JPS62134542A - クリーンルームの状態管理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ この発明はクリーンルームの清浄度の管理のための、微
粒子検出器による計測データの処理方式に関するもので
ある。

［従来の技術］ 最近、半導体におけるパターンの集積密度が高度化する
とともに、製造環境であるクリーンルームの塵埃管理は
厳重におこなわれ、スーパークリーンルームと称される
ものにおいては、雰囲気の塵埃密度すなわち清浄度は１
立方フイート当たり１０個以下とされている。このよう
な良好なｉ’＋！ｆ　Ｍ１度を効果的に維持するために
は、フィルタによるエアのクリーン化、クリーンエアの
投入：辻、流通経路などに意が払われているが、同時に
、場所的にも時間的にも、刻々変動する塵埃微粒子を的
確に計測してこのデータを有効に活用することが必要で
ある。

このために従来から、微粒子検出器のセンサをクリーン
ルーム内の茨点に配置し、微粒子の空間的な分布状態を
把握して、流通経路の改善などにフィードバックするこ
とが行われている。

一方時間的な変動状態に関して従来行われているデータ
処理方式は、状況に応じて適当な一定時間、例えば３分
あるいは１時間などの間に計測された微粒子の累積個数
を計算して出力するｒｐ、純なものにすぎない。第４図
はこれを示すもので、図（ａ）はデータ処理装置の構成
図、図（ｂ）は計測時間、計測値と出力データの関係を
示すグラフである。微粒子検出器１により検出された微
粒子の検出信号は、個々の微粒子に対応するのでその数
はすなわち微粒子の個数を小し、これがマイクロコンピ
ュータ２において、時刻ｔ０からｔｓまでの時間Ｔｓの
累積個数ｎをカウントし出力装置３に出力するものであ
る。

さて、クリーンルームにおける塵埃の時間的な分布は、
一般にかなり不均一に変動しているものであり、しかも
最近の高度に清浄化された状態では、上記一定時間Ｔｓ
をかなり長く、例えば１時間以上とらなければ、有効な
計測値かえられないのが実情である。従って計測結果の
出力はそれだけ長く待たなくては知得できず、それに対
する措置が遅延する。さらに、特殊な事情により１時的
に多（の塵埃が発生し累積値が過大となった場合、発生
の時間的分布は不明て発塵の原因が把握できないことが
多い。ましてこのようなデータでは、フィードバンクし
てクリーンエアの風量をコントロールするに適当するや
否やの判断がつかないものである。このように、従来の
クリーンルームにおける微粒子検出器の計測データ処理
方式は、１５間的な観点に関する限り不完全なものであ
った。

［発明の目的コ この発明は、上記した従来の微粒子検出器の計測データ
の処理方式の欠点を排除し、これをクリーンルームの塵
埃管理に有効に活用するため、時間的に変動する微粒子
の数を合理的な方式で演算処理し、即時的に出力するこ
とのできるデータ処理方式を提供することを目的とする
ものである。

［問題点を解決するための手段］ この発明においては、微粒子検出器で連続的に検出され
ている微粒子の数について、一定時間内の移動平均値、
または移動する一定時間内の累積値（以丁仮に移動累積
値という）をとるものである。

移動平均の概念は統計学において定められている。それ
によると、始番終時点間を−・定間隔の区間とし、時間
の推移にともなってこの区間が移動する。これを移動区
間といい、この区間内に生起した現象の数を栄位時間当
たりに平均したものが移動平均値である。この場合、平
均値をとらず区間内の現象の総数、すなわち時間的な累
積値をとれば一１１記した移動累積値となる。

第１図はこの発明において行う移動累積値を説明するも
ので、単位時間をｔａとし、これがｎ回連続した１ｔａ
＝Ｔを移動区間とし、各単位時間に検出された微粒子の
個数をｐ　　、ｐ　　、・・・ｐｎ＋とするとき、移動
累積値Ｐは Ｐ＝Σｐｒ＋ｒ：１〜ｎ である。時間がｊ、ｌｉ位時間ｔａ推移するとＴの始・
終点はそれぞれｔａづつ移動して１．１　　となり、こ
れに対するＰの値が新たに計算される。以下同様の手順
で移動累積値かえられるものである。

［作用コ このような移動累積値Ｐは、当該区間の終了毎に計算さ
れて出力されるので、クリーンルーム内の微粒子の時間
的変動の状態が的確に把握できることは明らかである。

さらに、Ｐに対する限界値を予め定めておき、計測値が
これを越えたとき警報またはクリーンエアの風量を増加
するなどのためのコントロール信＝号を出力する。これ
らにより、クリーンルームの清浄度を良好な状態に維持
できるものである。

以上述べた移動累積値の計算を含むデータ処理はマイク
ロコンピュータにより行うもので、単位時間ｔａ　１区
間長を決めるｎおよびＰに対する限界値はいずれも初期
値として設定しておくものである。

［実施例コ 第２図はこの発明による微粒子検出器のデータ処理方式
における機器構成の１実施例を示すもので、微粒子検出
器１よりの検出信号はマイクロコンピュータ２において
単位時間ｔａ毎にカウントされメモリ４に記憶される。

マイクロコンピュータ２において移動累積値Ｐが計算、
出力され、ディスプレイ５に表示され、適時にプリンタ
６によりプリントされる。Ｐの値が限界値を越えたとき
は１）；ｊ述した警報をディスプレイ５に表示する。ま
たコントロール信号ヲクリーンエアコントローラ７に出
力するが、この場合、限界値を越える回数がただ１回の
みでは行わず、これが数（Ｎ）同辺−１−に葭るときは
じめて出力することなどマイクロコンピュータ２におい
て、ソフト技術により実情に合わせた方式をとればよい
。

第３図は第２図に示した実施例において、コンピュータ
２によるデータ処理の概略のフローチャートを示すもの
で、（１０）において初期値として！１１位時間ｔａ　
、移動区間Ｔを決める数ｎ＋Ｐに対する限界値Ｍ、およ
びＰが限界値Ｍを越える回数に対する数Ｎを設定する。

ついで、微粒子検出器１より割込み入力した検出信号に
より、弔位時間毎に微粒子の個数ｐｒがカウントされ、
記憶される（１１）。該記憶された個数ｐｒにより（１
２）において、移動累積値Ｐが計算されるが、計算の方
法は既述の加減算による簡易なもので詳述しない。Ｐの
値は計算の都度ディスプレイ５に表示され、適時にプリ
ントされる（１３）。（１４）において、Ｐの値がチェ
ックされ限界値Ｍを越えたときは、その旨督報がディス
プレイ５に表示される（１５）。ついで、その回数かＮ
を越えると（１６）、クリーンエアのコントローラ７に
コントロール信号を出力する（１７）。ここで数Ｎのと
りかたとして、ＰがＭを連続して昆える場合のほか、必
すしも連続していなくても、実情によってコントロール
信号を出力することは、ソフトート法により容易に実施
できるものである。

［発明の効果コ 以」−に述べたところにより明らかなように、この発明
による微粒子検出器のデータ処理方式を適用することに
より、従来の方式ではクリーンルーム内の塵埃微粒子の
時間的変動の状況が明確に把握されなかった欠点が克服
されて、的確かつ即時的に知得できることとなり、さら
に進んで微粒子の個数が限界値を越えたとき警報あるい
はクリーンエア量のコントロール信号を出力する、いわ
ゆる限界値管理方式の自動化をＤＪ能とするもので、ク
リーンルームの清θ度の維持に寄′デするところが大き
い。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による微粒子−検出器のデータ処理方
式における移動累積値を説明するグラフ図、第２図はこ
の発明に、よる微粒子検出器のデータ処理方式の機器構
成の１実施例の図、第３図は第２図におけるマイクロコ
ンピュータのデータ処理の手順を説明するフローチャー
ト、第４図は従来の微粒子検出器のデータ処理方式に関
するもので、図（ａ）は機器構成のブロック図、図（ｂ
）は計測値と出力データを示すグラフ図である。 １・・・微粒子検出器、２・・・マイクロコンピュータ
３・・・出力装置、　　　　４・・・メモリ、５・・・
ディスプレイ、　　　６・・・プリンタ、７・・・クリ
ーンエアコントローラ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）クリーンルーム内において、微粒子検出器より出
   力される微粒子の検出信号を単位時間毎に計数して微粒
   子の個数として記憶し、始・終時点が時間推移にともな
   って移動する一定時間内における該記憶した微粒子の個
   数の累積値を逐次計算して出力し、かつ該累積値が予め
   定められている限界値を越えるとき、警報を出力すると
   ともに、クリーンエアの風量コントロール信号を出力す
   ることを特徴とする微粒子検出器のデータ処理方式。