JPS645285Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS645285Y2 JPS645285Y2 JP1984157632U JP15763284U JPS645285Y2 JP S645285 Y2 JPS645285 Y2 JP S645285Y2 JP 1984157632 U JP1984157632 U JP 1984157632U JP 15763284 U JP15763284 U JP 15763284U JP S645285 Y2 JPS645285 Y2 JP S645285Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power supply
- supply port
- lamp
- microwave
- source device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims description 14
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 8
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 2
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
Landscapes
- Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この考案はマイクロ波を利用した放電光源装置
で、特に無電極放電ランプの冷却手段の改良に関
するものである。
で、特に無電極放電ランプの冷却手段の改良に関
するものである。
第３図は例えば特願昭59−39980号明細書に示
された従来のマイクロ波放電光源装置を示す断面
図、第４図は光の照射側から見た正面図であり、
図において、１はマイクロ波を発振するマグネト
ロン、２はマグネトロンアンテナ、３はマイクロ
波を伝送する導波管で、壁面に通風口４を有して
いる。５は導波管３の端部に接続した空胴壁で、
この空胴壁５と前面が閉塞した円筒形の金属メツ
シユ板からなる光透過性部材６とでマイクロ波共
振空胴７を構成している。８はマイクロ波を空胴
７内に給電する矩形状の給電口、９は空胴７内に
配設した無電極放電ランプ、１０は空胴７の外方
に設けた光反射板、１１はマグネトロン１および
ランプ９を冷却する冷却手段となるフアンで、１
２はマグネトロン１およびランプ９を冷却する冷
風の流れである。１３は装置全体の筐体である。
された従来のマイクロ波放電光源装置を示す断面
図、第４図は光の照射側から見た正面図であり、
図において、１はマイクロ波を発振するマグネト
ロン、２はマグネトロンアンテナ、３はマイクロ
波を伝送する導波管で、壁面に通風口４を有して
いる。５は導波管３の端部に接続した空胴壁で、
この空胴壁５と前面が閉塞した円筒形の金属メツ
シユ板からなる光透過性部材６とでマイクロ波共
振空胴７を構成している。８はマイクロ波を空胴
７内に給電する矩形状の給電口、９は空胴７内に
配設した無電極放電ランプ、１０は空胴７の外方
に設けた光反射板、１１はマグネトロン１および
ランプ９を冷却する冷却手段となるフアンで、１
２はマグネトロン１およびランプ９を冷却する冷
風の流れである。１３は装置全体の筐体である。
従来のマイクロ波放電光源装置は上記のように
構成され、マグネトロン１で発振されたマイクロ
波はアンテナ２より導波管３内を伝送されて給電
口８からマイクロ波共振空胴７内へ放射され電磁
界を形成する。この電磁界によりランプ９内の封
入ガスが放電すると共に、ランプ９内の水銀等の
金属が蒸発しガス化して放電する。このとき金属
の種類に応じた特定の発光スペクトルをもつ光が
発生する。この光は光透過性部材６を通過して光
反射板１０で反射されて前方へ放射する。一方、
マグネトロン１はフアン１１からの冷風で冷却さ
れ、またランプ９はマグネトロン１を通過し通風
口４および給電口８から流入する送風によつて冷
却され、送風は光透過性部材６を抜けて外部へ排
出される。
構成され、マグネトロン１で発振されたマイクロ
波はアンテナ２より導波管３内を伝送されて給電
口８からマイクロ波共振空胴７内へ放射され電磁
界を形成する。この電磁界によりランプ９内の封
入ガスが放電すると共に、ランプ９内の水銀等の
金属が蒸発しガス化して放電する。このとき金属
の種類に応じた特定の発光スペクトルをもつ光が
発生する。この光は光透過性部材６を通過して光
反射板１０で反射されて前方へ放射する。一方、
マグネトロン１はフアン１１からの冷風で冷却さ
れ、またランプ９はマグネトロン１を通過し通風
口４および給電口８から流入する送風によつて冷
却され、送風は光透過性部材６を抜けて外部へ排
出される。
上記のような従来のマイクロ波放電光源装置で
は、給電口８が矩形状（長方形）であるため、給
電口８から流れ出る冷風の流れがランプ９に対し
て偏つて当たり、この結果、ランプの冷却が不均
一となつてランプ寿命が低下する問題点があつ
た。
は、給電口８が矩形状（長方形）であるため、給
電口８から流れ出る冷風の流れがランプ９に対し
て偏つて当たり、この結果、ランプの冷却が不均
一となつてランプ寿命が低下する問題点があつ
た。
この考案は、かかる問題点を解決するためにな
されたもので、ランプの冷却を均一にかつ効果的
に行なつてランプの長寿命化が図れるよようにし
たマイクロ波放電光源装置を得ることを目的とす
る。
されたもので、ランプの冷却を均一にかつ効果的
に行なつてランプの長寿命化が図れるよようにし
たマイクロ波放電光源装置を得ることを目的とす
る。
この考案に係るマイクロ波放電光源装置は、矩
形状の給電口の長辺の両側の給電口の長手方向に
配列する冷風通過のための複数の通気孔を設けた
ものである。
形状の給電口の長辺の両側の給電口の長手方向に
配列する冷風通過のための複数の通気孔を設けた
ものである。
この考案においては、導波管からの冷風が矩形
状の給電口と共にその長辺の両側にあつて、長手
方向に配列するように設けた通気孔からも流れ込
むため、ランプ全体にに均一に冷風が当たつて冷
却作用を効果的に行なうことができる。
状の給電口と共にその長辺の両側にあつて、長手
方向に配列するように設けた通気孔からも流れ込
むため、ランプ全体にに均一に冷風が当たつて冷
却作用を効果的に行なうことができる。
第１図はこの考案の一実施例を示す断面図、第
２図は光の照射方向から見た正面図であり、符号
１〜１３は第３図の従来のものと同一である。１
４は給電口８の近傍の空胴壁５に設けた複数の小
孔からなる通気孔で、この通気孔１４は矩形状
（長方形）の長辺の両側において長手方向に配設
している。また通気孔１４の孔範囲はランプ９の
外径とほゞ等しい大きさがよい。なお、１２ａは
通気孔１４を通過した冷風の流れである。
２図は光の照射方向から見た正面図であり、符号
１〜１３は第３図の従来のものと同一である。１
４は給電口８の近傍の空胴壁５に設けた複数の小
孔からなる通気孔で、この通気孔１４は矩形状
（長方形）の長辺の両側において長手方向に配設
している。また通気孔１４の孔範囲はランプ９の
外径とほゞ等しい大きさがよい。なお、１２ａは
通気孔１４を通過した冷風の流れである。
上記のように構成したマイクロ波放電光源装置
は、マグネトロン１を通過したフアン１１からの
冷風が通風口４から導波管３内に流入する。そし
てこの冷風は給電口８から吹き出てランプ９を冷
却すると共に、給電口８の両側の通気孔１４から
も吹き出してランプ９を冷却する。すなわち、ラ
ンプ９は給電口８と通気孔１４から吹き出る冷風
によつてランプ全体が均一に冷却されることにな
る。
は、マグネトロン１を通過したフアン１１からの
冷風が通風口４から導波管３内に流入する。そし
てこの冷風は給電口８から吹き出てランプ９を冷
却すると共に、給電口８の両側の通気孔１４から
も吹き出してランプ９を冷却する。すなわち、ラ
ンプ９は給電口８と通気孔１４から吹き出る冷風
によつてランプ全体が均一に冷却されることにな
る。
なお、実施例では金属メツシユ板からなるマイ
クロ波空胴７内のランプ９の冷却について説明し
たが、その他の空胴内のランプ冷却にも広く利用
できる。
クロ波空胴７内のランプ９の冷却について説明し
たが、その他の空胴内のランプ冷却にも広く利用
できる。
この考案は以上説明したように、矩形状の給電
口の長辺の両側において、給電口の長手方向に配
列する冷風通過のための複数の通気孔を設けたこ
とにより、給電口が矩形状であつてもランプ全体
を均一にかつ効果的に冷却することができ、これ
によつてランプの長寿命化が図れる等の効果があ
る。
口の長辺の両側において、給電口の長手方向に配
列する冷風通過のための複数の通気孔を設けたこ
とにより、給電口が矩形状であつてもランプ全体
を均一にかつ効果的に冷却することができ、これ
によつてランプの長寿命化が図れる等の効果があ
る。
第１図はこの考案の一実施例を示すマイクロ波
放電光源装置の断面図、第２図は光の照射方向か
らの正面図、第３図は従来のものの断面図、第４
図は同じく正面図である。 １……マグネトロン、３……導波管、５……空
胴壁、６……光透過性部材、７……マイクロ波共
振空胴、８……給電口、９……無電極放電ラン
プ、１１……フアン、１４……通気孔。なお、図
中、同一符号は同一又は相当部分を示す。
放電光源装置の断面図、第２図は光の照射方向か
らの正面図、第３図は従来のものの断面図、第４
図は同じく正面図である。 １……マグネトロン、３……導波管、５……空
胴壁、６……光透過性部材、７……マイクロ波共
振空胴、８……給電口、９……無電極放電ラン
プ、１１……フアン、１４……通気孔。なお、図
中、同一符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- マグネトロンからのマイクロ波が導波管内を伝
送し、矩形状を呈する１つの給電口を通して給電
される少なくとも空胴壁の一部に光透過性部材を
有するマイクロ波共振空胴を備え、この空胴内に
無電極放電ランプを有し、かつこのランプを冷却
する送風手段を備えたマイクロ波放電光源装置に
おいて、上記給電口の長辺の両側にあつて、上記
給電口の長手方向に配列する複数の通気孔を設
け、上記導波管を通じて送風手段からの冷風が上
記給電口と上記通気孔から送風されることを特徴
とするマイクロ波放電光源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984157632U JPS645285Y2 (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984157632U JPS645285Y2 (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6171999U JPS6171999U (ja) | 1986-05-16 |
| JPS645285Y2 true JPS645285Y2 (ja) | 1989-02-09 |
Family
ID=30715618
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984157632U Expired JPS645285Y2 (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS645285Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52116155A (en) * | 1976-03-17 | 1977-09-29 | Fusion Systems Corp | Radio wave generator by microwave |
-
1984
- 1984-10-18 JP JP1984157632U patent/JPS645285Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52116155A (en) * | 1976-03-17 | 1977-09-29 | Fusion Systems Corp | Radio wave generator by microwave |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6171999U (ja) | 1986-05-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS645285Y2 (ja) | ||
| JPH04110153A (ja) | 紫外線照射装置 | |
| JPH09320543A (ja) | マイクロ波無電極放電光源装置 | |
| JPH0226359B2 (ja) | ||
| JPS6340802Y2 (ja) | ||
| JPH0211682Y2 (ja) | ||
| JPS61116750A (ja) | マイクロ波放電光源装置 | |
| JPH10172520A (ja) | 無電極放電ランプ | |
| JPS62241257A (ja) | マイクロ波放電光源装置 | |
| JPS62272453A (ja) | マイクロ波放電光源装置 | |
| JP2542952Y2 (ja) | マイクロ波無電極発光装置 | |
| JP2594151Y2 (ja) | 無電極放電管装置 | |
| JPS61161649A (ja) | マイクロ波放電光源装置 | |
| JPS60235303A (ja) | 光源装置 | |
| JPH0218560Y2 (ja) | ||
| JPS608582B2 (ja) | マイクロ波放電光源装置 | |
| JPH0572943U (ja) | 紫外線照射装置 | |
| JP3105900U (ja) | 無電極ランプ装置 | |
| JPS63159208U (ja) | ||
| JPS6228045Y2 (ja) | ||
| JPS61273849A (ja) | マイクロ波放電光源装置 | |
| KR100430012B1 (ko) | 무전극 램프의 열변형 방지장치 | |
| JPS6236346B2 (ja) | ||
| JPS62115646A (ja) | マイクロ波放電光源装置 | |
| JPS61216299A (ja) | マイクロ波放電光源装置 |