JPS5833930U - クリーンルームまたはクリーンユニット用ダストモニター - Google Patents
クリーンルームまたはクリーンユニット用ダストモニターInfo
- Publication number
- JPS5833930U JPS5833930U JP12595381U JP12595381U JPS5833930U JP S5833930 U JPS5833930 U JP S5833930U JP 12595381 U JP12595381 U JP 12595381U JP 12595381 U JP12595381 U JP 12595381U JP S5833930 U JPS5833930 U JP S5833930U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean
- dust monitor
- room
- clean room
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Central Air Conditioning (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案の実施例を示すものであって、第・1図は
一部を縦断して示す概略図、第2図はダストモニターの
概略図である。 1ニクリーンル−ム、1m:クリーンユニット、2.1
2:高効率微粒子濾過器、3,13:給気ファン、4,
14:給気ダクト、5,15:還気ダクト、21:ダス
トモニター、22:吸引管、27:光散乱式ダストカウ
ンター、28:ポンプ、29:塵埃数累積表示器、30
:タイプライタ−,31:設定器、32:ブザー。
一部を縦断して示す概略図、第2図はダストモニターの
概略図である。 1ニクリーンル−ム、1m:クリーンユニット、2.1
2:高効率微粒子濾過器、3,13:給気ファン、4,
14:給気ダクト、5,15:還気ダクト、21:ダス
トモニター、22:吸引管、27:光散乱式ダストカウ
ンター、28:ポンプ、29:塵埃数累積表示器、30
:タイプライタ−,31:設定器、32:ブザー。
Claims (1)
- 高効率微粒子濾過器にて室内空気をクリーン度の高い状
態に清浄するようになしたクリーンルームおよび、また
は該クリーンルーム内に設置したクリーンユニットに、
それぞれの室内のクリーン度を常時および一定時間毎に
表示するとともに該クリーン度がある設定値を超えた場
合には警報を発するようにしたダストモニターを取付け
であることを特徴とするダストモニターを有するクリー
ンルームおよびクリーンユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12595381U JPS5833930U (ja) | 1981-08-27 | 1981-08-27 | クリーンルームまたはクリーンユニット用ダストモニター |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12595381U JPS5833930U (ja) | 1981-08-27 | 1981-08-27 | クリーンルームまたはクリーンユニット用ダストモニター |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5833930U true JPS5833930U (ja) | 1983-03-05 |
JPH0127081Y2 JPH0127081Y2 (ja) | 1989-08-14 |
Family
ID=29919767
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12595381U Granted JPS5833930U (ja) | 1981-08-27 | 1981-08-27 | クリーンルームまたはクリーンユニット用ダストモニター |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5833930U (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62134542A (ja) * | 1985-12-07 | 1987-06-17 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | クリーンルームの状態管理方法 |
JPH03103210A (ja) * | 1989-09-19 | 1991-04-30 | Mitsubishi Electric Home Appliance Co Ltd | 加熱調理器 |
JP2002089920A (ja) * | 2000-09-19 | 2002-03-27 | Taisei Corp | クリーンルーム及び半導体デバイスもしくは液晶ディスプレーの製造方法 |
WO2008139777A1 (ja) * | 2007-05-07 | 2008-11-20 | C'stec Corporation | 高清浄度環境測定装置および測定方法 |
KR101475545B1 (ko) * | 2007-05-25 | 2014-12-30 | 로르 앵뒤스트리 | 지상의 레일에 의하여 안내되는 도로 차축을 위한, 측방향 진동이 제한되는 양방향 안내 시스템 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5417780A (en) * | 1977-07-08 | 1979-02-09 | Rion Co | Light scattering type fine particle measuring device |
JPS5737640A (en) * | 1980-08-20 | 1982-03-02 | Shimizu Constr Co Ltd | System for varying draft of air in clean room |
-
1981
- 1981-08-27 JP JP12595381U patent/JPS5833930U/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5417780A (en) * | 1977-07-08 | 1979-02-09 | Rion Co | Light scattering type fine particle measuring device |
JPS5737640A (en) * | 1980-08-20 | 1982-03-02 | Shimizu Constr Co Ltd | System for varying draft of air in clean room |
Cited By (6)
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JPH03103210A (ja) * | 1989-09-19 | 1991-04-30 | Mitsubishi Electric Home Appliance Co Ltd | 加熱調理器 |
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JP4535477B2 (ja) * | 2000-09-19 | 2010-09-01 | 大成建設株式会社 | クリーンルーム及び半導体デバイスもしくは液晶ディスプレーの製造方法 |
WO2008139777A1 (ja) * | 2007-05-07 | 2008-11-20 | C'stec Corporation | 高清浄度環境測定装置および測定方法 |
KR101475545B1 (ko) * | 2007-05-25 | 2014-12-30 | 로르 앵뒤스트리 | 지상의 레일에 의하여 안내되는 도로 차축을 위한, 측방향 진동이 제한되는 양방향 안내 시스템 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0127081Y2 (ja) | 1989-08-14 |
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