JPH0211682Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0211682Y2 JPH0211682Y2 JP15763184U JP15763184U JPH0211682Y2 JP H0211682 Y2 JPH0211682 Y2 JP H0211682Y2 JP 15763184 U JP15763184 U JP 15763184U JP 15763184 U JP15763184 U JP 15763184U JP H0211682 Y2 JPH0211682 Y2 JP H0211682Y2
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- JP
- Japan
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- lamp
- microwave
- source device
- light source
- cavity
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- Expired
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- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 2
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 1
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- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
- Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この考案はマイクロ波を利用した放電光源装置
で、特に光の照射方向を調節する回動手段を有す
る放電光源装置の無電極放電ランプ(以下単にラ
ンプと称する)の寿命の改善に関するものであ
る。
で、特に光の照射方向を調節する回動手段を有す
る放電光源装置の無電極放電ランプ(以下単にラ
ンプと称する)の寿命の改善に関するものであ
る。
〔従来の技術〕
第3図は例えば特願昭59−39980号明細書に示
された従来のマイクロ波放電光源装置を示す断面
図、第4図は光照射側から見た正面図であり、図
において、1はマイクロ波を発振するマグネトロ
ン、2はマグネトロンアンテナ、3はマイクロ波
を伝送する方形導波管(以下単に導波管と称す
る)で、壁面に通風口4を有している。5は導波
管3の端部に接続した空胴壁で、この空胴壁5と
前面が閉塞した円筒形の金属メツシユ板からなる
光透過性部材6とでマイクロ波空胴7を構成して
いる。8はマイクロ波をマイクロ波空胴7内へ給
電する矩形状の給電口、9はマイクロ波空胴7内
に配設した球形のランプ、10はマイクロ波空胴
7の外方に設けた光反射板、11はマグネトロン
1およびランプ9を冷却するフアンで、12はラ
ンプ9を冷却するため冷風の流れである。13は
装置全体の筐体である。
された従来のマイクロ波放電光源装置を示す断面
図、第4図は光照射側から見た正面図であり、図
において、1はマイクロ波を発振するマグネトロ
ン、2はマグネトロンアンテナ、3はマイクロ波
を伝送する方形導波管(以下単に導波管と称す
る)で、壁面に通風口4を有している。5は導波
管3の端部に接続した空胴壁で、この空胴壁5と
前面が閉塞した円筒形の金属メツシユ板からなる
光透過性部材6とでマイクロ波空胴7を構成して
いる。8はマイクロ波をマイクロ波空胴7内へ給
電する矩形状の給電口、9はマイクロ波空胴7内
に配設した球形のランプ、10はマイクロ波空胴
7の外方に設けた光反射板、11はマグネトロン
1およびランプ9を冷却するフアンで、12はラ
ンプ9を冷却するため冷風の流れである。13は
装置全体の筐体である。
従来のマイクロ波放電光源装置は上記のように
構成され、マグネトロン1で発振されたマイクロ
波はアンテナ2より導波管3内を伝送されて給電
口8からマイクロ波空胴7内へ放射され電磁界を
形成する。この電磁界によりランプ9内の封入ガ
スが放電し、ランプ9内の水銀等の金属が蒸着し
ガス化して放電する。このとき金属の種類に応じ
た特定の発光スペクトルをもつ光が発生する。こ
の光は光透過性部材6を通過して外方へ放射され
光反射板10で反射されて前方へ放射する。一方
マグネトロン1はフアン11からの送風で冷却さ
れ、またランプ9はマグネトロン1を通過し通風
口4および給電口8を流れる送風によつて冷却す
る。この際、導波管3のマイクロ波の進行方向に
平行な面(以後H面と称す)と重力方向との関係
は、導波管3のH面と重力方向とが直角になつて
いる。
構成され、マグネトロン1で発振されたマイクロ
波はアンテナ2より導波管3内を伝送されて給電
口8からマイクロ波空胴7内へ放射され電磁界を
形成する。この電磁界によりランプ9内の封入ガ
スが放電し、ランプ9内の水銀等の金属が蒸着し
ガス化して放電する。このとき金属の種類に応じ
た特定の発光スペクトルをもつ光が発生する。こ
の光は光透過性部材6を通過して外方へ放射され
光反射板10で反射されて前方へ放射する。一方
マグネトロン1はフアン11からの送風で冷却さ
れ、またランプ9はマグネトロン1を通過し通風
口4および給電口8を流れる送風によつて冷却す
る。この際、導波管3のマイクロ波の進行方向に
平行な面(以後H面と称す)と重力方向との関係
は、導波管3のH面と重力方向とが直角になつて
いる。
一般に上記導波管3に連接されたマイクロ波共
振空胴(以下単に空胴と称する)7内には導波管
3内に形成されるマイクロ波電界の方向は、本質
的には、導波管3内に形成されるマイクロ波電磁
界の方向と平行方向となる。ところで、第3図の
ように構成された光源装置の導波管3内には、マ
イクロ波の進行方向に対し垂直な面(以後E面と
称す)と平行な電界が形成される。このため空胴
7内の電界も上記E面と平行な方向となるため、
ランプ9内に形成される放電域もこの方向に伸び
た状態となり、第4図に従つて説明すれば図面の
上端部、および下端部の壁面温度が高くなる。特
にこの装置を水平方向に光を照射称する状態で点
灯した場合、上端部はランプ9内に形成される水
銀を主体とする金属蒸気の対流現象によつても加
熱されるため、高温となりやすく、この部分より
ランプの熱変形が生じ、ランプ寿命が短くなると
いう問題があつた。
振空胴(以下単に空胴と称する)7内には導波管
3内に形成されるマイクロ波電界の方向は、本質
的には、導波管3内に形成されるマイクロ波電磁
界の方向と平行方向となる。ところで、第3図の
ように構成された光源装置の導波管3内には、マ
イクロ波の進行方向に対し垂直な面(以後E面と
称す)と平行な電界が形成される。このため空胴
7内の電界も上記E面と平行な方向となるため、
ランプ9内に形成される放電域もこの方向に伸び
た状態となり、第4図に従つて説明すれば図面の
上端部、および下端部の壁面温度が高くなる。特
にこの装置を水平方向に光を照射称する状態で点
灯した場合、上端部はランプ9内に形成される水
銀を主体とする金属蒸気の対流現象によつても加
熱されるため、高温となりやすく、この部分より
ランプの熱変形が生じ、ランプ寿命が短くなると
いう問題があつた。
この考案に係るマイクロ波放電光源装置は、光
源装置に光の照射方向を調節する回動手段を備
え、この回動方向が空胴に連結された導波管のH
面と平行になるようにしたものであり、特に上記
H面を重力方向が平行となるようにしたものであ
る。
源装置に光の照射方向を調節する回動手段を備
え、この回動方向が空胴に連結された導波管のH
面と平行になるようにしたものであり、特に上記
H面を重力方向が平行となるようにしたものであ
る。
この考案においては、導波管のE面は重力方向
に対して垂直となり、したがつてランプ内に形成
される放電域は水平方向に伸びた状態となる。こ
のため、ランプ壁の高温度は、ランプの水平方向
端部に形成されやすい。一方、ランプ内に形成さ
れる対流による効果のため、ランプの上端部にも
高温部が形成される。したしながら従来例の場合
と異なり、空胴内に形成される電界によつて生ず
る高温部を対流によつて生ずる高温部が一致する
ことはありえず、この状態は光源装置の照射方向
がいずれの方向でも常に成り立つ。したがつてラ
ンプ壁の一部が特に高温となることもない。
に対して垂直となり、したがつてランプ内に形成
される放電域は水平方向に伸びた状態となる。こ
のため、ランプ壁の高温度は、ランプの水平方向
端部に形成されやすい。一方、ランプ内に形成さ
れる対流による効果のため、ランプの上端部にも
高温部が形成される。したしながら従来例の場合
と異なり、空胴内に形成される電界によつて生ず
る高温部を対流によつて生ずる高温部が一致する
ことはありえず、この状態は光源装置の照射方向
がいずれの方向でも常に成り立つ。したがつてラ
ンプ壁の一部が特に高温となることもない。
第1図はこの考案の一実施例を示す部分断面
図、第2図は光の照射方向から見た正面図であ
り、符号1〜13は第3図の従来のものと同一で
あるが、導波管3のH面と重力方向が平行となつ
ている。14は放電光源装置の光の照射方向を調
節するための回動手段となる支持スタンドで、1
5は放電光源装置とスタンドとの回動軸である。
これにより放電光源装置は回動軸15を中心とし
て重力方向すなわち導波管3のH面と平行な方向
に上下に回動することができる。
図、第2図は光の照射方向から見た正面図であ
り、符号1〜13は第3図の従来のものと同一で
あるが、導波管3のH面と重力方向が平行となつ
ている。14は放電光源装置の光の照射方向を調
節するための回動手段となる支持スタンドで、1
5は放電光源装置とスタンドとの回動軸である。
これにより放電光源装置は回動軸15を中心とし
て重力方向すなわち導波管3のH面と平行な方向
に上下に回動することができる。
上記のように構成したマイクロ波放電光源装置
は、装置が回動軸15を中心として回動して光の
照射方向を上下に変更しても導波管3のE面は常
に重力方向と直角になり、したがつて空胴7に形
成される電磁界によつて生ずるランプ9の壁面部
の高温部はランプ9の壁面水平方向両端部とな
り、一方、ランプ9内の対流によつて生ずる高温
度は垂直方向上端部となる。このため、光の照射
方向に係わりなく、両者の原因による高温部が重
なり合うことはなく、両者の相乗効果によるラン
プ壁の加熱部の発生を防止し得る。
は、装置が回動軸15を中心として回動して光の
照射方向を上下に変更しても導波管3のE面は常
に重力方向と直角になり、したがつて空胴7に形
成される電磁界によつて生ずるランプ9の壁面部
の高温部はランプ9の壁面水平方向両端部とな
り、一方、ランプ9内の対流によつて生ずる高温
度は垂直方向上端部となる。このため、光の照射
方向に係わりなく、両者の原因による高温部が重
なり合うことはなく、両者の相乗効果によるラン
プ壁の加熱部の発生を防止し得る。
この考案は以上説明したように、導波管3のH
面を重力方向と平行にすることにより、空胴内に
形成されるマイクロ波電界によつて生ずるランプ
壁面の高温度と、ランプ内の対流によつて生ずる
ランプ壁面の高温度が重なり合うことを防止で
き、これによりランプの長寿命化を計れるという
効果がある。
面を重力方向と平行にすることにより、空胴内に
形成されるマイクロ波電界によつて生ずるランプ
壁面の高温度と、ランプ内の対流によつて生ずる
ランプ壁面の高温度が重なり合うことを防止で
き、これによりランプの長寿命化を計れるという
効果がある。
第1図はこの考案の一実施例を示すマイクロ波
放電光源装置の部分断面図、第2図は正面図、第
3図は従来のものの断面図、第4図は正面図であ
る。 1……マグネトロン、3……導波管、5……空
胴壁、6……光透過性部材、7……マイクロ波空
胴、8……給電口、9……無電極放電ランプ、1
1……フアン、14……支持スタンド、15……
回動軸。
放電光源装置の部分断面図、第2図は正面図、第
3図は従来のものの断面図、第4図は正面図であ
る。 1……マグネトロン、3……導波管、5……空
胴壁、6……光透過性部材、7……マイクロ波空
胴、8……給電口、9……無電極放電ランプ、1
1……フアン、14……支持スタンド、15……
回動軸。
Claims (1)
- マグネトロンからのマイクロ波が方形導波管内
を伝送し給電口を通して給電される少なくとも壁
面の一部に光透過部材を有するマイクロ波共振空
胴を備え、この空胴内に無電極放電ランプを有す
るとともに、上記無電極放電ランプからの光の照
射方向を少なくとも重力方向と平行に調節し得る
回動手段を備えたマイクロ波放電光源装置におい
て、上記方形導波管のH面を重力方向に対し、平
行となるようにしたことを特徴とするマイクロ波
放電光源装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15763184U JPH0211682Y2 (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15763184U JPH0211682Y2 (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6171998U JPS6171998U (ja) | 1986-05-16 |
JPH0211682Y2 true JPH0211682Y2 (ja) | 1990-03-28 |
Family
ID=30715617
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15763184U Expired JPH0211682Y2 (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0211682Y2 (ja) |
-
1984
- 1984-10-18 JP JP15763184U patent/JPH0211682Y2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6171998U (ja) | 1986-05-16 |
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