器に入るレーザビームの位置ずれの関係を説明する
図、第３図はビーム位置検出器の説明図、第４図は従来
例を示す面倒れ測、定装置の構成図である。 １・・・・・・レーザ光源 Ｌｌ・・・・・・レーザ光源からの出射光２・・・・・
・ハーフミラ− Ｌ２・・・・・・ハーフミラ−の透過光３・・・・・・
ポリゴンミラー Ｌ３・・・・・・ハーフミラ−の反射光Ｌ４・・・・・
・ポリゴンミラーからの反射光４・・・・・・第１のレ
ンズ ５・・・・・・第１のレーザビーム位置検出器６・・・
・・・第２のレンズ ７・・・・・・第２のレーザビームの位置検出器８・・
・・・・スキャナモータ ９・・・・・・差動アンプ
Claims (1)
- レーザ光源１から出射した、レーザビームＬ１を２つに
分割するようにハーフミラー２を設け、このハーフミラ
ー２からの透過光Ｌ２をポリゴンミラー３に入射し、そ
の反射光Ｌ４を、第１のレーザビーム位置検出器５に焦
点を結ぶようにした第１のレンズ４を設け、又前記ハー
フミラー２で分割した反射光Ｌ３を第２のレーザビーム
位置検出器７に焦点を結ぶようにした第２のレンズ６を
設け、前記位置検出器５及び７の出力の差動をとること
により面倒れ量を測定することを特徴とする面倒れ測定
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2377489A JPH02204712A (ja) | 1989-02-03 | 1989-02-03 | 面倒れ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2377489A JPH02204712A (ja) | 1989-02-03 | 1989-02-03 | 面倒れ測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02204712A true JPH02204712A (ja) | 1990-08-14 |
Family
ID=12119690
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2377489A Pending JPH02204712A (ja) | 1989-02-03 | 1989-02-03 | 面倒れ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02204712A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018017937A (ja) * | 2016-07-28 | 2018-02-01 | 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 | 画像形成装置 |
| WO2022041006A1 (en) * | 2020-08-26 | 2022-03-03 | Siemens Aktiengesellschaft | Motor and vibration detection system and method thereof |
-
1989
- 1989-02-03 JP JP2377489A patent/JPH02204712A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018017937A (ja) * | 2016-07-28 | 2018-02-01 | 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 | 画像形成装置 |
| WO2022041006A1 (en) * | 2020-08-26 | 2022-03-03 | Siemens Aktiengesellschaft | Motor and vibration detection system and method thereof |
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