JPS62152674A - 研削砥石の目詰り防止装置 - Google Patents
研削砥石の目詰り防止装置Info
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- JPS62152674A JPS62152674A JP61208566A JP20856686A JPS62152674A JP S62152674 A JPS62152674 A JP S62152674A JP 61208566 A JP61208566 A JP 61208566A JP 20856686 A JP20856686 A JP 20856686A JP S62152674 A JPS62152674 A JP S62152674A
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- grindstone
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- grinding
- liquid
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B53/00—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces
- B24B53/007—Cleaning of grinding wheels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、研削作業中における研削砥石の目詰りを防止
し、または偏摩耗、目詰りを起こした研削砥石のドレッ
シングを行なうようにした研削砥石の目詰り防止装置に
関する。
し、または偏摩耗、目詰りを起こした研削砥石のドレッ
シングを行なうようにした研削砥石の目詰り防止装置に
関する。
（従来技術）
４械８１（品等の機械加工を行なう１手段として研削加
工があり、加工表面粗さを小さくできることや加工寸法
精度を高くすることができること等の利点の故に、研削
加工は広く用いられている。研削加工を行なうには、砥
粒をボンドで固めて作った砥石を回転させながら被削材
に当接させ、被削材の研削を行なうようにするのが通常
である。この砥石による研削を行なった場合に、必然的
に研削された被剛材の切粉が砥粒の間のボンド内に入り
込んで砥石の目詰りを生ぜしめる。この目詰りか生じた
場合、研削能力が低下し加工能力を低下させ、加工中に
おいて振動を生じさせるという問題があり、さらにはこ
の振動により砥石の損傷が生じる。ｌＩ３それがあると
いう問題がある。
工があり、加工表面粗さを小さくできることや加工寸法
精度を高くすることができること等の利点の故に、研削
加工は広く用いられている。研削加工を行なうには、砥
粒をボンドで固めて作った砥石を回転させながら被削材
に当接させ、被削材の研削を行なうようにするのが通常
である。この砥石による研削を行なった場合に、必然的
に研削された被剛材の切粉が砥粒の間のボンド内に入り
込んで砥石の目詰りを生ぜしめる。この目詰りか生じた
場合、研削能力が低下し加工能力を低下させ、加工中に
おいて振動を生じさせるという問題があり、さらにはこ
の振動により砥石の損傷が生じる。ｌＩ３それがあると
いう問題がある。
このため、従来から砥石の目詰りが生じた場合にはドレ
ッシングを行ない目詰りした切粉を除去しているが、加
工能率等の観点から砥石の目詰りはできる限り少なくし
て、ドレッシングのｉｖ１度を下げることが望ましい。
ッシングを行ない目詰りした切粉を除去しているが、加
工能率等の観点から砥石の目詰りはできる限り少なくし
て、ドレッシングのｉｖ１度を下げることが望ましい。
（発明の目的）
本発明は上記の様な事情に鑑みてなされたもので、研削
加工中において砥石内に入り込んだ切粉を除去して砥石
の目詰りを効果的に防止できるようにした目詰り防止装
置を提供することを目的とするものである。
加工中において砥石内に入り込んだ切粉を除去して砥石
の目詰りを効果的に防止できるようにした目詰り防止装
置を提供することを目的とするものである。
また、本発明は、目詰りした砥石のドレッシングを効果
的に行なえるようにすることを目的とする。
的に行なえるようにすることを目的とする。
さらに、本発明の目詰り防止装置は、研削加工中に研削
部に冷却水を供給してこの部分を冷部しながら研削加工
を行なう通常みられる研削盤や、研削砥石を取り付ける
ことのできるマシニングセンタ等の研削機械に適用する
ことを目的とするものである。
部に冷却水を供給してこの部分を冷部しながら研削加工
を行なう通常みられる研削盤や、研削砥石を取り付ける
ことのできるマシニングセンタ等の研削機械に適用する
ことを目的とするものである。
（発明の構成）
本発明の目詰り防止装置は、研削砥石に対する対向部材
Ｍおよび液体供給装置からなっているとともに、前記対
向部材が砥石面の所定長さに沿って配置され、しかも、
砥石面との間に微小間隙を形成し、また、前記液体供給
装置が研削砥石の回転方向を基準にしたときに、前記対
向部材Ｍの手前側にあって前記微小間隙内に切粉の排除
液を供給できるように配置したことを特徴とするもので
ある。
Ｍおよび液体供給装置からなっているとともに、前記対
向部材が砥石面の所定長さに沿って配置され、しかも、
砥石面との間に微小間隙を形成し、また、前記液体供給
装置が研削砥石の回転方向を基準にしたときに、前記対
向部材Ｍの手前側にあって前記微小間隙内に切粉の排除
液を供給できるように配置したことを特徴とするもので
ある。
（実 施 例）
以下、図面により本発明のｔｉｆましい実施例について
説明する。
説明する。
第１図は本発明に係る目詰り防止装置を示す正面概略図
である。研削盤（図示せず）等に取り付１ノられ中心点
○を中心として矢印へ方向に所定速度で回転する砥石１
は支持体１ａとこの支持体１ａの外周に形成された砥′
６層ｉｂとからなる。この磁石層１ｂは、ダイＡ７シン
ド、ＣＡＮ等の砥粒を結合剤（ボンド）により結合させ
てなるもので支持体１ａの外周にほぼ均一の厚さで固着
されている。研削盤はこの砥石１を回転させるとともに
回転している砥石１の外周面（すなわち砥石５ｉｂ＞を
被削材（図示せず）に当接させて被剛材の研削を行なわ
せるものであるが、本発明においては砥石１の研削を行
なう部分から離れた外周面と対向して対向部材Ｍを配設
してなる。
である。研削盤（図示せず）等に取り付１ノられ中心点
○を中心として矢印へ方向に所定速度で回転する砥石１
は支持体１ａとこの支持体１ａの外周に形成された砥′
６層ｉｂとからなる。この磁石層１ｂは、ダイＡ７シン
ド、ＣＡＮ等の砥粒を結合剤（ボンド）により結合させ
てなるもので支持体１ａの外周にほぼ均一の厚さで固着
されている。研削盤はこの砥石１を回転させるとともに
回転している砥石１の外周面（すなわち砥石５ｉｂ＞を
被削材（図示せず）に当接させて被剛材の研削を行なわ
せるものであるが、本発明においては砥石１の研削を行
なう部分から離れた外周面と対向して対向部材Ｍを配設
してなる。
この対向部材Ｍは砥石１外周面の所定長さえ（通常５Ｍ
以上）に沿って大きさｔの微少間隙５を有して対向する
ように配される。なお、微小間隙５の幅は通常、砥石幅
に依存する。実際上は、円板（筒）状の対向部材Ｍを砥
石１により研削して図示の如く所定長免にわたって砥石
１の外周面と対向するようになし、上記研削を終了した
時点で砥石１の外周面と対向部材Ｍとの間に生じる間隙
により微少間隙５を（ｑるようにしている。このため、
対向部材Ｍは砥石１による研削によって砥石１へ与える
影響が小さい比較的軟らかい材料で作るのが好ましい。
以上）に沿って大きさｔの微少間隙５を有して対向する
ように配される。なお、微小間隙５の幅は通常、砥石幅
に依存する。実際上は、円板（筒）状の対向部材Ｍを砥
石１により研削して図示の如く所定長免にわたって砥石
１の外周面と対向するようになし、上記研削を終了した
時点で砥石１の外周面と対向部材Ｍとの間に生じる間隙
により微少間隙５を（ｑるようにしている。このため、
対向部材Ｍは砥石１による研削によって砥石１へ与える
影響が小さい比較的軟らかい材料で作るのが好ましい。
このようにして形成された長さ免の微少間隙５に対して
、砥石１の回転進行方向く矢印へ方向）の手前側（Ｂ側
）から水、冷ＩＪｌ液等の液体を供給する液体供給装置
の主要部分であるノズル３が配されて、ノズル３から供
給された液体は図中Ｂ側から微少間隙５内に入り込み、
反対側の図中Ｃ側から排出される。この時に、微少間隙
５内においてはＢ側からＣ側にかけて急激な液圧変動が
生じ、この液圧変動により砥石１内に入り込んだ切粉を
排除して砥石の目詰りを防止するものである。
、砥石１の回転進行方向く矢印へ方向）の手前側（Ｂ側
）から水、冷ＩＪｌ液等の液体を供給する液体供給装置
の主要部分であるノズル３が配されて、ノズル３から供
給された液体は図中Ｂ側から微少間隙５内に入り込み、
反対側の図中Ｃ側から排出される。この時に、微少間隙
５内においてはＢ側からＣ側にかけて急激な液圧変動が
生じ、この液圧変動により砥石１内に入り込んだ切粉を
排除して砥石の目詰りを防止するものである。
すなわち、砥石に対向して設けられた対向部材Ｍと砥石
間に設けられた微少間（’；り隙に供給された液は、砥
石回転に依り微少空隙（間隙ｆａｔ）に強制導引され、
空隙に依る体積減少の結果、砥石軸に対する求心方向成
分の液圧も上昇することとなる。
間に設けられた微少間（’；り隙に供給された液は、砥
石回転に依り微少空隙（間隙ｆａｔ）に強制導引され、
空隙に依る体積減少の結果、砥石軸に対する求心方向成
分の液圧も上昇することとなる。
この上昇しだ液圧成分は空隙終端部に於て急激に変化す
ることとなる。終端に於る変化分は、見かけ上角の液圧
として切粉に作用することとなり、砥石に付着した切粉
を砥石より′ｔｉ離させることとなる。
ることとなる。終端に於る変化分は、見かけ上角の液圧
として切粉に作用することとなり、砥石に付着した切粉
を砥石より′ｔｉ離させることとなる。
さらに、本実施例においては対向部ＵＭと砥石１の間に
電源４の電圧が印加されるようになっており、この電圧
は上記微少間隙５内の液体に印ｊノロされる。このため
、砥石１の外周面に付着した切粉はこの印加された電圧
により帯電され離合、集散の運動エネルギーを１ｑて砥
石１の外周面から離脱することになり、砥石の目詰り防
止効果が促進される。すなわら、空隙路１！１ｌｌ（ｔ
）間に電圧をかけることに依り、対向部材Ｍと砥石間に
電界を作る空隙中の物体は、電荷を得ることとなり帯電
することとなる。帯電した物体は電荷に依る吸引、反溌
することとなり運動エネルギーを１ｑる。これは、液圧
に依る切粉（微粉）の砥石からの遊ジ【作用を補完する
こととなる。なａ３、電源４としては交・直流いずれで
もよいが、エネルギー変動の大きい交流が好ましい。な
お、この場合は対向部材Ｍは電極として作用するもので
あり、導電性材料から作られるもので、例えばカーボン
等から作られる。
電源４の電圧が印加されるようになっており、この電圧
は上記微少間隙５内の液体に印ｊノロされる。このため
、砥石１の外周面に付着した切粉はこの印加された電圧
により帯電され離合、集散の運動エネルギーを１ｑて砥
石１の外周面から離脱することになり、砥石の目詰り防
止効果が促進される。すなわら、空隙路１！１ｌｌ（ｔ
）間に電圧をかけることに依り、対向部材Ｍと砥石間に
電界を作る空隙中の物体は、電荷を得ることとなり帯電
することとなる。帯電した物体は電荷に依る吸引、反溌
することとなり運動エネルギーを１ｑる。これは、液圧
に依る切粉（微粉）の砥石からの遊ジ【作用を補完する
こととなる。なａ３、電源４としては交・直流いずれで
もよいが、エネルギー変動の大きい交流が好ましい。な
お、この場合は対向部材Ｍは電極として作用するもので
あり、導電性材料から作られるもので、例えばカーボン
等から作られる。
また、上記微少間隙５の大きさｔは小さい程、印加電圧
の効率が大きくなるので起きざｔはできる限り小さくす
るのが望ましい。具体的には液圧、液吊笠の条件によっ
て変化するが、通常は１Ｒ以下で好適範囲は０．０５〜
０．５ＮＲ程度である。供給される液体は間隙５に生ず
る電界強度を高めるため導電性を良くするのが好ましく
電解質水溶液等を用いるのが良い。
の効率が大きくなるので起きざｔはできる限り小さくす
るのが望ましい。具体的には液圧、液吊笠の条件によっ
て変化するが、通常は１Ｒ以下で好適範囲は０．０５〜
０．５ＮＲ程度である。供給される液体は間隙５に生ず
る電界強度を高めるため導電性を良くするのが好ましく
電解質水溶液等を用いるのが良い。
次に第１図の実施例に示す装置を用いた場合とこの装置
を用いない場合との研削能力の比較結果を１′！１表お
よび第２表に示す。
を用いない場合との研削能力の比較結果を１′！１表お
よび第２表に示す。
第 １ 表
切粉排除装置 切粉排除装置
付き（本発明） なしく従来）
対向部材Ｍ
間隙品 ０．０５ｍｍ
間隙長さ９． ４０Ｍ
間隙幅 １０Ｍ
液体供給装置
供給液 水
電源 ２４Ｖ ＡＣ
切込み深さ １．８ｔｒｍ ０．７
ｍｍ砥石送りスピード １５０Ｍ／分 ５０ｍｍ１
分ドレッシングを必 要とする時間 ２４Ｈｒｓ以上 ２ ＨｒＳ被
研削材 炭化硅素（１７０Ｘ ５００Ｘ ！ｌ
）砥石寸法 ２０５φ×１０（幅）砥石回転
ｒ；１（周速） ３０００ｒｐｍ （１９００ｍ／分
）切込み幅 １ｏｍｍ切削液
水 主軸モータ出力 ３，７５ＫＷ第１表は被
研削材として炭化硅素（セラミック）材からなる１７０
ｇ ｘ ５００ｍｍ Ｘ ５ ｔｔｔｍ （ｔ ）の板
材を研削した場合の結果を示ずもので、砥石はダイヤモ
ンド砥石で両実験とも同一の砥石を用いている。
ｍｍ砥石送りスピード １５０Ｍ／分 ５０ｍｍ１
分ドレッシングを必 要とする時間 ２４Ｈｒｓ以上 ２ ＨｒＳ被
研削材 炭化硅素（１７０Ｘ ５００Ｘ ！ｌ
）砥石寸法 ２０５φ×１０（幅）砥石回転
ｒ；１（周速） ３０００ｒｐｍ （１９００ｍ／分
）切込み幅 １ｏｍｍ切削液
水 主軸モータ出力 ３，７５ＫＷ第１表は被
研削材として炭化硅素（セラミック）材からなる１７０
ｇ ｘ ５００ｍｍ Ｘ ５ ｔｔｔｍ （ｔ ）の板
材を研削した場合の結果を示ずもので、砥石はダイヤモ
ンド砥石で両実験とも同一の砥石を用いている。
従来の研削方法のままでは、切込み深さ０．７＃切込み
幅１０ｍｍで砥石送りスピードが５０．７分の条件によ
る研削を２時間行なうと砥石の目詰りが生じてドレッシ
ングが必要な状態となったが、本発明に係る目詰り防止
装置を取り付けた場合では切込み深さを１．８＃、砥石
送りスピードを１５０ｍ／分に上げたにも拘らず２４時
間以上ドレッシングなしで研削を続ｔブることかできた
。なお、対向部材Ｍの外部形状は第１図に示したものと
同形状のものを用いた。
幅１０ｍｍで砥石送りスピードが５０．７分の条件によ
る研削を２時間行なうと砥石の目詰りが生じてドレッシ
ングが必要な状態となったが、本発明に係る目詰り防止
装置を取り付けた場合では切込み深さを１．８＃、砥石
送りスピードを１５０ｍ／分に上げたにも拘らず２４時
間以上ドレッシングなしで研削を続ｔブることかできた
。なお、対向部材Ｍの外部形状は第１図に示したものと
同形状のものを用いた。
第 ２ 表
切？５）排除装置 切粉排除装置
付きく本発明） なしく従来）
対向部材Ｍ
間隙量 ０，０５ｍｍ
間隙長さ見 ３０ｔｒｖｎ
間隙幅 １０ｍ
液体供給装置
供給液 水
切込み深さ １，０４ ０．７ｍｍ砥
石送りスピード ９０屈／分 ４０＃／分ドレッ
シングを必 要とする時間 ２４Ｈｒｓ以上 ２ＨｒＳ被研
削材 ＨＩＰ窒化硅素 （６０ｘ６０ｘ ８） Ｘ２４個 砥石寸法 ２０５φ×１０（幅）砥石回転数
（周速） ３００Ｏｒｐｍ （１９００ｍ／分）切込
み幅 １０ＭＲ切削液
水 主軸モータ出力 ３．７５ＫＷ第２表は被
研削材としてＨＩＰ窒化窒化材素材なる６０ｇ Ｘ ６
０ｇｇＨＸ ８ ｍｍ （Ｌ ）の角材８個を３列（計
２４個）に並べたものを用いて研削した場合の結果を示
すもので、砥石は第１表の場合と同一のものを用いた。
石送りスピード ９０屈／分 ４０＃／分ドレッ
シングを必 要とする時間 ２４Ｈｒｓ以上 ２ＨｒＳ被研
削材 ＨＩＰ窒化硅素 （６０ｘ６０ｘ ８） Ｘ２４個 砥石寸法 ２０５φ×１０（幅）砥石回転数
（周速） ３００Ｏｒｐｍ （１９００ｍ／分）切込
み幅 １０ＭＲ切削液
水 主軸モータ出力 ３．７５ＫＷ第２表は被
研削材としてＨＩＰ窒化窒化材素材なる６０ｇ Ｘ ６
０ｇｇＨＸ ８ ｍｍ （Ｌ ）の角材８個を３列（計
２４個）に並べたものを用いて研削した場合の結果を示
すもので、砥石は第１表の場合と同一のものを用いた。
従来の研削では、切込み深さ０．７Ｍ切込み幅１０ｍ、
で砥石送りスピードが４０．７分の条件による研削を２
時間行なうと砥石の目詰りが生じてドレッシングが必要
な状態となったが本発明に係る目詰り防止装置を取り付
けた場合では切込み深さを１．ｏｍｍ、砥石送りスピー
ドを９０ｍｍ１分に上げたにも拘らず２４時間以上ドレ
ッシングなしで研削を続けることができた。この場合の
対向部材Ｍし第１図に示したものと同形状のものを用い
た。しかし電源４は配置しないようにした。
で砥石送りスピードが４０．７分の条件による研削を２
時間行なうと砥石の目詰りが生じてドレッシングが必要
な状態となったが本発明に係る目詰り防止装置を取り付
けた場合では切込み深さを１．ｏｍｍ、砥石送りスピー
ドを９０ｍｍ１分に上げたにも拘らず２４時間以上ドレ
ッシングなしで研削を続けることができた。この場合の
対向部材Ｍし第１図に示したものと同形状のものを用い
た。しかし電源４は配置しないようにした。
第２図および第３図はそれぞれ本発明に係る目詰り防止
装置の異なる実施例を示す正面概略図である。第２図の
例においては微少間隙５を形成する対向部材Ｍの砥石１
外周面との対向面に窪み２ａ。
装置の異なる実施例を示す正面概略図である。第２図の
例においては微少間隙５を形成する対向部材Ｍの砥石１
外周面との対向面に窪み２ａ。
２ｂを形成し、これにより微少間隙５内での液圧変動を
大きくし、切わ）排除効果を増大させるものである。第
３図の例においては、対向部材Ｍの内部を貫通して微少
間隙５内へ開口する液流供給通路２Ｃを形成し、この通
路２Ｃから微少間隙５内へ噴出する液流によって微少間
隙５内での液圧変動を大きくし、切粉排除効果を大きく
するものである。
大きくし、切わ）排除効果を増大させるものである。第
３図の例においては、対向部材Ｍの内部を貫通して微少
間隙５内へ開口する液流供給通路２Ｃを形成し、この通
路２Ｃから微少間隙５内へ噴出する液流によって微少間
隙５内での液圧変動を大きくし、切粉排除効果を大きく
するものである。
また、このことかられかるようにノズル３を対向部材Ｍ
と一体的に作り、ノズル先端と砥石との間隙を小さくし
てノズルからの液圧により切粉排除効果を得るようにし
てもよい。
と一体的に作り、ノズル先端と砥石との間隙を小さくし
てノズルからの液圧により切粉排除効果を得るようにし
てもよい。
本発明の目詰り防止装置は、以上説明したように砥石の
目詰りを効果的に防止してドレッシング瀕度を大幅に低
下できる。
目詰りを効果的に防止してドレッシング瀕度を大幅に低
下できる。
また、本発明の目詰り防止装置は、当然のことながら目
詰りした研削砥石のドレッシングも行ない得る。ずなわ
ら、ドレッシングは、本発明では、第４図で示されてい
るように目詰りした砥石１の砥石面にドレッシング用の
砥石６を当接して行なうが、これに０１せて対向部材Ｍ
および液体供給装置からなる目詰り防止装置を配置１れ
ばよいからである。
詰りした研削砥石のドレッシングも行ない得る。ずなわ
ら、ドレッシングは、本発明では、第４図で示されてい
るように目詰りした砥石１の砥石面にドレッシング用の
砥石６を当接して行なうが、これに０１せて対向部材Ｍ
および液体供給装置からなる目詰り防止装置を配置１れ
ばよいからである。
しかしながら、本発明の装置における対向部材Ｍ中にド
レッシング用の砥粉を含有させておけば、第４図にみら
れるドレッシング用の砥石６を省略することができる。
レッシング用の砥粉を含有させておけば、第４図にみら
れるドレッシング用の砥石６を省略することができる。
なお、以上においては砥石の外周面において研削を行な
う場合での目詰り防止装置について説明したが、砥石の
円形側面に砥石層を環状に設け、この側面の砥石層によ
り研削を行なう場合の目詰り防止装置を第５図により説
明する。この場合、砥石１′は支持体１ａ’ とこの支
持体１ａ’の円形側面に形成された砥石層１ｂ′ とか
らなり、この砥石層１ｂ’ に側方から対向部材Ｍ′が
配される。そして、この対向部材Ｍ′と砥石層１ｂ’
との間の微小間隙（大きさｔ）内に回転方向（へ方向）
手前側から液体供給装置のノズル３′により液体が供給
される。この液体供給による目詰り防止作用は第１図の
場合と同じなので、以下その説明は省略する。
う場合での目詰り防止装置について説明したが、砥石の
円形側面に砥石層を環状に設け、この側面の砥石層によ
り研削を行なう場合の目詰り防止装置を第５図により説
明する。この場合、砥石１′は支持体１ａ’ とこの支
持体１ａ’の円形側面に形成された砥石層１ｂ′ とか
らなり、この砥石層１ｂ’ に側方から対向部材Ｍ′が
配される。そして、この対向部材Ｍ′と砥石層１ｂ’
との間の微小間隙（大きさｔ）内に回転方向（へ方向）
手前側から液体供給装置のノズル３′により液体が供給
される。この液体供給による目詰り防止作用は第１図の
場合と同じなので、以下その説明は省略する。
又、以上の説明においては研削盤に取り付けられた砥石
を例に挙げて説明したが、これ以外の工作機械、例えば
マシニングセンタに研削砥石を取付けて加工する場合に
おいても本発明の目詰り防止装置を用いることができる
。
を例に挙げて説明したが、これ以外の工作機械、例えば
マシニングセンタに研削砥石を取付けて加工する場合に
おいても本発明の目詰り防止装置を用いることができる
。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明によれば砥石面と微少間隙
を有して対向部材Ｍを配し、砥石回転中にこの微少間隙
内へ回転進行方向手前側から所定の液体を供給するよう
にしているので、この微少間隙内へ入り込んだ液体の液
圧変動により砥石面に付着した切粉の排除を行なうこと
ができ、ドレッシングの必要瀕度を低下させることがで
きる。
を有して対向部材Ｍを配し、砥石回転中にこの微少間隙
内へ回転進行方向手前側から所定の液体を供給するよう
にしているので、この微少間隙内へ入り込んだ液体の液
圧変動により砥石面に付着した切粉の排除を行なうこと
ができ、ドレッシングの必要瀕度を低下させることがで
きる。
また、偏摩耗を起した砥石、目詰りを起した砥石等に対
するドレッシングについても本発明の′ＪＡ置を適用し
、ドレッシングの時間の短縮を図ることができる。さら
に、砥石と対向部材Ｍとの間に電圧を印加して、微少間
隙内に電位差を生ぜしめることにより、切粉の排除効果
を一層高めることができる。
するドレッシングについても本発明の′ＪＡ置を適用し
、ドレッシングの時間の短縮を図ることができる。さら
に、砥石と対向部材Ｍとの間に電圧を印加して、微少間
隙内に電位差を生ぜしめることにより、切粉の排除効果
を一層高めることができる。
また、本発明に係る目詰り防止装置は、砥石に対向する
対向部材Ｍ、液体供給手段、電圧印加手段等を取り付け
るだけなので、既存の研削盤にも若干の改造を加えるだ
けで装着できるという利点を有する。
対向部材Ｍ、液体供給手段、電圧印加手段等を取り付け
るだけなので、既存の研削盤にも若干の改造を加えるだ
けで装着できるという利点を有する。
第１図は本発明に係る目詰り防止装置を示す正面概略図
、 第２図から第５図はそれぞれ本発明に係る目詰り防止装
置の異なる実施例を示す正面概略図である。 １・・・砥 石 ３・・・液体供給ノズル４・
・・電源 ５・・・微少間隙Ｍ・・・対向部
材 第１図 第２図 第３図 家” 第５図
、 第２図から第５図はそれぞれ本発明に係る目詰り防止装
置の異なる実施例を示す正面概略図である。 １・・・砥 石 ３・・・液体供給ノズル４・
・・電源 ５・・・微少間隙Ｍ・・・対向部
材 第１図 第２図 第３図 家” 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）研削作業中における研削砥石の目詰りを防止し、ま
たは偏摩耗、目詰りを起こした研削砥石のドレッシング
を行なうようにした目詰り防止装置において、 前記目詰り防止装置は、研削砥石に対向する対向部材Ｍ
および液体供給手段からなり、 前記対向部材Ｍは、研削砥石の砥石面の所定長さに沿っ
て配置され、しかも砥石面との間には微小間隙を形成し
ており、 前記液体供給手段は、研削砥石の回転方向を基準とした
ときに、前記対向部材Ｍの手前側にあって前記微小間隙
内に切粉の排除液が供給されるように配置されているこ
とを特徴とする研削砥石の目詰り防止装置。 ２）前記対向部材Ｍは、導電性材料からなるとともに、
前記研削砥石との間には、前記微小間隙内に供給された
切粉の排除液を介して電位差が生じるようにした電源が
備えられている特許請求の範囲第１項記載の研削砥石の
目詰り防止装置。 ３）前記微小間隙は、間隙量ｔが１ｍｍ以下で、その長
さｌが５ｍｍ以上に設定されている特許請求の範囲第１
項または第２項記載の研削砥石の目詰り防止装置。 ４）前記対向部材Ｍがドレッシング用の砥粒を含んだ材
料から形成されている特許請求の範囲第１項または第３
項記載の目詰り防止装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60-196773 | 1985-09-05 | ||
| JP19677385 | 1985-09-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62152674A true JPS62152674A (ja) | 1987-07-07 |
Family
ID=16363387
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61208566A Pending JPS62152674A (ja) | 1985-09-05 | 1986-09-04 | 研削砥石の目詰り防止装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4712334A (ja) |
| JP (1) | JPS62152674A (ja) |
| DE (1) | DE3630189A1 (ja) |
| GB (1) | GB2181979A (ja) |
| IT (1) | IT1197156B (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4123850A1 (de) * | 1991-07-18 | 1992-10-08 | Zeiss Carl Fa | Vorrichtung und verfahren zum regenerieren von rotierenden praezisen schleifwerkzeugen |
| US5564970A (en) * | 1994-11-17 | 1996-10-15 | Hewlett-Packard Company | Method and apparatus for creating or restoring high friction surface to media roller |
| US5830043A (en) * | 1997-04-14 | 1998-11-03 | Ic Mic-Process, Inc. | Chemical-mechanical polishing apparatus with in-situ pad conditioner |
| SG66487A1 (en) | 1997-07-11 | 1999-07-20 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Wafer polishing apparatus |
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| US7241206B1 (en) | 2006-02-17 | 2007-07-10 | Chien-Min Sung | Tools for polishing and associated methods |
| CN112894516B (zh) * | 2021-03-01 | 2022-12-20 | 上海申菲激光光学系统有限公司 | 一种晶圆加工用切面抛光设备 |
| US20220371156A1 (en) * | 2021-05-21 | 2022-11-24 | GM Global Technology Operations LLC | Automatic adjusting hydro-mechanical fluid nozzle apparatus |
Family Cites Families (5)
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|---|---|---|---|---|
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-
1986
- 1986-08-28 US US06/901,198 patent/US4712334A/en not_active Expired - Fee Related
- 1986-09-04 GB GB08621365A patent/GB2181979A/en not_active Withdrawn
- 1986-09-04 JP JP61208566A patent/JPS62152674A/ja active Pending
- 1986-09-04 IT IT21588/86A patent/IT1197156B/it active
- 1986-09-04 DE DE19863630189 patent/DE3630189A1/de not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4712334A (en) | 1987-12-15 |
| DE3630189A1 (de) | 1987-03-05 |
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| GB2181979A (en) | 1987-05-07 |
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