JPS62115646A - マイクロ波放電光源装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はマイクロ波エネルギにより無電極放電ランプの
点灯するマイクロ波放電光源装置に関し、特に無電極放
電ランプの冷却装置に関する。

〔従来の技術〕

第４図には従来のマイクロ波放電光源装置の一例が示さ
れている。図において、１はマグネトロン、２はマグネ
トロンアンテナ、３は導波管、４は導波管３に開けられ
た通気口、５は給電口、６は無電極放電ランプ（以下単
にランプと言う）、７は円筒形の金属メツシュ８と給電
口５を有する面とで取囲まれたマイクロ波空胴、９は光
反射板、１０は送風用のプロアファン、１１はランプ止
めねじ、１２は筐体を示している。

この従来の装置では、先ず、マグネトロン１より発振さ
れたマイクロ波はマグネトロンアンテナ２よシ導波管３
内に放射され、この導波管３内を伝播して給電口５より
マイクロ波空胴７内に導ひかれる。これにより、このマ
イクロ波空胴７にマイクロ波電磁界ができ、このマイク
ロ波電磁界のエネルギを得て無電極放電ランプ６が放電
発光する。このランプ６より発せられた光は、円筒形状
の金属メツシュ８を通過して、一部は直接、また一部は
晃反射板９により反射されて、被照射方向へ放出される
。このランプ６は通称ＨＩＤランプに属するもので、内
部に水銀や目的に応じて選択された金属ハロゲン化物や
始動用の希ガスが封入されておシ、点灯した時にランプ
壁材は非常に高温になる。このようなランプのランプ壁
材は一般に透光性の石英が用いられているが、それでも
ランプを冷却する必要があシ、ランプの風冷が行なわれ
る。この冷却はプロアファン１０で吹込まれた空気で先
ず、マグネトロン１を冷却し、次いで通気口４を通過さ
せ、給電口５よシランプロに吹付けてランプを冷却し、
外部へ放出して行なわれていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、従来のこのようなランプ冷却方法では冷
却風の流れが一方向のみである次め、風の吹き付方向と
は反対側のランプ壁の冷却が少なく、不充分であシ、例
えば風の方向が上向きすなわち動方向と逆方向の場合に
は風の当る部分と反対側（上部）のランプ壁が、ランプ
内部に封入した水銀等の蒸気の対流による温度上昇も加
わって過熱され、時にはランプ壁温度がランプ壁材（透
光性石英〕の軟化点以上に上昇しランプ壁材が膨らんで
穴が開き、ランプ使用不可能となるランプ破損を生じる
欠点があった。

本発明は、かかる従来の問題を解決するためになされ次
もので、この装置をどんな方向に置いて点灯しても、無
電極ランプが一様に冷却され、ランプ過熱によるランプ
破損を防止し得るマイクロ波放電光源装置を提供するこ
とを目的とするものである。

〔問題を解決するための手段〕

本発明のマイクロ波放電光源装置は、無電極放電ランプ
を強制風冷する手段を含み、この強制風冷手段が少なく
とも２つのノズル、このノズルに圧搾空気を送シ込む手
段、および前記ノズルを開閉する手段を有し、前記ノズ
ルを無電極ランプの中心に向う仮想中心線に対して角度
的にずらした方向に指向し、前記開閉手段によシノズル
より吹出る風を順次開閉し、前記ランプに冷却風を当て
るようにしたものである。

〔作　用〕

本発明のマイクロ波放電光源装置によると、異なった方
向の少なくとも２つの風の流れができて、この風が無電
極ランプの中心からずれた位置に当るようになシ、更に
この風を互に順次開閉することによシ無電極ランプに沿
って回転乱気流を作ることができて、この回転乱気流に
より無電極ランプの各所に風を当てて冷却する。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例に係るマイクロ波放電光源装
置２０ｆ、示す断面図、第２図は第１図の■−■線に沿
って得たマイクロ波放電光源装置の主要部の断面図であ
る。両図において、１〜１２は従来の装置と同一であシ
、その説明を省略する。

この実施例において、円筒形金属メツシュ８の外側周囲
部には４本の圧搾空気送給Ａイブ２１，２２゜２３．２
４が等間隔に且つ中心軸線に沿って立設されている。こ
れら各圧搾空気送給パイプ２１〜２４には円筒形金属メ
ツシュ８に向って開口した３つのノズル２５が形成され
、更に、これら各圧搾空気送給パイプ２１〜２５はそれ
ぞれ開閉弁２６．２７．２８．２９を介して１つの圧搾
空気供給源３０に接続されている。

このマイクロ波放電光源装［２０は従来例のものと同様
にして無電極放電ランプを点灯させる。

この無電極放電ランプ６の冷却は各ノズル２５から圧搾
空気が吹き出してランプに当ることによって行なわれる
。各、Ｒイブ２１〜２４における３つのノズル２５は、
第１図の縦断面図でみてその１つがランプ６の上部に、
他の１つがランプ６の中心部に、残りの１つがランプ６
の下部に指向され、且つ第２図の横断面図でみた時には
各ノズル２５は第２図に一点鎖線の矢印で示すように無
電極放電ランプ６の中心に向う仮想中心線に対して時計
廻り方向へ角度的にずらして指向されている。そのため
、ノズル２５から吹き出た冷却風は第３図に実線の矢印
で示すようにランプ６の周囲を左廻夛の渦流の冷却風流
となる。これによって、ランプ６の壁材の各所に冷却風
が舞いランプ６を冷却することができる。更に、開閉弁
２６〜２９を順次開閉し且つその動作を循環させること
により、前段（前に圧搾空気が送給されていたパイプ）
の各ノズルからの風を次段（次に圧搾空気が送給される
パイプ）の各ノズルからの風が抱込んでランプ６に当シ
、これが順次繰返光されるので、この実施例では右廻シ
の回転渦流をよシ確実に発生させることができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明のマイクロ波放電光源装置
によれば、金属メツシュの周囲に複数の冷却風吹出し用
のノズルを設置し、この各ノズルを平面的にみた時無電
極放電ランプの中心に向う仮想中心線に対して角度的に
ずらした方向に指向させ、且つノズルからの風を順次断
続して吹き出させるようにしたことによシ、冷却風を無
電極放電ランプ周囲で回転気流にすることができる。そ
の結果、無電極放電ランプは冷却風で一様に囲まれて冷
却されるので、非常に効果的に冷却することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明一実施例に係るマイクロ波放電光源装置
を示す縦断面図、第２図は第１図の■−■線に沿って得
たマイクロ波放電光源装置の横断面図、第３図はノズル
からの冷却風の流れを示す第２図と同様な横断面図、第
４図は従来のマイクロ波放電光源装置を示す縦断面図で
ある。 １・・・１グネトロン、３・・・導波管、４・・・通気
口、５・・・給電口、６・・・無電極放電ランプ、７・
・・賃イクロ波空胴、８・・・金属メツシュ、９・・・
反射板、２０・・・マイクロ波放電光源装置、２１〜２
４・・・パイプ、２５・・・ノズル、２６〜２９・・・
開閉弁、３０・・・圧搾空気供給源。 なお、図中同一符号は同一部分又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 少なくとも一部が光を透過するがマイクロ波を反射する
   金属メツシユと給電口を有する面とで構成されたマイク
   ロ波空胴と、該マイクロ波空胴内に配設された無電極放
   電ランプと、該無電極放電ランプを強制風冷する手段と
   を有するマイクロ波放電光源装置において、前記強制風
   冷する手段が、前記無電極放電ランプの周囲に配置され
   且つ該無電極放電ランプの中心に向う仮想中心線に対し
   て角度的にずらされて指向された圧搾空気吹出し用の少
   なくとも２つのノズル、該ノズルに圧搾空気を送給する
   手段、および前記ノズルからの冷却風吹出しを断続的に
   循環して行なうべく各ノズルからの空気の吹出しを制御
   する開閉弁装置からなることを特徴とするマイクロ波放
   電光源装置。