JPS6340802Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6340802Y2 JPS6340802Y2 JP15762984U JP15762984U JPS6340802Y2 JP S6340802 Y2 JPS6340802 Y2 JP S6340802Y2 JP 15762984 U JP15762984 U JP 15762984U JP 15762984 U JP15762984 U JP 15762984U JP S6340802 Y2 JPS6340802 Y2 JP S6340802Y2
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- Japan
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- lamp
- waveguide
- microwave
- light
- light source
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- Expired
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
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- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この考案はマイクロ波によつて無電極放電ラン
プを放電発光させるマイクロ波放電光源装置に関
するものである。
プを放電発光させるマイクロ波放電光源装置に関
するものである。
第２図は例えば特願昭59−39980号明細書に示
された従来のマイクロ波放電光源装置を示すもの
で、図において、１はマイクロ波を発振するマグ
ネトロン、２はマグネトロンアンテナ、３はマイ
クロ波を伝送する導波管で、壁面に通風口４を有
している。５は導波管３の端部に接続した空胴壁
で、この空胴壁５と前面が閉塞した円筒形の金属
メツシユ板からなる光透過性部材６とでマイクロ
波空胴７を構成している。８はマイクロ波をマイ
クロ波空胴７内へ給電する給電口、９はマイクロ
波空胴７内に配設した支持棒１０を有する無電極
放電ランプ、１１はマイクロ波空胴７の外方に設
けた光反射板、１２はマグネトロン１および無電
極放電ランプ９を冷却するフアン、１３は装置全
体を覆う筐体である。
された従来のマイクロ波放電光源装置を示すもの
で、図において、１はマイクロ波を発振するマグ
ネトロン、２はマグネトロンアンテナ、３はマイ
クロ波を伝送する導波管で、壁面に通風口４を有
している。５は導波管３の端部に接続した空胴壁
で、この空胴壁５と前面が閉塞した円筒形の金属
メツシユ板からなる光透過性部材６とでマイクロ
波空胴７を構成している。８はマイクロ波をマイ
クロ波空胴７内へ給電する給電口、９はマイクロ
波空胴７内に配設した支持棒１０を有する無電極
放電ランプ、１１はマイクロ波空胴７の外方に設
けた光反射板、１２はマグネトロン１および無電
極放電ランプ９を冷却するフアン、１３は装置全
体を覆う筐体である。
従来のマイクロ波放電光源装置は上記のように
構成され、マグネトロン１で発振されたマイクロ
波はアンテナ２より導波管３内を伝送されて給電
口８からマイクロ波空胴７内へ放射されて電磁界
を形成する。この電磁界によりランプ内の封入ガ
スが放電し励起発光する。そしてこの光は光透過
性部材６を通過して外方へ放射され、光反射板１
１で反射されて被照射面へ照射される。
構成され、マグネトロン１で発振されたマイクロ
波はアンテナ２より導波管３内を伝送されて給電
口８からマイクロ波空胴７内へ放射されて電磁界
を形成する。この電磁界によりランプ内の封入ガ
スが放電し励起発光する。そしてこの光は光透過
性部材６を通過して外方へ放射され、光反射板１
１で反射されて被照射面へ照射される。
第３図は特開昭57−202693号公報に示された従
来の別のマイクロ波放電光源装置を示すもので、
マイクロ波空胴７は光反射面を備えた空胴壁５と
金属メツシユ板からなる光透過性部材６とから構
成され、空胴壁５の一部にカツトオフパイプ１４
を通して外部からのランプ９に紫外線を照射する
位置に低圧水銀放電灯の紫外線ランプ１５を配設
したものである。この紫外線ランプ１５は紫外線
を無電極放電ランプ９に照射するとランプ９の放
電開始を確実に行なえる。
来の別のマイクロ波放電光源装置を示すもので、
マイクロ波空胴７は光反射面を備えた空胴壁５と
金属メツシユ板からなる光透過性部材６とから構
成され、空胴壁５の一部にカツトオフパイプ１４
を通して外部からのランプ９に紫外線を照射する
位置に低圧水銀放電灯の紫外線ランプ１５を配設
したものである。この紫外線ランプ１５は紫外線
を無電極放電ランプ９に照射するとランプ９の放
電開始を確実に行なえる。
上記のような従来のマイクロ波放電光源装置で
は、第３図の光源装置において、空胴壁５にカツ
トオフパイプ１４をあけ、空胴壁５の外方に紫外
線ランプ１５を配設すると、無電極ランプ９まで
の距離が長くなるため、より強い紫外線を必要と
し、このため大電力のランプ出力となるので高価
になる問題点があつた。
は、第３図の光源装置において、空胴壁５にカツ
トオフパイプ１４をあけ、空胴壁５の外方に紫外
線ランプ１５を配設すると、無電極ランプ９まで
の距離が長くなるため、より強い紫外線を必要と
し、このため大電力のランプ出力となるので高価
になる問題点があつた。
この考案は、かかる問題点を解決するためにな
されたもので、小電力の紫外線ランプで無電極放
電ランプの始動を確実に行なえるようにしたマイ
クロ波放電光源装置を得ることを目的とする。
されたもので、小電力の紫外線ランプで無電極放
電ランプの始動を確実に行なえるようにしたマイ
クロ波放電光源装置を得ることを目的とする。
この考案に係るマイクロ波放電光源装置は、導
波管を給電口の近くで屈曲する曲り導波管とし、
この曲り部分に透光孔を設け、透光孔および給電
口を通して無電極放電ランプを照射する位置に紫
外線ランプを設けたものである。
波管を給電口の近くで屈曲する曲り導波管とし、
この曲り部分に透光孔を設け、透光孔および給電
口を通して無電極放電ランプを照射する位置に紫
外線ランプを設けたものである。
この考案においては、無電極放電ランプと紫外
線ランプとの距離を短かくできるため無電極放電
ランプへ照射される紫外線照射量を増し、放電開
始を確実に行なうことができる。
線ランプとの距離を短かくできるため無電極放電
ランプへ照射される紫外線照射量を増し、放電開
始を確実に行なうことができる。
第１図はこの考案の一実施例を示すもので、符
号１〜１３は第２図の従来のものと同様である。
号１〜１３は第２図の従来のものと同様である。
導波管３は給電口８の近くで直角に屈曲する曲
り導波管であり、この曲り導波管３の曲り部分は
傾斜面３ａに形成してある。１６は傾斜面３ａに
あけた複数の透光孔、１７は傾斜面３ａの外方に
配設した紫外線ランプで、ランプ１７からの紫外
線は透光孔１６および給電口８を通して無電極放
電ランプ９を照射することができる。なお、透光
孔１６は通風口として使用し、フアン１２からの
冷風が透光孔１６および給電口８を通つて無電極
放電ランプ９を冷却することができる。
り導波管であり、この曲り導波管３の曲り部分は
傾斜面３ａに形成してある。１６は傾斜面３ａに
あけた複数の透光孔、１７は傾斜面３ａの外方に
配設した紫外線ランプで、ランプ１７からの紫外
線は透光孔１６および給電口８を通して無電極放
電ランプ９を照射することができる。なお、透光
孔１６は通風口として使用し、フアン１２からの
冷風が透光孔１６および給電口８を通つて無電極
放電ランプ９を冷却することができる。
上記のように構成したマイクロ波放電光源装置
においては、予め紫外線ランプ１７を点灯させて
無電極放電ランプ９を照射しておき、マグネトロ
ン１を発振させる。かくしてマグネトロン１から
のマイクロ波はアンテナ２より曲り導波管３内へ
放射され、曲り部分で直角に屈折し給電口８から
空胴７内に放射される。以後の作用は第２図の場
合と同様であるが、無電極放電ランプ９は予め紫
外線によりランプ中の放電物質を電離や励起させ
てあるため、マイクロ波が空胴７内に放射される
と瞬時に放電が開始する。紫外線ランプ１７から
の紫外線は低圧水銀蒸気放電灯からのスペクトル
253.7nmや185nmの波長のものがよく、また、紫
外線ランプ１７と無電極放電ランプ９との距離が
短かいので、多量の紫外線を無電極ランプに照射
でき、小電力の紫外線ランプで充分である。な
お、紫外線ランプ１７はフアン１２からの冷風に
よつて冷却されるので無電極放電ランプ９からの
熱による温度上昇を抑えて紫外線の放射量の低下
を防止できる。
においては、予め紫外線ランプ１７を点灯させて
無電極放電ランプ９を照射しておき、マグネトロ
ン１を発振させる。かくしてマグネトロン１から
のマイクロ波はアンテナ２より曲り導波管３内へ
放射され、曲り部分で直角に屈折し給電口８から
空胴７内に放射される。以後の作用は第２図の場
合と同様であるが、無電極放電ランプ９は予め紫
外線によりランプ中の放電物質を電離や励起させ
てあるため、マイクロ波が空胴７内に放射される
と瞬時に放電が開始する。紫外線ランプ１７から
の紫外線は低圧水銀蒸気放電灯からのスペクトル
253.7nmや185nmの波長のものがよく、また、紫
外線ランプ１７と無電極放電ランプ９との距離が
短かいので、多量の紫外線を無電極ランプに照射
でき、小電力の紫外線ランプで充分である。な
お、紫外線ランプ１７はフアン１２からの冷風に
よつて冷却されるので無電極放電ランプ９からの
熱による温度上昇を抑えて紫外線の放射量の低下
を防止できる。
この考案は以上説明したように、導波管を給電
口の近くで屈曲する曲り導波管とし、この曲り部
分に透光孔を設け、透光孔および給電口を通して
無電極放電ランプを照射する位置に紫外線ランプ
を設けたことにより、無電極放電ランプに紫外線
ランプを近づけることができるので、小電力の紫
外線ランプで無電極ランプの始動を遅れることな
く確実に行なうことができる効果がある。
口の近くで屈曲する曲り導波管とし、この曲り部
分に透光孔を設け、透光孔および給電口を通して
無電極放電ランプを照射する位置に紫外線ランプ
を設けたことにより、無電極放電ランプに紫外線
ランプを近づけることができるので、小電力の紫
外線ランプで無電極ランプの始動を遅れることな
く確実に行なうことができる効果がある。
第１図はこの考案の一実施例を示すマイクロ波
放電光源装置の図、第２図および第３図は従来の
マイクロ波放電光源装置のそれぞれの図である。 １……マグネトロン、３……曲り導波管、６…
…光透過性部材、７……マイクロ波空胴、８……
給電口、９……無電極放電ランプ、１６……透光
孔、１７……紫外線ランプ。なお、図中、同一符
号は同一又は相当部分を示す。
放電光源装置の図、第２図および第３図は従来の
マイクロ波放電光源装置のそれぞれの図である。 １……マグネトロン、３……曲り導波管、６…
…光透過性部材、７……マイクロ波空胴、８……
給電口、９……無電極放電ランプ、１６……透光
孔、１７……紫外線ランプ。なお、図中、同一符
号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- マグネトロンからのマイクロ波を伝送する導波
管と、導波管に接続された給電口を有し、少なく
ともその壁面の一部が光透過性部材よりなるマイ
クロ波空胴と、この空胴内に配設された無電極放
電ランプを有するマイクロ波放電光源装置におい
て、上記導波管は給電口の近くで屈曲する曲り導
波管からなり、この曲り部分に透光孔を設け、こ
の透光孔および給電口を通して上記無電極放電ラ
ンプを照射する位置に紫外線ランプを設けたこと
を特徴とするマイクロ波放電光源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15762984U JPS6340802Y2 (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15762984U JPS6340802Y2 (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6171996U JPS6171996U (ja) | 1986-05-16 |
| JPS6340802Y2 true JPS6340802Y2 (ja) | 1988-10-25 |
Family
ID=30715615
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15762984U Expired JPS6340802Y2 (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6340802Y2 (ja) |
-
1984
- 1984-10-18 JP JP15762984U patent/JPS6340802Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6171996U (ja) | 1986-05-16 |
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