JPS6218281Y2 - - Google Patents
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- JPS6218281Y2 JPS6218281Y2 JP14066182U JP14066182U JPS6218281Y2 JP S6218281 Y2 JPS6218281 Y2 JP S6218281Y2 JP 14066182 U JP14066182 U JP 14066182U JP 14066182 U JP14066182 U JP 14066182U JP S6218281 Y2 JPS6218281 Y2 JP S6218281Y2
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- coating liquid
- coating
- exhaust path
- exhaust
- pedestal
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Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は電子部品等の小型部品の塗布を行う
塗布装置に関する。
塗布装置に関する。
小型電池の部品などにシール用塗布液を塗布す
るために、自動化された塗布装置が実用に供され
ている。従来の塗布装置では、部品が塗布位置に
置かれたことを光電センサ等で検出し、その検出
に基づいて電磁リレー等が作動して塗布処理動作
を行う自動化方式がとられている。しかしなが
ら、このような従来の塗布装置においては、光電
センサ、電磁リレー等を用いた自動化制御回路の
構成が複雑になるとともに、電磁リレーの作動時
の火花や放熱が塗布液、特にシール液等の引火性
の強い塗布液を発火させる危険を有する欠点があ
つた。
るために、自動化された塗布装置が実用に供され
ている。従来の塗布装置では、部品が塗布位置に
置かれたことを光電センサ等で検出し、その検出
に基づいて電磁リレー等が作動して塗布処理動作
を行う自動化方式がとられている。しかしなが
ら、このような従来の塗布装置においては、光電
センサ、電磁リレー等を用いた自動化制御回路の
構成が複雑になるとともに、電磁リレーの作動時
の火花や放熱が塗布液、特にシール液等の引火性
の強い塗布液を発火させる危険を有する欠点があ
つた。
この考案の目的は上記従来の欠点を解消して、
簡単な機械的構成によつて被塗布体の保持および
塗布処理を確実に行え、かつ、防爆性に優れた塗
布装置を提供することにある。
簡単な機械的構成によつて被塗布体の保持および
塗布処理を確実に行え、かつ、防爆性に優れた塗
布装置を提供することにある。
以下、この考案の構成を実施例を図面を参照し
て説明する。
て説明する。
第1図はこの実施例の塗布装置の配置図であ
る。同図において、被塗布体保持部1と駆動部2
は断面図で示されている。
る。同図において、被塗布体保持部1と駆動部2
は断面図で示されている。
この塗布装置は、被塗布体である平板状小型電
池のキヤツプ部材内面にシール液を塗布するため
の装置である。被塗布体保持部1は被塗布体のキ
ヤツプ部材4を保持する台座5を有する。台座5
は、上部にキヤツプ部材4を載置するキヤツプ部
材受け5aが形成され、そしてキヤツプ部材受け
5aに連通する第1の排気路7が貫通して形成さ
れた軸部5bと、軸部5bの下端に固定された連
結部5cとを有する。軸部5bは、ターンテーブ
ル6の周縁部に固定された軸受保持部8の貫通穴
に設けた軸受8a,8bによつて回転自在に保持
されている。連結部5cは、後述の駆動部2の連
結部9の凹部9aに連結する凸状端部を備え、連
結時に凹部9aに接触する個所にOリング5dが
嵌められている。キヤツプ部材受け5aに載置さ
れたキヤツプ部材4は、第1の排気路7を真空排
気することによつてキヤツプ部材受け5aに吸着
固定される。そして、その吸着面積を大きくする
ために第1の排気路7の上部開口部7aは軸部5
b内の排気路より拡大されている。ターンテーブ
ル6は図示しない回転装置によつて回転し、送り
フイーダ(図示せず)で搬送されたキヤツプ部材
が台座5にセツトされるセツト位置、連結部5c
が連結部9に対向する連結装置、塗布終了後塗布
済みのキヤツプ部材を放出する放出位置などで静
止する。これらの位置決めはインデツクス装置
(図示せず)によつて行われる。
池のキヤツプ部材内面にシール液を塗布するため
の装置である。被塗布体保持部1は被塗布体のキ
ヤツプ部材4を保持する台座5を有する。台座5
は、上部にキヤツプ部材4を載置するキヤツプ部
材受け5aが形成され、そしてキヤツプ部材受け
5aに連通する第1の排気路7が貫通して形成さ
れた軸部5bと、軸部5bの下端に固定された連
結部5cとを有する。軸部5bは、ターンテーブ
ル6の周縁部に固定された軸受保持部8の貫通穴
に設けた軸受8a,8bによつて回転自在に保持
されている。連結部5cは、後述の駆動部2の連
結部9の凹部9aに連結する凸状端部を備え、連
結時に凹部9aに接触する個所にOリング5dが
嵌められている。キヤツプ部材受け5aに載置さ
れたキヤツプ部材4は、第1の排気路7を真空排
気することによつてキヤツプ部材受け5aに吸着
固定される。そして、その吸着面積を大きくする
ために第1の排気路7の上部開口部7aは軸部5
b内の排気路より拡大されている。ターンテーブ
ル6は図示しない回転装置によつて回転し、送り
フイーダ(図示せず)で搬送されたキヤツプ部材
が台座5にセツトされるセツト位置、連結部5c
が連結部9に対向する連結装置、塗布終了後塗布
済みのキヤツプ部材を放出する放出位置などで静
止する。これらの位置決めはインデツクス装置
(図示せず)によつて行われる。
駆動部2は、連結部5cに凹部9aが圧着して
連結する連結部9と、連結部9を回転駆動するモ
ータ部11とを有する。連結部9の軸部9bはモ
ータ部11の回転軸11aに連結され、かつ支持
部2aに回転自在に保持されている。また、軸部
9bには上部で凹部9aに連通し、かつ下部で支
持部2aに穿設した排気穴2bに連通する第2の
排気路10が形成されている。モータ部11は、
連結部9の軸部9bに連結した回転軸11aを回
転する、モータ(図示せず)等の駆動機構からな
り、可動テーブル12に固定されている。また、
回転軸11aの回転時に支持部2aが回転しない
ように支持部2aは回転止め板2cを介して可動
テーブル12に固定されている。可動テーブル1
2は上下移動装置(図示せず)によつて上下移動
する。連結部5cと連結部9とが対向する連結位
置において、可動テーブル12が上昇移動するこ
とによつて連結部5cと連結部9は圧接される。
この圧接状態で第2の排気路10は第1の排気路
7に連通する。排気穴2bには排気ポンプ14の
吸入側に一端が導かれた可撓性排気管13aが取
り付けられ、この可撓性排気管13aを通じて排
気ポンプ14の排気により、第2の排気路10は
排気される。排気ポンプ14は第2の排気路10
および後述の減圧室15bを減圧する減圧手段を
構成する。
連結する連結部9と、連結部9を回転駆動するモ
ータ部11とを有する。連結部9の軸部9bはモ
ータ部11の回転軸11aに連結され、かつ支持
部2aに回転自在に保持されている。また、軸部
9bには上部で凹部9aに連通し、かつ下部で支
持部2aに穿設した排気穴2bに連通する第2の
排気路10が形成されている。モータ部11は、
連結部9の軸部9bに連結した回転軸11aを回
転する、モータ(図示せず)等の駆動機構からな
り、可動テーブル12に固定されている。また、
回転軸11aの回転時に支持部2aが回転しない
ように支持部2aは回転止め板2cを介して可動
テーブル12に固定されている。可動テーブル1
2は上下移動装置(図示せず)によつて上下移動
する。連結部5cと連結部9とが対向する連結位
置において、可動テーブル12が上昇移動するこ
とによつて連結部5cと連結部9は圧接される。
この圧接状態で第2の排気路10は第1の排気路
7に連通する。排気穴2bには排気ポンプ14の
吸入側に一端が導かれた可撓性排気管13aが取
り付けられ、この可撓性排気管13aを通じて排
気ポンプ14の排気により、第2の排気路10は
排気される。排気ポンプ14は第2の排気路10
および後述の減圧室15bを減圧する減圧手段を
構成する。
台座5の上方には、塗布液供給を行う真空シリ
ンダー部3が配置されている。真空シリンダー部
3は、シリンダー15、ピストン16、ピストン
16に固定された塗布液供給用パイプ17を有
し、塗布液供給用パイプ17を所定の塗布位置に
移動させるパイプ移動部を構成する。そして、塗
布液供給用パイプ17が、台座5に載置されたキ
ヤツプ部材4の内面に所定角度傾斜する向きにシ
リンダー15は固定されている。
ンダー部3が配置されている。真空シリンダー部
3は、シリンダー15、ピストン16、ピストン
16に固定された塗布液供給用パイプ17を有
し、塗布液供給用パイプ17を所定の塗布位置に
移動させるパイプ移動部を構成する。そして、塗
布液供給用パイプ17が、台座5に載置されたキ
ヤツプ部材4の内面に所定角度傾斜する向きにシ
リンダー15は固定されている。
真空シリンダー部3の構造断面図を第2図に示
す。シリンダー15の内部は、ピストン16のロ
ツド上部に設けたバネ押圧部16aによつて大気
室15aと減圧室15bに分けられる。大気室1
5aはシリンダー15の側部に穿設した大気導入
口19を介して大気中に通じている。大気導入口
19には塵芥除去用マフラ19aが取り付けられ
ている。減圧室15bはシリンダー15の側部に
穿設した排気口20に連通している。排気口20
には一端が排気ポンプ14の吸入側に導かれた排
気管13bが取り付けられる。減圧室15b内に
は、ピストン16の外側に嵌められたバネ16b
が収められている。バネ16bは下端でシリンダ
ー15の下部に、また、上端でバネ押圧部16a
の下部に当接し、バネ押圧部16aを介してピス
トン16を上方に付勢している。ピストン16
は、減圧室15bが排気ポンプ14によつて排気
されて減圧されたとき、大気室15aと減圧室1
5bとの圧力差によつてバネ押圧部16aが押し
下げられることにより下方に移動する。
す。シリンダー15の内部は、ピストン16のロ
ツド上部に設けたバネ押圧部16aによつて大気
室15aと減圧室15bに分けられる。大気室1
5aはシリンダー15の側部に穿設した大気導入
口19を介して大気中に通じている。大気導入口
19には塵芥除去用マフラ19aが取り付けられ
ている。減圧室15bはシリンダー15の側部に
穿設した排気口20に連通している。排気口20
には一端が排気ポンプ14の吸入側に導かれた排
気管13bが取り付けられる。減圧室15b内に
は、ピストン16の外側に嵌められたバネ16b
が収められている。バネ16bは下端でシリンダ
ー15の下部に、また、上端でバネ押圧部16a
の下部に当接し、バネ押圧部16aを介してピス
トン16を上方に付勢している。ピストン16
は、減圧室15bが排気ポンプ14によつて排気
されて減圧されたとき、大気室15aと減圧室1
5bとの圧力差によつてバネ押圧部16aが押し
下げられることにより下方に移動する。
ピストン16の下端部には塗布液供給用パイプ
17が固定されている。塗布液供給用パイプ17
はピストン16の下端部に穿設した塗布液供給口
21に連通している。そして、塗布液供給口21
には、塗布液導入用可撓性チユーブ22が接続さ
れ、塗布液導入用可撓性チユーブ22を通じて塗
布液タンク18からポンプ23によつて送り出さ
れた塗布液が塗布液供給用パイプ17に供給され
る。塗布液タンク18にはシール液の塗布液が貯
蔵されている。塗布液供給用パイプ17の塗布液
流出側開口端近傍を拡大し、かつ一部を切り欠い
て示した図が第3図である。塗布液流出側開口端
17eの近傍には、その近傍に穿設した穴部17
dより挿入され、塗布液流出側開口端17eの外
側に延長された刷毛17aが取り付けられてい
る。刷毛17aの一端は束ねられ、その上からワ
イヤ17cが巻回され、塗布液供給用パイプ17
に固定されている。また、穴部17dより塗布液
24が漏洩しないように、ワイヤ17cの巻き付
け部分および穴部17dをテフロン等のシールテ
ープ17bによつて覆いシールしている。刷毛1
7aには、弾力性に富み、耐薬品性を備えた動物
の毛などを用いる。刷毛17aの毛先が塗布処理
時に、前述したようにピストン16が下方に移動
し、台座5とともに回転するキヤツプ部材4の内
面に接触することによつて、塗布液24がその内
面に塗布される。ピストン16の移動距離は刷毛
17aの毛先とキヤツプ部材4の内面との距離に
ほぼ対応し、減圧室15b内の排気量によつて調
整される。上記のように、一端が塗布液供給用パ
イプ17内の塗布液24に浸漬された刷毛17a
を用いると、刷毛のもつ弾性によつて均一な厚さ
に塗布することができ、美しい塗布面に仕上がる
利点がある。また、刷毛を使用すれば、塗布液供
給用パイプ17に供給される塗布液量に対応して
毛先より一定量の塗布液がしみ出すので、塗布厚
さが塗布液供給量に比例することになり、塗布厚
さをポンプ23の塗布液吐出量によつて調整でき
る利点がある。更に、毛先の大きさに対応して塗
布幅が決まるので、塗布面積の精度も向上し、ま
た、弾性により刷毛が被塗布体の形状になじみ易
く、かつ再現性に優れているので多数回の使用に
耐え、経済的である。しかも、高粘度の塗布液を
使用する場合にも刷毛によつて均一に塗布でき
る。このように、刷毛17aを備えた塗布液供給
用パイプ17ではつねに安定した塗布処理が可能
となるが、塗布個所に精度を要しない場合には、
塗布液流出側開口端17eにフエルトを取り付け
たものや、ノズルを設けたものであつてもよい。
17が固定されている。塗布液供給用パイプ17
はピストン16の下端部に穿設した塗布液供給口
21に連通している。そして、塗布液供給口21
には、塗布液導入用可撓性チユーブ22が接続さ
れ、塗布液導入用可撓性チユーブ22を通じて塗
布液タンク18からポンプ23によつて送り出さ
れた塗布液が塗布液供給用パイプ17に供給され
る。塗布液タンク18にはシール液の塗布液が貯
蔵されている。塗布液供給用パイプ17の塗布液
流出側開口端近傍を拡大し、かつ一部を切り欠い
て示した図が第3図である。塗布液流出側開口端
17eの近傍には、その近傍に穿設した穴部17
dより挿入され、塗布液流出側開口端17eの外
側に延長された刷毛17aが取り付けられてい
る。刷毛17aの一端は束ねられ、その上からワ
イヤ17cが巻回され、塗布液供給用パイプ17
に固定されている。また、穴部17dより塗布液
24が漏洩しないように、ワイヤ17cの巻き付
け部分および穴部17dをテフロン等のシールテ
ープ17bによつて覆いシールしている。刷毛1
7aには、弾力性に富み、耐薬品性を備えた動物
の毛などを用いる。刷毛17aの毛先が塗布処理
時に、前述したようにピストン16が下方に移動
し、台座5とともに回転するキヤツプ部材4の内
面に接触することによつて、塗布液24がその内
面に塗布される。ピストン16の移動距離は刷毛
17aの毛先とキヤツプ部材4の内面との距離に
ほぼ対応し、減圧室15b内の排気量によつて調
整される。上記のように、一端が塗布液供給用パ
イプ17内の塗布液24に浸漬された刷毛17a
を用いると、刷毛のもつ弾性によつて均一な厚さ
に塗布することができ、美しい塗布面に仕上がる
利点がある。また、刷毛を使用すれば、塗布液供
給用パイプ17に供給される塗布液量に対応して
毛先より一定量の塗布液がしみ出すので、塗布厚
さが塗布液供給量に比例することになり、塗布厚
さをポンプ23の塗布液吐出量によつて調整でき
る利点がある。更に、毛先の大きさに対応して塗
布幅が決まるので、塗布面積の精度も向上し、ま
た、弾性により刷毛が被塗布体の形状になじみ易
く、かつ再現性に優れているので多数回の使用に
耐え、経済的である。しかも、高粘度の塗布液を
使用する場合にも刷毛によつて均一に塗布でき
る。このように、刷毛17aを備えた塗布液供給
用パイプ17ではつねに安定した塗布処理が可能
となるが、塗布個所に精度を要しない場合には、
塗布液流出側開口端17eにフエルトを取り付け
たものや、ノズルを設けたものであつてもよい。
上記のように構成された塗布装置による塗布処
理動作を説明する。
理動作を説明する。
まず、第1図に示したように、キヤツプ部材4
は台座5に載置され、続いてターンテーブル6が
回転し、連結部5cが連結部9の凹部9aに対向
する連結位置で回転が停止する。この連結状態で
可動テーブル12が上昇し、連結部5cに連結部
9が圧接される。この圧接状態で排気ポンプ14
によつて第2の排気路10が真空排気されるとと
もに、減圧室15b内も真空排気される。第2の
排気録10が排気されると、第2の排気路10に
連通する第1の排気路7も排気される。したがつ
て、この排気によつて第1および第2の排気路
7,10内は減圧されるので台座5に載置された
キヤツプ部材4はキヤツプ部材受け5aに吸着さ
れ、かつ連結部5cと連結部9は圧着連結され
る。キヤツプ部材4の吸着および連結部5cと連
結部9との連結が完了したとき、引き続きモータ
部11内のモータが連続回転して回転軸11aの
回転駆動が行われる。そして、連結部5cを介し
て連結部9に連結している台座5は回転力を受け
て回転し、台座5に吸着したキヤツプ部材4が回
転する。このようにして、吸着されたキヤツプ部
材4の回転運動が行われると同時に、減圧室15
bの排気により減圧室15b内が減圧される。減
圧室15b内の圧力が減少すると、大気室15a
と減圧室15bとの間に圧力差が発生し、バネ押
圧部16aは減圧室15b側に移動する。この移
動によりピストン16の下端部はシリンダー15
の外側に移動し、塗布液供給用パイプ17に取り
付けた刷毛17aの毛先がキヤツプ部材4の内面
に接触する塗布状態に至る。刷毛17aの接触状
態は、キヤツプ部材4が数回転するまで保持さ
れ、所定の塗布厚さにシール液が塗布される。こ
のように、キヤツプ部材4の吸着と、台座5と駆
動部2との連結、および刷毛17aの塗布位置へ
の移動からなる塗布処理動作が第1の排気路7、
第2の排気路10、減圧室15bの排気によつて
連動して行われる。そして、キヤツプ部材4が数
回転し塗布が終了したならば、モータ部11のモ
ータ駆動が停止されるとともに、可動テーブル1
2が下降することによつて連結部5cと連結部9
とのシールが開放され排気ポンプ14の排気が停
止される。この排気停止によつて、減圧室15b
内の圧力が上昇し、ピストン16はバネ16bの
作用によつて大気室15a側に復帰し、刷毛17
aはキヤツプ部材4の内面より離れ、塗布が停止
する。このとき、第1および第2の排気路7,1
0内も大気圧に戻るので、キヤツプ部材4の吸着
状態および連結部5cと連結部9との連結状態が
解除される。続いてターンテーブル6がキヤツプ
部材放出回転位置まで回転し、塗布済みのキヤツ
プ部材の放出処理に移る。
は台座5に載置され、続いてターンテーブル6が
回転し、連結部5cが連結部9の凹部9aに対向
する連結位置で回転が停止する。この連結状態で
可動テーブル12が上昇し、連結部5cに連結部
9が圧接される。この圧接状態で排気ポンプ14
によつて第2の排気路10が真空排気されるとと
もに、減圧室15b内も真空排気される。第2の
排気録10が排気されると、第2の排気路10に
連通する第1の排気路7も排気される。したがつ
て、この排気によつて第1および第2の排気路
7,10内は減圧されるので台座5に載置された
キヤツプ部材4はキヤツプ部材受け5aに吸着さ
れ、かつ連結部5cと連結部9は圧着連結され
る。キヤツプ部材4の吸着および連結部5cと連
結部9との連結が完了したとき、引き続きモータ
部11内のモータが連続回転して回転軸11aの
回転駆動が行われる。そして、連結部5cを介し
て連結部9に連結している台座5は回転力を受け
て回転し、台座5に吸着したキヤツプ部材4が回
転する。このようにして、吸着されたキヤツプ部
材4の回転運動が行われると同時に、減圧室15
bの排気により減圧室15b内が減圧される。減
圧室15b内の圧力が減少すると、大気室15a
と減圧室15bとの間に圧力差が発生し、バネ押
圧部16aは減圧室15b側に移動する。この移
動によりピストン16の下端部はシリンダー15
の外側に移動し、塗布液供給用パイプ17に取り
付けた刷毛17aの毛先がキヤツプ部材4の内面
に接触する塗布状態に至る。刷毛17aの接触状
態は、キヤツプ部材4が数回転するまで保持さ
れ、所定の塗布厚さにシール液が塗布される。こ
のように、キヤツプ部材4の吸着と、台座5と駆
動部2との連結、および刷毛17aの塗布位置へ
の移動からなる塗布処理動作が第1の排気路7、
第2の排気路10、減圧室15bの排気によつて
連動して行われる。そして、キヤツプ部材4が数
回転し塗布が終了したならば、モータ部11のモ
ータ駆動が停止されるとともに、可動テーブル1
2が下降することによつて連結部5cと連結部9
とのシールが開放され排気ポンプ14の排気が停
止される。この排気停止によつて、減圧室15b
内の圧力が上昇し、ピストン16はバネ16bの
作用によつて大気室15a側に復帰し、刷毛17
aはキヤツプ部材4の内面より離れ、塗布が停止
する。このとき、第1および第2の排気路7,1
0内も大気圧に戻るので、キヤツプ部材4の吸着
状態および連結部5cと連結部9との連結状態が
解除される。続いてターンテーブル6がキヤツプ
部材放出回転位置まで回転し、塗布済みのキヤツ
プ部材の放出処理に移る。
以上のように、この考案によれば、被塗布体保
持部と駆動部との連結状態の保持および塗布液供
給用パイプの先端の塗布位置へのセツテイング
を、第2の排気路および減圧室を減圧することに
よつて連動して行えるので、排気ポンプ等の排気
系からなる簡単な機械的構成で被塗布体の保持お
よび塗布処理を確実に行える利点を有する。ま
た、被塗布体の保持および塗布処理が電気的制御
によらず、排気系の減圧、昇圧動作で実行される
ので、防爆性に優れている利点を有し、引火性の
強いシール液等の塗布にも適用できる。
持部と駆動部との連結状態の保持および塗布液供
給用パイプの先端の塗布位置へのセツテイング
を、第2の排気路および減圧室を減圧することに
よつて連動して行えるので、排気ポンプ等の排気
系からなる簡単な機械的構成で被塗布体の保持お
よび塗布処理を確実に行える利点を有する。ま
た、被塗布体の保持および塗布処理が電気的制御
によらず、排気系の減圧、昇圧動作で実行される
ので、防爆性に優れている利点を有し、引火性の
強いシール液等の塗布にも適用できる。
第1図はこの考案の塗布装置の配置図、第2図
は同塗布装置の真空シリンダー部3の構造断面
図、第3図は同真空シリンダー部3の塗布液供給
用パイプ17の先端要部を拡大して示した切欠断
面図である。 1……被塗布体保持部、2……駆動部、3……
真空シリンダー部、4……キヤツプ部材(被塗布
体)、5……台座、5a……キヤツプ部材受け、
5c……(台座5の)連結部、7……第1の排気
路、9……連結部、10……第2の排気路、11
……モータ部、13a……可撓性排気管、13b
……排気管、14……排気ポンプ、15……シリ
ンダー、15a……大気室、15b……減圧室、
16……ピストン、17……塗布液供給用パイ
プ、18……塗布液タンク、24……塗布液。
は同塗布装置の真空シリンダー部3の構造断面
図、第3図は同真空シリンダー部3の塗布液供給
用パイプ17の先端要部を拡大して示した切欠断
面図である。 1……被塗布体保持部、2……駆動部、3……
真空シリンダー部、4……キヤツプ部材(被塗布
体)、5……台座、5a……キヤツプ部材受け、
5c……(台座5の)連結部、7……第1の排気
路、9……連結部、10……第2の排気路、11
……モータ部、13a……可撓性排気管、13b
……排気管、14……排気ポンプ、15……シリ
ンダー、15a……大気室、15b……減圧室、
16……ピストン、17……塗布液供給用パイ
プ、18……塗布液タンク、24……塗布液。
Claims (1)
- 被塗布体を保持する台座を備え、その台座の被
塗布体受面に連通し、かつ下端にて開口した第1
の排気路が形成され、回転自在に保持された被塗
布体保持部と、前記被塗布体保持部の下端に連結
し、その連結時に前記第1の排気路に連通する第
2の排気路が形成された連結部と、その連結部を
回転駆動する駆動部と、塗布液を貯蔵する塗布液
タンクと、その塗布液タンクに連通する塗布液供
給用パイプと、前記塗布液供給用パイプが固定さ
れたピストンによつて大気室と減圧室に分けられ
たシリンダーを含むパイプ移動部と、前記第2の
排気路と前記減圧室を減圧する減圧手段と、を有
し、前記台座に被塗布体を載置し、かつ前記連結
部を介して前記被塗布体保持部と前記駆動部とを
連結し、前記第2の排気路と前記減圧室を減圧す
ることによつて、載置した被塗布体が前記台座に
吸着されるとともに、前記塗布液供給用パイプの
先端が所定の塗布位置に移動するようにした塗布
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14066182U JPS5944572U (ja) | 1982-09-16 | 1982-09-16 | 塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14066182U JPS5944572U (ja) | 1982-09-16 | 1982-09-16 | 塗布装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5944572U JPS5944572U (ja) | 1984-03-24 |
JPS6218281Y2 true JPS6218281Y2 (ja) | 1987-05-11 |
Family
ID=30314853
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14066182U Granted JPS5944572U (ja) | 1982-09-16 | 1982-09-16 | 塗布装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5944572U (ja) |
-
1982
- 1982-09-16 JP JP14066182U patent/JPS5944572U/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5944572U (ja) | 1984-03-24 |
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