KR20230138869A - 검사 시스템, 교사 데이터 생성 장치, 교사 데이터 생성 방법 및 기록 매체에 기록된 프로그램 - Google Patents

Abstract

검사 시스템 (1) 은, 대상물을 촬상한 화상을, 기계 학습을 사용하지 않고 검사하여 결함을 검출하는 검사부 (20) 와, 미리 생성된 학습이 완료된 모델을 갖고, 결함을 나타내는 화상을 학습이 완료된 모델에 입력함으로써, 결함의 결함 종별을 분류하는 분류부 (52) 와, 검사부 (20) 에 의해 검출된 결함의 분류부 (52) 에 있어서의 분류의 필요 여부를, 결함의 검출시에 검사부 (20) 에서 취득 또는 이용된 결함 관련 정보에 기초하여 결정하는 분류 필요 여부 결정부 (53) 를 구비한다. 이로써, 학습이 완료된 모델에 있어서의 중대한 오분류의 회피, 및, 분류 처리에 필요로 하는 시간의 단축을 실현할 수 있다.

Description

검사 시스템, 교사 데이터 생성 장치, 교사 데이터 생성 방법 및 기록 매체에 기록된 프로그램{INSPECTION SYSTEM, TRAINING DATA GENERATION APPARATUS, TRAINING DATA GENERATION METHOD, AND PROGRAM RECORDED ON RECORDING MEDIUM}

본 발명은, 대상물을 검사하는 기술에 관한 것이다.

종래, 프린트 기판 등의 대상물을 촬상하여, 결함을 검출하는 검사 시스템이 사용되고 있다. 일본 공개특허공보 2021-177154호의 검사 시스템에서는, 대상물을 촬상한 화상에 기초하여, 기계 학습을 사용하지 않고 불량 판정을 실시하는 1 차 검사부와, 1 차 검사부에서 불량으로 판정된 대상물의 화상에 기초하여, 기계 학습 모델을 사용하여, 진짜 불량품과 과판정품을 분별하는 2 차 검사부가 형성된다. 이로써, 과판정품의 발생에서 기인하는 생산성의 저하가 억제된다.

상기와 같이, 학습이 완료된 모델 (기계 학습 모델) 을 실제 결함 또는 거짓 결함의 분류에 사용하는 경우, 사전에 복수의 교사 데이터를 사용하여 학습을 실시하여, 당해 학습이 완료된 모델을 생성할 필요가 있다. 이 경우, 작업자가, 미리 준비된 결함 화상에 대해, 실제 결함 또는 거짓 결함을 판정함으로써 (즉, 어노테이션에 의해), 당해 결함 화상에 실제 결함 또는 거짓 결함이 라벨링된 교사 데이터가 생성된다.

그런데, 프린트 기판 상의 결함은, 그 위치나 상태 등에 따라서는, 프린트 기판의 동작이나 성능 등에 큰 영향을 미치기 때문에, 학습이 완료된 모델에 의한 분류의 오류 (여기서는, 실제 결함의 거짓 결함으로의 오분류) 가 허용되지 않는 경우가 있다. 학습이 완료된 모델에 있어서의 중대한 오분류를 회피하기 위해, 다수의 교사 데이터를 사용하여 학습을 실시하는 것이 생각되지만, 이 경우, 작업자에 의한 라벨링 작업에 장시간을 필요로 함과 함께, 학습에 필요로 하는 시간도 길어진다. 또, 학습이 완료된 모델에 있어서의 오분류를 완전하게 회피하는 것은 불가능하다. 또한, 검출된 모든 결함을 학습이 완료된 모델에 입력하는 경우, 분류 처리에 필요로 하는 시간이 길어져 버린다.

본 발명은, 검사 시스템을 대상으로 하고 있고, 학습이 완료된 모델에 있어서의 중대한 오분류의 회피, 및, 분류 처리에 필요로 하는 시간의 단축을 실현하는 것을 목적으로 하며, 교사 데이터의 생성에 있어서 라벨링 작업 및 학습에 필요로 하는 시간을 단축하는 것도 목적으로 하고 있다.

본 발명에 관련된 검사 시스템은, 대상물을 촬상한 화상을, 기계 학습을 사용하지 않고 검사하여 결함을 검출하는 검사부와, 미리 생성된 학습이 완료된 모델을 갖고, 결함을 나타내는 화상을 상기 학습이 완료된 모델에 입력함으로써, 상기 결함의 결함 종별을 분류하는 분류부와, 상기 검사부에 의해 검출된 결함의 상기 분류부에 있어서의 분류의 필요 여부를, 상기 결함의 검출시에 상기 검사부에서 취득 또는 이용된 결함 관련 정보에 기초하여 결정하는 분류 필요 여부 결정부를 구비한다.

본 발명에 의하면, 학습이 완료된 모델에 있어서의 중대한 오분류의 회피, 및, 분류 처리에 필요로 하는 시간의 단축을 실현할 수 있다.

바람직하게는, 상기 분류부가, 상기 검사부에 의해 검출된 결함을 실제 결함 또는 거짓 결함으로 분류하고, 상기 검사부가, 결함의 검출시에 상기 결함의 결함 종별을 취득하여, 상기 결함 관련 정보에 상기 결함 종별이 포함될 수 있고, 상기 분류 필요 여부 결정부가, 특정한 결함 종별인 결함의 상기 분류부에 있어서의 분류를 불필요로 결정한다.

바람직하게는, 상기 검사부가, 제 1 검사 처리에 의해 결함을 검출하고, 상기 결함을 포함하는 결함 화상을 취득하는 제 1 검사 처리부와, 상기 제 1 검사 처리와는 상이한 제 2 검사 처리에 의해 결함을 검출하고, 상기 결함을 포함하는 결함 화상을 취득하는 제 2 검사 처리부를 구비하고, 상기 제 1 검사 처리부가 상기 제 2 검사 처리부보다 상세한 결함 화상 중의 결함의 위치 정보를 취득 가능하여, 상기 결함 관련 정보에 상기 제 1 검사 처리부에 의해 취득된 상기 위치 정보가 포함될 수 있고, 상기 분류 필요 여부 결정부가, 상기 제 1 검사 처리부에 의해 검출된 결함의 상기 분류부에 있어서의 분류를 필요로 결정하고, 상기 제 2 검사 처리부에 의해 검출된 결함의 상기 분류부에 있어서의 분류를 불필요로 결정하고, 상기 분류부가, 결함의 위치 정보에 기초하여 결함 화상으로부터 상기 결함의 영역을 절출한 화상을 상기 학습이 완료된 모델에 입력한다.

바람직하게는, 상기 대상물의 각 위치에 대해 복수의 검사 감도 중 하나의 검사 감도가 설정되어 있고, 상기 검사부가 결함의 검출시에 이용한 검사 감도를 나타내는 정보가, 상기 결함 관련 정보에 포함될 수 있고, 상기 분류 필요 여부 결정부가, 특정한 검사 감도로 검출된 결함의 상기 분류부에 있어서의 분류를 불필요로 결정한다.

본 발명은, 교사 데이터를 생성하는 교사 데이터 생성 장치를 대상으로 하기도 한다. 본 발명에 관련된 교사 데이터 생성 장치는, 대상물을 촬상한 화상을, 기계 학습을 사용하지 않고 검사하는 검사부로부터, 결함을 포함하는 결함 화상과, 상기 결함의 검출시에 취득 또는 이용된 결함 관련 정보를 접수하는 화상 접수부와, 상기 결함 관련 정보에 기초하여 상기 결함 화상을 교사 데이터에 사용할지의 여부를 결정하는 화상 필요 여부 결정부와, 교사 데이터에 사용하는 결함 화상을 디스플레이에 표시하는 표시 제어부와, 상기 디스플레이에 표시된 상기 결함 화상에 대한 작업자에 의한, 결함 종별의 판정 결과의 입력을 접수하는 판정 결과 접수부와, 상기 결함 화상에 상기 판정 결과를 라벨링하여 교사 데이터를 생성하는 교사 데이터 생성부를 구비한다. 본 발명에 의하면, 교사 데이터의 생성에 있어서 라벨링 작업 및 학습에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있다.

바람직하게는, 상기 판정 결과 접수부가, 작업자에 의한 실제 결함 또는 거짓 결함의 판정 결과의 입력을 접수하고, 상기 검사부에 있어서 결함의 검출시에 취득된 상기 결함의 결함 종별이, 상기 결함 관련 정보에 포함될 수 있고, 상기 화상 필요 여부 결정부가, 특정한 결함 종별인 결함을 포함하는 결함 화상을 교사 데이터에 사용하지 않는다고 결정한다.

바람직하게는, 상기 검사부가, 제 1 검사 처리에 의해 결함을 검출하고, 상기 결함을 포함하는 결함 화상을 취득하는 제 1 검사 처리부와, 상기 제 1 검사 처리와는 상이한 제 2 검사 처리에 의해 결함을 검출하고, 상기 결함을 포함하는 결함 화상을 취득하는 제 2 검사 처리부를 구비하고, 상기 제 1 검사 처리부가 상기 제 2 검사 처리부보다 상세한 결함 화상 중의 결함의 위치 정보를 취득 가능하여, 상기 결함 관련 정보에 상기 제 1 검사 처리부에 의해 취득된 상기 위치 정보가 포함될 수 있고, 상기 화상 필요 여부 결정부가, 상기 제 1 검사 처리부에 의해 검출된 결함의 결함 화상을 교사 데이터에 사용한다고 결정하고, 상기 제 2 검사 처리부에 의해 검출된 결함의 결함 화상을 교사 데이터에 사용하지 않는다고 결정하고, 상기 교사 데이터 생성부가, 결함의 위치 정보에 기초하여 결함 화상으로부터 상기 결함의 영역을 절출한 화상을 포함하는 교사 데이터를 생성한다.

바람직하게는, 상기 대상물의 각 위치에 대해 복수의 검사 감도 중 하나의 검사 감도가 설정되어 있고, 상기 검사부가 결함의 검출시에 이용한 검사 감도를 나타내는 정보가, 상기 결함 관련 정보에 포함될 수 있고, 상기 화상 필요 여부 결정부가, 특정한 검사 감도로 검출된 결함을 포함하는 결함 화상을 교사 데이터에 사용하지 않는다고 결정한다.

본 발명은, 교사 데이터를 생성하는 교사 데이터 생성 방법을 대상으로 하기도 한다. 본 발명에 관련된 교사 데이터 생성 방법은, a) 대상물을 촬상한 화상을, 기계 학습을 사용하지 않고 검사하는 검사부로부터, 결함을 포함하는 결함 화상과, 상기 결함의 검출시에 취득 또는 이용된 결함 관련 정보를 접수하는 공정과, b) 상기 결함 관련 정보에 기초하여 상기 결함 화상을 교사 데이터에 사용할지의 여부를 결정하는 공정과, c) 교사 데이터에 사용하는 결함 화상을 디스플레이에 표시하는 공정과, d) 상기 디스플레이에 표시된 상기 결함 화상에 대한 작업자에 의한, 결함 종별의 판정 결과의 입력을 접수하는 공정과, e) 상기 결함 화상에 상기 판정 결과를 라벨링하여 교사 데이터를 생성하는 공정을 구비한다.

본 발명은, 컴퓨터에 교사 데이터를 생성시키는, 기록 매체에 기록된 프로그램을 대상으로 하기도 한다. 본 발명에 관련된 프로그램의 컴퓨터에 의한 실행은, 상기 컴퓨터에, a) 대상물을 촬상한 화상을, 기계 학습을 사용하지 않고 검사하는 검사부로부터, 결함을 포함하는 결함 화상과, 상기 결함의 검출시에 취득 또는 이용된 결함 관련 정보를 접수하는 공정과, b) 상기 결함 관련 정보에 기초하여 상기 결함 화상을 교사 데이터에 사용할지의 여부를 결정하는 공정과, c) 교사 데이터에 사용하는 결함 화상을 디스플레이에 표시하는 공정과, d) 상기 디스플레이에 표시된 상기 결함 화상에 대한 작업자에 의한, 결함 종별의 판정 결과의 입력을 접수하는 공정과, e) 상기 결함 화상에 상기 판정 결과를 라벨링하여 교사 데이터를 생성하는 공정을 실행시킨다.

상기 서술한 목적 및 다른 목적, 특징, 양태 및 이점은, 첨부한 도면을 참조하여 이하에 실시하는 본 발명의 상세한 설명에 의해 명백해진다.

도 1 은, 검사 시스템의 구성을 나타내는 도면이다.
도 2 는, 컴퓨터의 구성을 나타내는 도면이다.
도 3 은, 교사 데이터 생성 장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도 4 는, 제 1 검사 처리를 설명하기 위한 도면이다.
도 5 는, 제 1 검사 처리에 의해 검출 가능한 결함 종별을 나타내는 도면이다.
도 6 은, 제 1 검사 처리의 다른 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 7 은, 2 치의 분할 화상 및 마스터 화상을 나타내는 도면이다.
도 8 은, 제 2 검사 처리를 설명하기 위한 도면이다.
도 9 는, 교사 데이터를 생성하는 처리의 흐름을 나타내는 도면이다.
도 10 은, 프린트 기판을 검사하는 처리의 흐름을 나타내는 도면이다.
도 11 은, 프린트 기판을 나타내는 도면이다.
도 12 는, 프린트 기판의 일부를 나타내는 도면이다.

(제 1 실시형태)

도 1 은, 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 검사 시스템 (1) 의 구성을 나타내는 도면이다. 검사 시스템 (1) 은, 대상물인 프린트 기판을 검사한다. 검사 시스템 (1) 은, 검사 장치 (2) 와, 컴퓨터 (3) 와, 결함 확인 장치 (11) 를 구비한다. 도 1 에서는, 컴퓨터 (3) 가 실현하는 기능 구성을 파선의 직사각형으로 둘러싸고 있다.

검사 장치 (2) 는, 도시가 생략된 촬상부와, 이동 기구를 구비한다. 촬상부는, 프린트 기판을 촬상한다. 이동 기구는, 촬상부에 대해 프린트 기판을 상대적으로 이동시킨다. 검사 장치 (2) 는, 검사부 (20) 를 추가로 구비한다. 검사부 (20) 는, 예를 들어, 컴퓨터 또는/및 전기 회로에 의해 실현된다. 검사부 (20) 는, 제 1 검사 처리부 (21) 와, 제 2 검사 처리부 (22) 를 구비한다. 제 1 검사 처리부 (21) 및 제 2 검사 처리부 (22) 는, 촬상부로부터 출력되는 촬상 화상에 대해 서로 상이한 검사 처리를 실행하여, 당해 촬상 화상으로부터 결함을 검출한다. 제 1 검사 처리부 (21) 또는 제 2 검사 처리부 (22) 에 있어서 결함이 검출되면, 당해 결함의 영역을 포함하는 결함 화상이 컴퓨터 (3) 에 출력된다. 결함 확인 장치 (11) 에는, 검사 장치 (2) 에 의한 검사 후의 프린트 기판이 반입된다. 결함 확인 장치 (11) 는, 컴퓨터 (3) 로부터 입력되는 정보에 기초하여, 프린트 기판에 있어서의 결함의 영역을 촬상하여 디스플레이에 표시하고, 작업자에게 결함을 확인시킨다.

도 2 는 컴퓨터 (3) 의 구성을 나타내는 도면이다. 컴퓨터 (3) 는, CPU (31) 와, ROM (32) 과, RAM (33) 과, 고정 디스크 (34) 와, 디스플레이 (35) 와, 입력부 (36) 와, 판독 장치 (37) 와, 통신부 (38) 와, GPU (39) 와, 버스 (30) 를 포함하는 일반적인 컴퓨터 시스템의 구성을 갖는다. CPU (31) 는, 각종 연산 처리를 실시한다. GPU (39) 는, 화상 처리에 관한 각종 연산 처리를 실시한다. ROM (32) 은, 기본 프로그램을 기억한다. RAM (33) 및 고정 디스크 (34) 는, 각종 정보를 기억한다. 디스플레이 (35) 는, 화상 등의 각종 정보의 표시를 실시한다. 입력부 (36) 는, 작업자로부터의 입력을 접수하는 키보드 (36a) 및 마우스 (36b) 를 구비한다. 판독 장치 (37) 는, 광 디스크, 자기 디스크, 광 자기 디스크, 메모리 카드 등의 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체 (81) 로부터 정보의 판독을 실시한다. 통신부 (38) 는, 검사 시스템 (1) 의 다른 구성, 및, 외부의 장치와의 사이에서 신호를 송수신한다. 버스 (30) 는, CPU (31), GPU (39), ROM (32), RAM (33), 고정 디스크 (34), 디스플레이 (35), 입력부 (36), 판독 장치 (37) 및 통신부 (38) 를 접속하는 신호 회로이다.

컴퓨터 (3) 에서는, 사전에 판독 장치 (37) 를 통하여, 프로그램 프로덕트인 기록 매체 (81) 로부터 프로그램 (811) 이 판독 출력되어 고정 디스크 (34) 에 기억되어 있다. 프로그램 (811) 은 네트워크를 통하여 고정 디스크 (34) 에 기억되어도 된다. CPU (31) 및 GPU (39) 는, 프로그램 (811) 에 따라서 RAM (33) 이나 고정 디스크 (34) 를 이용하면서 연산 처리를 실행한다. CPU (31) 및 GPU (39) 는, 컴퓨터 (3) 에 있어서 연산부로서 기능한다. CPU (31) 및 GPU (39) 이외에 연산부로서 기능하는 다른 구성이 채용되어도 된다.

검사 시스템 (1) 에서는, 컴퓨터 (3) 가 프로그램 (811) 에 따라서 연산 처리 등을 실행함으로써, 도 1 중에 파선으로 둘러싸는 기능 구성이 실현된다. 즉, 컴퓨터 (3) 의 CPU (31), GPU (39), ROM (32), RAM (33), 고정 디스크 (34) 및 이들 주변 구성은, 교사 데이터 생성 장치 (4) 와, 학습부 (51) 와, 분류부 (52) 와, 분류 필요 여부 결정부 (53) 를 실현한다. 이들 기능의 전부 또는 일부는 전용의 전기 회로에 의해 실현되어도 되고, 이들 기능이 개별의 프로그램에 의해 실현되어도 된다. 또, 복수의 컴퓨터에 의해 이들 기능이 실현되어도 된다.

분류부 (52) 는, 결함을 나타내는 화상의 입력에 의해, 당해 결함을 실제 결함 또는 거짓 결함 (허보 (虛報) 또는 유사 결함이라고도 불린다) 으로 분류하는 분류기 (521) 를 갖는다. 분류 필요 여부 결정부 (53) 는, 검사부 (20) 로부터 입력되는 결함 화상이 나타내는 결함에 대해 분류부 (52) 에 있어서의 분류의 필요 여부를 결정한다. 학습부 (51) 는, 후술하는 복수의 교사 데이터를 사용하여 학습을 실시함으로써, 학습이 완료된 모델인 상기 분류기 (521) 를 생성한다. 교사 데이터 생성 장치 (4) 는, 학습부 (51) 에 있어서 사용되는 교사 데이터를 생성한다.

도 3 은, 교사 데이터 생성 장치 (4) 의 구성을 나타내는 도면이다. 교사 데이터 생성 장치 (4) 는, 화상 접수부 (41) 와, 화상 필요 여부 결정부 (42) 와, 표시 제어부 (43) 와, 판정 결과 접수부 (44) 와, 교사 데이터 생성부 (45) 를 구비한다. 화상 접수부 (41) 는, 검사부 (20) 에 접속되어, 검사부 (20) 로부터의 결함 화상 등의 입력을 접수한다. 화상 필요 여부 결정부 (42) 는, 각 결함 화상을 교사 데이터에 사용할지의 여부를 결정한다. 표시 제어부 (43) 는, 디스플레이 (35) 에 접속되어, 디스플레이 (35) 에 결함 화상 등을 표시한다. 판정 결과 접수부 (44) 는, 입력부 (36) 에 접속되어, 작업자에 의한 입력부 (36) 를 통한 입력을 접수한다. 교사 데이터 생성부 (45) 는, 결함 화상에 라벨링을 실시하여 교사 데이터를 생성한다.

여기서, 검사부 (20) 가 결함을 검출하는 처리에 대해 설명한다. 이미 서술한 바와 같이, 검사 장치 (2) 에서는, 촬상 화상이 취득되고, 검사부 (20) 의 제 1 검사 처리부 (21) 및 제 2 검사 처리부 (22) 에 의해, 촬상 화상에 대해 서로 상이한 검사 처리가 실행된다. 검사부 (20) 에 의한 검사에서는, 기계 학습은 사용되지 않고, 예를 들어, 룰 베이스 등에 의해 결함이 검출된다. 검사에 이용되는 임계값 등의 결정은, 기계 학습에 의해 실시되어도 된다. 여기서는, 촬상 화상은, 그레이 스케일 화상인 것으로 하지만, 컬러 화상이어도 된다.

도 4 는, 제 1 검사 처리부 (21) 가 실행하는 제 1 검사 처리를 설명하기 위한 도면으로, 촬상 화상의 일부를 나타내고 있다. 도 4 에서는, 구리 등의 금속에 의해 형성된 배선 영역 (61) 과, 프린트 기판의 기재 표면 등인 영역 (62) (이하,「배경 영역 (62)」이라고 한다) 을 나타내고 있다. 예를 들어, 배선 영역 (61) 과 배경 영역 (62) 은, 소정의 임계값에 의해 구별 가능하다.

제 1 검사 처리의 일례에서는, 라인 폭이 측정된다. 예를 들어, 설계 데이터 등에 기초하여, 배선 영역 (61) 상에 다수의 검사 위치가 미리 설정되어 있고, 촬상 화상에 있어서, 각 검사 위치에 위치하는 화소가 대상 화소로서 특정된다. 검사 위치는, 예를 들어, 배선 영역 (61) 의 폭 (즉, 배선 영역 (61) 의 길이 방향에 수직인 방향의 폭) 의 대략 중앙의 위치이다. 계속해서, 대상 화소를 중심으로 하는 16 방향의 직선이 등각도 간격으로 설정되고, 각 직선과 배선 영역 (61) 이 중첩되는 길이 (즉, 직선 상에 있어서 배선 영역 (61) 의 양 에지와 중첩되는 위치 사이의 길이) 가 구해진다. 그리고, 16 개의 직선에 있어서의 당해 길이 중, 최소의 것이 측정 거리로서 취득된다. 측정 거리는 소정의 하한 거리 및 상한 거리와 비교된다. 당해 측정 거리가 하한 거리보다 작은 경우, 또는, 상한 거리보다 큰 경우에, 당해 검사 위치에 있어서의 결함의 존재가 검출된다. 도 4 의 예에서는, 부호 A1 을 부여하는 화살표로 나타내는 측정 거리가 하한 거리보다 작기 때문에, 배선 영역 (61) 의 결손 결함인 결함 (69) 이 검출된다.

이와 같이, 각 검사 위치에 있어서의 측정 거리를 취득함으로써, 도 5 에 예시하는 여러 가지 종별의 결함이 검출 가능하다. 도 5 의 좌측의 예에서는, 인접하는 복수의 검사 위치에 있어서 측정 거리가 하한 거리보다 작아져 있고, 선이 가늘어지는 결함인 결함 (69) 이 검출된다. 도 5 의 중앙의 예에서는, 인접하는 복수의 검사 위치에 있어서 측정 거리가 상한 거리보다 커져 있고, 선이 굵어지는 결함 (랜드 부분의 선의 굵어짐) 인 결함 (69) 이 검출된다. 도 5 의 우측의 예에서는, 하나의 검사 위치에 있어서 측정 거리가 하한 거리보다 작아져 있는 결손 결함과, 하나의 검사 위치에 있어서 측정 거리가 상한 거리보다 커져 있는 돌기 결함이, 각각 결함 (69) 으로서 검출된다.

이상과 같이, 제 1 검사 처리부 (21) 에서는, 검사 위치를 단위로서 결함의 위치 정보가 상세하게 (후술하는 제 2 검사 처리를 실시하는 제 2 검사 처리부 (22) 보다 상세하게) 취득 가능하다. 제 1 검사 처리부 (21) 에 있어서 결함 (69) 이 검출되면, 결함 (69) 을 포함하는 소정 사이즈의 결함 화상이 촬상 화상으로부터 절출된다. 또, 결함 화상에 있어서의 결함 (69) 의 위치를 나타내는 위치 정보 (이하,「결함 위치 정보」라고도 한다) 와, 결함 (69) 의 결함 종별도 취득되어, 양자를 포함하는 결함 관련 정보가 생성된다. 결함 화상 및 결함 관련 정보는 서로 관련지어져, 컴퓨터 (3) 에 출력된다. 또한, 결함 관련 정보에는, 결함 화상이 나타내는 프린트 기판 상의 위치도 포함될 수 있다 (이하 동일).

본 처리예에서는, 배선 영역 (61) 의 오픈 (단선) 결함 및 쇼트 (단락) 결함을 검출하는 다른 제 1 검사 처리도 제 1 검사 처리부 (21) 에 의해 실시된다. 당해 다른 제 1 검사 처리에서는, 도 6 의 우측에 나타내는 촬상 화상 (71) 에 있어서, 배선 영역 (61) 의 접속성이 확인된다. 예를 들어, 배선 영역 (61) 에 있어서, 각 검사 위치 (상기 서술한 처리에 있어서의 검사 위치와 상이한 위치여도 된다) 와 배선 영역 (61) 을 통하여 연속하는 다른 검사 위치를 특정함으로써, 배선 영역 (61) 의 접속성을 확인하는 것이 가능하다. 제 1 검사 처리부 (21) 에서는, 도 6 의 좌측에 나타내는 바와 같이, 촬상 화상 (71) 과 동일한 영역을 나타내는 마스터 화상 (70) (예를 들어, 설계 데이터에서 생성되는 2 치 화상) 도 준비되어 있고, 상기와 동일하게 하여 마스터 화상 (70) 에 있어서의 배선 영역 (61) 의 접속성 (검사 위치 사이의 접속 관계) 이 확인된다. 그리고, 촬상 화상 (71) 에 있어서의 배선 영역 (61) 의 접속성과, 마스터 화상 (70) 에 있어서의 배선 영역 (61) 의 접속성이 상이한 경우에, 상이가 발생하고 있는 부분이 결함으로서 검출된다.

도 6 의 예에서는, 마스터 화상 (70) 에 존재하지 않는 접속성 (검사 위치 사이의 접속) 이 촬상 화상 (71) 에 있어서 발생하고 있기 때문에 (화살표 A2 참조), 당해 접속성이 발생하고 있는 부분이, 쇼트 결함인 결함 (69) 으로서 검출된다. 제 1 검사 처리부 (21) 에서는, 결함 (69) 을 포함하는 소정 사이즈의 결함 화상이 촬상 화상 (71) 으로부터 절출된다. 또, 결함 화상에 있어서의 결함 위치 정보와, 결함 (69) 의 결함 종별을 포함하는 결함 관련 정보가 생성된다. 그리고, 결함 화상 및 결함 관련 정보가 서로 관련지어져, 컴퓨터 (3) 에 출력된다. 한편, 마스터 화상에 존재하는 접속성이, 촬상 화상에 있어서 결락되어 있는 (발생되어 있지 않은) 경우에는, 당해 접속성이 결락되어 있는 부분이, 오픈 결함인 결함으로서 검출된다. 그리고, 당해 결함을 포함하는 소정 사이즈의 결함 화상과, 결함 위치 정보 및 결함 종별을 포함하는 결함 관련 정보가, 컴퓨터 (3) 에 출력된다.

다음으로, 제 2 검사 처리부 (22) 가 실행하는 제 2 검사 처리의 일례에 대해 설명한다. 제 2 검사 처리에서는, 다계조 (多階調) 의 촬상 화상이 소정 사이즈의 복수의 화상 (이하,「분할 화상」이라고 한다) 으로 분할된다. 그리고, 각 분할 화상을 소정의 임계값으로 2 치화한 화상 (이하,「2 치의 분할 화상」이라고 한다) 과, 2 치의 마스터 화상의 대응하는 영역이 비교된다. 도 7 에서는, 우측에 2 치의 분할 화상 (72) 을 나타내고, 좌측에 당해 분할 화상에 대응하는 마스터 화상 (70) 의 영역을 나타내고 있다. 2 치의 분할 화상 (72) 과 마스터 화상 (70) 의 비교는, 매트릭스를 사용하여 실시된다.

도 8 은, 2 치의 분할 화상의 각 화소와, 2 치의 마스터 화상의 대응하는 화소의 배타적 논리합을 나타내는 화상이고, 도 8 중의 평행 사선을 부여하는 화소가, 양 화상에 있어서 화소값이 상이한 화소 (이하,「상이 화소」라고 한다) 를 나타낸다. 도 8 에서는, 설명의 편의상, 도 7 과는 상이한 2 치의 분할 화상 및 마스터 화상을 사용하고 있다. 2 치의 분할 화상과 마스터 화상의 비교에서는, 개념적으로는, 도 8 의 화상에 있어서, 매트릭스 M1 을 행 방향 및 열 방향으로 주사시키면서, 매트릭스 M1 내에 포함되는 화소에 있어서의 상이 화소의 개수의 비율이 허용치를 초과한 경우에, 결함의 존재가 검출된다. 도 8 의 예에서는, 매트릭스 M1 의 사이즈가 4 × 4 화소이고, 허용치가 75 ％ 이다. 따라서, 도 8 중에 미세한 파선으로 나타내는 매트릭스 M1 의 위치에서는, 상이 화소의 비율은 허용치를 초과하지 않지만, 도 8 중에 굵은 파선으로 나타내는 매트릭스 M1 의 위치에서는, 상이 화소의 비율이 허용치를 초과한다. 이로써, 분할 화상에 있어서 결함의 존재가 검출된다. 매트릭스 M1 의 사이즈는, 2 × 2 화소, 3 × 3 화소 등, 적절히 변경되어도 되고, 허용치도 변경되어도 된다.

실제로는, 도 7 의 2 치의 분할 화상 (72) 에 있어서, 각 위치에 배치한 매트릭스 M1 내에 포함되는 화소 중, 마스크 화상 (70) 의 대응하는 화소와 화소값이 상이한 화소의 개수의 비율이 구해진다. 그리고, 당해 비율이 허용치를 초과하는 경우에, 분할 화상에 있어서 결함의 존재가 검출된다. 도 7 의 예에서는, 2 치의 분할 화상 (72) 에 있어서, 마스터 화상 (70) 의 대응하는 화소와 값이 상이한 화소 (이하, 도 8 과 동일하게「상이 화소」라고 한다) 를 굵은 실선으로 둘러싸고 있다. 매트릭스 M1 을 사용하는 본 처리예에서는, 2 치의 분할 화상 (72) 에 있어서 고립하여 존재하는 상이 화소는, 결함의 검출에 영향을 미치지 않지만 (무시되지만), 어느 정도의 개수의 상이 화소의 집합은, 결함으로서 검출되기 쉬워진다 (2 치의 분할 화상 (72) 의 중앙 근방에 위치하는 상이 화소군 참조).

2 치의 분할 화상 (72) 에 있어서 결함의 존재가 검출되면, 대응하는 다계조의 분할 화상이 결함 화상으로서 컴퓨터 (3) 에 출력된다. 제 2 검사 처리부 (22) 에서는, 분할 화상 (결함 화상) 에 있어서의 결함의 상세한 위치는 취득되지 않고, 결함 종별도 취득되지 않는다. 따라서, 제 1 검사 처리부 (21) 와는 상이하고, 결함 위치 정보 및 결함 종별을 포함하지 않는 결함 관련 정보가 컴퓨터 (3) 에 출력된다. 이미 서술한 바와 같이, 결함 관련 정보에는, 결함 화상이 나타내는 프린트 기판 상의 위치는 포함될 수 있다. 결함 관련 정보에는, 제 2 검사 처리에 의해 검출된 것을 나타내는 정보가 포함되어도 된다.

도 9 는, 교사 데이터 생성 장치 (4) 가 교사 데이터를 생성하는 처리의 흐름을 나타내는 도면이다. 먼저, 도 3 의 화상 접수부 (41) 에서는, 검사부 (20) 로부터 결함 화상과 결함 관련 정보가 접수된다 (스텝 S11). 본 처리예에서는, 검사부 (20) 에 의해, 복수의 프린트 기판에 대한 다수의 촬상 화상으로부터 복수의 결함 화상이 미리 취득되어 있고, 복수의 결함 화상과, 당해 복수의 결함 화상에 대한 결함 관련 정보가, 화상 접수부 (41) 에 있어서 접수된다. 복수의 결함 화상에 대한 결함 관련 정보는, 복수의 결함 화상에 각각 관련지어진 상태에서 1 개의 리스트에 포함될 수 있어도 된다. 이미 서술한 바와 같이, 제 1 검사 처리부 (21) 에 의해 검출된 결함의 결함 관련 정보에는, 결함 위치 정보 및 결함 종별이 포함될 수 있다. 한편, 제 2 검사 처리부 (22) 에 의해 검출된 결함의 결함 관련 정보에는, 결함 위치 정보 및 결함 종별이 포함될 수 없다.

계속해서, 화상 필요 여부 결정부 (42) 에서는, 결함 관련 정보에 기초하여 각 결함 화상을 교사 데이터에 사용할지의 여부가 결정된다 (스텝 S12). 본 처리예에서는, 특정한 결함 종별인 결함의 결함 화상에 대해서는, 교사 데이터에 사용되지 않는다. 특정한 결함 종별의 일례는, 오픈 결함 및 쇼트 결함이다. 또, 제 2 검사 처리부 (22) 에 의해 검출된 결함의 결함 화상, 즉, 결함 관련 정보에 결함 위치 정보 및 결함 종별을 포함하지 않는 결함 화상도, 교사 데이터에 사용되지 않는다. 이들 결함 화상을 제외한 나머지의 결함 화상은, 교사 데이터에 사용하는 결함 화상으로 결정된다. 또한, 오픈 결함 및 쇼트 결함 등의 특정한 결함 종별의 결함 화상, 그리고, 제 2 검사 처리부 (22) 에 의해 검출된 결함의 결함 화상을 교사 데이터에 사용하지 않는 이유에 대해서는 후술한다.

표시 제어부 (43) 에서는, 교사 데이터에 사용하는 결함 화상이 디스플레이 (35) 에 표시된다 (스텝 S13). 디스플레이 (35) 에 표시되는 화상은, 결함 화상의 전체 또는 일부 중 어느 것이어도 된다. 즉, 표시 제어부 (43) 는, 결함 화상의 적어도 일부를 디스플레이 (35) 에 표시한다. 일례에서는, 디스플레이 (35) 상의 윈도우에는, 복수의 결함 화상의 섬네일이 배열 표시되어 있고, 작업자가 입력부 (36) 를 통하여 1 개의 결함 화상의 섬네일을 선택함으로써, 디스플레이 (35) 에 당해 결함 화상 (이하,「선택 결함 화상」이라고 한다) 의 적어도 일부가 표시된다. 디스플레이 (35) 에 표시하는 결함 화상의 선택은, 여러 가지 주지된 수법에 의해 실시되어도 된다.

판정 결과 접수부 (44) 에서는, 디스플레이 (35) 에 표시된 선택 결함 화상에 대한, 작업자에 의한 실제 결함 또는 거짓 결함의 판정 결과의 입력이 접수된다 (스텝 S14). 일례에서는, 디스플레이 (35) 상의 윈도우에, 선택 결함 화상과 함께,「실제 결함」을 나타내는 버튼 및「거짓 결함」을 나타내는 버튼이 형성된다. 작업자가 선택 결함 화상을 확인하고, 입력부 (36) 를 통하여 어느 버튼을 선택함으로써, 선택 결함 화상이 나타내는 결함이 실제 결함 또는 거짓 결함 중 어느 것인지를 나타내는 판정 결과의 입력이 실시된다. 당해 판정 결과의 입력은, 판정 결과 접수부 (44) 에 의해 접수된다. 작업자에 의한 판정 결과의 입력은, 여러 가지 주지된 수법에 의해 실시되어도 된다.

교사 데이터 생성부 (45) 에서는, 결함 화상에 판정 결과를 라벨링함으로써, 교사 데이터가 생성된다 (스텝 S15). 교사 데이터는, 결함 화상과, 당해 결함 화상에 대한 작업자에 의한 판정 결과를 포함하는 데이터이다. 이미 서술한 바와 같이, 교사 데이터에 사용하는 결함 화상의 결함 관련 정보에는, 결함 위치 정보가 포함되어 있고, 바람직하게는, 결함 위치 정보에 기초하여 결함 화상으로부터 결함의 영역을 절출한 화상 (이하, 동일하게「결함 화상」이라고도 한다) 이 교사 데이터에 포함될 수 있다. 이로써, 결함의 영역 이외의 불필요한 영역의 특징이, 후술하는 학습에 사용되는 것이 억제되어, 분류기 (521) 의 분류 정밀도를 향상시키는 것이 가능해진다. 실제로는, 복수의 결함 화상에 대해, 작업자에 의한 판정 결과의 입력이 실시되어, 복수의 교사 데이터가 생성된다. 이상에 의해, 교사 데이터 생성 처리가 완료되어, 복수의 교사 데이터 (학습용 데이터 세트) 가 얻어진다.

복수의 교사 데이터가 생성되면, 도 1 의 학습부 (51) 에서는, 복수의 교사 데이터에 있어서의 결함 화상의 입력에 대한 분류기의 출력과, 복수의 교사 데이터가 나타내는 판정 결과 (실제 결함 또는 거짓 결함) 가 거의 동일해지도록 기계 학습이 실시되어, 분류기가 생성된다. 분류기는, 화상이 나타내는 결함을 실제 결함 또는 거짓 결함으로 분류하는 학습이 완료된 모델이고, 분류기의 생성에서는, 분류기가 포함하는 파라미터의 값이나, 분류기의 구조가 결정된다. 기계 학습은, 예를 들어, 뉴럴 네트워크를 사용한 딥 러닝에 의해 실시된다. 당해 기계 학습은, 딥 러닝 이외의 주지된 방법에 의해 실시되어도 된다. 분류기 (실제로는, 파라미터의 값이나, 분류기의 구조를 나타내는 정보) 는, 분류부 (52) 에 전송되어 도입된다.

도 10 은, 검사 시스템 (1) 이 프린트 기판을 검사하는 처리의 흐름을 나타내는 도면이다. 도 10 의 처리를 실시할 때에는, 학습이 완료된 모델인 분류기 (521) 가 상기 처리에 의해 미리 생성되어 있다. 프린트 기판의 검사에서는, 검사 장치 (2) 에 있어서, 프린트 기판의 복수의 위치를 나타내는 복수의 촬상 화상이 취득되고, 검사부 (20) 에 의해 복수의 촬상 화상에 있어서의 결함의 유무가 검사된다. 결함이 검출되면 (스텝 S21), 당해 결함을 포함하는 결함 화상 및 결함 관련 정보가 분류 필요 여부 결정부 (53) 에 출력된다. 이미 서술한 바와 같이, 제 1 검사 처리부 (21) 에 의해 검출된 결함의 결함 관련 정보에는, 결함 위치 정보 (즉, 결함 화상에 있어서의 결함의 위치 정보) 및 결함 종별이 포함될 수 있다. 한편, 제 2 검사 처리부 (22) 에 의해 검출된 결함의 결함 관련 정보에는, 결함 위치 정보 및 결함 종별이 포함될 수 없다.

계속해서, 분류 필요 여부 결정부 (53) 에서는, 결함 화상이 나타내는 결함의 분류부 (52) 에 있어서의 분류의 필요 여부가, 결함 관련 정보에 기초하여 결정된다. 본 처리예에서는, 특정한 결함 종별인 결함에 대해서는, 분류부 (52) 에 있어서의 분류가 불필요로 결정된다 (스텝 S22). 특정한 결함 종별의 일례는, 오픈 결함 및 쇼트 결함이다. 또, 제 2 검사 처리부 (22) 에 의해 검출된 결함, 즉, 결함 관련 정보에 결함 위치 정보 및 결함 종별을 포함하지 않는 결함도, 분류부 (52) 에 있어서의 분류가 불필요로 결정된다. 오픈 결함 및 쇼트 결함 등의 특정한 결함 종별의 결함, 그리고, 제 2 검사 처리부 (22) 에 의해 검출된 결함에 대해, 분류부 (52) 에 있어서의 분류를 불필요로 결정하는 이유에 대해서는 후술한다.

분류가 불필요로 결정된 결함의 결함 화상 및 결함 관련 정보는, 결함 확인 장치 (11) 에 출력된다. 이미 서술한 바와 같이, 결함 관련 정보에는, 결함 화상이 나타내는 프린트 기판 상의 위치 (즉, 프린트 기판에 있어서의 결함 화상의 위치 정보) 가 포함되어 있다. 결함 확인 장치 (11) 에서는, 결함 관련 정보를 참조하여 프린트 기판 상의 당해 결함 화상의 영역이 촬상되어, 디스플레이에 표시된다. 작업자가, 표시된 화상에 포함되는 결함을 확인함으로써, 당해 결함이 실제 결함 또는 거짓 결함 중 어느 것인지의 최종적인 결정이 실시된다 (스텝 S23). 또한, 당해 디스플레이에는, 결함 확인 장치 (11) 에 의해 촬상되는 화상과 함께 결함 화상이 표시되어도 된다 (이하 동일).

한편, 분류 필요 여부 결정부 (53) 에서는, 제 1 검사 처리부 (21) 에 의해 검출되고, 또한, 특정한 결함 종별이 아닌 결함에 대해서는, 분류부 (52) 에 있어서의 분류가 필요로 결정된다 (스텝 S22). 분류가 필요로 결정된 결함의 결함 화상 및 결함 관련 정보는, 분류부 (52) 에 출력된다. 분류부 (52) 에서는, 결함 화상을 분류기 (521) 에 입력함으로써, 결함 화상이 나타내는 결함이 실제 결함 또는 거짓 결함으로 분류된다 (스텝 S24). 바람직한 분류부 (52) 에서는, 결함 위치 정보에 기초하여 결함 화상으로부터 결함의 영역을 절출한 화상이 취득되고, 당해 화상이 분류기 (521) 에 입력된다. 이로써, 결함의 영역 이외의 불필요한 영역의 특징이, 분류기 (521) 에 있어서의 분류 처리에 사용되는 것이 억제되어, 당해 결함이 실제 결함 또는 거짓 결함 중 어느 것인지를 보다 양호한 정밀도로 분류하는 것이 가능해진다.

분류부 (52) 에 의해 결함이 실제 결함으로 분류된 경우 (스텝 S25), 당해 결함의 결함 화상 및 결함 관련 정보는, 결함 확인 장치 (11) 에 출력된다. 결함 확인 장치 (11) 에서는, 프린트 기판 상의 당해 결함 화상의 영역이 촬상되어, 디스플레이에 표시된다. 작업자가, 표시된 화상에 포함되는 결함을 확인함으로써, 당해 결함이 실제 결함 또는 거짓 결함 중 어느 것인지의 최종적인 결정이 실시된다 (스텝 S23). 분류부 (52) 에 의해 결함이 거짓 결함으로 분류된 경우 (스텝 S25), 당해 결함의 결함 화상 및 결함 관련 정보는, 결함 확인 장치 (11) 에 출력되지 않고, 당해 결함에 대한 처리가 종료된다. 이와 같이, 분류부 (52) 에 의해 거짓 결함으로 분류된 결함에 대해, 작업자에 의한 확인을 생략함으로써, 결함의 확인에 필요로 하는 작업자의 공정 수를 삭감할 수 있다.

여기서, 오픈 결함 및 쇼트 결함 등의 특정한 결함 종별의 결함, 그리고, 제 2 검사 처리부 (22) 에 의해 검출된 결함에 대해, 분류부 (52) 에 있어서의 분류를 불필요로 결정하는 이유에 대해 설명한다. 오픈 결함 및 쇼트 결함 등의 특정한 결함 종별의 결함은, 프린트 기판의 동작이나 성능 등에 큰 영향을 미치기 때문에, 분류기 (521) 에 의한 분류의 오류 (여기서는, 실제 결함의 거짓 결함으로의 오분류) 가 허용되지 않는 경우가 많다. 따라서, 특정한 결함 종별의 결함에 대해서는, 분류기 (521) 에 있어서의 중대한 오분류를 회피하기 위해, 분류기 (521) 에 의한 분류를 실시하지 않고, 결함 확인 장치 (11) 에 의해 작업자가 확인하여, 당해 결함이 실제 결함 또는 거짓 결함 중 어느 것인지의 최종적인 결정이 실시되는 것이 바람직하다. 이와 같이, 오픈 결함 및 쇼트 결함 등의 특정한 결함 종별의 결함을 분류기 (521) 에 의해 분류하지 않기 때문에, 교사 데이터로서도, 당해 특정한 결함 종별의 결함 화상을 사용하지 않는 것이 바람직하다.

또, 제 2 검사 처리부 (22) 에 의해 검출된 결함의 결함 관련 정보에는, 결함 위치 정보가 포함될 수 없기 때문에, 분류부 (52) 에 있어서, 결함 화상으로부터 결함의 영역을 절출한 화상을 취득할 수 없다. 이 경우에, 결함 화상을 그대로 분류기 (521) 에 입력하면, 결함의 영역 이외의 불필요한 영역의 특징이, 분류 처리에 사용되어 버린다. 그 결과, 제 2 검사 처리부 (22) 에 의해 검출된 결함에 대해서는 분류기 (521) 에 있어서의 분류 정밀도가 낮아져, 오분류가 발생하기 쉬워진다. 따라서, 제 2 검사 처리부 (22) 에 의해 검출된 결함에 대해서는, 분류기 (521) 에 의한 분류를 실시하지 않고, 결함 확인 장치 (11) 로 작업자가 확인하여, 당해 결함이 실제 결함 또는 거짓 결함 중 어느 것인지의 최종적인 결정이 실시되는 것이 바람직하다. 이와 같이, 제 2 검사 처리부 (22) 에 의해 검출된 결함을 분류기 (521) 에 의해 분류하지 않기 때문에, 교사 데이터로서도, 제 2 검사 처리부 (22) 에 의해 검출된 결함의 결함 화상을 사용하지 않는 것이 바람직하다.

이상에 설명한 바와 같이, 도 1 의 검사 시스템 (1) 에서는, 프린트 기판을 촬상한 화상을, 기계 학습을 사용하지 않고 검사하여 결함을 검출하는 검사부 (20) 와, 결함을 나타내는 화상을 분류기 (521) 에 입력함으로써, 당해 결함의 결함 종별 (상기 처리에서는, 실제 결함 또는 거짓 결함) 을 분류하는 분류부 (52) 가 형성된다. 또, 분류 필요 여부 결정부 (53) 에서는, 검사부 (20) 에 의해 검출된 결함의 분류부 (52) 에 있어서의 분류의 필요 여부가, 당해 결함의 검출시에 검사부 (20) 에서 취득된 결함 관련 정보에 기초하여 결정된다. 검사 시스템 (1) 에서는, 분류기 (521) 에 의한 분류에 적합하지 않은 결함을 분류 대상에서 용이하게 제외할 수 있어, 분류기 (521) 에 있어서의 중대한 오분류의 회피, 및, 분류 처리에 필요로 하는 시간의 단축을 실현하는 것이 가능해진다.

바람직하게는, 분류부 (52) 에서는, 검사부 (20) 에 의해 검출된 결함이 실제 결함 또는 거짓 결함으로 분류된다. 검사부 (20) 에서는, 결함의 검출시에 당해 결함의 결함 종별 (여기서는, 실제 결함 및 거짓 결함 이외의 결함 종별) 이 취득되어, 결함 관련 정보에 당해 결함 종별이 포함될 수 있다. 분류 필요 여부 결정부 (53) 에서는, 특정한 결함 종별인 결함의 분류부 (52) 에 있어서의 분류가 불필요로 결정된다. 이로써, 분류의 오류가 허용되지 않는 결함 종별의 결함 (즉, 중요 결함) 의 오분류를 용이하게 방지할 수 있다. 상기 특정한 결함 종별이, 오픈 결함 및 쇼트 결함을 포함하는 경우, 오픈 결함 및 쇼트 결함의 오분류를 용이하게 방지할 수 있다.

바람직하게는, 검사부 (20) 에서는, 제 1 검사 처리에 의해 결함을 검출하여, 당해 결함을 포함하는 결함 화상을 취득하는 제 1 검사 처리부 (21) 와, 제 1 검사 처리와는 상이한 제 2 검사 처리에 의해 결함을 검출하여, 당해 결함을 포함하는 결함 화상을 취득하는 제 2 검사 처리부 (22) 가 형성된다. 제 1 검사 처리부 (21) 에서는, 제 2 검사 처리부 (22) 보다 상세한 결함 화상 중의 결함의 위치 정보가 취득 가능하여, 결함 관련 정보에 제 1 검사 처리부 (21) 에 의해 취득된 당해 위치 정보가 포함될 수 있다. 분류 필요 여부 결정부 (53) 에서는, 제 1 검사 처리부 (21) 에 의해 검출된 결함의 분류부 (52) 에 있어서의 분류가 필요로 결정되고, 제 2 검사 처리부 (22) 에 의해 검출된 결함의 분류부 (52) 에 있어서의 분류가 불필요로 결정된다. 또, 분류부 (52) 에서는, 결함의 위치 정보에 기초하여 결함 화상으로부터 당해 결함의 영역을 절출한 화상이 분류기 (521) 에 입력된다. 이와 같은 구성에 의해, 결함의 상세한 위치 (결함 위치 정보) 가 취득되지 않고, 분류기 (521) 에 의한 분류 정밀도가 낮아지는 결함을, 분류 대상에서 용이하게 제외할 수 있어, 분류기 (521) 에 있어서의 오분류의 저감, 및, 분류 처리에 필요로 하는 시간의 단축을, 보다 확실하게 실현할 수 있다.

도 3 의 교사 데이터 생성 장치 (4) 에서는, 결함을 포함하는 결함 화상과, 당해 결함의 검출시에 취득된 결함 관련 정보가, 검사부 (20) 로부터 입력되고, 화상 접수부 (41) 에 있어서 접수된다. 화상 필요 여부 결정부 (42) 에서는, 결함 관련 정보에 기초하여 결함 화상을 교사 데이터에 사용할지의 여부가 결정된다. 교사 데이터에 사용하는 결함 화상은, 표시 제어부 (43) 에 의해 디스플레이 (35) 에 표시되고, 표시된 결함 화상에 대한 작업자에 의한, 결함 종별 (상기 처리에서는, 실제 결함 또는 거짓 결함) 의 판정 결과의 입력이 판정 결과 접수부 (44) 에 의해 접수된다. 그리고, 교사 데이터 생성부 (45) 에 의해, 당해 판정 결과가 결함 화상에 라벨링되어, 교사 데이터가 생성된다. 교사 데이터 생성 장치 (4) 에서는, 교사 데이터에 적합하지 않은 화상을 용이하게 제외할 수 있어, 라벨링 작업 및 학습에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있다.

바람직하게는, 판정 결과 접수부 (44) 에서는, 작업자에 의한 실제 결함 또는 거짓 결함의 판정 결과의 입력이 접수된다. 검사부 (20) 에서는, 결함의 검출시에 취득된 당해 결함의 결함 종별이 결함 관련 정보에 포함될 수 있다. 화상 필요 여부 결정부 (42) 에서는, 특정한 결함 종별인 결함을 포함하는 결함 화상을 교사 데이터에 사용하지 않는다고 결정된다. 이로써, 상기 특정한 결함 종별의 결함의 분류를 실시하지 않는 것을 전제로 한 바람직한 분류기 (521) 를 생성할 수 있다. 상기 특정한 결함 종별이, 오픈 결함 및 쇼트 결함을 포함하는 경우, 오픈 결함 및 쇼트 결함의 분류를 실시하지 않는 것을 전제로 한 바람직한 분류기 (521) 를 생성할 수 있다.

바람직하게는, 검사부 (20) 에서는, 상기 서술한 제 1 검사 처리부 (21) 와 제 2 검사 처리부 (22) 가 형성된다. 제 1 검사 처리부 (21) 에서는, 제 2 검사 처리부 (22) 보다 상세한 결함 화상 중의 결함의 위치 정보가 취득 가능하여, 결함 관련 정보에 제 1 검사 처리부 (21) 에 의해 취득된 당해 위치 정보가 포함될 수 있다. 화상 필요 여부 결정부 (42) 에서는, 제 1 검사 처리부 (21) 에 의해 검출된 결함의 결함 화상을 교사 데이터에 사용한다고 결정되고, 제 2 검사 처리부 (22) 에 의해 검출된 결함의 결함 화상을 교사 데이터에 사용하지 않는다고 결정된다. 또, 교사 데이터 생성부 (45) 에서는, 결함의 위치 정보에 기초하여 결함 화상으로부터 당해 결함의 영역을 절출한 화상을 포함하는 교사 데이터가 생성된다. 이와 같은 구성에 의해, 결함 화상 중의 상세한 위치가 취득되지 않는 결함 (분류 정밀도가 낮아지는 결함) 의 분류를 실시하지 않는 것을 전제로 한 바람직한 분류기 (521) 를 생성할 수 있다.

(제 2 실시형태)

다음으로, 본 발명의 제 2 실시형태에 관련된 검사 시스템 (1) 의 처리에 대해 설명한다. 도 11 은, 프린트 기판 (9) 의 전체를 나타내는 도면이다. 제조 도중의 프린트 기판 (9) 에서는, 최종 제품에 있어서 제거되는 부분인, 버림 기판 영역 (92) 이 포함되어 있다. 도 11 에서는, 버림 기판 영역 (92) 에 평행 사선을 부여하고 있다. 도 12 는, 도 11 의 프린트 기판 (9) 에 있어서 파선으로 둘러싸는 부분 B1 을 확대하여 나타내는 도면이다. 도 12 에서는, 버림 기판 영역 (92) 을 굵은 파선으로 둘러싸고 있다.

도 12 에 나타내는 바와 같이, 프린트 기판 (9) 에서는, 작은 도금 영역이 조밀하게 배열되어 있거나, 미세한 배선 패턴이 형성되는 영역 (91) (도 12 중에서 미세한 파선으로 둘러싸는 영역) 이 존재한다. 영역 (91) 에 존재하는 결함은, 프린트 기판 (9) 의 동작에 큰 영향을 미치기 때문에, 본 처리예에 있어서의 검사부 (20) 에서는, 영역 (91) 에 대해, 다른 영역에 비해 엄격한 제 1 검사 감도가 설정된다. 이하, 영역 (91) 을「제 1 감도 설정 영역 (91)」이라고 한다. 한편, 이미 서술한 버림 기판 영역 (92) 에 존재하는 결함은, 프린트 기판 (9) 의 동작에 거의 영향을 미치지 않기 때문에, 버림 기판 영역 (92) 에 대해, 다른 영역에 비해 느슨한 제 2 검사 감도가 설정된다. 이하, 버림 기판 영역 (92) 을「제 2 감도 설정 영역 (92)」이라고 한다. 또, 제 1 감도 설정 영역 (91) 및 제 2 감도 설정 영역 (92) 이외의 영역 (93) 에는, 중간적인 제 3 검사 감도가 설정된다. 이하, 영역 (93) 을「제 3 감도 설정 영역 (93)」이라고 한다. 이상과 같이, 프린트 기판 (9) 의 각 위치에는, 복수의 검사 감도 중 어느 1 개가 설정되어 있다.

검사부 (20) 에 있어서의 검사 처리에서는, 검사 감도에 따라 결함이 검출된다. 예를 들어, 도 8 을 참조하여 설명한 제 2 검사 처리에서는, 매트릭스 M1 내의 상이 화소의 비율과 비교되는 허용치가, 검사 감도에 따라 변화된다. 구체적으로는, 설계 데이터 (CAM 데이터 등) 를 참조함으로써, 촬상 화상을 분할한 이미 서술한 분할 화상이 나타내는 위치가, 제 1 감도 설정 영역 (91), 제 2 감도 설정 영역 (92) 및 제 3 감도 설정 영역 (93) 중 어느 것에 속하는지가 특정되고, 이용해야 하는 허용치가 취득된다. 제 1 감도 설정 영역 (91) 에서는, 다른 영역보다 작은 허용치가 취득되고, 제 2 감도 설정 영역 (92) 에서는, 다른 영역보다 큰 허용치가 취득된다. 그리고, 매트릭스 M1 내의 상이 화소의 비율이 당해 허용치와 비교되어, 허용치를 초과한 경우에, 결함의 존재가 검출된다.

결함의 존재가 검출되면, 당해 결함을 포함하는 결함 화상 (다계조의 분할 화상) 및 결함 관련 정보가 컴퓨터 (3) 에 출력된다. 이 때, 결함 관련 정보에는, 당해 결함의 검출시에 이용한 검사 감도를 나타내는 검사 감도 정보가 포함될 수 있다. 예를 들어, 검사 감도 정보는, 제 1 검사 감도, 제 2 검사 감도 및 제 3 검사 감도 중 어느 1 개를 나타내는 정보, 또는, 제 1 감도 설정 영역 (91), 제 2 감도 설정 영역 (92) 및 제 3 감도 설정 영역 (93) 중 어느 1 개를 나타내는 정보이다. 제 1 검사 처리부 (21) 에 있어서도 동일하게, 검사 감도에 따라 결함이 검출되고, 결함을 포함하는 결함 화상, 및, 검사 감도 정보를 포함하는 결함 관련 정보가 컴퓨터 (3) 에 출력된다. 결함의 검출에서는, 여러 가지 수법이 사용되어도 되고, 검사 감도의 설정 방법은, 결함의 검출 수법에 따라 적절히 변경된다.

교사 데이터 생성 장치 (4) 에 의한 교사 데이터의 생성에서는, 화상 접수부 (41) 에 있어서, 검사부 (20) 로부터 결함 화상과 결함 관련 정보가 접수된다 (도 9 : 스텝 S11). 이미 서술한 바와 같이, 결함 관련 정보는, 검사 감도 정보를 포함하고 있다. 화상 필요 여부 결정부 (42) 에서는, 결함 관련 정보에 기초하여 각 결함 화상을 교사 데이터에 사용할지의 여부가 결정된다 (스텝 S12). 본 처리예에서는, 특정한 검사 감도로 검출된 결함을 포함하는 결함 화상에 대해서는, 교사 데이터에 사용되지 않는다. 특정한 검사 감도의 일례는, 제 1 감도 설정 영역 (91) 에 설정되는 제 1 검사 감도이다. 제 2 검사 감도 및 제 3 검사 감도로 검출된 결함을 포함하는 결함 화상은, 교사 데이터에 사용하는 결함 화상으로 결정된다. 특정한 검사 감도로 검출된 결함의 결함 화상을 교사 데이터에 사용하지 않는 이유에 대해서는 후술한다.

교사 데이터에 사용하는 결함 화상이 디스플레이 (35) 에 표시된 후 (스텝 S13), 결함 화상에 대한 실제 결함 또는 거짓 결함의 판정 결과의 입력이 작업자에 의해 실시되고, 당해 입력이 접수된다 (스텝 S14). 그리고, 결함 화상에 판정 결과를 라벨링함으로써, 교사 데이터가 생성된다 (스텝 S15). 그 후, 상기 서술한 처리예와 동일하게, 복수의 교사 데이터를 사용하여 분류기 (521) 가 생성된다.

검사 시스템 (1) 에 있어서의 프린트 기판 (9) 의 검사에서는, 검사부 (20) 에 있어서 결함이 검출되면 (도 10 : 스텝 S21), 당해 결함을 포함하는 결함 화상 및 결함 관련 정보가 분류 필요 여부 결정부 (53) 에 출력된다. 이미 서술한 바와 같이, 결함 관련 정보에는, 검사 감도 정보가 포함될 수 있다. 계속해서, 분류 필요 여부 결정부 (53) 에서는, 당해 결함 화상이 나타내는 결함의 분류부 (52) 에 있어서의 분류의 필요 여부가, 결함 관련 정보에 기초하여 결정된다. 본 처리예에서는, 특정한 검사 감도로 검출된 결함에 대해서는, 분류부 (52) 에 있어서의 분류가 불필요로 결정된다 (스텝 S22). 특정한 검사 감도의 일례는, 제 1 감도 설정 영역 (91) 에 설정되는 제 1 검사 감도이다. 특정한 검사 감도로 검출된 결함에 대해, 분류부 (52) 에 있어서의 분류를 불필요로 결정하는 이유에 대해서는 후술한다.

분류가 불필요로 결정된 결함의 결함 화상 및 결함 관련 정보는, 결함 확인 장치 (11) 에 출력된다. 결함 확인 장치 (11) 에서는, 프린트 기판 (9) 상의 당해 결함 화상의 영역이 촬상되어, 디스플레이에 표시된다. 작업자가, 표시된 화상에 포함되는 결함을 확인함으로써, 당해 결함이 실제 결함 또는 거짓 결함 중 어느 것인지의 최종적인 결정이 실시된다 (스텝 S23).

한편, 특정한 검사 감도 이외의 검사 감도로 검출된 결함에 대해서는, 분류부 (52) 에 있어서의 분류가 필요로 결정된다 (스텝 S22). 분류가 필요로 결정된 결함의 결함 화상 및 결함 관련 정보는, 분류부 (52) 에 출력된다. 분류부 (52) 에서는, 결함 화상을 분류기 (521) 에 입력함으로써, 결함 화상이 나타내는 결함이 실제 결함 또는 거짓 결함으로 분류된다 (스텝 S24). 분류부 (52) 에 의해 결함이 실제 결함으로 분류된 경우 (스텝 S25), 당해 결함의 결함 화상 및 결함 관련 정보는, 결함 확인 장치 (11) 에 출력되고, 작업자에 의해, 당해 결함이 실제 결함 또는 거짓 결함 중 어느 것인지의 최종적인 결정이 실시된다 (스텝 S23). 분류부 (52) 에 의해 결함이 거짓 결함으로 분류된 경우 (스텝 S25), 당해 결함의 결함 화상 및 결함 관련 정보는, 결함 확인 장치 (11) 에 출력되지 않고, 당해 결함에 대한 처리가 종료된다.

여기서, 특정한 검사 감도로 검출된 결함에 대해, 분류부 (52) 에 있어서의 분류를 불필요로 결정하는 이유에 대해 설명한다. 이미 서술한 바와 같이, 제 1 감도 설정 영역 (91) 에 존재하는 결함은, 프린트 기판 (9) 의 동작에 큰 영향을 미치기 때문에, 분류기 (521) 에 의한 분류의 오류 (여기서는, 실제 결함의 거짓 결함으로의 오분류) 가 허용되지 않는 경우가 있다. 따라서, 제 1 감도 설정 영역 (91) 에서 검출된 결함, 즉, 특정한 검사 감도로 검출된 결함에 대해서는, 분류기 (521) 에 있어서의 중대한 오분류를 회피하기 위해, 분류기 (521) 에 의한 분류를 실시하지 않고, 결함 확인 장치 (11) 로 작업자가 확인하여, 당해 결함이 실제 결함 또는 거짓 결함 중 어느 것인지의 최종적인 결정이 실시되는 것이 바람직하다. 이와 같이, 특정한 검사 감도로 검출된 결함을 분류기 (521) 에 의해 분류하지 않기 때문에, 교사 데이터로서도, 당해 특정한 검사 감도로 검출된 결함의 결함 화상을 사용하지 않는 것이 바람직하다.

이상과 같이, 검사 시스템 (1) 에 있어서의 본 처리예에서는, 프린트 기판 (9) 의 각 위치에 대해 복수의 검사 감도 중 하나의 검사 감도가 설정되어 있고, 검사부 (20) 가 결함의 검출시에 이용한 검사 감도를 나타내는 정보가, 결함 관련 정보에 포함될 수 있다. 분류 필요 여부 결정부 (53) 에서는, 특정한 검사 감도로 검출된 결함의 분류부 (52) 에 있어서의 분류가 불필요로 결정된다. 이로써, 분류의 오류가 허용되지 않는, 검사 감도가 높은 영역에 있어서의 결함의 오분류를 용이하게 방지할 수 있다. 또, 교사 데이터 생성 장치 (4) 의 화상 필요 여부 결정부 (42) 에서는, 특정한 검사 감도로 검출된 결함을 포함하는 결함 화상을 교사 데이터에 사용하지 않는다고 결정된다. 이로써, 검사 감도가 높은 영역에 있어서의 결함의 분류를 실시하지 않는 것을 전제로 한 바람직한 분류기 (521) 를 생성할 수 있다.

상기 처리예에서는, 제 2 검사 감도로 검출된 결함, 및, 제 3 검사 감도로 검출된 결함이 동일한 분류기 (521) 에 의해 분류되지만, 각 검사 감도용의 분류기가 생성되어도 된다. 예를 들어, 제 2 검사 감도로 검출된 결함의 복수의 교사 데이터가 생성되고, 당해 복수의 교사 데이터를 사용하여 기계 학습을 실시함으로써, 제 2 검사 감도용의 분류기가 생성된다. 제 3 검사 감도용의 분류기도 동일하게 하여 생성된다. 검사 시스템 (1) 에 있어서의 프린트 기판의 검사에서는, 제 2 검사 감도로 검출된 결함에 대해서는, 분류부 (52) 에 있어서의 분류가 필요로 결정되고, 제 2 검사 감도용의 분류기에 의해 당해 결함이 실제 결함 또는 거짓 결함으로 분류된다. 제 3 검사 감도로 검출된 결함에 대해서도, 분류부 (52) 에 있어서의 분류가 필요로 결정되고, 제 3 검사 감도용의 분류기에 의해 당해 결함이 실제 결함 또는 거짓 결함으로 분류된다. 검사 시스템 (1) 에서는, 검사부 (20) 에 의해 취득되는 각 결함 종별용의 분류기 (실제 결함 또는 거짓 결함으로 분류하는 분류기) 가 생성되어도 된다.

상기 검사 시스템 (1), 교사 데이터 생성 장치 (4) 및 교사 데이터 생성 방법에서는 여러 가지 변형이 가능하다.

프린트 기판에서는, 품번에 따라 라인/스페이스나, 재료, 프로세스 등이 상이하기 때문에, 검사부 (20) 에 의해 결함이 검출되는 프린트 기판의 품번에 기초하여, 분류 필요 여부 결정부 (53) 에 의해 당해 결함의 분류부 (52) 에 있어서의 분류의 필요 여부가 결정되어도 된다. 또, 결함이 검출되는 프린트 기판의 직전의 공정의 종류에 기초하여, 당해 결함의 분류부 (52) 에 있어서의 분류의 필요 여부가 결정되어도 된다. 예를 들어, 결함을 검출했을 때에, 검사부 (20) 에 있어서 프린트 기판의 품번, 또는/및, 공정의 종류를 나타내는 식별 번호가 취득되고, 결함 관련 정보에 포함될 수 있다. 분류 필요 여부 결정부 (53) 에서는, 품번 또는/및 식별 번호마다 분류의 필요 여부를 나타내는 테이블이 기억되어 있고, 결함 관련 정보에 포함되는 품번 또는/및 식별 번호를 사용하여 당해 테이블을 참조함으로써, 결함의 분류부 (52) 에 있어서의 분류의 필요 여부가 결정된다. 교사 데이터 생성 장치 (4) 의 화상 필요 여부 결정부 (42) 에 있어서 동일하다.

분류부 (52) 에 있어서의 분류가 불필요시되는 결함 종별은, 오픈 결함 및 쇼트 결함만으로는 한정되지 않고, 예를 들어, 외장 기판에 있어서의 솔더 레지스트 박리 등, 다른 결함 종별이, 분류가 불필요시되는 특정한 결함 종별에 포함될 수 있어도 된다. 교사 데이터에 사용하지 않는 결함 화상을 결정하는 경우도 동일하다.

상기 제 1 실시형태에 있어서의 분류 필요 여부 결정부 (53) 에서는, 반드시 특정한 결함 종별의 결함, 및, 제 2 검사 처리부 (22) 에 의해 검출된 결함의 양방에 대해, 분류부 (52) 에 있어서의 분류가 불필요로 결정될 필요는 없고, 일방에 대해서만 분류부 (52) 에 있어서의 분류가 불필요로 결정되어도 된다. 교사 데이터 생성 장치 (4) 의 화상 필요 여부 결정부 (42) 에 있어서 동일하다.

검사부 (20) 에서는, 반드시 결함의 결함 종별이 취득될 필요는 없다. 또, 제 1 검사 처리부 (21) 및 제 2 검사 처리부 (22) 의 일방만이 형성되어도 된다. 제 1 검사 처리부 (21) 에 있어서의 제 1 검사 처리는, 결함 위치 정보가 취득 가능한 다른 처리여도 된다. 제 2 검사 처리부 (22) 에 있어서의 제 2 검사 처리도, 상기 서술한 처리 이외의 처리여도 된다.

상기 제 1 및 제 2 실시형태에서는, 도 9 의 스텝 S14 에 있어서, 결함 화상에 대한 실제 결함 또는 거짓 결함의 판정 결과가 작업자에 의해 입력되지만, 실제 결함 및 거짓 결함 이외의 결함 종별 (예를 들어, 이물질 부착, 막 박리 등) 의 판정 결과가 입력되어도 된다. 즉, 판정 결과 접수부 (44) 에서는, 디스플레이 (35) 에 표시된 결함 화상에 대한 작업자에 의한, 결함 종별의 판정 결과 (실제 결함 또는 거짓 결함의 판정 결과를 포함한다) 의 입력이 접수된다. 동일하게, 분류부 (52) 에서는, 결함이 실제 결함 및 거짓 결함 이외의 결함 종별로 분류되어도 된다.

검사 시스템 (1) 에 있어서, 분류 필요 여부 결정부 (53) 의 기능이, 검사 장치 (2) 에 형성되어도 된다. 또, 교사 데이터 생성 장치 (4) 에 있어서의 화상 접수부 (41) 및 화상 필요 여부 결정부 (42) 의 기능이, 검사 장치 (2) 에 형성되어도 된다.

검사부 (20) 에 있어서의 검사의 대상물은, 프린트 기판 이외에, 반도체 기판이나 유리 기판 등의 기판이어도 된다. 또, 기계 부품 등, 기판 이외의 대상물의 결함이 검사부 (20) 에 의해 검출되어도 된다. 검사 시스템 (1) 및 교사 데이터 생성 장치 (4) 는, 여러 가지 대상물의 검사에 사용하는 것이 가능하다.

상기 실시형태 및 각 변형예에 있어서의 구성은, 서로 모순되지 않는 한 적절히 조합되어도 된다.

발명을 상세하게 묘사하여 설명했지만, 이미 서술한 설명은 예시적으로 한정적인 것은 아니다. 따라서, 본 발명의 범위를 일탈하지 않는 한, 다수의 변형이나 양태가 가능하다고 할 수 있다.

1 : 검사 시스템
3 : 컴퓨터
4 : 교사 데이터 생성 장치
9 : 프린트 기판
20 : 검사부
21 : 제 1 검사 처리부
22 : 제 2 검사 처리부
35 : 디스플레이
41 : 화상 접수부
42 : 화상 필요 여부 결정부
43 : 표시 제어부
44 : 판정 결과 접수부
45 : 교사 데이터 생성부
52 : 분류부
53 : 분류 필요 여부 결정부
69 : 결함
71 : 촬상 화상
521 : 분류기
811 : 프로그램
S11 ∼ S15, S21 ∼ S25 : 스텝

Claims (10)

1. 검사 시스템으로서,
   대상물을 촬상한 화상을, 기계 학습을 사용하지 않고 검사하여 결함을 검출하는 검사부와,
   미리 생성된 학습이 완료된 모델을 갖고, 결함을 나타내는 화상을 상기 학습이 완료된 모델에 입력함으로써, 상기 결함의 결함 종별을 분류하는 분류부와,
   상기 검사부에 의해 검출된 결함의 상기 분류부에 있어서의 분류의 필요 여부를, 상기 결함의 검출시에 상기 검사부에서 취득 또는 이용된 결함 관련 정보에 기초하여 결정하는 분류 필요 여부 결정부를 구비하는, 검사 시스템.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 분류부가, 상기 검사부에 의해 검출된 결함을 실제 결함 또는 거짓 결함으로 분류하고,
   상기 검사부가, 결함의 검출시에 상기 결함의 결함 종별을 취득하여, 상기 결함 관련 정보에 상기 결함 종별이 포함될 수 있고,
   상기 분류 필요 여부 결정부가, 특정한 결함 종별인 결함의 상기 분류부에 있어서의 분류를 불필요로 결정하는, 검사 시스템.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 검사부가,
   제 1 검사 처리에 의해 결함을 검출하고, 상기 결함을 포함하는 결함 화상을 취득하는 제 1 검사 처리부와,
   상기 제 1 검사 처리와는 상이한 제 2 검사 처리에 의해 결함을 검출하고, 상기 결함을 포함하는 결함 화상을 취득하는 제 2 검사 처리부를 구비하고,
   상기 제 1 검사 처리부가 상기 제 2 검사 처리부보다 상세한 결함 화상 중의 결함의 위치 정보를 취득 가능하여, 상기 결함 관련 정보에 상기 제 1 검사 처리부에 의해 취득된 상기 위치 정보가 포함될 수 있고,
   상기 분류 필요 여부 결정부가, 상기 제 1 검사 처리부에 의해 검출된 결함의 상기 분류부에 있어서의 분류를 필요로 결정하고, 상기 제 2 검사 처리부에 의해 검출된 결함의 상기 분류부에 있어서의 분류를 불필요로 결정하고,
   상기 분류부가, 결함의 위치 정보에 기초하여 결함 화상으로부터 상기 결함의 영역을 절출한 화상을 상기 학습이 완료된 모델에 입력하는, 검사 시스템.
4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 대상물의 각 위치에 대해 복수의 검사 감도 중 하나의 검사 감도가 설정되어 있고,
   상기 검사부가 결함의 검출시에 이용한 검사 감도를 나타내는 정보가, 상기 결함 관련 정보에 포함될 수 있고,
   상기 분류 필요 여부 결정부가, 특정한 검사 감도로 검출된 결함의 상기 분류부에 있어서의 분류를 불필요로 결정하는, 검사 시스템.
5. 교사 데이터를 생성하는 교사 데이터 생성 장치로서,
   대상물을 촬상한 화상을, 기계 학습을 사용하지 않고 검사하는 검사부로부터, 결함을 포함하는 결함 화상과, 상기 결함의 검출시에 취득 또는 이용된 결함 관련 정보를 접수하는 화상 접수부와,
   상기 결함 관련 정보에 기초하여 상기 결함 화상을 교사 데이터에 사용할지의 여부를 결정하는 화상 필요 여부 결정부와,
   교사 데이터에 사용하는 결함 화상을 디스플레이에 표시하는 표시 제어부와,
   상기 디스플레이에 표시된 상기 결함 화상에 대한 작업자에 의한, 결함 종별의 판정 결과의 입력을 접수하는 판정 결과 접수부와,
   상기 결함 화상에 상기 판정 결과를 라벨링하여 교사 데이터를 생성하는 교사 데이터 생성부를 구비하는, 교사 데이터 생성 장치.
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 판정 결과 접수부가, 작업자에 의한 실제 결함 또는 거짓 결함의 판정 결과의 입력을 접수하고,
   상기 검사부에 있어서 결함의 검출시에 취득된 상기 결함의 결함 종별이, 상기 결함 관련 정보에 포함될 수 있고,
   상기 화상 필요 여부 결정부가, 특정한 결함 종별인 결함을 포함하는 결함 화상을 교사 데이터에 사용하지 않는다고 결정하는, 교사 데이터 생성 장치.
7. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
   상기 검사부가,
   제 1 검사 처리에 의해 결함을 검출하고, 상기 결함을 포함하는 결함 화상을 취득하는 제 1 검사 처리부와,
   상기 제 1 검사 처리와는 상이한 제 2 검사 처리에 의해 결함을 검출하고, 상기 결함을 포함하는 결함 화상을 취득하는 제 2 검사 처리부를 구비하고,
   상기 제 1 검사 처리부가 상기 제 2 검사 처리부보다 상세한 결함 화상 중의 결함의 위치 정보를 취득 가능하여, 상기 결함 관련 정보에 상기 제 1 검사 처리부에 의해 취득된 상기 위치 정보가 포함될 수 있고,
   상기 화상 필요 여부 결정부가, 상기 제 1 검사 처리부에 의해 검출된 결함의 결함 화상을 교사 데이터에 사용한다고 결정하고, 상기 제 2 검사 처리부에 의해 검출된 결함의 결함 화상을 교사 데이터에 사용하지 않는다고 결정하고,
   상기 교사 데이터 생성부가, 결함의 위치 정보에 기초하여 결함 화상으로부터 상기 결함의 영역을 절출한 화상을 포함하는 교사 데이터를 생성하는, 교사 데이터 생성 장치.
8. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
   상기 대상물의 각 위치에 대해 복수의 검사 감도 중 하나의 검사 감도가 설정되어 있고,
   상기 검사부가 결함의 검출시에 이용한 검사 감도를 나타내는 정보가, 상기 결함 관련 정보에 포함될 수 있고,
   상기 화상 필요 여부 결정부가, 특정한 검사 감도로 검출된 결함을 포함하는 결함 화상을 교사 데이터에 사용하지 않는다고 결정하는, 교사 데이터 생성 장치.
9. 교사 데이터를 생성하는 교사 데이터 생성 방법으로서,
   a) 대상물을 촬상한 화상을, 기계 학습을 사용하지 않고 검사하는 검사부로부터, 결함을 포함하는 결함 화상과, 상기 결함의 검출시에 취득 또는 이용된 결함 관련 정보를 접수하는 공정과,
   b) 상기 결함 관련 정보에 기초하여 상기 결함 화상을 교사 데이터에 사용할지의 여부를 결정하는 공정과,
   c) 교사 데이터에 사용하는 결함 화상을 디스플레이에 표시하는 공정과,
   d) 상기 디스플레이에 표시된 상기 결함 화상에 대한 작업자에 의한, 결함 종별의 판정 결과의 입력을 접수하는 공정과,
   e) 상기 결함 화상에 상기 판정 결과를 라벨링하여 교사 데이터를 생성하는 공정을 구비하는, 교사 데이터 생성 방법.
10. 컴퓨터에 교사 데이터를 생성시키는, 기록 매체에 기록된 프로그램으로서, 상기 프로그램의 컴퓨터에 의한 실행은, 상기 컴퓨터에,
    a) 대상물을 촬상한 화상을, 기계 학습을 사용하지 않고 검사하는 검사부로부터, 결함을 포함하는 결함 화상과, 상기 결함의 검출시에 취득 또는 이용된 결함 관련 정보를 접수하는 공정과,
    b) 상기 결함 관련 정보에 기초하여 상기 결함 화상을 교사 데이터에 사용할지의 여부를 결정하는 공정과,
    c) 교사 데이터에 사용하는 결함 화상을 디스플레이에 표시하는 공정과,
    d) 상기 디스플레이에 표시된 상기 결함 화상에 대한 작업자에 의한, 결함 종별의 판정 결과의 입력을 접수하는 공정과,
    e) 상기 결함 화상에 상기 판정 결과를 라벨링하여 교사 데이터를 생성하는 공정을 실행시키는, 기록 매체에 기록된 프로그램.

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