JPS6214427A - Lsi設計用図形入力編集装置 - Google Patents

Lsi設計用図形入力編集装置

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Publication number
JPS6214427A
JPS6214427A JP60153519A JP15351985A JPS6214427A JP S6214427 A JPS6214427 A JP S6214427A JP 60153519 A JP60153519 A JP 60153519A JP 15351985 A JP15351985 A JP 15351985A JP S6214427 A JPS6214427 A JP S6214427A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pieces
pattern
repeat
display
repeat pattern
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60153519A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroko Ugata
宇賀田 裕子
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP60153519A priority Critical patent/JPS6214427A/ja
Publication of JPS6214427A publication Critical patent/JPS6214427A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、LSIのレイアウト設計用図形入力編集装置
に関する。
〔従来の技術〕
LSIのマスクパターンのレイアウトKU、同じ図形の
組み合わせの&シ返しで構成されている部分が多く含ま
れている。それで、多くのLSI設計用図形入力編集装
置には、ある選ばれたパターンから、それ2向じパター
ンデータを、X方向。
Y方向に、あたえられた個数、あたえられた距離(ピッ
チ)ごとに自動発生する、という機能をもっている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
ところで、発生したパターンデータの個数が正しいかと
うか、発生後直ちに確認する必要がある。
グラフィック・ディスプレイに表示されたパターンの個
数を実際に目視で数えて確認する方法では、発生させた
パターンの個数が多い場合(たとえは、ROM−RAM
5パターン)、一画面にすべての発生パターンを表示さ
せると、ひとつひとつのパターンの表示上の大きさが小
さくなシ、人間の目で数えることは、非常に国難である
。この様なことから、周辺部との接続ズレなどのケアレ
スミスを起こし易く、又、その様々ミスを発見しにくい
要因にも力っている。
〔問題点を解決するための手段〕
上記問題点に対し、本発明では、ひとつのパターンから
くシ返しパターンを自動発生させると同時に、X@Y方
向に発生個数の目やすとなるスケールをグラフィック・
ディスプレイ上に表示づせる。
〔実施例〕
次に1本発明を実施例によシ説明する。第1図は、本発
明を実施する図形入力編集装置の7ステム構成図である
。ここで、1&′i計算機、2は図形データ・コメント
などを表示するグラフィック・ティスプレィ、3はデー
タを記憶する記憶装置、4は図形を入力したシ、図形の
変更を行なったシなどの編集操作を行なわせるコマンド
を入力する為のキーボード、5は座標値入力装置(タブ
レット)である。その他、場合によシ、−集操作を簡便
にする為、各糧コマンド人力装置11(マウス−スタイ
ラスペンなど)を附属させることもできる。
ところで、一般に、図形入力編集装置には、記憶装*に
記憶されている図形データを表示させる為のコンポーネ
ントの他に、表示用のライブラリコンポーネント、例え
ばポリゴンコンポーネントなどが用意されている。この
表示用ポリゴンコンポーネントを利用して、スケールを
発生させる手段を述べる。
第2図は、く)返しパターンを発生して、スケールを表
示させる処理フローである。
記憶装置中の図形データの中から、くシ返しパターンを
発生させたい図形データは、コマンドを入力することに
よシ、あらかじめ選択しておく。
キーボードよシ、〈シ返しパターン発生コマンド及び、
パラメータ(座標軸のX方向への〈シ返し間隔・伽数、
Y方向へのくシ返し間隔・個数)を入力してやる。計叫
組よ、くシ返しパターン発生のパラメータを読み取り、
パラメータどうりの間隔2個数で選択されていたパター
ンと同様のパターンを配憶装置中に発生させる。(w、
3図)次に、スケールを発生させる。スケールは・発生
したくシ返しパターン群のアウトライン上に、ポリゴン
データとして発生きせる。くシ返し個数をカウントする
為の目もシ間隔は、目視で調べることが容易な様に、表
示場れている発生コンポーネントの数によって異なる様
にする。表示されている〈シ返しパターンのX方向、Y
方向への最大値、最小値を求め、し最大値−最小値)を
計算して表示されている個数を求め、その個数によりス
ケールの目もシ間隔を決定する。例えは、X方向に50
個の時祉、5個おき、100個の時は10個おき、10
個未満の時は、1個づつ、という具合にする。目もシ付
近には、この目もシが何個めかを示す数字を、表示用の
数字データを用いて表示する0(第4図) このスケール発生は、外部からスケール消去のコマンド
が入力され力い限り、個数確認などの目的で、表示場所
を変更する都度に行なわれる様にする。(第5図) 〔発明の効果〕 以上説明した様に、本発明は、図形入力編集装置におい
て、<シ返しパターンを発生させる際に、スケールを発
生するととKよシ、発生されたく夛返しパターンの個数
を正確に知ることができ、他のパターンとの接続などに
ミスをおこしにくくすることができる。例えは、スケー
ルの番号を参照することによシ、発生したパターン中の
目的とするパターンと接続する配線を、隣接するパター
ンと接続してしまった、などのケアレスミスが発生し難
く々る。
本発明は、既存のシステムにおいて、プログラムを追加
することKよシ容易に実現可能である。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明を実施する図形入力装置のシステム構
成図、第2図a1本発明の処理フロー、第3図は、くり
返しパターン発生、第4.5図は、スケール発生を表わ
したものである。 1・・・・・・計算機、2・・・・・・グラフィック・
ディスプレイ、3・・・・・・記憶装置、4・・・・・
・キーボード、5・・・・・・ディジタイザ、6・・・
・・・選択されたパターン、7・・・・・・スケール、
8・・・・・・表示わく。 ・ブ■、・11、 代理人 弁理士  内 原   晋、、・′・ ゛・\
〜、” 熟 1 口 無 2 園

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. LSI設計システムにおいてくり返しパターンを発生さ
    せる際に、このくり返しパターンの個数をスケール形式
    で表示させる機能をもつことを特徴とする、LSI設計
    用図形入力編集装置。
JP60153519A 1985-07-11 1985-07-11 Lsi設計用図形入力編集装置 Pending JPS6214427A (ja)

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JP60153519A JPS6214427A (ja) 1985-07-11 1985-07-11 Lsi設計用図形入力編集装置

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JPS6214427A true JPS6214427A (ja) 1987-01-23

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ID=15564307

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JP60153519A Pending JPS6214427A (ja) 1985-07-11 1985-07-11 Lsi設計用図形入力編集装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007093458A (ja) * 2005-09-29 2007-04-12 Hitachi High-Technologies Corp 荷電粒子ビーム装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007093458A (ja) * 2005-09-29 2007-04-12 Hitachi High-Technologies Corp 荷電粒子ビーム装置
JP4571053B2 (ja) * 2005-09-29 2010-10-27 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子ビーム装置
US7902505B2 (en) 2005-09-29 2011-03-08 Hitachi High-Technologies Corporation Charged particle beam apparatus

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