JP6245427B2 - 光照射装置 - Google Patents
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- マイクロ波発振器と、該マイクロ波発振器に付属するアンテナと、該アンテナからのマイクロ波エネルギーを受けて発光する無電極ランプと、前記無電極ランプに冷却用空気を供給する冷却空気供給機構と、を有する光照射装置において、
前記無電極ランプは不活性ガスと発光物質が封入された直管型の放電容器を有し、
前記放電容器は、マイクロ波エネルギーによって生成されるプラズマ領域の定在波の腹に対応して形成される2つの高温領域と、該定在波の節に対応して形成される3つの低温領域とを有し、前記3つの低温領域のうちの中央の低温領域に対応する位置に前記冷却用空気を遮断する風除け用フードが装着されていることを特徴とする光照射装置。 - 請求項1に記載の光照射装置において、
前記風除け用フードは、円筒状に形成されていることを特徴とする光照射装置。 - 請求項1又は2に記載の光照射装置において、
前記風除け用フードは、半円筒状に形成されていることを特徴とする光照射装置。 - 請求項1〜3のいずれか1項記載の光照射装置において、
前記風除け用フードの軸線方向の寸法Lhは、Lh=20〜30mm、前記風除け用フードの肉厚は1.0〜1.5mmであることを特徴とする光照射装置。 - 請求項1〜4のいずれか1項記載の光照射装置において、
前記風除け用フードは、前記放電容器の外周面に接触しないように、装着されていることを特徴とする光照射装置。 - 請求項1〜5のいずれか1項記載の光照射装置において、
前記発光物質は、水銀と鉄を含むことを特徴とする光照射装置。
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