JPS62123720A - 真空容器の排気方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はフッ素系や塩素系等の反応性の高いガスを使用
するドライエツチングに係り、特に真空容器の大気開放
後の排気に好適な真空容器の排気方法に関するものであ
る。

〔発明の背景〕

反応性の高い塩素系やフッ素系のガスそのものが、真空
ポンプのオイルやポンプそのものを劣化させるのはもち
ろんであるが、従来は真空容器の大気開放後の排気をそ
のままの大気中雰囲気の状態で行っていたため、真空ポ
ンプ内ｉこ大気が混入し、特に、大気中の酸素と水分が
ポンプオイル中の反応性物質と反応して固形物を生成し
真空ポンプやオイルの劣化を早め、オイル交換等のメン
テナンス周期が短期間であった。

なお、エツチングにおける廃ガス処理については、例え
ば半導体プロセス材料実務便覧（サイエンスフォーラム
）Ｐ、１３０〜１３１１こａ己載されているが、この記
載にはなんら容器を排気する際の方法については触れて
いない。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、エツチング排気を行う真空ポンプのオ
イルの劣化を防止するととも唱こ、真空ポンプ等のメン
テナンス周期を長くして生産性の向上を図ることにある
。

〔発明の概要〕

本発明は、真空容器であるエツチング室にＮ２ガスもし
くは希ガスによるパージ機構を設け、エツチング室に残
留した大気例えばＮ２ガスで置換した後に真空排気を行
うようにしたものである。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を第】図により説明する。

軍学容器１にエツチングガス供給システム２よりエツチ
ングガスを導入し、真空ポンプ５を介して排気しながら
エツチングを行う。

例えば、ＢＣｌ３ガスを用いてエツチングを行った後、
真空容器１内を水やアルコール等を使用してクリーニン
グする目的で真空容器１を大気開放する。すると、クリ
ーニング後の真空容器１にはｊｚ気や水分が残留する。

この大気や水分を真空ポンプ５で排気すれば真空ポンプ
５のオイルが劣化することになる。そこで、そのように
しないために真空容器１を排気する前にガス導入口３よ
り例えばＮ２ガスを真空容器ＩＩこ導入する。また、同
時にガス排気口４よりＮ２ガスを排気し、真空容器１内
をＮ２ガスで置換える。

その後、真空容器ｌを真空ポンプ５で排気すると、真空
ポンプ５内に大気や水分を吸引することはなくなる。

本実施例によれば、真空容器を大気開放した後でも真空
ポンプ内に大気を吸引することがなく、真空ポンプのオ
イルの劣化を防止する効果がアル。

真空容器内の置換の完了を検知するためには、真空容器
そのものもしくは配管に酸素検知器を設ければよい。さ
らに、水分に対しては供給するＮ２ガスの温度を２００
℃程度擾こあらかじめ昇温しで真空容器に導々方法によ
り、除去することが可能である。

本実施例ではＮ２ガスを用いたが、Ｈ６，Ａｒ等の希ガ
スでも同等の効果が得られる。

第２図は、従来方法と本発明方法における真空ポンプの
オイル交換周期を比較したものである。

〔発明の効果〕

本発明によれば、エツチング排気系の真空ポンプに大気
を吸引することがないので、真空ポンプのオイルの劣化
防止やメンテナンス周期の延長などの効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の方法を適用するエツチング装置の構成
図、第２図は従来方法と本発明方法を比較したグラフで
ある。 １・・・・・・真空容器、２・・・・・・エツチングガ
ス供給システム、３・・・・・・ガス導入口、４・・・
・・・ガス［Ｃ口、５・・・・・・真空ポンプ　　　　
　　　　　　　　　　、・′１代理人　弁理±　　４１
，１１　　ユ　、　　（才１図 ａ−−−−一カ′°スｊＩＦ気、ロ ５−−−−−−真庄ポ〉グ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、エッチングガスを導入する装置と、それを排気する
   装置より成る真空容器のドライエッチング装置において
   、大気圧から該真空容器を排気する前に、ドライ窒素も
   しくは希ガスを供給して容器内ガス成分を置換すること
   を特徴とする真空容器の排気方法。 ２、上記ドライ窒素もしくは希ガスの供給は、真空容器
   より排出する配管に酸素検知器を設け、その酸素量によ
   り供給を制御することを特徴とする特許請求の範囲第１
   項記載の真空容器の排気方法。 ３、上記ドライ窒素もしくは希ガスを真空容器へ導く前
   に加熱することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
   の真空容器の排気方法。