JPS62177454A - 半導体ウエ−ハの電気的特性測定用プロ−ブ針 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体ウェーハ（以下に単にウェーハと云う
）上のＩＣ，ＬＳＩ等の電気的特性を測定する為のプロ
ーブ針に関する。

（従来の技術） 従来、第６図に示すウェーハ１上のＩＣ，ＬＳＩ等の電
気的特性を測定するのに、高い周波数領域でも電気的特
性の測定可能なプローブ針として、第５図に示す如く同
軸ケーブル３の先端中心に信号線４を突出し、同軸ケー
ブル３の先端外周にグランド部５を取付けてその尖端を
信号線４の尖端に平行に２００μ程度接近させて成る同
軸型プローブ針６を、第６図の如く計測器７のｘ、ｙ、
ｚ軸方向に移動可能なアーム８にセットし、ウェーハ１
上のＩＣ，ＬＳＩ等のパッド２に接触させて電気的特性
を測定する方法が採られている。

（発明が解決しようとする問題点） ところで、上記同軸型プローブ針６は、信号線４とグラ
ンド部５が同軸ケーブル３の先端で敗報にわたって同軸
構造をとらない為、特性インピーダンスがその部分で変
化してしまい、高周波数領域での正確な電気的特性測定
ができなかった。また、この構造では多端子化が不可能
であった。

一方、近時ＩＣ，ＬＳＩは高密度、高速化の開発が進め
られ、これに伴いこれらを評価する為のプローバとして
は、特性インピーダンスの安定化、多端子化、ウェーハ
上のバッドとの確実なコンタクトを図れるプローブ針を
備えることが必要で、これの開発が急がれている。

そこで、本発明は、特性インピーダンスの設定に対する
安定化、多端子化、確実なコンタクトを達成でき、高周
波数領域で正確な電気的特性測定をできるプローブ針を
提供しようとするものである。

（問題点を解決するための手段） 上記問題点を解決するための本発明のプローブ針は、誘
電体基板上に、伝送線路を複数列平行に設け、この各伝
送線路の先端部に、めっきにより隆起部を形成し、この
隆起部を接触部となしたことを特徴とする。

（実施例） 本発明のプローブ針の一実施例を第１図によって説明す
る。１０はアルミナ（ＡＪ！０３）より成る長さ４０ｇ
１ｍ、幅１０龍、厚さ０．６龍の誘電体基板で、この誘
電体基板１０上の長手方向に厚さ３μ、幅１５０μのＣ
ｕより成る伝送線路１１が２００μの間隔を存して３列
平行に設けられている。各伝送線路１１上の先端部には
Ａｕめっきにより高さ８０μ、長さ３００μ、上面幅１
５０μの断面台形状の隆起部１２が誘電体基板１０の先
端面より５０μ突出して設けられ、この隆起部１２が接
触部となっている。

第２図に示す他の実施例は、誘電体基板ｌｏ上に設けた
各伝送線路１１上の先端部に、Ａｕ−３ｉめっきにより
高さ８０μ、長さ２００μの断面カマボコ形状の隆起部
１２′を設け、この隆起部１２′を接触部となしたもの
である。

第３図に示す他の実施例は、誘電体基板１０上に設けた
各伝送線路１１上の先端部に、Ａｕめっき後成形により
球径１００μの球状隆起部１２“を３個づつ連ねて設け
、この球状隆起部１２″を接触部となしたものである。

上述の如く本発明のプローブ針１３．１３’、１３”は
、誘電体基板１０上に伝送線路１１が３列平行に設けら
れているので、伝送線路１１はストリップ線路構造とな
っていて、伝送線路１１の特性インピーダンスには変化
は無く、どの部分でも一定である。

そこで、実施例のプローブ針、例えばプローブ針’１３
を第４図に示す如く、計測器７のＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に移
動可能なアーム８にセットし、ウェーハｌ上のＩＣ，Ｌ
ＳＩ等のバッド２に接触させて、電気的特性を測定した
処、高周波数領域で、本例では３０ＧＨ２の高周波数で
正確に電気的特性測定ができた。また、この測定を繰り
返し行っても、各伝送線路１１上の先端部にはめっきに
よりＡｕの隆起部１２を設けて接触部としているので、
伝送線路１１の消耗が無く、測定するＩＣ，ＬＳＩ等の
バッド２との接触も安定する。特に隆起部１２を誘電体
基板ｌＯの先端より突出させた図示のプローブ針１３に
おいては、電気的特性測定時、顕微鏡にてつ工−ハ１上
のＩＣ，ＬＳＩ等のバッド２と位置合わせする際、接触
部分が誘電体基板１０の外側に見えるので、簡単に位置
合わせできて測定作業が能率良く行われる。

尚、上記実施例のプローブ針１３．１３’、１３”の誘
電体基板１０は、アルミナより成るが石英でも良いもの
である。また、上記実施例では伝送線路１１が３列であ
るが、これに限るものではなく、２列以上何列でも良い
もので、数１０列、数１００列等の場合もある。

さらに伝送線路１１の表面にはＡｕめっきを施しても良
いものである。

（発明の効果） 以上の説明で判るように本発明のプローブ針は、誘電体
基板上に、伝送線路を複数列平行に設けたものであるか
ら、伝送線路はストリップ線路構造となっている。従っ
て、特性インピーダンスの設定を安定化させることがで
き、また各伝送線路はどの部分でも特性インピーダンス
を一定化でき、さらに複数列の伝送線路によって多端子
化が実現できる。その上、本発明のプローブ針は、複数
列の伝送線路上の先端部にめっきにより導電性の隆起部
を形成して接触部としているので、伝送線路の消耗が無
（、測定物の接触も安定し、特に隆起部を誘電体基板の
先端より突出した場合は、顕微鏡で測定物との位置合わ
せすることが容易となる。

かくして、高密度、高速化されるウェーハ上のＩＣ，Ｌ
ＳＩ等の高周波数領域での電気的特性の測定を正確、確
実に安定して行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図は夫々本発明のプローブ針の実施例を
示す斜視図、第４図は第１図のプローブ針の使用状態を
示す概略図、第５図は従来の同軸型プローブ針の斜視図
、第６図は第５図の同軸型プローブ針の使用状態を示す
概略図である。 出願人　　田中貴金属工業株式会社 １３″・・・アローフ・・４丁

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　誘電体基板上に、伝送線路を複数列平行に設け、この
   各伝送線路の先端部に、めっきにより隆起部を形成し、
   この隆起部を接触部となしたことを特徴とする半導体ウ
   ェーハの電気的特性測定用プローブ針。