JP3159809B2 - 無電極放電光源装置 - Google Patents
無電極放電光源装置Info
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、無電極放電光源装置に
関するものである。
関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、高周波電磁波でプラズマ発光
する無電極発光管を光源に使用した光源装置が採用され
ている。一例としてマイクロ波によって無電極発光管を
発光させる光源装置の構成を図3に示し、以下これを用
いてその概要を略述する。
する無電極発光管を光源に使用した光源装置が採用され
ている。一例としてマイクロ波によって無電極発光管を
発光させる光源装置の構成を図3に示し、以下これを用
いてその概要を略述する。
【0003】図3において、101はマイクロ波発振
器、102はマイクロ波発振器の出力アンテナ、103
は導波管、104は冷却ファン、105は送風フード、
106は内面が光反射性で、かつ断面形状が放物面であ
る金属容器、107は金属メッシュ、108は断面形状
が放物面である金属容器106の焦点位置に配置され発
光媒体を封入している球形の無電極発光管、109は金
属容器106へのマイクロ波の給電口である。
器、102はマイクロ波発振器の出力アンテナ、103
は導波管、104は冷却ファン、105は送風フード、
106は内面が光反射性で、かつ断面形状が放物面であ
る金属容器、107は金属メッシュ、108は断面形状
が放物面である金属容器106の焦点位置に配置され発
光媒体を封入している球形の無電極発光管、109は金
属容器106へのマイクロ波の給電口である。
【0004】上記構成において、マイクロ波発振器10
1によって発振されたマイクロ波は、アンテナ102よ
り導波管103に放射され、導波管103を伝搬し(図
3において、破線で示す)、給電口109から光反射板
を兼ねた金属容器106と金属メッシュ107とで構成
された空胴共振器内に導かれ、空胴内にマイクロ波電磁
場を形成する。空胴共振器内に設置された無電極発光管
108は、このマイクロ波電磁場によりエネルギーを吸
収し、放電,発光を行なう。無電極発光管108から発
せられた光は、光反射板を兼用する金属容器内面で反射
され、直射光とともに金属メッシュ107を通して外部
に放射される(図3において実線で示す)。また冷却フ
ァン104からの空気は送風フード105を介して、マ
イクロ波と同じく、給電口109から空胴内に導入され
て(図3において、一点鎖線で示す)、無電極発光管1
08を冷却し、発光管108の溶融,破裂を防止する。
1によって発振されたマイクロ波は、アンテナ102よ
り導波管103に放射され、導波管103を伝搬し(図
3において、破線で示す)、給電口109から光反射板
を兼ねた金属容器106と金属メッシュ107とで構成
された空胴共振器内に導かれ、空胴内にマイクロ波電磁
場を形成する。空胴共振器内に設置された無電極発光管
108は、このマイクロ波電磁場によりエネルギーを吸
収し、放電,発光を行なう。無電極発光管108から発
せられた光は、光反射板を兼用する金属容器内面で反射
され、直射光とともに金属メッシュ107を通して外部
に放射される(図3において実線で示す)。また冷却フ
ァン104からの空気は送風フード105を介して、マ
イクロ波と同じく、給電口109から空胴内に導入され
て(図3において、一点鎖線で示す)、無電極発光管1
08を冷却し、発光管108の溶融,破裂を防止する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の無電極放電
光源装置において、無電極発光管108から発せられた
光が、金属メッシュ107を通して外部に放射される構
造では、金属メッシュ107が光源からの直射光の一部
あるいは反射板からの平行な反射光の一部を遮るので、
光量が一部遮られるとともに、被照射面に対する光量分
布の一部に乱れを生じ、光源と組み合わされる光学系の
設計に対し不都合であった。
光源装置において、無電極発光管108から発せられた
光が、金属メッシュ107を通して外部に放射される構
造では、金属メッシュ107が光源からの直射光の一部
あるいは反射板からの平行な反射光の一部を遮るので、
光量が一部遮られるとともに、被照射面に対する光量分
布の一部に乱れを生じ、光源と組み合わされる光学系の
設計に対し不都合であった。
【0006】また、前記従来の無電極放電光源装置にお
いて、無電極発光管108は給電口109から導入され
る空気によって冷却されるが、このように固定された発
光管108がある一方向から局所的に冷却される場合、
発光管108が球形を成しているとしても、発光管10
8の表面は均一に冷却されず、その全表面をほぼ均一の
温度に維持することが困難である。そのため発光管10
8の全表面にわたってほぼ均一な光照射を得ることがで
きず、したがって、最終的に得られる光照射も不均一な
ものとなる。さらに、発光管108の表面の温度の不均
一は、発光管108の表面に異常な熱応力分布を生じ、
発光管108を破裂させる可能性がある。
いて、無電極発光管108は給電口109から導入され
る空気によって冷却されるが、このように固定された発
光管108がある一方向から局所的に冷却される場合、
発光管108が球形を成しているとしても、発光管10
8の表面は均一に冷却されず、その全表面をほぼ均一の
温度に維持することが困難である。そのため発光管10
8の全表面にわたってほぼ均一な光照射を得ることがで
きず、したがって、最終的に得られる光照射も不均一な
ものとなる。さらに、発光管108の表面の温度の不均
一は、発光管108の表面に異常な熱応力分布を生じ、
発光管108を破裂させる可能性がある。
【0007】本発明は、発光管108の全放射方向に均
一な光放射を発生し、その放射された光が金属メッシュ
に遮られることなく空胴外に導かれ、さらに発光管10
8の破裂の危険性をも低減することが可能な無電極放電
光源装置を提供することを目的としている。
一な光放射を発生し、その放射された光が金属メッシュ
に遮られることなく空胴外に導かれ、さらに発光管10
8の破裂の危険性をも低減することが可能な無電極放電
光源装置を提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の無電極
放電光源装置は、無電極発光管を内蔵した容器に高周波
電磁波を給電して無電極発光管を発光させる無電極放電
光源装置において、前記容器の内面が光反射性で、その
断面形状が、それぞれの開口が互いに対向し同一の光軸
を有する少なくとも略楕円面と少なくとも略円弧面との
複合面であり、前記楕円面の第1焦点と第2焦点のうち
の第1焦点と前記円弧面の中心とを少なくとも略同一に
設定し、前記楕円面の少なくとも略前記第1焦点に無電
極発光管を配置し、前記楕円面の少なくとも略第2焦点
に前記円弧面を配置し、前記円弧面には光軸上に中心が
あって前記高周波電磁波を反射する大きさの開口を穿設
し、この開口から出射光を得ることを特徴とする。
放電光源装置は、無電極発光管を内蔵した容器に高周波
電磁波を給電して無電極発光管を発光させる無電極放電
光源装置において、前記容器の内面が光反射性で、その
断面形状が、それぞれの開口が互いに対向し同一の光軸
を有する少なくとも略楕円面と少なくとも略円弧面との
複合面であり、前記楕円面の第1焦点と第2焦点のうち
の第1焦点と前記円弧面の中心とを少なくとも略同一に
設定し、前記楕円面の少なくとも略前記第1焦点に無電
極発光管を配置し、前記楕円面の少なくとも略第2焦点
に前記円弧面を配置し、前記円弧面には光軸上に中心が
あって前記高周波電磁波を反射する大きさの開口を穿設
し、この開口から出射光を得ることを特徴とする。
【0009】さらに請求項1に記載の無電極放電光源装
置は、円弧面の開口径を楕円面の開口径よりも大きく
し、円弧面の開口端と楕円面の開口端との間隙部に送風
フードの一端を接続し、送風フードの他端を送風装置に
接続し、前記間隙部を、高周波電磁波が反射する網状の
部材で閉塞したことを特徴とする。
置は、円弧面の開口径を楕円面の開口径よりも大きく
し、円弧面の開口端と楕円面の開口端との間隙部に送風
フードの一端を接続し、送風フードの他端を送風装置に
接続し、前記間隙部を、高周波電磁波が反射する網状の
部材で閉塞したことを特徴とする。
【0010】
【作用】請求項1の構成によると、楕円面の少なくとも
略第1焦点に配置された無電極発光管からの光放射のう
ち、直接楕円面に向かう光は、楕円面により少なくとも
略第2焦点に集光され、円弧面に向かう光は円弧面によ
り楕円面の第1焦点と少なくとも略同一である円弧面の
中心に戻され、楕円面により少なくとも略第2焦点に集
光される。この少なくとも略第2焦点に、光軸上に中心
があって高周波電磁波が反射する大きさの開口を有する
円弧面が配置されているので、高周波電磁波はこの開口
を通過せず、この開口からは無電極発光管から放射され
た光のみが途中で遮られることなく通過して容器外部に
出射される。
略第1焦点に配置された無電極発光管からの光放射のう
ち、直接楕円面に向かう光は、楕円面により少なくとも
略第2焦点に集光され、円弧面に向かう光は円弧面によ
り楕円面の第1焦点と少なくとも略同一である円弧面の
中心に戻され、楕円面により少なくとも略第2焦点に集
光される。この少なくとも略第2焦点に、光軸上に中心
があって高周波電磁波が反射する大きさの開口を有する
円弧面が配置されているので、高周波電磁波はこの開口
を通過せず、この開口からは無電極発光管から放射され
た光のみが途中で遮られることなく通過して容器外部に
出射される。
【0011】さらに請求項1の構成によると、円弧面の
開口径を楕円面の開口径よりも大きくし、送風フードの
一端を円弧面の開口端と楕円面の開口端との間隙部に接
続し他端を送風装置に接続して、この間隙部より容器内
部に冷却ガスを導入するので、容器内において、光軸付
近に楕円面の第2焦点から第1焦点方向にむかう軸対称
的な冷却ガスの流れができ、少なくとも略第1焦点に配
置された無電極発光管の全表面がほぼ均一にかつ充分に
冷却される。
開口径を楕円面の開口径よりも大きくし、送風フードの
一端を円弧面の開口端と楕円面の開口端との間隙部に接
続し他端を送風装置に接続して、この間隙部より容器内
部に冷却ガスを導入するので、容器内において、光軸付
近に楕円面の第2焦点から第1焦点方向にむかう軸対称
的な冷却ガスの流れができ、少なくとも略第1焦点に配
置された無電極発光管の全表面がほぼ均一にかつ充分に
冷却される。
【0012】
【実施例】以下に、マイクロ波でプラズマ発光する無電
極発光管を使用した光源装置を例に、本発明の実施例を
図1および図2を参照しながら説明する。
極発光管を使用した光源装置を例に、本発明の実施例を
図1および図2を参照しながら説明する。
【0013】第1の実施例を図1によって説明する。5
は金属ハロゲン化物および水銀と希ガスを封入した球形
の無電極発光管で、この無電極発光管5を包囲するよう
に、マイクロ波を反射し、内面が光反射性材料で被覆さ
れた回転複合面の容器としての空胴共振器4を配置して
いる。この空胴共振器4は、楕円面1と円弧面2の複合
面から構成され、円弧面2には光軸I−I’上に中心を
もつ直径2cmの開口3が設けられている。ここでは、楕
円面1の第1焦点位置と円弧面2の中心位置を同一に
し、これを第1焦点F1とするとともに、無電極発光管
5を支持棒12より第1焦点F1に配置する。円弧面2
は楕円面1の第2焦点F2に重なるように配置してお
り、円弧面2に設けた開口3の中心は第2焦点F2と同
一位置である。6は周波数2.45GHzのマイクロ波
を発振する高周波電磁波の発生装置としてのマイクロ波
発振器、7はマイクロ波発振器6の出力アンテナ、8は
導波管、9は冷却ファン、10は送風フード、11は給
電口である。
は金属ハロゲン化物および水銀と希ガスを封入した球形
の無電極発光管で、この無電極発光管5を包囲するよう
に、マイクロ波を反射し、内面が光反射性材料で被覆さ
れた回転複合面の容器としての空胴共振器4を配置して
いる。この空胴共振器4は、楕円面1と円弧面2の複合
面から構成され、円弧面2には光軸I−I’上に中心を
もつ直径2cmの開口3が設けられている。ここでは、楕
円面1の第1焦点位置と円弧面2の中心位置を同一に
し、これを第1焦点F1とするとともに、無電極発光管
5を支持棒12より第1焦点F1に配置する。円弧面2
は楕円面1の第2焦点F2に重なるように配置してお
り、円弧面2に設けた開口3の中心は第2焦点F2と同
一位置である。6は周波数2.45GHzのマイクロ波
を発振する高周波電磁波の発生装置としてのマイクロ波
発振器、7はマイクロ波発振器6の出力アンテナ、8は
導波管、9は冷却ファン、10は送風フード、11は給
電口である。
【0014】上記の構成において、マイクロ波発振器6
より発生したマイクロ波は、出力アンテナ7より導波管
8に放射され、導波管8を伝搬し、給電口11から空胴
共振器4に導かれ、空胴共振器4の内部にマイクロ波電
磁場を形成する。このマイクロ波電磁場のエネルギーに
より、無電極発光管5は放電,発光を行なう。この際、
無電極発光管5は、送風フード10および給電口11を
通じて冷却ファン9より送られる空気により、冷却され
る。
より発生したマイクロ波は、出力アンテナ7より導波管
8に放射され、導波管8を伝搬し、給電口11から空胴
共振器4に導かれ、空胴共振器4の内部にマイクロ波電
磁場を形成する。このマイクロ波電磁場のエネルギーに
より、無電極発光管5は放電,発光を行なう。この際、
無電極発光管5は、送風フード10および給電口11を
通じて冷却ファン9より送られる空気により、冷却され
る。
【0015】マイクロ波電磁場によって発光する球形の
無電極発光管5は、全放射方向にほぼ一様な光放射を発
生すると考えられるので、これを近似的に点光源とみな
せる。よって、無電極発光管5からの光放射のうち、直
接楕円面1に向かう光は、楕円面1により第2焦点F2
に集光される(図1において、実線で示す)。円弧面2
に向かう光は、円弧面2により楕円面1の第1焦点F1
と同一である円弧面2の中心に戻され、楕円面1により
第2焦点F2に集光される(図1において、破線で示
す)。開口3は第2焦点F2に配置されているので、楕
円面1および円弧面2によって反射され第2焦点F2に
集光された光、すなわち無電極発光管5から放射された
大部分の光は、この開口3を通過して空胴共振器4の外
部に出射される。
無電極発光管5は、全放射方向にほぼ一様な光放射を発
生すると考えられるので、これを近似的に点光源とみな
せる。よって、無電極発光管5からの光放射のうち、直
接楕円面1に向かう光は、楕円面1により第2焦点F2
に集光される(図1において、実線で示す)。円弧面2
に向かう光は、円弧面2により楕円面1の第1焦点F1
と同一である円弧面2の中心に戻され、楕円面1により
第2焦点F2に集光される(図1において、破線で示
す)。開口3は第2焦点F2に配置されているので、楕
円面1および円弧面2によって反射され第2焦点F2に
集光された光、すなわち無電極発光管5から放射された
大部分の光は、この開口3を通過して空胴共振器4の外
部に出射される。
【0016】ここでは、円弧面2に設けた開口3の直径
は2cmに選ばれており、これはマイクロ波発振器6から
周波数2.45GHzで発振されるマイクロ波の波長約
12.2cmの1/4以下の長さに制限されている。した
がって、空胴共振器4の内部のマイクロ波電磁場がこの
開口3から洩れることはない。すなわち、この開口3か
らは、第2焦点F2に集光してきた無電極発光管5から
の光放射のみが通過することとなる。したがって、この
光源装置からは、光量の一部が途中で遮られることがな
い極めて質の高い光を空胴共振器4の外部に取り出すこ
とができる。そのため、光量にむらのない一様な光が得
られる。その結果、光源装置と組合わされる光学系の設
計が容易になる。
は2cmに選ばれており、これはマイクロ波発振器6から
周波数2.45GHzで発振されるマイクロ波の波長約
12.2cmの1/4以下の長さに制限されている。した
がって、空胴共振器4の内部のマイクロ波電磁場がこの
開口3から洩れることはない。すなわち、この開口3か
らは、第2焦点F2に集光してきた無電極発光管5から
の光放射のみが通過することとなる。したがって、この
光源装置からは、光量の一部が途中で遮られることがな
い極めて質の高い光を空胴共振器4の外部に取り出すこ
とができる。そのため、光量にむらのない一様な光が得
られる。その結果、光源装置と組合わされる光学系の設
計が容易になる。
【0017】無電極発光管5から放射された光の大部分
が容器外部に出射されるため、発生した光の利用効率が
向上する。その結果、無電極発光管5にエネルギーを供
給する高周波電磁波の発生装置の小型化が可能となる。
が容器外部に出射されるため、発生した光の利用効率が
向上する。その結果、無電極発光管5にエネルギーを供
給する高周波電磁波の発生装置の小型化が可能となる。
【0018】上記実施例では、楕円面1の開口径が円弧
面2の開口径より小さい空胴共振器4を例に説明した
が、楕円面1と円弧面2の開口径の関係がこれに限られ
ることはない。
面2の開口径より小さい空胴共振器4を例に説明した
が、楕円面1と円弧面2の開口径の関係がこれに限られ
ることはない。
【0019】楕円面1と円弧面2の各々の開口端は、リ
ング状でマイクロ波を反射する金属性の平面板で接続さ
れているが、この接続部の形状は、無電極発光管5から
円弧面2に向かう光反射を遮ることがなければ、これに
限られることはなく、この接続部は光反射に関与しない
ため、必ずしも光反射性材料で被覆されている必要はな
い。したがって、マイクロ波だけを反射する部材、たと
えば網状の金属であってもかまわない。
ング状でマイクロ波を反射する金属性の平面板で接続さ
れているが、この接続部の形状は、無電極発光管5から
円弧面2に向かう光反射を遮ることがなければ、これに
限られることはなく、この接続部は光反射に関与しない
ため、必ずしも光反射性材料で被覆されている必要はな
い。したがって、マイクロ波だけを反射する部材、たと
えば網状の金属であってもかまわない。
【0020】無電極発光管5を冷却するための冷却装置
として、冷却ファン9を設けているが、必ずしもこのよ
うな冷却装置が必要であるわけではなく、冷却装置を設
けない場合は、送風フード10は省略できる。
として、冷却ファン9を設けているが、必ずしもこのよ
うな冷却装置が必要であるわけではなく、冷却装置を設
けない場合は、送風フード10は省略できる。
【0021】第2の実施例を図2によって説明する。楕
円面1の開口端と円弧面2の開口端との間隙部15に送
風フード10を設け、さらにこの間隙部15をマイクロ
波を反射する金属メッシュ13で接続する。14は冷却
ガス(空気)の流れを表わす。その他の構成は、第1の
実施例と同じである。
円面1の開口端と円弧面2の開口端との間隙部15に送
風フード10を設け、さらにこの間隙部15をマイクロ
波を反射する金属メッシュ13で接続する。14は冷却
ガス(空気)の流れを表わす。その他の構成は、第1の
実施例と同じである。
【0022】第2の実施例の動作を説明する。安定点灯
時、冷却ファン9から送られた空気は、送風フード10
を通じて、楕円面1の開口端と円弧面2の開口端との間
隙部15から、空胴共振器4の内部に導入される。空気
は楕円面1の開口端の全周囲から空胴共振器4の内部に
送られることになるので、空胴共振器4の内部におい
て、空気の流れ14が示すように、光軸I−I’付近
に、楕円面1の第2焦点F2から第1焦点F1の方向に
むかって、軸対称的な空気の流れ14ができる。
時、冷却ファン9から送られた空気は、送風フード10
を通じて、楕円面1の開口端と円弧面2の開口端との間
隙部15から、空胴共振器4の内部に導入される。空気
は楕円面1の開口端の全周囲から空胴共振器4の内部に
送られることになるので、空胴共振器4の内部におい
て、空気の流れ14が示すように、光軸I−I’付近
に、楕円面1の第2焦点F2から第1焦点F1の方向に
むかって、軸対称的な空気の流れ14ができる。
【0023】上記の構成により、第1焦点F1に配置さ
れた無電極発光管5の全表面がほぼ均一にかつ充分に冷
却される。その結果、無電極発光管5の表面全体を一様
な温度状態に保つことができる。したがって、無電極発
光管5からの光放射が、全放射方向に対してきわめて一
様となり、光源装置から外部に取り出される光照射の一
様性がさらに向上する。無電極発光管5の表面全体が一
様な温度状態になるため、異常な熱応力分布の発生が抑
制される。その結果、無電極発光管5の破裂の危険性が
減少し、無電極発光管5の使用期間が延長できるという
経済効果が得られる。
れた無電極発光管5の全表面がほぼ均一にかつ充分に冷
却される。その結果、無電極発光管5の表面全体を一様
な温度状態に保つことができる。したがって、無電極発
光管5からの光放射が、全放射方向に対してきわめて一
様となり、光源装置から外部に取り出される光照射の一
様性がさらに向上する。無電極発光管5の表面全体が一
様な温度状態になるため、異常な熱応力分布の発生が抑
制される。その結果、無電極発光管5の破裂の危険性が
減少し、無電極発光管5の使用期間が延長できるという
経済効果が得られる。
【0024】楕円面1の開口端と円弧面2の開口端との
間隙部15は金属メッシュ13によって接続されている
ので、ここよりマイクロ波が漏れる危険性はない。本発
明は、上記各実施例に限定されるものではなく、実施に
あたっては種々の態様をとることは当然である。たとえ
ば、上記各実施例において、円弧面2に設けた開口3の
直径を2cmと設定したが、マイクロ波の波長の1/4以
下の直径であればこれに限られることはない。また、マ
イクロ波発振器6によって発生するマイクロ波の周波数
を2.45GHzと設定したが、周波数はこれらに限定
されるものではない。したがって、円弧面2に設けた開
口3の直径の上限値もこれによって、変化するのは言う
までもない。
間隙部15は金属メッシュ13によって接続されている
ので、ここよりマイクロ波が漏れる危険性はない。本発
明は、上記各実施例に限定されるものではなく、実施に
あたっては種々の態様をとることは当然である。たとえ
ば、上記各実施例において、円弧面2に設けた開口3の
直径を2cmと設定したが、マイクロ波の波長の1/4以
下の直径であればこれに限られることはない。また、マ
イクロ波発振器6によって発生するマイクロ波の周波数
を2.45GHzと設定したが、周波数はこれらに限定
されるものではない。したがって、円弧面2に設けた開
口3の直径の上限値もこれによって、変化するのは言う
までもない。
【0025】上記各実施例において、空胴共振器4の断
面形状を円弧面2と楕円面1との複合面としたが、円弧
面2に近い曲面の略円弧面と楕円面1に近い曲面の略楕
円面との複合面でもよい。つまり、空胴共振器4の断面
形状は少なくとも略円弧面と少なくとも略楕円面との複
合面であればよい。
面形状を円弧面2と楕円面1との複合面としたが、円弧
面2に近い曲面の略円弧面と楕円面1に近い曲面の略楕
円面との複合面でもよい。つまり、空胴共振器4の断面
形状は少なくとも略円弧面と少なくとも略楕円面との複
合面であればよい。
【0026】無電極発光管5を楕円面1の第1焦点F1
に配置したが、第1焦点F1に近い点の略第1焦点に配
置してもよい。つまり、無電極発光管5を楕円面1の少
なくとも略第1焦点に配置すればよい。
に配置したが、第1焦点F1に近い点の略第1焦点に配
置してもよい。つまり、無電極発光管5を楕円面1の少
なくとも略第1焦点に配置すればよい。
【0027】円弧面2を楕円面1の第2焦点F2に配置
したが、第2焦点F2に近い点の略第2焦点に配置して
もよい。つまり、円弧面2を楕円面1の少なくとも略第
2焦点に配置すればよい。
したが、第2焦点F2に近い点の略第2焦点に配置して
もよい。つまり、円弧面2を楕円面1の少なくとも略第
2焦点に配置すればよい。
【0028】楕円面1の第1焦点F1と円弧面2の中心
とを同一に設定したが、第1焦点F1と中心とを、それ
ぞれが近い位置関係の略同一に設定してもよい。つま
り、楕円面1の第1焦点F1と円弧面2の中心とを少な
くとも略同一に設定すればよい。
とを同一に設定したが、第1焦点F1と中心とを、それ
ぞれが近い位置関係の略同一に設定してもよい。つま
り、楕円面1の第1焦点F1と円弧面2の中心とを少な
くとも略同一に設定すればよい。
【0029】上記各実施例において、高周波電磁波の発
生装置としてマイクロ波発振器6を例に説明したが、無
電極発光管5の周囲にコイルを設け、このコイルに高周
波の電流を流すような装置であってもかまわない。
生装置としてマイクロ波発振器6を例に説明したが、無
電極発光管5の周囲にコイルを設け、このコイルに高周
波の電流を流すような装置であってもかまわない。
【0030】上記各実施例において、無電極発光管5の
形状を球形としたが、球形に近い形状の略球形であって
もよい。つまり、無電極発光管5の形状は少なくとも略
球形であればよい。無電極発光管5の封入物質も上記各
実施例に示されたものに限られるものではない。
形状を球形としたが、球形に近い形状の略球形であって
もよい。つまり、無電極発光管5の形状は少なくとも略
球形であればよい。無電極発光管5の封入物質も上記各
実施例に示されたものに限られるものではない。
【0031】上記各実施例において、無電極発光管5を
冷却するガスとして空気を使用した場合について説明し
たが、冷却ガスとして、たとえば窒素やヘリウムなどの
その他の冷却ガスを使用することも可能である。
冷却するガスとして空気を使用した場合について説明し
たが、冷却ガスとして、たとえば窒素やヘリウムなどの
その他の冷却ガスを使用することも可能である。
【0032】
【発明の効果】請求項1の構成によれば、楕円面の少な
くとも略第1焦点に配置された無電極発光管からの光放
射のうち、直接楕円面に向かう光は、楕円面により少な
くとも略第2焦点に集光され、円弧面に向かう光は円弧
面により楕円面の第1焦点と少なくとも略同一である円
弧面の中心に戻され、楕円面により少なくとも略第2焦
点に集光される。この少なくとも略第2焦点には、光軸
上に中心があって高周波電磁波が反射する大きさの開口
を有する円弧面が配置されているので、この開口から
は、高周波電磁波は通過せず無電極発光管から放射され
た光のみが途中で遮られることなく通過して容器外部に
出射される。そのため、光量にむらのない一様な光が得
られる。その結果、光源装置と組合わされる光学系の設
計が容易になる。
くとも略第1焦点に配置された無電極発光管からの光放
射のうち、直接楕円面に向かう光は、楕円面により少な
くとも略第2焦点に集光され、円弧面に向かう光は円弧
面により楕円面の第1焦点と少なくとも略同一である円
弧面の中心に戻され、楕円面により少なくとも略第2焦
点に集光される。この少なくとも略第2焦点には、光軸
上に中心があって高周波電磁波が反射する大きさの開口
を有する円弧面が配置されているので、この開口から
は、高周波電磁波は通過せず無電極発光管から放射され
た光のみが途中で遮られることなく通過して容器外部に
出射される。そのため、光量にむらのない一様な光が得
られる。その結果、光源装置と組合わされる光学系の設
計が容易になる。
【0033】無電極発光管から放射された光の大部分が
容器外部に出射されるため、発生した光の利用効率が向
上する。その結果、無電極発光管にエネルギーを供給す
る高周波電磁波の発生装置の小型化が可能となる。
容器外部に出射されるため、発生した光の利用効率が向
上する。その結果、無電極発光管にエネルギーを供給す
る高周波電磁波の発生装置の小型化が可能となる。
【0034】さらに請求項1の構成によれば、円弧面の
開口径を楕円面の開口径よりも大きくし、送風フードの
一端を円弧面の開口端と楕円面の開口端との間隙部に接
続し他端を送風装置に接続して、この間隙部より容器内
部に冷却ガスを導入するので、容器内において、光軸付
近に楕円面の第2焦点から第1焦点方向にむかう軸対称
的な冷却ガスの流れができる。そのため、少なくとも略
第1焦点に配置された無電極発光管の全表面がほぼ均一
にかつ充分に冷却できる。その結果、無電極発光管の表
面全体を一様な温度状態に保つことができる。したがっ
て、無電極発光管からの光放射が、全放射方向に対して
きわめて一様となり、光源装置から外部に取り出される
光照射の一様性がさらに向上する。
開口径を楕円面の開口径よりも大きくし、送風フードの
一端を円弧面の開口端と楕円面の開口端との間隙部に接
続し他端を送風装置に接続して、この間隙部より容器内
部に冷却ガスを導入するので、容器内において、光軸付
近に楕円面の第2焦点から第1焦点方向にむかう軸対称
的な冷却ガスの流れができる。そのため、少なくとも略
第1焦点に配置された無電極発光管の全表面がほぼ均一
にかつ充分に冷却できる。その結果、無電極発光管の表
面全体を一様な温度状態に保つことができる。したがっ
て、無電極発光管からの光放射が、全放射方向に対して
きわめて一様となり、光源装置から外部に取り出される
光照射の一様性がさらに向上する。
【0035】無電極発光管の表面全体が一様な温度状態
になるため、異常な熱応力分布の発生が抑制される。そ
の結果、無電極発光管の破裂の危険性が減少し、無電極
発光管の使用期間が延長できるという経済効果が得られ
る。
になるため、異常な熱応力分布の発生が抑制される。そ
の結果、無電極発光管の破裂の危険性が減少し、無電極
発光管の使用期間が延長できるという経済効果が得られ
る。
【図1】本発明の第1の実施例における無電極放電光源
装置の構成を示す要部断面図
装置の構成を示す要部断面図
【図2】本発明の第2の実施例における無電極放電光源
装置の構成を示す要部断面図
装置の構成を示す要部断面図
【図3】従来の無電極放電光源装置の構成を示す要部断
面図
面図
1 楕円面 2 円弧面 3 開口 5 無電極発光管 6 マイクロ波発振器 8 導波管 10 送風フード 11 給電口 15 間隙部 F1 第1焦点 F2 第2焦点
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI // F21V 7/09 F21M 1/00 K (72)発明者 小山 和孝 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭57−55095(JP,A) 特開 平4−281441(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) F21S 2/00 F21V 7/00 H01J 65/04 H05B 41/24 F21V 7/09
Claims (4)
- 【請求項1】 無電極発光管を内蔵した容器に高周波電
磁波を給電して前記無電極発光管を発光させる無電極放
電光源装置において、前記容器の内面が光反射性で、そ
の断面形状が、それぞれの開口が互いに対向し同一の光
軸を有する少なくとも略楕円面と少なくとも略円弧面と
の複合面であり、前記楕円面の第1焦点と第2焦点のう
ちの第1焦点と前記円弧面の中心とを少なくとも略同一
に設定し、前記楕円面の少なくとも略前記第1焦点に無
電極発光管を配置し、前記楕円面の少なくとも略第2焦
点に前記円弧面を配置し、前記円弧面には光軸上に中心
があって前記高周波電磁波を反射する大きさの開口を穿
設し、この開口から出射光を得、前記円弧面の開口径を
前記楕円面の開口径よりも大きくし、前記円弧面の開口
端と前記楕円面の開口端との間隙部に送風フードの一端
を接続し、前記送風フードの他端を送風装置に接続し、
前記間隙部を、高周波電磁波が反射する網状の部材で閉
塞した無電極放電光源装置。 - 【請求項2】 高周波電磁波を発生する装置としてマイ
クロ波発振器を用い、前記マイクロ波発振器で発生した
マイクロ波を容器の内部に導入するための給電口が前記
容器に形成された請求項1記載の無電極放電光源装置。 - 【請求項3】 マイクロ波発振器と給電口との間に導波
管が設けられた請求項2記載の無電極放電光源装置。 - 【請求項4】 無電極発光管の形状が少なくとも略球形
である請求項1から請求項3のいずれかに記載の無電極
放電光源装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31152492A JP3159809B2 (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | 無電極放電光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31152492A JP3159809B2 (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | 無電極放電光源装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06162807A JPH06162807A (ja) | 1994-06-10 |
JP3159809B2 true JP3159809B2 (ja) | 2001-04-23 |
Family
ID=18018279
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31152492A Expired - Fee Related JP3159809B2 (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | 無電極放電光源装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3159809B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5625738A (en) * | 1994-06-28 | 1997-04-29 | Corning Incorporated | Apparatus for uniformly illuminating a light valve |
KR100314015B1 (ko) * | 1999-08-31 | 2001-11-26 | 구자홍 | 마이크로 웨이브 조명기기의 냉각 장치 |
JP3580205B2 (ja) | 2000-01-18 | 2004-10-20 | ウシオ電機株式会社 | 電磁エネルギー励起点光源ランプ装置 |
JP2007329102A (ja) * | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Victor Co Of Japan Ltd | 光源装置及び画像表示装置 |
JP4915581B2 (ja) * | 2007-07-25 | 2012-04-11 | パナソニック株式会社 | 光源ユニット及びそれを備えたスポットライト |
JP5359364B2 (ja) * | 2009-02-25 | 2013-12-04 | セイコーエプソン株式会社 | 光源装置およびプロジェクタ |
-
1992
- 1992-11-20 JP JP31152492A patent/JP3159809B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06162807A (ja) | 1994-06-10 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |