JPH06242311A - 液晶ディスプレイ用カラーフィルタ - Google Patents
液晶ディスプレイ用カラーフィルタInfo
- Publication number
- JPH06242311A JPH06242311A JP14371093A JP14371093A JPH06242311A JP H06242311 A JPH06242311 A JP H06242311A JP 14371093 A JP14371093 A JP 14371093A JP 14371093 A JP14371093 A JP 14371093A JP H06242311 A JPH06242311 A JP H06242311A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- color filter
- transparent conductive
- transparent resin
- silicon nitride
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/133345—Insulating layers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
- G02F1/133516—Methods for their manufacture, e.g. printing, electro-deposition or photolithography
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136209—Light shielding layers, e.g. black matrix, incorporated in the active matrix substrate, e.g. structurally associated with the switching element
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
- G02F1/133519—Overcoatings
Abstract
(57)【要約】
【目的】 保護膜である有機透明樹脂膜とＩＴＯ透明電
極である無機透明導電膜との間に窒化シリコン膜を形成
して、透明導電膜の断線および汚れを防止するとともに
透明樹脂膜と透明導電膜との剥離現象を防止することが
できる、液晶ディスプレイ用カラーフィルタを提供す
る。 【構成】 ガラス基板上に所定間隔を保って形成したブ
ラックマトリックス用の複数の遮光部２と、遮光部２相
互間の各透光部に複数色の色フィルタを各色ごとに分離
して順次反復的に形成した多色フィルタ層３、４、５
と、遮光部２と色フィルタの上面を覆って形成した表面
平坦化および色フィルタ保護用透明樹脂膜６と、透明樹
脂膜６の上面に形成した窒化シリコン膜７と、窒化シリ
コン膜７の上に形成した透明導電膜８とを備える。
極である無機透明導電膜との間に窒化シリコン膜を形成
して、透明導電膜の断線および汚れを防止するとともに
透明樹脂膜と透明導電膜との剥離現象を防止することが
できる、液晶ディスプレイ用カラーフィルタを提供す
る。 【構成】 ガラス基板上に所定間隔を保って形成したブ
ラックマトリックス用の複数の遮光部２と、遮光部２相
互間の各透光部に複数色の色フィルタを各色ごとに分離
して順次反復的に形成した多色フィルタ層３、４、５
と、遮光部２と色フィルタの上面を覆って形成した表面
平坦化および色フィルタ保護用透明樹脂膜６と、透明樹
脂膜６の上面に形成した窒化シリコン膜７と、窒化シリ
コン膜７の上に形成した透明導電膜８とを備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶ディスプレイ用カ
ラーフィルタに関するものであり、より詳しくは、フィ
ルタ表面の平坦化および保護のため塗布された有機透明
樹脂と無機透明導電膜ＩＴＯとの間に窒化シリコン膜を
形成することにより、透明樹脂膜と透明導電膜との直接
結合における剥離現象を防止するとともに、透明導電膜
の汚れも防止することができるカラーフィルタに関する
ものである。
ラーフィルタに関するものであり、より詳しくは、フィ
ルタ表面の平坦化および保護のため塗布された有機透明
樹脂と無機透明導電膜ＩＴＯとの間に窒化シリコン膜を
形成することにより、透明樹脂膜と透明導電膜との直接
結合における剥離現象を防止するとともに、透明導電膜
の汚れも防止することができるカラーフィルタに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】最近、ＯＡ機器や携帯用小型テレビジョ
ンなどの技術進歩に従い、これまでの電子ディスプレイ
装置であったブラウン管ＣＲＴの代わりに、液晶ディス
プレイＬＣＤ、エレクトロルミネセンスＥＬ素子、プラ
ズマディスプレイパネルＰＤＰ、蛍光表示管ＶＦＤなど
の研究が活発に推進され、一部は実用化されている。
ンなどの技術進歩に従い、これまでの電子ディスプレイ
装置であったブラウン管ＣＲＴの代わりに、液晶ディス
プレイＬＣＤ、エレクトロルミネセンスＥＬ素子、プラ
ズマディスプレイパネルＰＤＰ、蛍光表示管ＶＦＤなど
の研究が活発に推進され、一部は実用化されている。
【０００３】その中においても、液晶表示素子は、極度
に軽量で薄型、低コスト、低消費電力駆動により集積回
路との整合性がよいなどの特徴を有しており、ラップト
ップコンピュータやポケットコンピュータの表示以外
に、車両積載用、カラーテレビジョン画像用としても、
その用途を拡大している。
に軽量で薄型、低コスト、低消費電力駆動により集積回
路との整合性がよいなどの特徴を有しており、ラップト
ップコンピュータやポケットコンピュータの表示以外
に、車両積載用、カラーテレビジョン画像用としても、
その用途を拡大している。
【０００４】このようなカラーＬＣＤは、文明の発達に
従い、人間対機械のインタフェースに適した平板素子と
して有望視され、脚光を浴びてきた。
従い、人間対機械のインタフェースに適した平板素子と
して有望視され、脚光を浴びてきた。
【０００５】現在、ＬＣＤはＣＲＴに匹敵すべき最も有
力な表示素子であって、その技術は半導体技術と液晶技
術とを融合したアクティブマトリックスＬＣＤ技術であ
る。ＬＣＤは、上板のカラーフィルタパネルと下板のＴ
ＦＴパネルとで構成されており、その間に誘電異方性を
有する液晶を挿入している。
力な表示素子であって、その技術は半導体技術と液晶技
術とを融合したアクティブマトリックスＬＣＤ技術であ
る。ＬＣＤは、上板のカラーフィルタパネルと下板のＴ
ＦＴパネルとで構成されており、その間に誘電異方性を
有する液晶を挿入している。
【０００６】前記アクティブマトリックスＬＣＤは、マ
トリックス形態に配列した数十万個の画素にそれぞれス
イッチング素子である薄膜トランジスタＴＦＴを付加
し、この薄膜トランジスタＴＦＴを画素選択用アドレス
配線を通じてスイッチング動作させて、該当画素に電圧
を印加する。現在、広く用いられている液晶表示素子と
しては、非晶質シリコンや多結晶シリコンを用いた薄膜
トランジスタをスイッチング素子に用いている。
トリックス形態に配列した数十万個の画素にそれぞれス
イッチング素子である薄膜トランジスタＴＦＴを付加
し、この薄膜トランジスタＴＦＴを画素選択用アドレス
配線を通じてスイッチング動作させて、該当画素に電圧
を印加する。現在、広く用いられている液晶表示素子と
しては、非晶質シリコンや多結晶シリコンを用いた薄膜
トランジスタをスイッチング素子に用いている。
【０００７】特に、前記非晶質シリコンは面積が広い透
明ガラス基板との整合性がよく、大画面対応、再現性、
低温堆積に優れ、膜質などにも特別な難点がないもので
あり、透明ガラス基板上に前記非晶質シリコンを用いて
薄膜トランジスタのアレイを形成することにより、大型
スクリーンに適した高品質および高鮮明度を有する表示
パネルを実現できる。
明ガラス基板との整合性がよく、大画面対応、再現性、
低温堆積に優れ、膜質などにも特別な難点がないもので
あり、透明ガラス基板上に前記非晶質シリコンを用いて
薄膜トランジスタのアレイを形成することにより、大型
スクリーンに適した高品質および高鮮明度を有する表示
パネルを実現できる。
【０００８】まず、色フィルタ層が形成されている上部
基板の製造に関連した従来のカラーフィルタの製造方法
を、図２を参照して説明する。
基板の製造に関連した従来のカラーフィルタの製造方法
を、図２を参照して説明する。
【０００９】図２は、従来の技術に従う液晶ディスプレ
イ用カラーフィルタの構造を示す断面図であり、同図か
らわかるように、切断研磨処理をしたＬＣＤ用ガラス基
板１′上に光遮断用クロム膜を形成した後、フォトレジ
スト、コーティング、露光、クロム膜エッチングおよび
フォトレジスト除去を経て、ブラックマトリックスパタ
ーンの遮光部２′を形成する。
イ用カラーフィルタの構造を示す断面図であり、同図か
らわかるように、切断研磨処理をしたＬＣＤ用ガラス基
板１′上に光遮断用クロム膜を形成した後、フォトレジ
スト、コーティング、露光、クロム膜エッチングおよび
フォトレジスト除去を経て、ブラックマトリックスパタ
ーンの遮光部２′を形成する。
【００１０】その後、クロム材質のブラックマトリック
スが形成された透明基板１′上に、最適化した分光特性
を有するネガティブ感光性樹脂、たとえば、顔料を分散
させた着色アクリル感光性樹脂を塗布し、８０〜１１０
℃のホットプレートで９０秒間ソフトベークした後、露
光時発生する感光樹脂の酸化防止のため酸化防止膜とし
て透明性樹脂をすでに形成した着色膜上に塗布、乾燥さ
せた後、紫外線でフォトマスクを用いて露光を行なう。
露光の後、酸素遮断膜を脱イオン水に５分間浸漬して剥
離し、現像液で２〜３分間現像した後、脱イオン水で９
０秒間リンスする。その後、ポストベークを行ない、最
適化した赤色分光特性を有する第１色フィルタ層３′を
形成する。
スが形成された透明基板１′上に、最適化した分光特性
を有するネガティブ感光性樹脂、たとえば、顔料を分散
させた着色アクリル感光性樹脂を塗布し、８０〜１１０
℃のホットプレートで９０秒間ソフトベークした後、露
光時発生する感光樹脂の酸化防止のため酸化防止膜とし
て透明性樹脂をすでに形成した着色膜上に塗布、乾燥さ
せた後、紫外線でフォトマスクを用いて露光を行なう。
露光の後、酸素遮断膜を脱イオン水に５分間浸漬して剥
離し、現像液で２〜３分間現像した後、脱イオン水で９
０秒間リンスする。その後、ポストベークを行ない、最
適化した赤色分光特性を有する第１色フィルタ層３′を
形成する。
【００１１】前記第１色フィルタ層３′と同じような方
法で前記遮光部２′上に一部重畳され第１色フィルタ層
３′と分離するように、前記ガラス基板１′上に最適化
した緑色分光特性を有する着色アクリル感光性樹脂の第
２色フィルタ層４′を形成する。
法で前記遮光部２′上に一部重畳され第１色フィルタ層
３′と分離するように、前記ガラス基板１′上に最適化
した緑色分光特性を有する着色アクリル感光性樹脂の第
２色フィルタ層４′を形成する。
【００１２】次いで、前記遮光部２′上に重畳され前記
第２色フィルタ層４′と分離するよう、前記ガラス基板
１′上に最適化した青色分光特性を有する着色アクリル
樹脂の第３色フィルタ層５′を形成する。
第２色フィルタ層４′と分離するよう、前記ガラス基板
１′上に最適化した青色分光特性を有する着色アクリル
樹脂の第３色フィルタ層５′を形成する。
【００１３】前記遮光部２′および第１、第２、第３色
フィルタ層３′、４′、５′上に外部衝撃からこれらを
保護し平滑性をよくするため、表面硬度が高く光透過性
が優れた、たとえば、ポリイミド、ポリアクリレート、
ポリウレタンなどの有機透明樹脂を１．５〜３μｍ程度
の厚さで形成した後、ホットプレートで１５０〜２２０
℃、５分間過熱して保護膜６′を形成する。
フィルタ層３′、４′、５′上に外部衝撃からこれらを
保護し平滑性をよくするため、表面硬度が高く光透過性
が優れた、たとえば、ポリイミド、ポリアクリレート、
ポリウレタンなどの有機透明樹脂を１．５〜３μｍ程度
の厚さで形成した後、ホットプレートで１５０〜２２０
℃、５分間過熱して保護膜６′を形成する。
【００１４】その後、前記保護膜６′の全表面上に、液
晶駆動のための電圧を印加させるため、透明導電膜であ
るＩＴＯ層を塗布した後、感光材塗布、マスク露光、現
像、ＩＴＯエッチおよびフォトレジスト除去を経て、Ｉ
ＴＯの透明導電膜７′を５００〜１３００Å程度の厚さ
で形成して上部基板を完成する。
晶駆動のための電圧を印加させるため、透明導電膜であ
るＩＴＯ層を塗布した後、感光材塗布、マスク露光、現
像、ＩＴＯエッチおよびフォトレジスト除去を経て、Ｉ
ＴＯの透明導電膜７′を５００〜１３００Å程度の厚さ
で形成して上部基板を完成する。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
ような方法で形成された従来のカラーフィルタは、有機
透明樹脂からなる保護膜６′上にスパッタリングなどの
方法にて透明導電膜の蒸着の際、イオン衝撃により透明
樹脂膜が浸食風化されて透明導電膜７′中に混じり込む
ため、透明導電膜７′のばらつきおよび汚れを生じて信
号電極である透明導電膜７′の断線を誘発して、望む画
像を形成できず、さらに、保護層６′になる透明樹脂膜
が有機透明樹脂６′であるため、材質上、無機透明導電
膜７′との親和力がなくて、容易に剥離して信頼性が劣
るという問題点があった。
ような方法で形成された従来のカラーフィルタは、有機
透明樹脂からなる保護膜６′上にスパッタリングなどの
方法にて透明導電膜の蒸着の際、イオン衝撃により透明
樹脂膜が浸食風化されて透明導電膜７′中に混じり込む
ため、透明導電膜７′のばらつきおよび汚れを生じて信
号電極である透明導電膜７′の断線を誘発して、望む画
像を形成できず、さらに、保護層６′になる透明樹脂膜
が有機透明樹脂６′であるため、材質上、無機透明導電
膜７′との親和力がなくて、容易に剥離して信頼性が劣
るという問題点があった。
【００１６】本発明は、前記のような点に鑑みてなされ
たものであり、その目的は、保護膜である有機透明樹脂
膜とＩＴＯ透明電極である無機透明導電膜との間に窒化
シリコン膜を形成することにより、透明導電膜の断線お
よび汚れの防止ばかりでなく、透明樹脂膜と透明導電膜
との剥離現象を防止することもできる、液晶ディスプレ
イ用カラーフィルタを提供することにある。
たものであり、その目的は、保護膜である有機透明樹脂
膜とＩＴＯ透明電極である無機透明導電膜との間に窒化
シリコン膜を形成することにより、透明導電膜の断線お
よび汚れの防止ばかりでなく、透明樹脂膜と透明導電膜
との剥離現象を防止することもできる、液晶ディスプレ
イ用カラーフィルタを提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】この発明による液晶ディ
スプレイ用カラーフィルタは、ガラス基板上に所定間隔
を保って形成したブラックマトリックス用の複数の遮光
部と、遮光部相互間の各透光部に複数色の色フィルタを
各色ごとに分離して順次反復的に形成した多色フィルタ
層と、遮光部と色フィルタの上面を覆って形成した表面
平坦化および色フィルタ保護用透明樹脂膜と、透明樹脂
膜の上面に形成した窒化シリコン膜と、窒化シリコン膜
の上に形成した透明導電膜とを備えている。
スプレイ用カラーフィルタは、ガラス基板上に所定間隔
を保って形成したブラックマトリックス用の複数の遮光
部と、遮光部相互間の各透光部に複数色の色フィルタを
各色ごとに分離して順次反復的に形成した多色フィルタ
層と、遮光部と色フィルタの上面を覆って形成した表面
平坦化および色フィルタ保護用透明樹脂膜と、透明樹脂
膜の上面に形成した窒化シリコン膜と、窒化シリコン膜
の上に形成した透明導電膜とを備えている。
【００１８】好ましくは、透明樹脂膜、窒化シリコン膜
および透明導電膜を、それぞれ１〜２．５μｍ、３００
〜７００Åおよび５００〜２５００Åの厚さで形成する
とよい。
および透明導電膜を、それぞれ１〜２．５μｍ、３００
〜７００Åおよび５００〜２５００Åの厚さで形成する
とよい。
【００１９】
【作用】本発明によれば、前述した構成により保護膜で
ある透明樹脂膜とＩＴＯ透明導電膜との間に窒化シリコ
ン膜を形成することにより、前記透明樹脂膜と透明導電
膜との剥離現象の防止ばかりでなく、透明導電膜の断線
および汚れも防止することができる。
ある透明樹脂膜とＩＴＯ透明導電膜との間に窒化シリコ
ン膜を形成することにより、前記透明樹脂膜と透明導電
膜との剥離現象の防止ばかりでなく、透明導電膜の断線
および汚れも防止することができる。
【００２０】
【実施例】以下、本発明の実施例を、添付図面に基づい
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００２１】図１は、本発明に従う液晶ディスプレイ用
カラーフィルタ構造を示す断面図であり、同図からわか
るように、本発明に従うカラーフィルタは、ガラス基板
１上に薄膜トランジスタの劣化および混色を防止するた
め、所定間隔をもって形成したブラックマトリックス用
遮光部２と隣接するブラックマトリックス用遮光部２と
の間に、前記ブラックマトリックス用遮光部２とそれぞ
れ分離して順次的に形成した第１ないし第３色フィルタ
層３、４、５と、同一の高さで形成した前記ブラックマ
トリックス用遮光部２および色フィルタ層３、４、５上
に色フィルタパターンの平坦化および保護のため形成し
た保護膜である透明樹脂膜６と、前記透明樹脂膜６上に
形成した窒化シリコン膜７と、前記窒化シリコン膜７上
に形成した透明導電膜８とから構成される。
カラーフィルタ構造を示す断面図であり、同図からわか
るように、本発明に従うカラーフィルタは、ガラス基板
１上に薄膜トランジスタの劣化および混色を防止するた
め、所定間隔をもって形成したブラックマトリックス用
遮光部２と隣接するブラックマトリックス用遮光部２と
の間に、前記ブラックマトリックス用遮光部２とそれぞ
れ分離して順次的に形成した第１ないし第３色フィルタ
層３、４、５と、同一の高さで形成した前記ブラックマ
トリックス用遮光部２および色フィルタ層３、４、５上
に色フィルタパターンの平坦化および保護のため形成し
た保護膜である透明樹脂膜６と、前記透明樹脂膜６上に
形成した窒化シリコン膜７と、前記窒化シリコン膜７上
に形成した透明導電膜８とから構成される。
【００２２】前記構造を有する液晶表示素子の上部基板
の製造方法をより詳細に説明すると、まず、ガラス基板
１上にスパッタリングあるいは電子線蒸着方法でクロム
金属膜を析出した後、ポジティブフォトレジストをコー
ティングしソフトベークした後、露光、現像して感光材
パターンを形成する。
の製造方法をより詳細に説明すると、まず、ガラス基板
１上にスパッタリングあるいは電子線蒸着方法でクロム
金属膜を析出した後、ポジティブフォトレジストをコー
ティングしソフトベークした後、露光、現像して感光材
パターンを形成する。
【００２３】次いで、クロム膜を湿式エッチングしてク
ロムパターンを形成し、フォトレジストを除去すること
により、ブラックマトリックス用遮光部２を完成する。
このとき、一般的に塗布するクロム金属膜の厚さは、１
０００〜１８００Åである。
ロムパターンを形成し、フォトレジストを除去すること
により、ブラックマトリックス用遮光部２を完成する。
このとき、一般的に塗布するクロム金属膜の厚さは、１
０００〜１８００Åである。
【００２４】その後、前記ブラックマトリックス用遮光
部２パターン上に所定の分光特性を表わすよう赤色感光
性樹脂を１〜２μｍ厚さでコーティングした後、ソフト
ベークを行なう。前記工程後酸化防止のためＰＶＡ（ポ
リビニルアルコール）系の樹脂膜を０．５〜１μｍ厚さ
でコーティングし、再びソフトベークをした後、露光を
行なった後前記酸化防止膜を除去し、現像、硬化を経て
赤色フィルタパターンである第１色フィルタ層３を完成
する。続けて、緑色および青色フィルタパターンである
第２、第３色フィルタ層４、５も前記と同様な方法にて
形成した後、前記ブラックマトリックス用遮光部２およ
び第１、第２、第３色フィルタ層３、４、５上に保護膜
である透明樹脂膜６、たとえば、アクリルあるいはポリ
イミド系樹脂を１〜２．５μｍ厚さで塗布してオーバコ
ーティングした後、２００〜２３０℃の温度で加熱して
オーバコーティング膜を形成する。
部２パターン上に所定の分光特性を表わすよう赤色感光
性樹脂を１〜２μｍ厚さでコーティングした後、ソフト
ベークを行なう。前記工程後酸化防止のためＰＶＡ（ポ
リビニルアルコール）系の樹脂膜を０．５〜１μｍ厚さ
でコーティングし、再びソフトベークをした後、露光を
行なった後前記酸化防止膜を除去し、現像、硬化を経て
赤色フィルタパターンである第１色フィルタ層３を完成
する。続けて、緑色および青色フィルタパターンである
第２、第３色フィルタ層４、５も前記と同様な方法にて
形成した後、前記ブラックマトリックス用遮光部２およ
び第１、第２、第３色フィルタ層３、４、５上に保護膜
である透明樹脂膜６、たとえば、アクリルあるいはポリ
イミド系樹脂を１〜２．５μｍ厚さで塗布してオーバコ
ーティングした後、２００〜２３０℃の温度で加熱して
オーバコーティング膜を形成する。
【００２５】続けて、プラズマ化学反応気相装置ＣＶＤ
を用いて、１３０〜２５０℃の温度でアンモニアとシラ
ンガス（ＳｉＨ4 ）とを分解した後、前記透明樹脂膜６
上に３００〜７００Å厚さの範囲内に窒化シリコン膜７
を成長させる。
を用いて、１３０〜２５０℃の温度でアンモニアとシラ
ンガス（ＳｉＨ4 ）とを分解した後、前記透明樹脂膜６
上に３００〜７００Å厚さの範囲内に窒化シリコン膜７
を成長させる。
【００２６】その後、前記透明樹脂膜６上にスパッタ法
にて透明導電膜８であるＩＴＯを５００〜２５００Å厚
さで形成した後、フィルタ面以外に成長した不必要な部
分を除去するため、感光材塗布、マスク露光を行ない、
透明導電膜８を湿式エッチングすることにより、最終的
なカラーフィルタを完成するようになる。
にて透明導電膜８であるＩＴＯを５００〜２５００Å厚
さで形成した後、フィルタ面以外に成長した不必要な部
分を除去するため、感光材塗布、マスク露光を行ない、
透明導電膜８を湿式エッチングすることにより、最終的
なカラーフィルタを完成するようになる。
【００２７】すなわち、前記工程は、有機透明樹脂膜６
上に無機透明導電膜８の形成の際、イオン衝撃により有
機透明樹脂膜６が浸食して無機透明導電膜８のうちに混
じり込むので、所望の画像に無機透明導電膜８のばらつ
きおよび汚れによる表示不良が生じる。このような不具
合を防止するため、有機透明樹脂膜６と無機透明導電膜
８との間に窒化シリコン膜７を形成するものであり、こ
れによって有機膜と無機膜との材質特性上親和力がなく
て発生する前記透明導電膜の剥離などのような短所を補
完できる。
上に無機透明導電膜８の形成の際、イオン衝撃により有
機透明樹脂膜６が浸食して無機透明導電膜８のうちに混
じり込むので、所望の画像に無機透明導電膜８のばらつ
きおよび汚れによる表示不良が生じる。このような不具
合を防止するため、有機透明樹脂膜６と無機透明導電膜
８との間に窒化シリコン膜７を形成するものであり、こ
れによって有機膜と無機膜との材質特性上親和力がなく
て発生する前記透明導電膜の剥離などのような短所を補
完できる。
【００２８】このとき、前記窒化シリコン膜７の厚さ
は、７００Å以上にすることもできるが、この場合、前
記窒化シリコン膜７が強いストレスによってＩＴＯ析出
およびその後の熱処理時窒化シリコンおよびＩＴＯ膜が
割れる現象（割れ発生）が発生し、さらに３００Å以下
では十分な遮断効果を期待しがたいため、最も好ましい
窒化シリコン膜７の厚さの最適値は３００〜７００Åで
あることがわかる。
は、７００Å以上にすることもできるが、この場合、前
記窒化シリコン膜７が強いストレスによってＩＴＯ析出
およびその後の熱処理時窒化シリコンおよびＩＴＯ膜が
割れる現象（割れ発生）が発生し、さらに３００Å以下
では十分な遮断効果を期待しがたいため、最も好ましい
窒化シリコン膜７の厚さの最適値は３００〜７００Åで
あることがわかる。
【００２９】
【発明の効果】前述したように、本発明によると、保護
膜である透明樹脂膜とＩＴＯ透明導電膜との間に窒化シ
リコン膜を形成することにより、隣接する膜の相互間に
強い接着力を生ずる。したがって、有機膜および無機膜
の材質特性上親和力がなくて発生する透明導電膜の剥離
などのような現象を防止でき、前記窒化シリコン膜の厚
さを３００〜７００Å範囲内において積層することによ
り、カラーフィルタの分光特性にも大きい影響を及ぼさ
ないばかりでなく、透明樹脂膜上に透明導電膜を直接積
層するときに発生する不純物の混入を防止することもで
きる。
膜である透明樹脂膜とＩＴＯ透明導電膜との間に窒化シ
リコン膜を形成することにより、隣接する膜の相互間に
強い接着力を生ずる。したがって、有機膜および無機膜
の材質特性上親和力がなくて発生する透明導電膜の剥離
などのような現象を防止でき、前記窒化シリコン膜の厚
さを３００〜７００Å範囲内において積層することによ
り、カラーフィルタの分光特性にも大きい影響を及ぼさ
ないばかりでなく、透明樹脂膜上に透明導電膜を直接積
層するときに発生する不純物の混入を防止することもで
きる。
【図１】本発明に従う液晶ディスプレイ用カラーフィル
タ構造を示す断面図である。
タ構造を示す断面図である。
【図２】従来技術に従う液晶ディスプレイ用カラーフィ
ルタ構造を示す断面図である。
ルタ構造を示す断面図である。
１ ガラス基板 ２ ブラックマトリックス用遮光部 ３、４、５ 第１、第２、第３色フィルタ層 ６ 透明樹脂膜 ７ 窒化シリコン膜 ８ 透明導電膜
Claims (2)
- 【請求項１】 ガラス基板上に所定間隔を保って形成し
たブラックマトリックス用の複数の遮光部と、 前記遮光部相互間の各透光部に複数色の色フィルタを各
色ごとに分離して順次反復的に形成した多色フィルタ層
と、 前記遮光部と前記色フィルタの上面を覆って形成した表
面平坦化および色フィルタ保護用透明樹脂膜と、 前記透明樹脂膜の上面に形成した窒化シリコン膜と、 前記窒化シリコン膜の上に形成した透明導電膜とを備え
る、液晶ディスプレイ用カラーフィルタ。 - 【請求項２】 前記透明樹脂膜、前記窒化シリコン膜お
よび前記透明導電膜を、それぞれ１〜２．５μｍ、３０
０〜７００Åおよび５００〜２５００Åの厚さで形成す
ることを特徴とする、請求項１記載の液晶ディスプレイ
用カラーフィルタ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019930001397A KR940020146A (ko) | 1993-02-02 | 1993-02-02 | 액정 디스플레이용 칼라필터 |
| KR93P1397 | 1993-02-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06242311A true JPH06242311A (ja) | 1994-09-02 |
Family
ID=19350307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14371093A Pending JPH06242311A (ja) | 1993-02-02 | 1993-06-15 | 液晶ディスプレイ用カラーフィルタ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0609607A1 (ja) |
| JP (1) | JPH06242311A (ja) |
| KR (1) | KR940020146A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6242140B1 (en) | 1997-05-23 | 2001-06-05 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Method for manufacturing color filter |
| CN100433115C (zh) * | 2002-02-07 | 2008-11-12 | Nec液晶技术株式会社 | 有效防止色彩不规则性的液晶显示设备 |
| US8082876B2 (en) | 2000-08-24 | 2011-12-27 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Manufacturing method of OLED display and apparatus for manufacturing the OLED display |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100590929B1 (ko) * | 2003-04-16 | 2006-06-19 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 액정표시장치 및 그 제조 방법 |
| KR20070093261A (ko) * | 2006-03-13 | 2007-09-18 | 삼성전자주식회사 | 컬러필터기판 및 이를 갖는 표시장치 |
| CN101153933B (zh) * | 2006-09-26 | 2011-08-17 | 奇美电子股份有限公司 | 彩色滤光基板及其制造方法、液晶显示面板与装置 |
| JP5046014B2 (ja) * | 2007-09-13 | 2012-10-10 | Ｎｌｔテクノロジー株式会社 | カラーフィルタ基板及び液晶表示装置 |
| CN103558712B (zh) * | 2013-11-21 | 2015-12-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种彩膜基板、其制作方法、内嵌式触摸屏及显示装置 |
| FR3100767B1 (fr) * | 2019-09-13 | 2021-09-24 | Isorg | Filtre angulaire |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6199121A (ja) * | 1984-10-22 | 1986-05-17 | Sharp Corp | ツイステツド・ネマテイツク電界効果型液晶表示素子 |
| JPS62144103A (ja) * | 1985-12-18 | 1987-06-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラ−フイルタ− |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63197903A (ja) * | 1987-02-12 | 1988-08-16 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 透明導電性カラ−フイルタ付基板 |
| US4929060A (en) * | 1987-05-06 | 1990-05-29 | Casio Computer Co., Ltd. | Color liquid crystal display device |
| US5194976A (en) * | 1989-07-25 | 1993-03-16 | Casio Computer Co., Ltd. | Liquid crystal display device and method of manufacturing the same |
| NL9000389A (nl) * | 1990-02-19 | 1991-09-16 | Philips Nv | Inrichting met kleurfilter. |
-
1993
- 1993-02-02 KR KR1019930001397A patent/KR940020146A/ko not_active Application Discontinuation
- 1993-06-15 JP JP14371093A patent/JPH06242311A/ja active Pending
- 1993-09-22 EP EP93307516A patent/EP0609607A1/en not_active Withdrawn
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6199121A (ja) * | 1984-10-22 | 1986-05-17 | Sharp Corp | ツイステツド・ネマテイツク電界効果型液晶表示素子 |
| JPS62144103A (ja) * | 1985-12-18 | 1987-06-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラ−フイルタ− |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6242140B1 (en) | 1997-05-23 | 2001-06-05 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Method for manufacturing color filter |
| US8082876B2 (en) | 2000-08-24 | 2011-12-27 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Manufacturing method of OLED display and apparatus for manufacturing the OLED display |
| CN100433115C (zh) * | 2002-02-07 | 2008-11-12 | Nec液晶技术株式会社 | 有效防止色彩不规则性的液晶显示设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR940020146A (ko) | 1994-09-15 |
| EP0609607A1 (en) | 1994-08-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6731358B2 (en) | Color liquid crystal panel and color liquid crystal display apparatus | |
| US5705424A (en) | Process of fabricating active matrix pixel electrodes | |
| KR101287478B1 (ko) | 산화물 박막트랜지스터를 구비한 표시소자 및 그 제조방법 | |
| US7666557B2 (en) | Liquid crystal display panel, color filter and manufacturing methods thereof | |
| US7115913B2 (en) | Array substrate used for a display device and a method of making the same | |
| CN101825815B (zh) | Tft-lcd阵列基板及其制造方法 | |
| US6608654B2 (en) | Methods of fabricating active matrix pixel electrodes | |
| KR100537020B1 (ko) | Ips모드박막트랜지스터용액정표시소자제조방법 | |
| KR100404225B1 (ko) | 액정표시장치 및 그 제조방법 | |
| JPH06242311A (ja) | 液晶ディスプレイ用カラーフィルタ | |
| KR20040061292A (ko) | 액정표시소자 제조방법 | |
| US7696027B2 (en) | Method of fabricating display substrate and method of fabricating display panel using the same | |
| KR0145904B1 (ko) | 액정 디스플레이용 칼라필터 및 그 제조방법 | |
| JP2000338506A (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
| WO2022020992A1 (en) | Display panel, display apparatus, and method of fabricating display panel | |
| KR101338802B1 (ko) | 액정표시장치 및 그 제조방법 | |
| KR101206286B1 (ko) | 액정표시장치의 제조방법 | |
| KR100291266B1 (ko) | 액정표시 패널용 색필터 및 그 제조방법 | |
| US6844901B2 (en) | Liquid crystal display device and method of manufacturing the same | |
| KR100640985B1 (ko) | 액정표시장치 및 그 제조방법 | |
| KR100468594B1 (ko) | 액정표시소자및그제조방법 | |
| KR20040029560A (ko) | 액정표시장치의 금속패턴 및 그 형성방법 | |
| KR960014295B1 (ko) | 액정표시소자용 칼라필터 제조방법 | |
| JPH0682741A (ja) | 高画質液晶表示板およびその製造方法 | |
| KR20060133766A (ko) | 액정표시장치용 기판의 블랙매트릭스 및 그 형성 방법그리고 이를 이용한 액정표시장치용 기판 및 그 형성 방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19960326 |