JPS62127987A - プリント板パタ−ン検査方法 - Google Patents

プリント板パタ−ン検査方法

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JPS62127987A
JPS62127987A JP60267998A JP26799885A JPS62127987A JP S62127987 A JPS62127987 A JP S62127987A JP 60267998 A JP60267998 A JP 60267998A JP 26799885 A JP26799885 A JP 26799885A JP S62127987 A JPS62127987 A JP S62127987A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ξ産業上の利用分野〉 本発明は、ディジタル画像処理技術を用いてプリント板
パターンを自動的に検査するプリント板パターン検査方
法に関するものである。
・ぐ従来の技術〉 従来、目視によって行なわれていたプリント板等の配線
パターンの検査を、最近は、人手に頼らないように機械
化するような試みがなされている。
特に、プリント板パターンの微細化傾向とプリント板製
品の信頼性、歩留りの向上の要求により、プリント板パ
ターンの検査品質の向上と検査時間の短縮が望まれてい
る。
従って、このような要求に応えるために、プリント板パ
ターンを高速、高精度に検査することが必要となってく
る。
従来のプリント仮パターンの検査方法としては、第12
図に示すように、(a)基準を用いて検査する方法と(
b)14準を用いないで検査する方法の2つに分かれる
<a>準を用いて検査する方法は、正常パターンを有す
るブ1ノント板を絶対的な基準とし、正常プリント板パ
ターンと被検査プリント板パターンを入力して前処理を
行なって2値化画S信号に変換し、位置合わせを行なっ
てそれぞれ対応する部分の特徴抽出を行ない、これらを
相互比較することによってパターンの欠陥部分を検出す
るものである。
一方、(b)基準を用いないでパターン検査を行なう方
法は、被検査パターンを入力して2値化処理力を行ない
、この2値化画像信号と予め定義されたパターンの形状
、寸法等に基づいた検査論理(測長、特徴抽出等)と照
合比較を行ない、合わない部分をパターン欠陥部分とし
て検出するものである。
しかしながら、(a)!準を用いる方法は、正常プリン
ト板パターンと被検査プリント板パターンの正確な位置
合ね才が被検査プリント板毎に逐次必要であるため、位
置合わせ機構などの機械の高精度が要求され′pS精度
化に伴うコスト高を生じること、微小欠陥の検出が難し
いこと、パターンのデータ処理量が多く変換処理時間が
大ぎいこと等の問題を持っていた。
また、(b)基準を用いない方法は、例えば扱はパター
ン等の正常パターンと類似する欠陥を検出することがで
きないこと、設計ルールの異なるプリント板パターンを
検査する場合にはその都度検査論理を変更する必要があ
ること等の問題を持つていた。
〈発明が解決しようとする問題点〉 本発明が解決しようとする技術的な課題は、ディジタル
画像処理技術を用いて正確にプリント仮パターンを検査
する方法を実現することであり、常に高速、高精度にプ
リント板パターンを検査することができる方法を提供す
ることを目的とする。
く問題を解決するための手段〉 以上の問題を解決した本発明のプリント板パターン検査
方法は、プリント板のスルーホール領域に付加されるラ
ンド領域とこれに接続されるパターンを塗り潰し、塗り
潰しの行なわれたfr′i域と行なわれなかった領域を
検出し、スルーホール間ネット・リスト・テーブルを作
成してプリント板パターンを検査するものであり、その
方法は以下に述べる通りである。
プリント板パターンを読み込み2値化信号処理を施しパ
ターン部分を黒画素とする画像データに変換する入力部
と、画像メモリ・プレーンを有し前記画像データを格納
する画像メモリ部と、ブリント板パターン検査アルゴリ
ズム及びその検査結果を格納する主メモリ部と、前記検
査結果を外部へ出力する出力部と、数値演痺及びプリン
ト板パターン検査アルゴリズムを実行するプロセッサ部
とを具備し、前記プロセッサ部は、プリント板検査情報
を格納する2次元マトリックス形式のテーブルを前記主
メモリ部に設定し、前記入力部より被検査パターンの2
値化画像データを前記画像メモリ部の第1のメモリ・プ
レーンに書き込み、この第1のメモリ・プレーン上の被
検査パターンの各スルーホール領域にラベル付け処理を
行なうとともにこのスルーホール領域の画素数及び重心
座標を痺出し、このスルーホール領域(ラベル番号I)
を囲むランド領域の有無を検出し、ランド領域がある場
合はそのランド領域とそれに接続するパターンを白画素
で塗り潰し、次のラベル番号(1+1)からそのラベル
番号(1+1)のスルーホール領域のランド領域が塗り
潰されているかどうかを検出し、ランド領域が塗り潰さ
れているスルーホール領域(ラベル番号J)が検出され
た時は前記主メモリ部に設定したテーブルの該当座標値
(J、l)を°置°゛とし、これらの動作を繰り返すこ
とによって前記テーブル上に被倹査パターンのスルーホ
ール間ネット・リスト情報を作成し、この被検査パター
ンのスルーホール領域のネット・リスト情報と予め前記
主メモリ部上に設定した正常パターンのスルーホール間
ネット・リスト情報とを比較し、プリント板パターンの
欠陥の有無を検出する。
また、前記画像メモリ部に第2の画像メモリ・プレーン
及び第3の画像メモリ・プレーンを設定し、前記第2の
画像メモリ・プレーンに正常パターンの2値化画像デー
タを格納し、前記第3の画像メモリ・パターンに被検査
パターンの2値化画像データを格納し、前記主メモリ部
に設定されている前記被検査パターンのネット・リスト
情報と正常パターンのネット・リスト情報を比較し、不
一致の場合は該当するスルーホール領域のランド領域と
このランド領域に接続されるパターンを塗り潰し、この
塗り潰し状態を出力部に出力し、出力された被検査パタ
ーンと正常パターンを目視照合することによりパターン
欠陥位置の検出を行なう。
〈実施例〉 本発明のプリント板パターン検査方法は、第3図に示す
ように、基準を用いる方式に属するものであり、パター
ンを連結するスルーホールに着目し、正常プリント板パ
ターンのスルーホール間ネット・リスト情報を基準とし
、被検査プリント板パターンを入力し前処理を行なって
2値化画像情報を19、スルーホール間ネット・リスト
情報を作成し、これら2つのネット・リスト情報を比較
することによって、パターン欠陥を検出するものである
プリント板の代表的なパターン欠陥として第11図に示
すような、ピンホールミ1ブラツク・スポラ1〜b、突
起C1欠けd1断線e1短絡f等があり、この他にパタ
ーンの1部が描画されていないパターン抜けがある。本
発明は、これらの欠陥の内、実用上特に問題となる断線
、短絡、パターン抜けを検査欠陥対象とするものである
次に、第2図に本発明のプリント板パターン検査方法を
実現するためのディジタル画像処理装置の1例を示す。
この図において、1はプリント板のパターンを読み込み
、光電気変換に伴うシェージング等の前処理及び2埴化
処理を施し、プリント板パターン部分を黒画素とする画
像データに変換するITVカメラ、半導体ライン・スキ
ャナ等の入力部、2は複数の画像メモリ・プレーンより
なり21直化画像データを格納する画像メモリ部、3は
プリント板パターン検査アルゴリズム及びその結果を格
納する主メモリ部、4はプロセッサ41と少数のレジス
タ42よりなり、数1lT1演痺及びパターン検査アル
ゴリズムを実行するプロセッサ部、5はパターン検査結
果を外部に出力するCRT、プリンタ等の出力部であり
、これらはシステム・バスBに接続され、データの授受
を行なう。。
本発明のプリント板パターン検査方法の工程は大きく2
つの工程、即ち(a)パターン欠陥の判を用いて詳しく
説明する。
はじめに、(1)主メモリ部3内に2次元マトリックス
形式のテーブルAを定義し、その内容をクリアする。(
2)次に入力部1から被検査パターンの2値化画像デー
タを画像メモリ部2のメモリブレーンAに取り込む。(
3)メモリプレーンA上の画像データをラスタ・スキャ
ンし、被検査パターンの全スルーホール領域に対して1
からNまでの番号を付与し、ラベル付け処理を行なう。
〈4)そして、ラベル付Cノした各スルーホール領域の
黒画素数とその重心座標を算出し、スルーホール番号I
 (1=1.2.・・・、N>とそれに対応した画素数
、重心座標(XI、YZ)Nスティタス表示用フラグF
LM’O”をスルーホール領域I情報として主メモリ部
3へ格納する。
(5)次に、レジスタ42内のレジスタ■に初期値「1
]を設定する。
(6)ラベル番号■に対応するスルーホール領域lのフ
ラグFLiを主メモリ部3より読み出し、FL I= 
”O” かど−+か判定スル。(7)FLI−′′0″
であれば、(8)主メモリ部3内のスルーホール領域r
情報からスルーホール領域■の黒画素数及び重心座標(
XI * YI>を読み出し、これらの情報をもとにス
ルーホール領域■を囲むランド領域1の有無を探査する
。この探査方法は、例えば、スルーホール領域の重心座
標を中心に水平あるいは垂直の4方向の内いずれか1方
向に、その画素数に応じて定める一定距離!たけ離れた
探査点の画素の白黒を調べ、その画素が黒画素である場
合にランド領域Iが“有″とする。このとき、スルーホ
ール領域が大きい場合には探査距離lを長く、スルーホ
ール領域が小さい場合には探査距離aを短くする。
(9)ランド領域がある場合は、(10)そのランド領
域1の任意の1点(例えばステップ(8)における探査
点)を稜点とし、ランド領域Iとこのランド領域に接続
するパターン及び他のランド領域を黒画素から白画素へ
塗り潰し処理を行なう。
(11)レジスタIの内容を1だけインクリメントし、
結果をレジスタJに格納し、番号fの次のラベル番号の
スルーホール領域のランド領域の塗り潰し状況を調べる
。(12)It@Jに対応するスルーホール領域の7ラ
グFLJを主メモリ部3から読み出し、(13)フラグ
F L J = ” O”の場合は、(14)ステップ
(8)と同様にランド領域Jの有無を探査する。(15
)ランド領tliJがない場合は、スルーホール■とス
ルーホールJが接続されていると判断し、スルーホール
領域JのフラグFLJを領域11とし、主メモリ部3に
格納する。
そして、(17)主メモリ部3内に定義したテーブルA
のXY座標(J、I)に対応するビット位置TΔ(J、
I)にビット“1°゛を立てる。そして、(18)レジ
スタJの値を1インクリメントし、(19)J>Nでな
ければ、〈12)のステップから操作をスルーホール領
域(J+1>のランド領域を調べる操作を繰り返す。
ここで、ステップ(13)においてスルーホール領1*
JのフラグFLJが1″の場合、またはステップ〈15
)においてスルーホール領11iJにランド領域がある
場合は、ステップ(18)の操作を実行する。
そして、(19)J>Nの場合即ち、スルーホール領域
Iに接続するスルーホール領域及びパターンの検出動作
が終了したら、レジスタIの内容を1インクリメントし
、(21)r>Nでない場合は、ステップ(6)からス
ルーホール領域(1+1)について上述と同様の動作を
行なう。
ここで、ステップ(7)でスルーホール領域Iのフラグ
が0″でない場合、またはステップ(9)でスルーホー
ル領域Iのランド領域がない場合は、ステップ(20)
の操作を実行する。
このようにしてステップ(21)まで操作を行なってき
たならば、主メモリ部3内におけるテーブルAの座標の
数箇所に1″が立ち、被検査パターンのスルーホール領
域の接続関係を表わすネット・リスト・テーブル(情報
)Aが作成される。
そして、ステップ(22)において、予め主メモリ部3
上に定めた正常パターンのネツ1〜・リスト・テーブル
Bと作成されたネツI〜・リスト・テーブル八とを比較
する。(23)比較結果が一致してし)れば、(24)
”パターン欠陥無し″であり、〈23)比較結果が一致
していなければ、(25)″゛ノックーン欠陥有り′を
、(26)検査結果として出力する。
ここまでの操作により、被検査パターンに欠陥部分があ
るかどうかの判別処理が終了する。
次に、被検査パターンの欠陥部分の位置の検出工程につ
いて説明を行なう。
(27)入力部1から、予め、画像メ〔り部2のメモリ
ブレーンBに正常パターンの2値化画像データを格納し
、メモリブレーンCに被検査パターンの2値化画像デー
タを格納する。次に、(28)上述のパターン欠陥の判
別処理において求めた被検査パターンのネット・リスト
・テーブルAと予め設定された正常パターンのネ・ント
・リスト・テーブルBの内容のエクスクル−シブ・Aア
(FOR)を演弾(ネット・リスト・テーブル△Φネッ
ト・リスト・テーブルB)L、新たにネット・リスト・
テーブルCを主メモリ部3内に設定する。
このとき、ネット・リスl−・テーブルCの座標値には
正常パターン(ネット・リスト・デープルB)と被検査
パターン(ネット・リスト・テーブルA)との相違箇所
にピッド′1°°か立っている。
(29)レジスタI、Jに初期値1を設定する。
(30)レジスタ■の内容を1インクリメントし、レジ
スタJに格納する。
そして、(31)ネット・リスト・テーブルCのXY座
標(J、f)に対応するビット下C<J。
■)を順次読み出す。
(32) TCLl、  I ) = 1のj易合は、
(33)正常パターンのスルーホール領域Iの画素数及
び重心座標を主メモリ部3から読み出し、画像メモリブ
レーンBにおいて、スルーホールm[fのランド領域と
接続するパターン及び他のランド領域に対する塗り潰し
処理を行ない、(34)塗り潰し処理によって得られた
、正常パターンにおけるスルーホール領itに接続する
スルーホールのラベル番号等の抽出結果を出力Bとして
出力部5に出力する。
次に、同様にして(35)被検査パターンのスルーホー
ル領域Iの画素数及び重心座標を主メモリ部3から読み
出し、画像メモリブレーンCにお(Aで、スルーホール
領域■のランド領域と接続するパターン及び他のランド
領域に対する塗り潰し処理を行ない、(3G)塗り潰し
処理によって1!7られた、被検査パターンにおけるス
ルーホール領域■に接続するスルーホールのラベル番号
等の抽出結果を出力Cとして出力部5に出力する。
(37)出力部5は、抽出結果B、CをCRTまたはプ
リンタ等に出力を行ない、出力された正常パターンと被
検査パターンとの抽出結果を目視照合を行なうことによ
りパターンの位置の確認を行ない、最終的に実際の被検
査パターンの該当部分と正常パターンと比較でき、パタ
ーン欠陥位置の検出を行なうことができる。
尚、(38)レジスタIの内容を1インクリメントし、
(39)I>Nでなければステップ(30)に戻って上
述の手順を繰り返す。
また、ステップ(32)において、ネット・リスト・テ
ーブルCの座標TC(J、I)=1でない場合は、(4
0〉レジスタJの値を1インク1ノメントし、(41)
J>Nでなりれば、ステップ(31〉に戻ってネット・
リスト・テーブルCのXY座標Ll、I)のビット読み
出し操作を開始する。
(41)J>Nであれば、ステ・ンブ(38)レジスタ
■の内容を1インクリメンl−する。
以上のようにして、プリント板パターンの欠陥の有無を
判別し、その欠陥位置の検出を行なうことができる。
次に、上述の手順に従って具体的なfl+作の説明を行
なう。
はじめに、主メモリ部3内に第4図に示すような、縦軸
Y (Y=1.2.・・・+[+・・・、N)、@軸X
 (X−1,2,・・・、J、・・・、N)とし、座標
値TALI、l)で表わす2次元マトリックス形式のテ
ーブルAを定義する。このテーブル△には、被検査プリ
ント板のスルーホールの接続関係が入力される。
そして、被検査プリント板パターンの2値化画像データ
を第5図に示ず画像メモリ部2のメモリブレーン八に格
納する。このとき、メモリプレーンAに格納された被検
査パターンにおけるN個のスルーホール領域に(1,2
,・・・、1.I+1゜・・・、N>までのラベル付(
プ9B浬を行なう。同時に、各々のスルーホール領域の
重心座標及び画素数を算出し、更にスティタス表示用フ
ラグFLを110 I+に設定し、これらの情報を主メ
モリ部3に第6図のようなスルーホール領域情報として
記憶する。
次に、番号1のスルーホール領域からこのスルーホール
領域に付加されるランド領域があるかどうかを探査し、
ランド領域がある場合は、そのランド領域とこのランド
領域に接続されるパターン及びスルーホール領域に対し
て塗り潰し処理を行なう。ランド探査操作は第7図に示
すように、例えば、スルーホール領域■に対して、既に
弾出された重心座標(Xr 、Y工)とスルーホール領
域rの画素数(白画素領域)により、重心から水平方向
あるいは垂直方向に一定距wi1だけ離れた場所の画素
の白黒を判別する。そして、黒画素領域が検出されれば
ランドli有つと判断して、黒画素から白画素へ塗り潰
し処理を行なう。一定距離lの値は、各種の大きさのス
ルーホール領域に対応できるようにスルーホール領域I
の画素数に応じて予め設定されている。
塗り潰し処理が終了すると、■+1番目のスルーホール
領域から順次スルーホール領1aNまでを対象として、
フラグの(1ム及びランド領域の有無を探査し、J番目
のスルーホール領域においてフラグが′O′°でランド
領域が゛無″の場合は、このスルーホール領域はスルー
ホール領域■と接続していると判断し、このスルーホー
ル領域のラベル【とこれに接続するスルーホールJを第
4図に示した主メモリ部3のテーブルA上の座標TA 
(J。
I)にピッド1′′を立てる。
このとき、J番目のスルーホール領域のフラグが0″で
ランド領域が″“有″の場合は、このスルーホール領域
Jはスルーホール(114域Iとは接続されていないと
みなし、フラグが“1゛′の場合は、このスルーホール
f41fiJは既に他のスルーホール領域と接続されて
いるとみなし、テーブル△の該当箇所のビットは“0″
のままとする。
このようにして作成したネット・リスト・テーブルを第
8図(a>、(b)に示す。
第8図(a)は被検査パターンとそのネット・リスl−
・テーブルを表わしたものであり、(b)は正常パター
ンとそのネット・リスト・テーブルを表わしたちのであ
る。この被検査パターンは、正常パターン(b)と比較
して、スルーホール2と3とが断線し、スルーホール4
,5およびスルーホール6.7とが短絡している。
(b)正常パターンのネット・リスト・テーブルBは、
予め主メモリ部3に設定しておき(このネット・リスト
・テーブルI3を作成する工程は上述のネット・リスト
・テーブル△を作成する操作と同一で良い)、その内容
に注目すると、座標(2,1>、(3,1>、(5,4
>、(7,6)にビット“1″が立っており、スルーホ
ール1とスルーホール2及びスルーホール3、スルーホ
ール4とスルーホール5、スルーホール6とスルーホー
ル7が接続されていることが分かる。
一方、被検査パターンのネット・リスト・テーブルAは
座奢票1直(3,1)、(5,4)、(6゜4>、(7
,4)にピッド1″が立っており、スルーホール1と3
とが接続、スルーホール4と5.6.7とが接続されて
いることが表わされる。
そして、プロセッサ部4はネット・リスト・テーブルA
とネット・リスト・テーブルBとを比較し、プロセッサ
部4は両者を異なっていると判断し、被検査パターンに
欠陥部分があることを判別することができる。
次に、パターン欠陥位置の検出工程を説明する。
はじめに、メモリプレーンBに正常パターンの2値化画
像データを格納し、メモリプレーンCに被検査パターン
の2値化画像データを格納する。
プロセッサ部4の演算により、以上の工程で作成した被
検査パターンのネット・リスト・テーブルAと予め設定
したネット・リス1−・テーブルBのエクスクル−シブ
・オアを演算し、ネツl−・リスト・テーブルCを作成
する。このネット・リスト・テーブルCを第9図に示す
。このネット・リスト・テーブルCの座標値において、
ビット″゛1°゛が立っている箇所は、ネット・リスト
・テーブル△とネット・リスト・テーブルBのビット値
が異なっている部分である。
そして、更に、はじめに設定したメモリプレーンB上の
正常パターン及びメモリブレーンC上の被検査パターン
において、ネット・リスト・テーブルC上のビット“1
″の座標(J、r)におけるJ番目のスルーホール領域
のランド領域について塗り潰し処理を行なう。
そして、この塗り潰し結果を出力部5によってCRTま
たはプリンタ等によって外部へ出力する。
この出力状態を第10図に表わす。
第10図は被検査パターンと正常パターンとの接続状態
をCRT等に表示したものであり、<a)はスルーホー
ル2とスルーホール3との断線状態を表わし、(b)、
(c)はスルーホール4.5、スルーホール6.7の短
絡状態を表わしている。
これらの出力状態によりプリント板パターンを目視照合
することにより、欠陥部分の位置を検出することができ
る。
以上のようにして、プリント板パターンの欠陥部分の有
無とその欠陥部分の位置を検出することができる。
本発明によるプリント板パターン検査方法は、基準を用
いる方法であるが、従来の基準を用いる方法と異なる部
分は、本発明の方法では正常パターンと被検査パターン
の正確な位置合わせが不必要である点と、正常パターン
のスルーホール間ネット・リスト・テーブルを被検査パ
ターンの検査毎に毎回作成することなく、最初に1回作
成しておけば良い点である。
〈発明の効果〉 以上述べたように、本発明のプリント板検査方法によれ
ば次の効果が得られる。
正常パターンと被検査パターンのスルーホール間ネット
・リスト・テーブルが正しく作成できる程度の位置合わ
せ精度があれば良いので、正常パターンと被検査パター
ンの正確な位置合わせは不要となり、前後左右の相対的
な位置ずれは問題にならず、ある程度の回転ずれも許容
でき、位置合わせ時間の短縮と機構系の低コスト化を図
ることができる。
ラベル付【プ処理及び塗り潰し処理を行なうことによっ
て得られる正常パターンのスルーホール間ネット情報を
基準とし、被検査パターンのスルーホール間ネット・リ
スト情報とを相互比較するので、プリント教パターンの
断線、短絡、扱はパターンと類似の欠陥の有無を高速、
高精度に検出することができる。
正常パターンのスルーホール間ネット・リスト情報は、
最初に1回作成するだけで良く、被検査パターンの検査
毎に作成する必要はなく、検査時a2の短縮が可能であ
る。
スルーホール間ネット情報は、ピッ1へ対応の2次元マ
トリックス形式によるテーブルで作成するので、コード
情報形式によるものと比べてメモリの容量を削減するこ
とができる。
正常パターンと被検査パターンのスルーホール問ネッ1
−・リスト情報が不一致の場合に正常パターンと被検査
パターンの不一致部分を含む画像データを抽出すること
ができるので、これらの情報と該当部分を目視照合する
ことによって欠陥位置の検出を容易に行なうことができ
る。
方法を説明するためのフローチャート、第2図は本発明
のプリント板検査方法を実現するための回路構成ブロッ
ク図、第3図は本発明のプリント板パターン検査方法の
概要を表わす図、第4図は主メモリ部3に設定するテー
ブルAを表わす図、第5図は画像メモリ部2の画像メモ
リプレーン上の被検査パターンの状態を表わす図、第6
図は主メモリ部3内のスルーホール領域情報を表わす図
、第7図はスルーホール領域Iの重心外a(Xx。
Yx)からこのスルーホール領域Iに付加するランド領
域を探査する様子を表わす図、第8図(a)、(b)は
被検査パターンと正常パターン及びそのネット・リスト
・テーブルA、Bを表わす図、第9図はネット・リスト
・テーブルへ、Bより作成したネット・リスト・テーブ
ルCを表わす図、第10図(a)、(b)、(c)は出
力部5から出力された正常パターンと被検査パターンの
例を表わす図、第11図は本発明が対象とするパターン
欠陥の梗類を表わす図、第12図は従来のプリント板検
査方法を概要を表わす図である。
1・・・入力部、2・・・画像メモリプレーン、3・・
・主メモリ部、4・・・プロセッサ部、41・・・プロ
セッサ、′@2図 I3  図 第 4 図 第5図 第6図 @ 7 図 (白画1fa域)            (屏画g!
域)第8 図 (a)                 (b )7
9図 第12 図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)プリント板パターンを読み込み2値化信号処理を
    施しパターン部分を黒画素とする画像データに変換する
    入力部と、画像メモリ・プレーンを有し前記画像データ
    を格納する画像メモリ部と、プリント板パターン検査ア
    ルゴリズム及びその検査結果を格納する主メモリ部と、
    前記検査結果を外部へ出力する出力部と、数値演算及び
    プリント板パターン検査アルゴリズムを実行するプロセ
    ッサ部とを具備し、前記プロセッサ部は、プリント板検
    査情報を格納する2次元マトリックス形式のテーブルを
    前記主メモリ部に設定し、前記入力部より被検査パター
    ンの2値化画像データを前記画像メモリ部の第1のメモ
    リ・プレーンに書き込み、この第1のメモリ・プレーン
    上の被検査パターンの各スルーホール領域にラベル付け
    処理を行なうとともにこのスルーホール領域の画素数及
    び重心座標を口出し、このスルーホール領域(ラベル番
    号I)を囲むランド領域の有無を検出し、ランド領域が
    ある場合はそのランド領域とそれに接続するパターンを
    白画素で塗り潰し、次のラベル番号(I+1)からその
    ラベル番号(I+1)のスルーホール領域のランド領域
    が塗り潰されているかどうかを検出し、ランド領域が塗
    り潰されているスルーホール領域(ラベル番号J)が検
    出された時は前記主メモリ部に設定したテーブルの該当
    座標値(J、I)を“1”とし、これらの動作を繰り返
    すことによって前記テーブル上に被検査パターンのスル
    ーホール間ネット・リスト情報を作成し、この被検査パ
    ターンのスルーホール領域のネット・リスト情報を予め
    前記主メモリ部上に設定した正常パターンのスルーホー
    ル間ネット・リスト情報とを比較し、プリント板パター
    ンの欠陥の有無を検出するプリント板パターン検査方法
  2. (2)前記画像メモリ部に第2の画像メモリ・プレーン
    及び第3の画像メモリ・プレーンを設定し、前記第2の
    画像メモリ・プレーンに正常パターンの2値化画像デー
    タを格納し、前記第3の画像メモリ・パターンに被検査
    パターンの2値化画像データを格納し、前記主メモリ部
    に設定されている前記被検査パターンのネット・リスト
    情報と正常パターンのネット・リスト情報を比較し、不
    一致の場合は該当するスルーホール領域のランド領域と
    このランド領域に接続されるパターンを塗り潰し、この
    塗り潰し状態を出力部に出力し、出力された被検査パタ
    ーンと正常パターンを目視照合することによりパターン
    欠陥位置の検出を行なう特許請求の範囲第1項記載のプ
    リント板パターン検査方法。
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