JPS62183894A - エアシヤワ−装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、エアシャワー装置に係り、特にクリーンルー
ムに入室する際に人体及び衣服に付着した塵埃を事前に
除去し、クリーンルーム内に塵埃を持ち込まない為に用
いられるエアシャワー装置に関する。

半導体を始めとする電子部品の加工、組立工場、薬品製
造工場、食品製造工場、病院等のクリーンルームに於い
ては、その性質上、一定収上の清浄度が要求される。ク
リーンルーム内の清浄度はクリーンルーム内に入る人の
塵埃量によって大きく左右されるので、クリーンルーム
に入る前に人の衣服に付着している塵埃を取除（ことが
、重要であり、エアシャワー装置はこのような人の衣服
から付着塵埃を除去する装置として利用されている。

従来、この種のエアシャワー装置は、エア噴射用高速フ
ァン、エア循環用低速ファン、高性能フィルタ（ＨＥ　
Ｐ　Ａフィルタ）から構成され、高速ファンによって生
じる高圧エアをジェットノズルから噴射して、人体及び
衣服に付着した塵埃を吹き飛ばし、循環用ファンで、エ
アシャワー室内のエアを循環すると共に、高性能フィル
タで、吹き飛ばされた塵埃を捕集するようにしている。

第６図は従来のエアシャワー装置の正面図、第７図はそ
の平面図である。第６図及び第７図で示す、ように外ケ
ーシング１０内に内ケーシング１２が設けられ、内ケー
シング１２の内部はエアシャワー室１４が形成されてい
る。外ケーシング１０と内ケーシング１２との間の空間
部に２枚の仕切プレート１６Ａ、１６Ｂが設けられ、各
プレート１６Ａ、１６Ｂは上端が外ケーシング１０と下
端が内方に折曲されて内ケーシング１２の外側面に接合
されている。また、各プレート１６Ａ、１６Ｂの上部に
は上下２段のＨＥＰＡフィルタ１８が配置されている。

各プレート１６Ａ、１６Ｂ、外ケーシング１０及び内ケ
ーシング１２に囲まれた空間部には清浄チャンバ２０が
形成され、この清浄チャンバ２０とシャワー室１４との
境界面にはパンチングボード２２が設けられ、又シャワ
ー室１４の両側面１４Ａ、１４Ｂには複数のジェットノ
ズル２４が設けられている。清浄チャンバ２０のエアは
シャワー室１４の上方のパンチングボード２２及び両側
面１４Ａ、１４Ｂのジェットノズル２４からシャワー室
１４に噴射される。シャワー室１４のエアは両側面１４
Ａ、１４Ｂの下方に設けられた吸込口２６及びプレフィ
ルタ２８を通って排気ダクト３０に吸込まれる。この排
気ダクト３０のエアは高速ファン３２によってＨＥＰＡ
フィルタ１８に送られ、このフィルタ１８を通過して再
び清浄チャンバ２０に送られる。

又、シャワー室１４の左側面１４Ａの中央には赤外線発
光装置３４、右側面１４Ｉ３の中央には赤外線受光装置
３６が設けられ、発光装置３４からの赤外線が作業者３
８で遮断されて受光装置３６に到達しなくなると、制御
装置５６からのコントロール信号によって一定時間高速
フプン３２が稼動する。

又、作業者３８がシャワー室１４に出入するために第７
図に示す入口扉４０及び出口扉４２がシャワー室１４の
前面及び後面に取付けられているこのような構成に於い
て、作業者３８は入口扉４０からシャワー室１４に入室
すると、赤外線発光装置３４からの赤外線が遮断され、
一定時間高速ファン３２が稼動され、ＨＥＰＡフィルタ
１８を通った清浄チャンバ２０のエアが側面１４Ａ、１
４Ｂのジェットノズル２４からシャワー室１４の作業者
３８に向けて噴射される。これによって作業者３８及び
作業服より塵埃が剥離され、剥離された塵埃はシャワー
室１４のエアと共に吸込口２６に吸込まれ、プレフィル
タ２８によって一部除去される。又、排気ダクトチャン
バ３０のエアは高速ファン３２によってＨＢＰＡフィル
タ１８に送られ、除塵された後再び清浄チャンバ２ｏに
送られる。

しかしながらこのようなりリーンルーム装置に於いては
、ジェットノズル２４からの吹出気流は、主に作業者３
８の側面に衝突するため、作業衣の側面の塵埃は良好に
除去できるが、ジェットノズル２４の設けられていない
正面又は背面に付着している塵埃は除去され難い欠点が
ある。

このような不具合は、クリーンルーム内の清浄維持が困
難となる。

〔発明の目的〕

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、作業
者及び作業衣等の全面に付着した塵埃を十分に除去でき
るエアシャワー装置を提案することを目的としている。

〔発明の概要〕

本発明は前記目的を達成−する為に、エアシャワー室内
のエアをフィルタを通して循環使用すると共にエア吹出
しノズルからエアをエアシャワー室に噴射するエアシャ
ワー装置に於いて、前記エアシャワー室の床面に配置さ
れた踏台を回転可能に構成し、若しくはエアシャワー室
のエア吹出しノズルが設けられた側壁を回転可能に構成
したことを特徴とする。

〔実施例〕

以下、添付図面に従って本発明に係るエアシャワー装置
の好ましい実施例を詳説する。第１図は本発明に係るエ
アシャワー装置の正面図である。

第１図のエアシャワー装置に於いて第６図に示した従来
のエアシャワー装置と同一の部材若しくは類似の部材に
は同一符号を付し、その詳しい説明は省略する。第１図
に示すようにエアシャワー室１４の床面には回転可能な
円形状の踏台４６が設けられ、この踏台４６は下方の電
動機４８と軸５０を介して連結され、この電動機４８に
よって回転駆動される。又、電動機４８は外側に設けら
れた筒状のガイド５２と軸５０に取付けられたサポート
５４とによって、踏台４６は偏心振れが生じないように
なっている。

又、電動機４８は制御装置５６と接続され、更にこの制
御装置５６には高速ファン３２、赤外線発光装置３４、
赤外線受光装置３６が接続される。制御装置５６は作業
者３８が入室して赤外線を遮断すると、高速ファン３２
を稼動させると共に高速ファン３２に連動して踏台４６
を回転させる前記の如く構成された本実施例に於いて、
作業者３８がシャワー室１４に入ると、赤外線発光装置
３４からの赤外線が遮断され、高速ファン３２は一定時
間稼動され、ＨＥ　Ｐ　Ａフィルタ１８を通った清浄チ
ャンバ２０のエアが両側面１４Ａ、１４Ｂのジェットノ
ズル２４からシャワー室１４の作業員３８に向けて噴射
される。又、高速ファン３２と連動しでいる踏台４６に
よって作業者３８は回転させられ、ジェットノズル２４
からの清浄エアは作業者３８の前後左右の全面に当たり
、人体及び作業衣全面の塵埃が、剥離される。Ｗ１離さ
れた塵埃を含んだエアは両側面１４Ａ、１４Ｂの下部に
設けた吸込口２６及びプレフィルタ２８を通って排気ダ
クトチャンバ３０に吸込まれ、この時、作業員３８から
の剥離塵埃はプレフィルタ２８によって一部除去される
。チャンバ３０のエアは高速ファン３２によってＨＥＰ
Ａフィルタ１８に送られ、除塵された後再び清浄チャン
バ２０に送られる。所定時間後ファン３２は停止すると
共に踏台４６を停止し、作業具３８はクリーンルームに
入室可能な状態となる。

前記実施例に於いてエアシャワー室１４の両側面１４Ａ
、１４Ｂの下部に吸込口２６を設けたが、吸込口を踏台
４６及びその他の床面に設けてもよい。この場合には踏
台４６を多孔性のグレーチング部材に換えることによっ
て簡単に行うことができる。

又、前記実施例に於いて、作業者３８のシャワー室１４
の入室を赤外線によって感知したが、ウェイトセンサに
より踏台４６に加わる作業員の体重によって感知するよ
うにしてもよい。

又、第２図は本発明に係るエアシャワー装置の第２実施
例を示す正面図である。第２実施例に於いて第１図及び
第６図に示す同一の部材若しくは類似の部材には同一符
号を付し、その詳しい説明は省略する。第２実施例が第
１実施例と異なる点は、清浄チャンバ２０とエアシャワ
ー室１４との境界面には、プレート２２Ｂが設けられ、
プレート２２Ｂにはジェットノズル２４が取り付けられ
ていることである。又、床の踏台４６Ａは多孔性のグレ
ーチン部材で形成され、筒状のガイド５２Ａにも複数の
通気孔５３が設けられている。更に、ガイド５２Ａの外
側には床下チャンバ３１が設けられ、床下チャンバ３１
の上方の床面には吸込口２６及びプレフィルタ２８が設
けられている。

このように構成された第２実施例に於いて、作業者３８
がシャワー室１４に入ると、高速ファン３２が一定時間
稼動され、シャワー室１４の上方並びに側方に設けたジ
ェットノズル２４からシャワー室１４の作業者３８に向
けて噴射される。又吹き付けたシャワー室１４のエアは
、グレーチン部材の踏台４６Ａを通過して、ガイド５２
Ａの通気孔５３から床下チャンバ３１に送られ、床下チ
ャンバ３１のエアは上方の床面に設けられた吸込口２６
及びプレフィルタ２８を通って排気ダクト３０に吸込ま
れる。

第２実施例によれば作業者３８に吹付けるエアは常時シ
ャワー室の上方から下方に向かって流れ、作業者３８の
作業衣から剥離した塵埃は乱気流などにより再付着され
ることなく効率良く床下チャンバ３１に吸込まれる。

又、第３図は本発明に係るエアシャワー装置の第３実施
例を示す正面図である。第３実施例に於いて第１図及び
第６図に示す同一の部材若しくは類似の部材には同一符
号を付し、その詳しい説明は省略する。第３図に示すよ
うに内ケーシング１２の天井面と外ケーシング１０との
間に）（ＥＰＡフィルタ１８が設けられ、外ケーシング
１０と内ケーシング１２との間の右側には清浄チャンバ
２０Ａが形成される。エアシャワー室１４の右側面１４
Ｂに複数のジェットノズル２４が設けられる一方左側面
１４Ａの略全域に吸込口２６が設けられ、プレフィルタ
２８が配置される。又、外ケーシング１０と内ケーシン
グ１２との間の左側には、排気ダクトチャンバ３０Ａが
形成され、内ケーシング１２の左上に高速フプン３２が
設けられている。

このように構成された第３実施例に於いて、作業者３８
がシャワー室１４に・入ると、高速ファン３２′が一定
時間稼動され、右側面１４Ｂに設けたジェットノズル２
４からシャワー室１４の作業者３８に向けて噴射される
。一方、作業者３８は右方向のみから清浄エアを受ける
が、高速ファン３２と連動して踏台４６が回転すること
により、作業衣の全面に清浄エアを受けることができる
。又吹き付けたシャワー室１４のエアは左側面１４Ａの
全域に設けた吸込口２６及びプレフィルタ２８を通って
排気ダクトチャンバ３０Ａに吸込まれることより、作業
者３２に吹付けるエアは常時シャワー室１４中を右から
左方、向に流れ、作業者３８の作業衣から剥離した塵埃
は再付着されることなく効率良く吸込口２６に吸引され
る。

又、第４図は本発明に係るエアシャワー装置の第４の実
施例を示す正面図、第５図はその平面図である。第４の
実施例では第１図及び第２図に示す実施例と同一部材若
しくは類似の部材には同一の符号を付し、その詳しい説
明は省略する。第３図及び第５図に示すようにエアシャ
ワー装置のケーシング１０．１２は、ドーナツ板６０の
上面６０Ａに支持され、ドーナツ板６０の下面６０Ｂに
設けられた４個の車輪６２によって回転可能となってい
る。又、ドーナツ板６０の下面６０Ｂの外周面にはラッ
ク６４が形成され、このラフクロ４は駆動モータ６８の
歯車７０と噛み合っている。

これによってモータ６８の回転駆動により、ドーナツ板
６０が回転される。

又、エアシャワー室１４内のドーナツ板６０の中央孔７
２には踏台７４が床６６に固定される。

前記の如く構成された実施例に於いて、作業者３８がエ
アシャワー室１４の踏台７４に位置すると高速ファン３
２は一定時間稼動され、ＨＥＰＡフィルタ１８を通った
清浄チャンバ２０のエアが両側面１４Ａ、１４Ｂのジェ
ットノズル２４からシャワー室１４の作業員３８に向け
て噴射される。又、高速ファン３２と連動された駆動モ
ータ６８によってエアシャワー装置は回転させられ、ジ
ェットノズル２４からの清浄エアを作業者３Ｂは前後左
右の全体に受けることになり、人体及び作業衣全面の塵
埃が剥離される。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明に係るエアシャワー装置によ
れば、エアシャワー室の踏台を回転可能に設け、若しく
はエアシャワー室のエア吹出しノズルが設けられた側壁
を回転可能に設けたことにより、作業者及び作業衣等全
面に付着した塵埃をクリーンルームの入室前に十分除去
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る第１実施例の正面図、第２図は本
発明に係る第２実施例の正面図、第３図は本発明に係る
第３実施例°の正面図、第４図は本発明に係る第４実施
例の正面図、第５図は第４実施例の平面図、第６図は従
来のエアシャワー装置の正面図、第７図は従来のエアシ
ャワー装置の平面図である。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）エア吹出しノズルからエアをエアシャワー室に噴
   射するエアシャワー装置に於いて、前記エアシャワー室
   の床面に配置された踏台を回転可能に構成し、若しくは
   エアシャワー室のエア吹出しノズルが設けられた側壁を
   回転可能に構成したことを特徴とするエアシャワー装置
   。
2. （２）前記エアシャワー室内の天井面にエア吹出しノズ
   ルを設け、床面にエア吸込口を設けてエアを循環させる
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項のエアシャワー
   装置。
3. （３）前記エアシャワー室内の相対する二側壁の一方に
   エア吹出しノズルを設け、他方にエア吸込口を設けてエ
   アを循環させることを特徴とする特許請求の範囲第１項
   のエアシャワー装置。