JPH10283480A - 認識処理装置およびこの装置に適用される認識処理用の記憶媒体 - Google Patents
認識処理装置およびこの装置に適用される認識処理用の記憶媒体Info
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- JPH10283480A JPH10283480A JP9098197A JP9819797A JPH10283480A JP H10283480 A JPH10283480 A JP H10283480A JP 9098197 A JP9098197 A JP 9098197A JP 9819797 A JP9819797 A JP 9819797A JP H10283480 A JPH10283480 A JP H10283480A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 各対象物をモデルと正しく対応づけて正確な
認識処理を実施する。 【解決手段】 ＢＧＡの外観検査装置１において、ＣＰ
Ｕ６は、検査対象のＢＧＡの画像を取り込んで２値化し
た後、ラベリング処理を行って各はんだボールの計測ラ
ベル画像を抽出する。この後、ＣＰＵ６は、ＲＡＭ８に
あらかじめ記憶された各基準ラベル画像に対し、それぞ
れ前記入力画像上でこの基準ラベル画像に最も近い計測
ラベル画像を対応づけ、この計測ラベル画像に前記基準
ラベル画像と同じラベル番号を付与する。いずれかの基
準ラベル画像に対し、所定距離内に計測ラベル画像が存
在しない場合には、その基準ラベル画像のラベル番号は
欠番として処理される。
認識処理を実施する。 【解決手段】 ＢＧＡの外観検査装置１において、ＣＰ
Ｕ６は、検査対象のＢＧＡの画像を取り込んで２値化し
た後、ラベリング処理を行って各はんだボールの計測ラ
ベル画像を抽出する。この後、ＣＰＵ６は、ＲＡＭ８に
あらかじめ記憶された各基準ラベル画像に対し、それぞ
れ前記入力画像上でこの基準ラベル画像に最も近い計測
ラベル画像を対応づけ、この計測ラベル画像に前記基準
ラベル画像と同じラベル番号を付与する。いずれかの基
準ラベル画像に対し、所定距離内に計測ラベル画像が存
在しない場合には、その基準ラベル画像のラベル番号は
欠番として処理される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、所定の位置関係をも
って配置された複数の対象物を認識するための装置、お
よびこの装置に適用される認識処理用の記憶媒体に関連
する。
って配置された複数の対象物を認識するための装置、お
よびこの装置に適用される認識処理用の記憶媒体に関連
する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ＬＳＩなどの電子部品として、プ
リント基板への実装面に小粒のはんだボールを多数整列
配置させた構成の部品が製作されている。このようなは
んだボールの整列群（一般に「ＢＧＡ（Ball Grid Ara
y）」と呼ばれている）については、出荷前に各はんだ
ボールの装着位置や大きさなどの適否の検査を行う必要
がある。従来、この検査は、画像処理装置を用いて、計
測対象の部品の画像を各はんだボールが良好な状態に装
着された良品モデルの画像と比較することにより行われ
ている。
リント基板への実装面に小粒のはんだボールを多数整列
配置させた構成の部品が製作されている。このようなは
んだボールの整列群（一般に「ＢＧＡ（Ball Grid Ara
y）」と呼ばれている）については、出荷前に各はんだ
ボールの装着位置や大きさなどの適否の検査を行う必要
がある。従来、この検査は、画像処理装置を用いて、計
測対象の部品の画像を各はんだボールが良好な状態に装
着された良品モデルの画像と比較することにより行われ
ている。
【０００３】まず検査に先立ち、前記良品モデルのＢＧ
Ａが撮像されると、画像処理装置は、この画像を取り込
んで２値化した後、ラベリング処理を実行し、各はんだ
ボールのモデルに該当するラベル画像を抽出して、その
位置や大きさなどの特徴量を認識する（以下このモデル
のラベル画像を「基準ラベル画像」という）。さらにこ
れら基準ラベル画像は、所定の規則に基づきソーティン
グされ、前記認識された各特徴量がソート順にメモリに
登録される。
Ａが撮像されると、画像処理装置は、この画像を取り込
んで２値化した後、ラベリング処理を実行し、各はんだ
ボールのモデルに該当するラベル画像を抽出して、その
位置や大きさなどの特徴量を認識する（以下このモデル
のラベル画像を「基準ラベル画像」という）。さらにこ
れら基準ラベル画像は、所定の規則に基づきソーティン
グされ、前記認識された各特徴量がソート順にメモリに
登録される。
【０００４】つぎに検査対象のＢＧＡが撮像されると、
画像処理装置は、この画像を取り込んで前記と同様の２
値化処理，ラベリング処理，ソーティング処理を実行
し、得られた各ラベル画像の特徴量をソート順にメモリ
に記憶する。ついで、画像処理装置は、前記基準ラベル
画像の特徴量と計測対象のラベル画像（以下「計測ラベ
ル画像」という）の特徴量とを、それぞれソートされた
順に読み出して、両者の重心座標間の距離を算出し、そ
の算出結果により計測対象の各はんだボールの装着位置
の適否を判別するなどの処理を実施する。
画像処理装置は、この画像を取り込んで前記と同様の２
値化処理，ラベリング処理，ソーティング処理を実行
し、得られた各ラベル画像の特徴量をソート順にメモリ
に記憶する。ついで、画像処理装置は、前記基準ラベル
画像の特徴量と計測対象のラベル画像（以下「計測ラベ
ル画像」という）の特徴量とを、それぞれソートされた
順に読み出して、両者の重心座標間の距離を算出し、そ
の算出結果により計測対象の各はんだボールの装着位置
の適否を判別するなどの処理を実施する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の処
理では、検査対象のＢＧＡ側に、はんだボールの欠落や
余分なはんだボールの装着があった場合、各ラベル画像
の対応関係に狂いが生じ、正しい認識処理を行うことが
できなくなるという問題がある。
理では、検査対象のＢＧＡ側に、はんだボールの欠落や
余分なはんだボールの装着があった場合、各ラベル画像
の対応関係に狂いが生じ、正しい認識処理を行うことが
できなくなるという問題がある。
【０００６】図８（１）は、前記基準ラベル画像のソー
ティング結果を、図８（２）は、前記計測ラベル画像の
ソーティング結果を、それぞれ示す。図中の各数字は、
前記ソーティング処理により各ラベルに最終的に付与さ
れたラベル番号を示すもので、各図示例とも左上から順
に水平方向に沿って順次ラベル番号がインクリメントさ
れるようなソーティング処理が行われている。
ティング結果を、図８（２）は、前記計測ラベル画像の
ソーティング結果を、それぞれ示す。図中の各数字は、
前記ソーティング処理により各ラベルに最終的に付与さ
れたラベル番号を示すもので、各図示例とも左上から順
に水平方向に沿って順次ラベル番号がインクリメントさ
れるようなソーティング処理が行われている。
【０００７】各図上で基準ラベル画像と計測ラベル画像
との対応関係に着目すると、１〜７のラベル番号につい
ては、両ラベル画像は正しく対応している。しかしなが
ら検査対象のＢＧＡで本来８番目にラベル付けされるべ
きはんだボールが欠落しているため、本来９番目以降の
ラベル番号が付与される各計測ラベル画像には、適正な
番号より１つ若い番号が与えられてしまい、基準ラベル
に正しく対応づされない状態になっている。また余分な
はんだボールの存在により、基準ラベルに対応しない計
測ラベルが抽出されている場合には、この計測ラベルに
いずれかのラベル番号が付与されるため、以下の計測ラ
ベルには、適正な番号よりも大きな番号が与えられてし
まい、前記と同様、基準ラベルとの対応関係に狂いが生
じる。
との対応関係に着目すると、１〜７のラベル番号につい
ては、両ラベル画像は正しく対応している。しかしなが
ら検査対象のＢＧＡで本来８番目にラベル付けされるべ
きはんだボールが欠落しているため、本来９番目以降の
ラベル番号が付与される各計測ラベル画像には、適正な
番号より１つ若い番号が与えられてしまい、基準ラベル
に正しく対応づされない状態になっている。また余分な
はんだボールの存在により、基準ラベルに対応しない計
測ラベルが抽出されている場合には、この計測ラベルに
いずれかのラベル番号が付与されるため、以下の計測ラ
ベルには、適正な番号よりも大きな番号が与えられてし
まい、前記と同様、基準ラベルとの対応関係に狂いが生
じる。
【０００８】この発明は上記問題点に着目してなされた
もので、対象物の良好な配置関係を示す基準画像上の各
モデルに対し、それぞれ計測対象の画像上で抽出された
各対象物の中から前記モデルに最も近い対象物を対応付
けすることことにより、各対象物をモデルと正しく対応
付けて正確な認識処理を実施することを技術課題とす
る。
もので、対象物の良好な配置関係を示す基準画像上の各
モデルに対し、それぞれ計測対象の画像上で抽出された
各対象物の中から前記モデルに最も近い対象物を対応付
けすることことにより、各対象物をモデルと正しく対応
付けて正確な認識処理を実施することを技術課題とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１〜６の発明は、
所定の位置関係をもって配置された複数の対象物を認識
する装置に関するもので、請求項１の発明の装置は、各
対象物のモデルがそれぞれ適正な位置に配置された状態
を示すデータを記憶する記憶手段と、計測すべき各対象
物を撮像して得られた画像を入力して、その入力画像上
の各対象物を抽出する抽出手段と、前記各モデルに対
し、それぞれ前記入力画像上でそのモデルに対応する位
置に最も近い対象物を対応付けする対応付け手段と、前
記対応付け結果にかかる情報を出力する情報出力手段と
を備えている。
所定の位置関係をもって配置された複数の対象物を認識
する装置に関するもので、請求項１の発明の装置は、各
対象物のモデルがそれぞれ適正な位置に配置された状態
を示すデータを記憶する記憶手段と、計測すべき各対象
物を撮像して得られた画像を入力して、その入力画像上
の各対象物を抽出する抽出手段と、前記各モデルに対
し、それぞれ前記入力画像上でそのモデルに対応する位
置に最も近い対象物を対応付けする対応付け手段と、前
記対応付け結果にかかる情報を出力する情報出力手段と
を備えている。
【００１０】請求項２の発明では、前記情報出力手段
は、前記対応付け手段により対象物に対応付けされなか
ったモデルに関する情報を出力するように構成される。
また請求項３の発明では、前記情報出力手段は、前記対
応付け手段によりモデルに対応付けされなかった対象物
に関する情報を出力するように構成される。
は、前記対応付け手段により対象物に対応付けされなか
ったモデルに関する情報を出力するように構成される。
また請求項３の発明では、前記情報出力手段は、前記対
応付け手段によりモデルに対応付けされなかった対象物
に関する情報を出力するように構成される。
【００１１】請求項４の発明にかかる認識処理装置は、
請求項１と同様の記憶手段、抽出手段、対応付け手段を
備えるほか、前記各対象物毎に対応付けられたモデルに
対する位置ずれ量を算出する算出手段とを備えている。
請求項１と同様の記憶手段、抽出手段、対応付け手段を
備えるほか、前記各対象物毎に対応付けられたモデルに
対する位置ずれ量を算出する算出手段とを備えている。
【００１２】請求項５の発明にかかる認識処理装置は、
請求項１と同様の記憶手段、抽出手段、対応付け手段を
備えるほか、前記各対象物毎に対応付けられたモデルと
の形状の一致度を算出する算出手段とを備えている。
請求項１と同様の記憶手段、抽出手段、対応付け手段を
備えるほか、前記各対象物毎に対応付けられたモデルと
の形状の一致度を算出する算出手段とを備えている。
【００１３】請求項６の発明では、請求項１，４，５の
いずれかの構成において、前記記憶手段は、各モデルを
撮像して得られた２値画像上で各モデルの画像をラベル
付けした結果を記憶し、前記抽出手段は、前記入力画像
を２値化処理した後、その２値画像上の対象物をラベル
付けするように、構成する。
いずれかの構成において、前記記憶手段は、各モデルを
撮像して得られた２値画像上で各モデルの画像をラベル
付けした結果を記憶し、前記抽出手段は、前記入力画像
を２値化処理した後、その２値画像上の対象物をラベル
付けするように、構成する。
【００１４】請求項７の発明にかかる認識処理用の記憶
媒体は、所定の位置関係をもって配置された複数の対象
物を撮像して得られた画像を入力して、その入力画像上
の各対象物を抽出する第１の手順と、各対象物のモデル
がそれぞれ適正な位置に配置された状態を示すデータを
用いて、各モデルに対し、それぞれ前記対象物の画像上
でそのモデルに対応する位置に最も近い対象物を対応付
けする第２の手順と、前記対応付け結果にかかる情報を
出力する第３の手順とを一連に実施するように記憶され
る。
媒体は、所定の位置関係をもって配置された複数の対象
物を撮像して得られた画像を入力して、その入力画像上
の各対象物を抽出する第１の手順と、各対象物のモデル
がそれぞれ適正な位置に配置された状態を示すデータを
用いて、各モデルに対し、それぞれ前記対象物の画像上
でそのモデルに対応する位置に最も近い対象物を対応付
けする第２の手順と、前記対応付け結果にかかる情報を
出力する第３の手順とを一連に実施するように記憶され
る。
【００１５】
【作用】請求項１の発明では、複数の対象物のモデルが
正確に配置された状態を示すデータを記憶しておき、こ
れら各モデルに対し、各対象物を撮像して得られた画像
上でそのモデルに対応する位置に最も近い対象物を対応
付けるので、いずれか対象物が欠落したり余分な対象物
が存在する場合にも、他の対象物を該当するモデルに正
しく対応付けることができる。またこの対応付け結果を
出力することにより、対象物の位置の適否にかかる正確
なデータを取得することができる。
正確に配置された状態を示すデータを記憶しておき、こ
れら各モデルに対し、各対象物を撮像して得られた画像
上でそのモデルに対応する位置に最も近い対象物を対応
付けるので、いずれか対象物が欠落したり余分な対象物
が存在する場合にも、他の対象物を該当するモデルに正
しく対応付けることができる。またこの対応付け結果を
出力することにより、対象物の位置の適否にかかる正確
なデータを取得することができる。
【００１６】請求項２の発明では、対応付けされなかっ
たモデルに関する情報を出力することにより、そのモデ
ルに対応する対象物が欠落していることを認識できる。
また請求項３の発明では、対応付けされなかった対象物
に関する情報を出力することにより、その対象物が本来
あるはずのない余分な対象物であることを認識できる。
たモデルに関する情報を出力することにより、そのモデ
ルに対応する対象物が欠落していることを認識できる。
また請求項３の発明では、対応付けされなかった対象物
に関する情報を出力することにより、その対象物が本来
あるはずのない余分な対象物であることを認識できる。
【００１７】請求項４の発明では、前記対応付け結果を
用いて各対象物のモデルに対する位置ずれ量を算出する
ことにより、各対象物の配置位置の適否の認識が行われ
る。また請求項５の発明では、前記対応付け結果を用い
て各対象物のモデルに対する形状の一致度を算出するこ
とにより、各対象物の形状の適否の認識が行われる。
用いて各対象物のモデルに対する位置ずれ量を算出する
ことにより、各対象物の配置位置の適否の認識が行われ
る。また請求項５の発明では、前記対応付け結果を用い
て各対象物のモデルに対する形状の一致度を算出するこ
とにより、各対象物の形状の適否の認識が行われる。
【００１８】請求項６の発明では、２値画像上のラベル
画像として抽出されたモデル，対象物により上記の対応
付け処理が実施される。
画像として抽出されたモデル，対象物により上記の対応
付け処理が実施される。
【００１９】請求項７の発明では、上記請求項１と同様
の処理を実行するための手順を記憶した記憶媒体を構成
することにより、この記憶媒体の記憶内容を装置内に導
入して、同様の認識処理を実行することが可能となる。
の処理を実行するための手順を記憶した記憶媒体を構成
することにより、この記憶媒体の記憶内容を装置内に導
入して、同様の認識処理を実行することが可能となる。
【００２０】
【実施例】図１は、この発明の一実施例にかかるＢＧＡ
用の外観検査装置の構成を示す。この外観検査装置１
は、テレビカメラ２（以下単に「カメラ２」という）に
よりＢＧＡを撮像して得られた画像を用いて、各はんだ
ボールの装着位置や大きさの適否を判別するためのもの
で、Ａ／Ｄ変換部３，画像メモリ４，２値化処理部５，
ＣＰＵ６，ＲＯＭ７，ＲＡＭ８，モニタ９，操作部１０
などを構成として含んでいる。
用の外観検査装置の構成を示す。この外観検査装置１
は、テレビカメラ２（以下単に「カメラ２」という）に
よりＢＧＡを撮像して得られた画像を用いて、各はんだ
ボールの装着位置や大きさの適否を判別するためのもの
で、Ａ／Ｄ変換部３，画像メモリ４，２値化処理部５，
ＣＰＵ６，ＲＯＭ７，ＲＡＭ８，モニタ９，操作部１０
などを構成として含んでいる。
【００２１】前記カメラ２からの映像信号は、Ａ／Ｄ変
換部３によりＡ／Ｄ変換された後、画像メモリ４に格納
される。２値化処理部５は、画像メモリ４に格納された
ディジタル量の濃淡画像データを所定のしきい値で２値
化し、得られた２値画像データをＣＰＵ６へと出力す
る。
換部３によりＡ／Ｄ変換された後、画像メモリ４に格納
される。２値化処理部５は、画像メモリ４に格納された
ディジタル量の濃淡画像データを所定のしきい値で２値
化し、得られた２値画像データをＣＰＵ６へと出力す
る。
【００２２】制御主体であるＣＰＵ６は、ＲＯＭ７に記
憶された制御プログラムに基づき、２値化処理部５より
供給された２値画像データにラベリング処理を行って、
得られた各計測ラベル画像を各はんだボールの画像とし
て認識する。さらにＣＰＵ６は、各計測ラベル画像をあ
らかじめ記憶された基準ラベル画像と対応付けし、対応
するラベル画像間で重心位置や面積などの特徴量を比較
することにより、各はんだボールの装着位置や大きさの
適否を判別する。ＲＡＭ８には、この一連の処理におい
て２値画像やラベル付け結果を一時記憶するためのエリ
アのほか、良品モデルの画像より生成された基準ラベル
画像の登録データを記憶するためのエリアなどが設定さ
れる。
憶された制御プログラムに基づき、２値化処理部５より
供給された２値画像データにラベリング処理を行って、
得られた各計測ラベル画像を各はんだボールの画像とし
て認識する。さらにＣＰＵ６は、各計測ラベル画像をあ
らかじめ記憶された基準ラベル画像と対応付けし、対応
するラベル画像間で重心位置や面積などの特徴量を比較
することにより、各はんだボールの装着位置や大きさの
適否を判別する。ＲＡＭ８には、この一連の処理におい
て２値画像やラベル付け結果を一時記憶するためのエリ
アのほか、良品モデルの画像より生成された基準ラベル
画像の登録データを記憶するためのエリアなどが設定さ
れる。
【００２３】モニタ９には、前記カメラ２により撮像さ
れた原画像や、前記判別結果などが、適宜表示される。
また操作部１０は、検査対象の部品名などの各種情報
を、オペレータの手操作により入力するためのものであ
る。
れた原画像や、前記判別結果などが、適宜表示される。
また操作部１０は、検査対象の部品名などの各種情報
を、オペレータの手操作により入力するためのものであ
る。
【００２４】この実施例の外観検査装置１では、検査に
先立ち、各はんだボールが良好な状態で装着されたＢＧ
Ａ（以下「モデルＢＧＡ」という）の画像を取り込ん
で、計測処理の適否判定のための基準ラベル画像の登録
処理が行われる。
先立ち、各はんだボールが良好な状態で装着されたＢＧ
Ａ（以下「モデルＢＧＡ」という）の画像を取り込ん
で、計測処理の適否判定のための基準ラベル画像の登録
処理が行われる。
【００２５】図２は、前記基準ラベル画像の登録処理手
順を示す。まず最初のステップ１（図中「ＳＴ１」で示
す）で、モデルＢＧＡの画像データが取り込まれて２値
化処理部５による２値化処理が行われると、ＣＰＵ６
は、つぎのステップ２で、この２値画像を所定の方向に
ラスタ走査して、各はんだボールの画像部分をラベル画
像として抽出する。さらにＣＰＵ６は、抽出されたラベ
ル画像毎に重心位置や面積などの特徴量を算出し、ＲＡ
Ｍ８内に一時保存する。
順を示す。まず最初のステップ１（図中「ＳＴ１」で示
す）で、モデルＢＧＡの画像データが取り込まれて２値
化処理部５による２値化処理が行われると、ＣＰＵ６
は、つぎのステップ２で、この２値画像を所定の方向に
ラスタ走査して、各はんだボールの画像部分をラベル画
像として抽出する。さらにＣＰＵ６は、抽出されたラベ
ル画像毎に重心位置や面積などの特徴量を算出し、ＲＡ
Ｍ８内に一時保存する。
【００２６】つぎにＣＰＵ６は、各ラベル画像を重心の
ｙ座標値の昇順にソーティングした後、各ラベル画像に
外接長方形を設定し、各外接長方形の上辺および下辺の
ｙ座標値に基づき、各ラベル画像を複数のグループにグ
ループ分けする（ステップ３）。
ｙ座標値の昇順にソーティングした後、各ラベル画像に
外接長方形を設定し、各外接長方形の上辺および下辺の
ｙ座標値に基づき、各ラベル画像を複数のグループにグ
ループ分けする（ステップ３）。
【００２７】図３は、前記グループ分け処理の具体例を
示す。図中、Ａ１は前記ソーティング処理により１番目
にソートされたラベル画像を、Ａ２は２番目にソートさ
れたラベル画像を、それぞれ示す。またＴＨ1 ，ＴＨ2
は、着目するグループのｙ座標値の範囲を示すしきい値
であって、ここでは初期値として、第１のラベル画像Ａ
１に対する外接長方形Ｒ１の上辺および下辺のｙ座標値
があてはめられている。
示す。図中、Ａ１は前記ソーティング処理により１番目
にソートされたラベル画像を、Ａ２は２番目にソートさ
れたラベル画像を、それぞれ示す。またＴＨ1 ，ＴＨ2
は、着目するグループのｙ座標値の範囲を示すしきい値
であって、ここでは初期値として、第１のラベル画像Ａ
１に対する外接長方形Ｒ１の上辺および下辺のｙ座標値
があてはめられている。
【００２８】ＣＰＵ６は、２番目のラベル画像Ａ２に対
する外接長方形の上辺および下辺のｙ座標値ｙ1 ，ｙ2
と前記しきい値ＴＨ1 ，ＴＨ2 とを比較し、ＴＨ1 ≦ｙ
1 ≦ＴＨ2 またはＴＨ1 ≦ｙ2 ≦ＴＨ2 のいずれかの関
係が成立するとき、前記ラベル画像Ａ２はラベル画像Ａ
１と同一のグループに属するものと判断する。図示例で
は、ＴＨ1 ≦ｙ1 ≦ＴＨ2 の関係が成立しているので、
両ラベル画像Ａ１，Ａ２は、同一グループに属するもの
と判断される。またこの図示例では、ｙ2 がＴＨ2 より
も大きくなっているので、ＣＰＵ６は、つぎの比較処理
に先立ち、このｙ2 をもってしきい値ＴＨ2 を更新す
る。
する外接長方形の上辺および下辺のｙ座標値ｙ1 ，ｙ2
と前記しきい値ＴＨ1 ，ＴＨ2 とを比較し、ＴＨ1 ≦ｙ
1 ≦ＴＨ2 またはＴＨ1 ≦ｙ2 ≦ＴＨ2 のいずれかの関
係が成立するとき、前記ラベル画像Ａ２はラベル画像Ａ
１と同一のグループに属するものと判断する。図示例で
は、ＴＨ1 ≦ｙ1 ≦ＴＨ2 の関係が成立しているので、
両ラベル画像Ａ１，Ａ２は、同一グループに属するもの
と判断される。またこの図示例では、ｙ2 がＴＨ2 より
も大きくなっているので、ＣＰＵ６は、つぎの比較処理
に先立ち、このｙ2 をもってしきい値ＴＨ2 を更新す
る。
【００２９】以下同様にして、ソート順に各ラベル画像
がそのグループに属するか否かがチェックされるもの
で、いずれかのラベル画像について、前記ｙ1 ，ｙ2 が
ともにＴＨ2 よりも大きくなったとき、そのラベル画像
は別のグループに属するものと判断される。
がそのグループに属するか否かがチェックされるもの
で、いずれかのラベル画像について、前記ｙ1 ，ｙ2 が
ともにＴＨ2 よりも大きくなったとき、そのラベル画像
は別のグループに属するものと判断される。
【００３０】図２に戻って、前記ステップ３のグループ
分け処理が完了すると、ＣＰＵ６は、つぎのステップ４
で、各グループ毎に、そのグループに属するラベル画像
を重心位置のｘ座標の昇順にソーティングする。これに
より各ラベル画像に、前記図８（１）に示したのと同様
の順序でラベル番号が付与されるもので、ＣＰＵ６は、
これらラベル画像のラベル番号と特徴量とを対応付けて
基準ラベル画像の登録データとして設定し、ＲＡＭ８内
に格納する（ステップ５）。
分け処理が完了すると、ＣＰＵ６は、つぎのステップ４
で、各グループ毎に、そのグループに属するラベル画像
を重心位置のｘ座標の昇順にソーティングする。これに
より各ラベル画像に、前記図８（１）に示したのと同様
の順序でラベル番号が付与されるもので、ＣＰＵ６は、
これらラベル画像のラベル番号と特徴量とを対応付けて
基準ラベル画像の登録データとして設定し、ＲＡＭ８内
に格納する（ステップ５）。
【００３１】図４は、検査にかかる一連の手順を示す。
まずステップ１，２で、計測対象のＢＧＡの画像が取り
込まれて２値化処理およびラベリング処理が実施され
る。この場合、抽出された各計測ラベル画像の特徴量
は、その抽出順にＲＡＭ８内に記憶される。
まずステップ１，２で、計測対象のＢＧＡの画像が取り
込まれて２値化処理およびラベリング処理が実施され
る。この場合、抽出された各計測ラベル画像の特徴量
は、その抽出順にＲＡＭ８内に記憶される。
【００３２】つぎのステップ３で、ＣＰＵ６は、内部の
カウンタｉを「１」とおいた後、続くステップ４で、こ
のカウンタｉにより特定されるラベル番号１の基準ラベ
ル画像の登録データを読出しを行う。さらにステップ５
で、ＣＰＵ６は、各計測ラベル画像の特徴量を順次読み
出して、それぞれその重心位置と基準ラベル画像の重心
位置との距離を算出し、その算出結果より、前記検査対
象の２値画像上において、前記基準ラベル画像に対応す
る位置から所定の距離内に計測ラベル画像が存在するか
否かをチェックする。
カウンタｉを「１」とおいた後、続くステップ４で、こ
のカウンタｉにより特定されるラベル番号１の基準ラベ
ル画像の登録データを読出しを行う。さらにステップ５
で、ＣＰＵ６は、各計測ラベル画像の特徴量を順次読み
出して、それぞれその重心位置と基準ラベル画像の重心
位置との距離を算出し、その算出結果より、前記検査対
象の２値画像上において、前記基準ラベル画像に対応す
る位置から所定の距離内に計測ラベル画像が存在するか
否かをチェックする。
【００３３】前記所定の距離は、隣接するはんだボール
間の距離により決定されるもので、このステップ５の判
定が「ＹＥＳ」のとき、ＣＰＵ６は、該当する計測ラベ
ル画像をこの第１番目の基準ラベル画像に対応するもの
と判断する。これによりこの計測ラベル画像には、前記
基準ラベル画像と同じラベル番号「１」が付与される。
なお所定距離内に複数の計測ラベル画像が存在する場合
には、このうち基準ラベル画像の位置に最も近い計測ラ
ベル画像が対応づけの対象として選択され、前記ラベル
番号「１」が付与される。
間の距離により決定されるもので、このステップ５の判
定が「ＹＥＳ」のとき、ＣＰＵ６は、該当する計測ラベ
ル画像をこの第１番目の基準ラベル画像に対応するもの
と判断する。これによりこの計測ラベル画像には、前記
基準ラベル画像と同じラベル番号「１」が付与される。
なお所定距離内に複数の計測ラベル画像が存在する場合
には、このうち基準ラベル画像の位置に最も近い計測ラ
ベル画像が対応づけの対象として選択され、前記ラベル
番号「１」が付与される。
【００３４】一方、前記所定距離内に計測ラベル画像が
存在しないと判断された場合には、ステップ５が「Ｎ
Ｏ」となってステップ７へと移行し、ＣＰＵ６は、この
第１番目の基準ラベル画像に対応する計測ラベルは存在
しないと判断する。これにより検査対象の画像に対する
ラベル番号「１」は欠番となったまま、つぎの処理へと
移行する。
存在しないと判断された場合には、ステップ５が「Ｎ
Ｏ」となってステップ７へと移行し、ＣＰＵ６は、この
第１番目の基準ラベル画像に対応する計測ラベルは存在
しないと判断する。これにより検査対象の画像に対する
ラベル番号「１」は欠番となったまま、つぎの処理へと
移行する。
【００３５】ステップ８ではカウンタｉがインクリメン
トされ、以下順次、このカウンタｉにより特定される基
準ラベル画像の登録データが読み出され、計測ラベル画
像との対応付け、または欠番設定処理のいずれかが行わ
れる。
トされ、以下順次、このカウンタｉにより特定される基
準ラベル画像の登録データが読み出され、計測ラベル画
像との対応付け、または欠番設定処理のいずれかが行わ
れる。
【００３６】図５（１）は、前記図２の手順でモデルＢ
ＧＡの２値画像上の各基準ラベル画像をソーティングし
た状態を示す。また図５（２）は、ラベル番号「８」に
対する計測ラベル画像の欠落した検査対象の２値画像に
おいて、上記ステップ４〜７の処理を行った結果を示す
もので、ラベル番号「８」は欠番として処理され、以下
の計測ラベル画像に、正しい対応関係にあるラベル番号
が付与されている。
ＧＡの２値画像上の各基準ラベル画像をソーティングし
た状態を示す。また図５（２）は、ラベル番号「８」に
対する計測ラベル画像の欠落した検査対象の２値画像に
おいて、上記ステップ４〜７の処理を行った結果を示す
もので、ラベル番号「８」は欠番として処理され、以下
の計測ラベル画像に、正しい対応関係にあるラベル番号
が付与されている。
【００３７】図４に戻って、このようにして登録された
Ｎ個の基準ラベル画像について、上記ステップ４〜８の
処理が行われると、ステップ９が「ＹＥＳ」となる。こ
れを受けてＣＰＵ６は、前記ＲＡＭ８内の計測ラベル画
像の記憶領域に着目し、計測ラベル画像の抽出数および
各計測ラベル画像に付与されたラベル番号をチェックす
る。
Ｎ個の基準ラベル画像について、上記ステップ４〜８の
処理が行われると、ステップ９が「ＹＥＳ」となる。こ
れを受けてＣＰＵ６は、前記ＲＡＭ８内の計測ラベル画
像の記憶領域に着目し、計測ラベル画像の抽出数および
各計測ラベル画像に付与されたラベル番号をチェックす
る。
【００３８】各計測ラベル画像に付与されたラベル番号
をチェックすることにより、１〜Ｎのいずれかの番号が
欠番になっていることが認識されたとき、ＣＰＵ６は、
そのラベル番号に対応する基準ラベルの位置（図５
（２）ではラベル番号「８」の位置）をはんだボールの
欠落位置として認識する（ステップ１０，１１）。
をチェックすることにより、１〜Ｎのいずれかの番号が
欠番になっていることが認識されたとき、ＣＰＵ６は、
そのラベル番号に対応する基準ラベルの位置（図５
（２）ではラベル番号「８」の位置）をはんだボールの
欠落位置として認識する（ステップ１０，１１）。
【００３９】またラベル番号が付与されていない計測ラ
ベル画像が存在するとき、ＣＰＵ６は、その計測ラベル
画像は基準ラベル画像に対応付けられていないと判断
し、その計測ラベル画像の位置に、本来あるはずのない
余分なはんだボールが装着されていると認識する（ステ
ップ１２，１３）。
ベル画像が存在するとき、ＣＰＵ６は、その計測ラベル
画像は基準ラベル画像に対応付けられていないと判断
し、その計測ラベル画像の位置に、本来あるはずのない
余分なはんだボールが装着されていると認識する（ステ
ップ１２，１３）。
【００４０】一方、Ｎ個の計測ラベル画像が抽出され、
かつ１〜Ｎのラベル番号が１対１の関係をもって付与さ
れている場合ば、ステップ１０，１２がともに「ＹＥ
Ｓ」となり、ＣＰＵ６は、基準ラベル画像と計測ラベル
画像との対応付けが正しく行われたものと判断する。
かつ１〜Ｎのラベル番号が１対１の関係をもって付与さ
れている場合ば、ステップ１０，１２がともに「ＹＥ
Ｓ」となり、ＣＰＵ６は、基準ラベル画像と計測ラベル
画像との対応付けが正しく行われたものと判断する。
【００４１】このような認識処理の後、ステップ１４に
移行して、対応付けられたラベル画像毎に、その重心位
置の距離を算出したり、面積を比較するなどの処理が行
われて、計測ラベル画像の位置ずれ量や大きさが適正な
範囲内にあるか否かが認識される。さらにＣＰＵ６は、
この認識結果にステップ１１，１３の認識結果を含めて
編集し、検査結果としてモニタ９上に表示する（ステッ
プ１５）。
移行して、対応付けられたラベル画像毎に、その重心位
置の距離を算出したり、面積を比較するなどの処理が行
われて、計測ラベル画像の位置ずれ量や大きさが適正な
範囲内にあるか否かが認識される。さらにＣＰＵ６は、
この認識結果にステップ１１，１３の認識結果を含めて
編集し、検査結果としてモニタ９上に表示する（ステッ
プ１５）。
【００４２】図６は、前記処理により生成された表示デ
ータの一例を示すもので、各計測ラベル画像によりそれ
ぞれはんだボールの形状が示されるととともに、はんだ
ボールの欠落位置、余剰のはんだボールが存在する位
置、はんだボールが位置ずれしている位置、大きさが不
良のはんだボールが存在する位置毎に、それぞれその不
良内容を示す識別マークＭ１〜Ｍ４が表示されている。
ータの一例を示すもので、各計測ラベル画像によりそれ
ぞれはんだボールの形状が示されるととともに、はんだ
ボールの欠落位置、余剰のはんだボールが存在する位
置、はんだボールが位置ずれしている位置、大きさが不
良のはんだボールが存在する位置毎に、それぞれその不
良内容を示す識別マークＭ１〜Ｍ４が表示されている。
【００４３】このように、各基準ラベル画像毎に対応す
る計測ラベル画像を検索することにすることにより、は
んだボールの欠落や余分なはんだボールの装着などの不
良の影響を受けずに、各計測ラベル画像を基準ラベル画
像に適切に対応付けすることができる。よってこの対応
付け結果を用いることにより、各はんだボールの装着位
置，大きさの適否を精度良く認識することができる。
る計測ラベル画像を検索することにすることにより、は
んだボールの欠落や余分なはんだボールの装着などの不
良の影響を受けずに、各計測ラベル画像を基準ラベル画
像に適切に対応付けすることができる。よってこの対応
付け結果を用いることにより、各はんだボールの装着位
置，大きさの適否を精度良く認識することができる。
【００４４】なお上記実施例では、モデルＢＧＡを撮像
して得られた画像の２値化，ラベリング処理により基準
ラベル画像を設定しているが、これに限らず、例えばＣ
ＡＤデータを編集して基準ラベル画像を作成するように
してもよい。
して得られた画像の２値化，ラベリング処理により基準
ラベル画像を設定しているが、これに限らず、例えばＣ
ＡＤデータを編集して基準ラベル画像を作成するように
してもよい。
【００４５】また上記実施例は、２値画像のラベリング
処理による計測を行うものであるが、この発明はこれに
限らず、濃淡画像を用いた処理についても適用すること
ができる。
処理による計測を行うものであるが、この発明はこれに
限らず、濃淡画像を用いた処理についても適用すること
ができる。
【００４６】図７は、モデルＢＧＡの濃淡画像をモデル
画像として、各はんだボールの位置や特徴を登録するた
めの方法を示す。図中、１１は、あらかじめ良好な１個
のはんだボールを表す画像としてＲＡＭ８などに登録さ
れたサーチモデルであって、ＣＰＵ６は、モデル画像上
にこのサーチモデルを走査しつつ、各走査位置で順次相
関演算を実施する。これによりいずれか走査位置で、サ
ーチモデルに対する相関値が所定のしきい値を越える
と、ＣＰＵ６は、この走査位置をはんだボールの装着位
置として認識するとともに、その位置を中心とする所定
の画像領域におけるエッジを抽出するなどして、はんだ
ボールの重心位置や面積などの特徴量を算出する。ＣＰ
Ｕ６は、この算出結果を、サーチモデルとのマッチング
がとれた順に番号付けし、順次ＲＡＭ８内に格納する。
画像として、各はんだボールの位置や特徴を登録するた
めの方法を示す。図中、１１は、あらかじめ良好な１個
のはんだボールを表す画像としてＲＡＭ８などに登録さ
れたサーチモデルであって、ＣＰＵ６は、モデル画像上
にこのサーチモデルを走査しつつ、各走査位置で順次相
関演算を実施する。これによりいずれか走査位置で、サ
ーチモデルに対する相関値が所定のしきい値を越える
と、ＣＰＵ６は、この走査位置をはんだボールの装着位
置として認識するとともに、その位置を中心とする所定
の画像領域におけるエッジを抽出するなどして、はんだ
ボールの重心位置や面積などの特徴量を算出する。ＣＰ
Ｕ６は、この算出結果を、サーチモデルとのマッチング
がとれた順に番号付けし、順次ＲＡＭ８内に格納する。
【００４７】検査対象のＢＧＡについても、同様のサー
チモデルを用いて各はんだボールが抽出された後、その
特徴量が算出されてＲＡＭ８内に一時保存される。この
後、前記図４と同様の方法により、モデル画像上の各特
徴と計測対象の画像上の各特徴とが対応付けされた後、
その対応付け結果に基づき、各計測対象の特徴の良否判
定が実施される。
チモデルを用いて各はんだボールが抽出された後、その
特徴量が算出されてＲＡＭ８内に一時保存される。この
後、前記図４と同様の方法により、モデル画像上の各特
徴と計測対象の画像上の各特徴とが対応付けされた後、
その対応付け結果に基づき、各計測対象の特徴の良否判
定が実施される。
【００４８】なおこの実施例では、２値画像のラベリン
グ処理以降の手順をプログラム化してＲＯＭ７に記憶さ
せているが、これに限らず、濃淡画像の２値化処理以降
の手順をすべて組み込んだプログラムを作成して、ＲＯ
Ｍ７に記憶させてもよい。またこのような制御プログラ
ムをフロッピィディスクやＣＤ−ＲＯＭなどの記憶媒体
に記憶させることにより、その記憶内容をインストール
するだけで、従来の検査装置でも上記と同様の検査を実
施することができる。
グ処理以降の手順をプログラム化してＲＯＭ７に記憶さ
せているが、これに限らず、濃淡画像の２値化処理以降
の手順をすべて組み込んだプログラムを作成して、ＲＯ
Ｍ７に記憶させてもよい。またこのような制御プログラ
ムをフロッピィディスクやＣＤ−ＲＯＭなどの記憶媒体
に記憶させることにより、その記憶内容をインストール
するだけで、従来の検査装置でも上記と同様の検査を実
施することができる。
【００４９】
【発明の効果】請求項１の発明では、複数の対象物を撮
像して得られた画像を用いて各対象物の認識処理を行う
際に、あらかじめ複数の対象物のモデルが適正な位置に
配置された状態を示すデータを記憶しておき、各モデル
毎に前記対象物の画像上でそのモデルに対応する位置に
最も近い対象物を対応付けるので、いずれか対象物が欠
落したり余分な対象物が存在する場合にも、他の対象物
を該当するモデルに正しく対応付けし、各対象物の位置
の適否を判別するためのデータを取得して正確な認識処
理を行うことができる。
像して得られた画像を用いて各対象物の認識処理を行う
際に、あらかじめ複数の対象物のモデルが適正な位置に
配置された状態を示すデータを記憶しておき、各モデル
毎に前記対象物の画像上でそのモデルに対応する位置に
最も近い対象物を対応付けるので、いずれか対象物が欠
落したり余分な対象物が存在する場合にも、他の対象物
を該当するモデルに正しく対応付けし、各対象物の位置
の適否を判別するためのデータを取得して正確な認識処
理を行うことができる。
【００５０】請求項２の発明では、対応付けされなかっ
たモデルに関する情報を出力することにより、そのモデ
ルに対応する対象物が欠落していることを認識できる。
また請求項３の発明では、対応付けされなかった対象物
に関する情報を出力することにより、その対象物が本来
あるはずのない余分な対象物であることを認識できる。
たモデルに関する情報を出力することにより、そのモデ
ルに対応する対象物が欠落していることを認識できる。
また請求項３の発明では、対応付けされなかった対象物
に関する情報を出力することにより、その対象物が本来
あるはずのない余分な対象物であることを認識できる。
【００５１】請求項４の発明では、前記対応付け結果を
用いて各対象物のモデルに対する位置ずれ量を算出する
ことにより、各対象物の配置位置の適否が正確に認識で
きる。また請求項５の発明では、前記対応付け結果を用
いて各対象物のモデルに対する形状の一致度を算出する
ことにより、各対象物の形状の適否が正確に認識でき
る。
用いて各対象物のモデルに対する位置ずれ量を算出する
ことにより、各対象物の配置位置の適否が正確に認識で
きる。また請求項５の発明では、前記対応付け結果を用
いて各対象物のモデルに対する形状の一致度を算出する
ことにより、各対象物の形状の適否が正確に認識でき
る。
【００５２】請求項６の発明では、２値画像上のラベル
画像として抽出されたモデルと対象物とを、上記の対応
付け処理により的確に対応付けして、正確な認識処理を
行うことができる。
画像として抽出されたモデルと対象物とを、上記の対応
付け処理により的確に対応付けして、正確な認識処理を
行うことができる。
【００５３】請求項７の発明では、上記請求項１と同様
の処理を実行するための手順を記憶した記憶媒体を構成
することにより、この記憶媒体の記憶内容を装置内に導
入して、同様の認識処理を実行可能な装置を簡単に提供
することができる。
の処理を実行するための手順を記憶した記憶媒体を構成
することにより、この記憶媒体の記憶内容を装置内に導
入して、同様の認識処理を実行可能な装置を簡単に提供
することができる。
【図１】この発明の一実施例にかかるＢＧＡ部品用の外
観検査装置１の構成を示すブロック図である。
観検査装置１の構成を示すブロック図である。
【図２】基準ラベル画像の登録処理にかかる手順を示す
フローチャートである。
フローチャートである。
【図３】ソーティング処理におけるグループ分けの具体
例を示す説明図である。
例を示す説明図である。
【図４】計測処理の手順を示すフローチャートである。
【図５】基準ラベル画像と計測ラベル画像との対応付け
結果を示す説明図である。
結果を示す説明図である。
【図６】認識処理結果の表示データの一例を示す説明図
である。
である。
【図７】濃淡のモデル画像を用いてはんだボールの特徴
を登録する方法を示す説明図である。
を登録する方法を示す説明図である。
【図８】従来の方法で基準ラベル画像と計測ラベル画像
とを対応づけした場合の対応付け結果を示す説明図であ
る。
とを対応づけした場合の対応付け結果を示す説明図であ
る。
１ 外観検査装置 ２ カメラ ６ ＣＰＵ ８ ＲＡＭ
Claims (7)
- 【請求項１】 所定の位置関係をもって配置された複数
の対象物を認識する装置において、 各対象物のモデルがそれぞれ適正な位置に配置された状
態を示すデータを記憶する記憶手段と、 計測すべき各対象物を撮像して得られた画像を入力し
て、その入力画像上の各対象物を抽出する抽出手段と、 前記各モデルに対し、それぞれ前記入力画像上でそのモ
デルに対応する位置に最も近い対象物を対応付けする対
応付け手段と、 前記対応付け結果にかかる情報を出力する情報出力手段
とを備えて成る認識処理装置。 - 【請求項２】 前記情報出力手段は、前記対応付け手段
により対象物に対応付けされなかったモデルに関する情
報を出力する請求項１に記載された認識処理装置。 - 【請求項３】 前記情報出力手段は、前記対応付け手段
によりモデルに対応付けされなかった対象物に関する情
報を出力する請求項１に記載された認識処理装置。 - 【請求項４】 所定の位置関係をもって配置された複数
の対象物を認識する装置において、 各対象物のモデルがそれぞれ適正な位置に配置された状
態を示すデータを記憶する記憶手段と、 計測すべき各対象物を撮像して得られた画像を入力し
て、その入力画像上の各対象物を抽出する抽出手段と、 前記各モデルに対し、それぞれ前記入力画像上でそのモ
デルに対応する位置に最も近い対象物を対応付けする対
応付け手段と、 前記各対象物毎に対応付けられたモデルに対する位置ず
れ量を算出する算出手段とを備えて成る認識処理装置。 - 【請求項５】 所定の位置関係をもって配置された複数
の対象物を認識する装置において、 各対象物のモデルがそれぞれ適正な位置に配置された状
態を示すデータを記憶する記憶手段と、 計測すべき各対象物を撮像して得られた画像を入力し
て、その入力画像上の各対象物を抽出する抽出手段と、 前記各モデルに対し、それぞれ前記入力画像上でそのモ
デルに対応する位置に最も近い対象物を対応付けする対
応付け手段と、 前記各対象物毎に対応付けられたモデルとの形状の一致
度を算出する算出手段とを備えて成る認識処理装置。 - 【請求項６】 前記記憶手段は、各モデルを撮像して得
られた２値画像上で各モデルの画像をラベル付けした結
果を記憶し、 前記抽出手段は、前記入力画像を２値化処理した後、そ
の２値画像上の対象物をラベル付けする請求項１，４，
５のいずれかに記載された認識処理装置。 - 【請求項７】 所定の位置関係をもって配置された複数
の対象物を撮像して得られた画像を入力して、その入力
画像上の各対象物を抽出する第１の手順と、 各対象物のモデルがそれぞれ適正な位置に配置された状
態を示すデータを用いて、各モデルに対し、それぞれ前
記入力画像上でそのモデルに対応する位置に最も近い対
象物を対応付けする第２の手順と、 前記対応付け結果にかかる情報を出力する第３の手順と
を一連に実施するように記憶された認識処理用の記憶媒
体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9098197A JPH10283480A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 認識処理装置およびこの装置に適用される認識処理用の記憶媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9098197A JPH10283480A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 認識処理装置およびこの装置に適用される認識処理用の記憶媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10283480A true JPH10283480A (ja) | 1998-10-23 |
Family
ID=14213286
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9098197A Pending JPH10283480A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 認識処理装置およびこの装置に適用される認識処理用の記憶媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10283480A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000033023A1 (fr) * | 1998-11-30 | 2000-06-08 | Olympus Optical Co., Ltd. | Detecteur de defauts |
| US6614926B1 (en) * | 1999-06-29 | 2003-09-02 | Cognex Corporation | Methods and apparatuses for generating from an image a model of an object |
| JP2007071835A (ja) * | 2005-09-09 | 2007-03-22 | Mitsutoyo Corp | 画像測定装置用パートプログラム生成装置、画像測定装置用パートプログラム生成方法、及び画像測定装置用パートプログラム生成用プログラム |
| KR101122806B1 (ko) * | 2004-05-31 | 2012-03-21 | 가부시끼가이샤 히다찌 하이테크 인스트루먼츠 | 전자 부품 장착 장치 및 전자 부품 장착 방법 |
-
1997
- 1997-03-31 JP JP9098197A patent/JPH10283480A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000033023A1 (fr) * | 1998-11-30 | 2000-06-08 | Olympus Optical Co., Ltd. | Detecteur de defauts |
| US6614926B1 (en) * | 1999-06-29 | 2003-09-02 | Cognex Corporation | Methods and apparatuses for generating from an image a model of an object |
| KR101122806B1 (ko) * | 2004-05-31 | 2012-03-21 | 가부시끼가이샤 히다찌 하이테크 인스트루먼츠 | 전자 부품 장착 장치 및 전자 부품 장착 방법 |
| JP2007071835A (ja) * | 2005-09-09 | 2007-03-22 | Mitsutoyo Corp | 画像測定装置用パートプログラム生成装置、画像測定装置用パートプログラム生成方法、及び画像測定装置用パートプログラム生成用プログラム |
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