JPS62144103A - カラ−フイルタ− - Google Patents

カラ−フイルタ−

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Publication number
JPS62144103A
JPS62144103A JP60284822A JP28482285A JPS62144103A JP S62144103 A JPS62144103 A JP S62144103A JP 60284822 A JP60284822 A JP 60284822A JP 28482285 A JP28482285 A JP 28482285A JP S62144103 A JPS62144103 A JP S62144103A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
color filter
nitride film
layer
light resistance
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60284822A
Other languages
English (en)
Inventor
Sanemori Soga
眞守 曽我
Narihiro Sato
成広 佐藤
Masaaki Yoshino
芳野 公明
Tokihiko Shimizu
清水 時彦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP60284822A priority Critical patent/JPS62144103A/ja
Publication of JPS62144103A publication Critical patent/JPS62144103A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Optical Filters (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は透明基板上に着色層を形成して11q成される
カラーフィルタ〜に関するものであり、特に液晶カラー
ディスプレイ及び撮像管用のカラーフィルターの耐光性
向上に関する1、 従来の技術 ガラス等の透明基板上にゼラチン等の有機染色層を形成
した後、染料によって染色し、その染色層上に保護膜を
形成して構成されるカラーフィルターは液晶カラーディ
スプレイ用として実用化されている。しかし、このカラ
ーフィルターに、長時間強い光を照射すると退色して、
色が抜けてしまう。このように耐光性が悪いことがガラ
−フィルターを液晶カラーディスプレイとして用いる場
合、大きな問題となっている。
これに対してカラーフィルターの耐光性を高めるために
、染色層の上に設はプこ保;護膜の上に、ITO(イン
ジウムティンオキサイド)、酸化インジウム等の酸化膜
を形成している(特開昭60−112001号公報)。
発明が解決しようとする問題点 しかしながら、酸化膜を形成し/こたけては、不十分で
、キセノンランプで光を長時間照射すると、カラーフィ
ルターの透過率が変化し退色が起こる。
これば、ITO等の酸化膜がち糸な構造をしていないの
で、染料が光によって分解される時に必要となる物質、
例えば、酸素や水を遮断できないからである。
問題点を解決するための手段 透明基板上に着色層、窒化膜層及び透明電極層を順次積
層する。
本発明は改善された耐光性を有するカラーフィルターを
提供することを目的としている。
作   用 窒化膜は分子構造が3次元の網目構造をしているので、
ち密な膜である。そのため、染料の耐光性に悪い影響を
与える酸素や水の侵入を防止し、カラーフィルターの耐
光性を高めることができると考えられる。
実施例 第1図は本発明のカラーフィルターの断面図である。透
明基板1の上にRGBの着色層2(例えば、ゼラチン、
アクリル等の樹脂を染色したもの)と保護膜3(例えば
、ポリアミド、アクリル等)が形成されている。さらに
前記保護膜の上に窒化膜層4及び透明電極層6が設けで
ある−なお、[)11記着色層を染色法以外の方法、例
えば、印刷法、写真乾燥法等で形成する場合、前記保護
膜を用いなくてよい。この場合でも、i耐光性には悪い
影響を与えない。
本発明に用いる窒化膜層としては、窒化シリコン、窒化
ホウ素、窒化アルミニウム等が例としてあげられる。こ
れらの中でも、窒化シリコン膜が耐光性に対して、特に
よかった。膜厚としては、光の透過率に影響を与えない
0.5μm以下がよい。
窒化膜の形成法としては、スパッタ法あるいはプラズマ
法が例としてあげられる。窒化シリコンの場合は、プラ
ズマ法の方がピンホールの少ないち密な膜ができる。
透明電極層に用いられる材料としては、ITOもしくは
酸化スズが例として上げられる。
次に具体的な例を用いて本発明のカラーフィルターが耐
光性に優れていることを説明する。
なお耐光性試験には、分光測定が容易なように第2図に
示すカラーフィルターを用いた。2は着色層で、6はガ
ラス板である。また、フィルターに[RGBの中で一番
耐光性の弱いグリーンの染料を用いた。
実施例1 ガラス板(40×40x1.1mm)上に下記の組成の
ゼラチン溶液Aをスピンコードし、70℃で20分間プ
レベークした後第2図に示すパターンができるようなマ
スクをし、キセノンランプで光照射した(150mI/
crI>。
次に純水で、1分間超音波洗浄し、水をふき取った後1
50℃、10分間ポストベークした。
この試料をp H3に調整した0、5wt%の染料、性
液〔スミノールミーリングイエローMR(住友化学工業
(株)製)+チバクロンターコイズブルーTG−E(日
本チバガイギー(株)製)(s:1重量比)〕で50℃
に保ちながら、5分間染色し、流水で2分間洗浄後、室
温乾燥し、第2図に示すカラーフィルターを得た。
このカラーフィルターの着色層の上にアンモニ件は次の
通りとした。
アンモニアガス :      20m1/分シランガ
ス :        15m1/分キャリヤーガス(
窒素):   30m1/分真空度 :       
   0.8Torr高周波電源 :       1
3 、56 MHz00W 窒化シリコン膜のさらにその上に、透明電極層としてI
TOをスパッタ法で0.05μm形成した。
実施例2 実施例1において窒化シリコン膜の代わりに、窒化ホウ
素のスパッタ膜を0.05μm形成した。
実施例3 実施例1において窒化シリコン膜の代わりに、窒化アル
ミニウムのスパッタ膜を0.05μm形成した。
比較例 実施例1において、着色層の上に直接IT○のスパッタ
膜を0.05μm形成した。
実施例1〜3及び比較例の試料に、紫外線カツトフィル
ターを通して、キセノンフェードメーター(FAL−2
5AX−HC型、スガ試験機(株)〕で1000時間光
照射し、可視スペクトルの変化を調べた。
第3図は実施例1のカラーフィルターの光照射前の可視
スペクトルである。620 n mに透過率のピークが
見られる。実施例2〜3及び比較例も同じ形状、強度で
あった。
第4図は透過率スペクトルにおけるピーク相対強度の光
照射時間による変化を示す。初期値を100とした。図
から明らかなように、本発明のカラーフィルターは10
00時間照射後においても、相対強度が○〜2チ低下し
ているだけであった。l〜かし、比較例では、100時
間照射で81係に低下し、1000時間照射後では、4
4係に々っでいた。
上記の実施例では、着色層の上に保護膜を形成しない例
を示したが、保護膜を形成した場合でも、透過スペクト
ルの変化は、同じであった。
発明の効果 透明基板上に着色層と透明電鞭層を設けたカラーフィル
ターにおいて、着色層と電極層との間に窒化膜層を形成
することによりカラーフィルターの耐光性を飛躍的に向
上させることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例におけるカラーフィルタ〜の
断面図、第2図は耐光性試験に用いたカラーフィルター
の平面図、第3図は耐光性試験に用いたカラーフィルタ
ーの可視スペクトルヲ示スゲラフ、第4図は光照射によ
るカラーフィルターのスペクトルの相対強度変化を示す
グラフである。 1・・・・・透明基板、2・・・・・・着色層、3・・
・・・・保護膜、4・・・・・窒化膜層、6・・・・・
透明電極層、6・・・・・・ガラス板。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名菓 
1 図 !透明基板 第 2 図          24区層第3図 4θ0  500   600   700−渡  長
   (nmン 34図 照射時間(h)

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)透明基板上に着色層、窒化膜層及び透明電極層を
    順次積層したカラーフィルター。
  2. (2)窒化膜が窒化シリコン膜である特許請求の範囲第
    1項記載のカラーフィルター。
  3. (3)着色層と窒化膜層との間に保護膜を形成した特許
    請求の範囲第1項記載のカラーフィルター。
  4. (4)窒化シリコン膜がプラズマ窒化シリコン膜である
    特許請求の範囲第2項記載のカラーフィルター。
JP60284822A 1985-12-18 1985-12-18 カラ−フイルタ− Pending JPS62144103A (ja)

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