JP2003159314A - 紫外線殺菌処理装置 - Google Patents

紫外線殺菌処理装置

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JP2003159314A
JP2003159314A JP2001361370A JP2001361370A JP2003159314A JP 2003159314 A JP2003159314 A JP 2003159314A JP 2001361370 A JP2001361370 A JP 2001361370A JP 2001361370 A JP2001361370 A JP 2001361370A JP 2003159314 A JP2003159314 A JP 2003159314A
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ultraviolet
microwave power
processing container
generation mechanism
power supply
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JP2001361370A
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Akiichi Harada
明一 原田
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Hitachi Electronic Devices Co Ltd
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Hitachi Ltd
Hitachi Electronic Devices Co Ltd
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    • H05B6/6482Aspects related to microwave heating combined with other heating techniques combined with radiant heating, e.g. infrared heating
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 紫外線殺菌処理装置の紫外線発生源として用
いられる放電ランプの輝度低下を抑制し、殺菌処理効率
の向上と殺菌の信頼性の確保を図る。 【解決手段】 紫外線発生源として無電極水銀ランプ2
を用い、この無電極水銀ランプ2をマグネトロン5から
のマイクロ波で励起する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、マグネトロン応用
装置に係り、特にマイクロ波の励起で放射される紫外線
を用いた紫外線殺菌処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】水等の液体及び空気等の気体をそれぞれ
紫外線により殺菌することは、食品産業や医療関係業界
等で一般的に行われている。この種の殺菌装置(以下、
殺菌処理装置とも称する)は、当該業界等に広く配布さ
れているカタログ等に開示されているように、その殺菌
用紫外線発生源としては、石英ガラスなどの透明管内に
電極を封入した有極性の水銀放電ランプが一般的に用い
られている。
【0003】図10は従来の水を殺菌するための紫外線
殺菌処理装置の一例の摸式断面図である。図10におい
て、参照符号101は紫外線発生源となる水銀放電ラン
プ、同102は前記水銀放電ランプ101の放電電極、
同103は紫外線が透過可能な処理容器である。この処
理容器103は石英ガラスのような材料から構成され前
記水銀放電ランプ101を取り囲んで配置され、両端を
フランジ104で保持している。
【0004】参照符号105は外殻であり、この外殻1
05は前記フランジ104と気密結合すると共に内部に
配置した処理容器103の外壁に沿って被処理物である
水を矢印106〜108で示す様に流入、移動、流出さ
せる流路を形成している。外殻105内に流入された水
は処理容器103の外壁に沿って移動する間に水銀放電
ランプ101から発生した紫外線により殺菌処理され
る。
【0005】又、放電電極を持たない放電ランプをマイ
クロ波によって発光させる技術は、「“照明学会誌”、
第72巻、第2号、昭和63年」に、「マイクロ波放電
ランプの発光現象」として放電電極を持たない放電ラン
プをマグネトロンから発生するマイクロ波によって励起
して発光させる技術が開示されている。この文献には、
水銀とヨー素を封入したマイクロ波放電ランプの温度分
布や密度分布等について検討した結果がまとめられてい
る。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】従来の紫外線殺菌処理
装置は、常温で殺菌処理ができるものであるため装置構
成や操作の簡単化が容易であり、当該装置を低コストで
製作できる。しかも、被処理物である水等の液体を均質
に殺菌出来る特徴を備えている。ところが、この種の装
置では紫外線発生源とした放電電極を持つ水銀放電ラン
プが用いられるため、この水銀放電ランプの使用中に当
該放電ランプの電極材料が管内壁にスパッタする問題が
有る。
【0007】水銀放電ランプの外囲器(管)は石英ガラ
ス等の透明な材料で構成されているので、この管内壁に
電極材料ががスパッタして堆積し、放電ランプの輝度を
低下させる。更に、管内に封入された水銀が電極材料と
反応してアマルガムを作るので、上記の輝度低下が助長
される。この様な放電ランプの輝度低下は、紫外線殺菌
処理装置の稼働率を下げて必然的に殺菌処理効率の低下
を招くと共に、殺菌の信頼性を確保する上で解決しなけ
ればならない。
【0008】本発明の目的は、殺菌処理効率の低下を招
くこと無く殺菌の信頼性の確保を可能とし、コンパクト
な構造で、しかも量産化が容易な紫外線殺菌処理装置を
提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、管内に放電電極を持たないマイクロ波放
電ランプを殺菌用紫外線発生源として用いて紫外線殺菌
処理装置を構成したものである。本発明の典型的な構成
を記述すれば、下記の通りである。
【0010】(1)、内部に被処理物を流通する空間を
もつ処理容器と、この処理容器に近接配置され前記被処
理物に紫外線を照射する紫外線発生機構と、前記処理容
器及び紫外線発生機構を取り囲む筐体部と、前記紫外線
発生機構にマイクロ波電力を供給するためのマイクロ波
電力供給機構と、このマイクロ波電力供給機構と前記筐
体部との結合機構とを設けた。
【0011】(2)、(1)において、前記紫外線発生
機構として無電極放電ランプを備えた。
【0012】(3)、(1)又は(2)において、前記
マイクロ波電力供給機構のマイクロ波電力源としてマグ
ネトロンを設けた。
【0013】(4)、(1)乃至(3)において、前記
紫外線発生機構は254nmの波長の紫外線を含む紫外
線を発生させるものとした。
【0014】(5)、内部に被処理物を流通する空間を
もつ処理容器と、この処理容器に近接配置され前記被処
理物に紫外線を照射する紫外線発生機構と、前記処理容
器及び紫外線発生機構を取り囲む筐体部と、前記紫外線
発生機構にマイクロ波電力を供給するためのマイクロ波
電力供給機構と、このマイクロ波電力供給機構と結合さ
れ、前記紫外線発生機構へマイクロ波電力を導く導波管
と、この導波管と前記筐体部との結合機構とを備えた。
【0015】(6)、内部に被処理物を流通する空間を
もつ処理容器と、この処理容器に近接配置され前記被処
理物に紫外線を照射する紫外線発生機構と、前記処理容
器及び紫外線発生機構を取り囲む筐体部と、前記紫外線
発生機構にマイクロ波電力を供給するためのマイクロ波
電力供給機構と、このマイクロ波電力供給機構と結合さ
れ、前記紫外線発生機構へマイクロ波電力を導く導波管
と、この導波管と前記筐体部との結合機構と、前記紫外
線発生機構と前記マイクロ波電力供給機構間に配置され
た紫外線遮蔽機構とを有することを特徴とする。 (7)内部に被処理物を流通する空間をもつ処理容器
と、この処理容器に近接配置され前記被処理物に紫外線
を照射する紫外線発生機構と、前記処理容器及び紫外線
発生機構を取り囲む筐体部と、前記紫外線発生機構にマ
イクロ波電力を供給するためのマイクロ波電力供給機構
と、このマイクロ波電力供給機構と結合され、前記紫外
線発生機構へマイクロ波電力を導く導波管と、この導波
管と前記筐体部との結合機構と、前記処理容器と紫外線
発生機構間に配置されたマイクロ波遮蔽機構とを備え
た。
【0016】なお、本発明は上記の構成および後述する
実施例の構成に限定されるものではなく、本発明の技術
思想を逸脱することなく種々の変更が可能である。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につ
き、実施例を参照して詳細に説明する。図1は本発明の
紫外線殺菌処理装置の第1の実施例を説明する模式図
で、図1(a)は正面図、図1(b)は側面図である。
図1において、参照符号1は紫外線殺菌処理装置本体で
ある。本体1は、マイクロ波放電無電極水銀ランプ(以
下、無電極水銀ランプと云う)2、石英ガラスのように
少なくとも254nmのUV線を通す材料で構成されか
つ内部に被処理物を流通する空間をもつ処理容器3、こ
れら処理容器3と無電極水銀ランプ2を取り囲む筐体
4、マイクロ波を発生するマグネトロン5及びマイクロ
波を導く導波管6等を備えている。
【0018】前記無電極水銀ランプ2は、マイクロ波を
発生するマグネトロン5のマイクロ波で点灯され、殺菌
に効果の有る254nmの紫外線(以下UV線と云う)
を発生させる。この無電極水銀ランプ2は、前記処理容
器3の回りに、後述の図2、図3に示す様に等配されて
いる。参照符号7は導波管接続用のフランジで、筐体4
に嵌め込まれて固定されている。参照符号8はフランジ
を持ったパイプで、一端側を前記処理容器3に、又他端
側を外部装置との接続部材9とそれぞれ接続される。
【0019】殺菌すべき被処理物(液体、あるいは気
体)は、矢印Aから矢印Bで示す方向へ進む間、前記U
V透過材からなる処理容器3の部分を通過する際に殺菌
に効果の有る254nmのUV線の照射を受ける。波長
254nmのUV線が殺菌効果を持つのは、細胞内のD
NAを破壊するからである。
【0020】前記波長254nmのUV線は前記無電極
水銀ランプ2から照射されるが、この無電極水銀ランプ
2はマグネトロン5のマイクロ波により励起され前記し
た波長254nmのUV線を含むUV線を発生する。
【0021】マグネトロン5は、基本発振周波数として
例えば2450MHzのものが用いられ、このマグネト
ロン5から発生したマイクロ波はアンテナ5aから放射
される。アンテナ5aは導波管6の中に挿入配置されて
おり、導波管6とマグネトロン5との接続部からマイク
ロ波が漏洩しないように金属メッシュで編まれたガスケ
ット(図示せず)を介して固定されている。
【0022】マイクロ波を導く導波管6は、そのフラン
ジ6aを介して筐体4に嵌め込まれたフランジ7と接続
されている。マグネトロン5から発生したマイクロ波は
アンテナ5aから放射され、放射されたマイクロ波は、
Cで示す矢印の方向に進み、本体1の内部に入り、無電
極水銀ランプ2の中に封入された水銀原子を励起しプラ
ズマ化する。
【0023】水銀電子がマイクロ波エネルギーを吸収し
て励起し、エネルギーレベルの上がった水銀原子を構成
する電子が、元のエネルギーレベルに戻るときに波長2
54nmのUV線を発生させる。マイクロ波エネルギー
が継続供給される間、無電極水銀ランプ2はプラズマ状
態を継続し、254nmのUV線を発生し続ける。
【0024】図2と図3は図1の要部を示し、図2は図
1の前記処理容器3の管軸に平行な断面であり、図3は
前記処理容器3の管軸に垂直な断面の図2のD−D線断
面である。図1と図2の同じ機能部分には同一の参照符
号を付してある。
【0025】図2及び図3において、4本の無電極水銀
ランプ2は前記処理容器3を中心に等配され、処理容器
3の内部空間を移動する被処理物の液体或いは気体をU
V線で殺菌する。一方、処理容器3の両端部にはパイプ
8が配置されており、当該両端部はパイプ8と接続リン
グ10、11を介して気密に接合され、被処理物の漏洩
を防止している。
【0026】又、前記無電極水銀ランプ2を励起するマ
イクロ波は導波管接続用のフランジ7の部分から導入さ
れる。更に、前記無電極水銀ランプ2は筐体4に着脱自
在に取り付けられ、ランプの清掃、交換等が容易な構成
となっている。ここで、この無電極水銀ランプ2の配置
位置及び配置本数は、被処理物の性質、求められる殺菌
の精度、被処理物の移動速度、マイクロ波の強さ及び導
入位置等を考慮して決定すれば良い。
【0027】前述した本発明の実施例の構造によれば、
無電極水銀ランプに封入された水銀原子は、マイクロ波
電力によりプラズマ状態になり、殺菌に必要な波長25
4nmのUV線を放射する。この無電極水銀ランプには
電極が無いので、管内壁への電極のスパッタによる物質
でランプの内面が汚れることは無く、スパッタ物質の堆
積による輝度の低下は無い。従って、例えば、石英ガラ
スを用いたランプの場合は、ランプ寿命は半永久的であ
り、装置としてはマグネトロンの交換のみで長寿命化が
可能となる。
【0028】一方、長寿命設計のマグネトロンと組み合
わせることにより、殺菌装置としてのランニングコスト
が著しく低減できる。又、UV線の輝度は、マイクロ波
出力に関係するので、マグネトロンの出力を制御するこ
とで高輝度のUV線(UV光)を得ることが出来、殺菌
処理のコストダウンを図ることが出来る。更に、複数
(この例では4本)の無電極水銀ランプを処理容器を取
り巻く様に配置したことで、均質で、かつ短時間で所望
の殺菌処理が可能とる。
【0029】図4は本発明の紫外線殺菌処理装置の第2
の実施例を示す図2に対応する模式断面図であり、図1
乃至図3と同じ機能部分には同一の参照符号を付してあ
る。図4において、参照符号13は遮蔽体である。この
遮蔽体13は筐体4内に導入されたマイクロ波が無電極
水銀ランプ2側から透明容器3側に漏れないように前記
処理容器3の少なくともUV線の照射を受ける範囲を取
り巻く様に配置している。
【0030】この遮蔽体13は、パンチングや電解化学
処理等などで無数の穴をあけて所望の開口率とした薄い
金属板あるいは金属メッシュから構成されている。そし
て、これを円筒状に加工して前記処理容器3を取り巻く
様に配置し、その端部は遮蔽体13がマイクロ波的に間
隙を作らないように筐体4及び接続リング10、11と
固定している。この遮蔽体13を介在させることで、U
V線は遮蔽体13の穴を通過して処理容器3を照射する
ので殺菌の機能は維持できる。
【0031】一方、マイクロ波は遮蔽体13で遮蔽さ
れ、処理容器3まで伝播することはない。従って、仮に
被処理物が特にマイクロ波を多く吸収する特性の物質で
あっても、マイクロ波は遮蔽体13で遮蔽されて処理容
器3まで到達できないので無駄に消失することは無い。
よって導入されたマイクロ波の略全量が所期の目的であ
る無電極水銀ランプの発光に寄与する。この遮蔽体13
の開口率を制御すれば、無電極水銀ランプの使用本数や
輝度の低下を最小に抑えることができる。
【0032】又、処理容器の寸法によってはマイクロ波
が処理容器を伝播して外部に漏れ、電気制御回路に影響
を与える場合もあるが、遮蔽体13を配置することでこ
の問題も解決できる。更に、この構造では遮蔽体13と
筐体4とが電気的に接続されてマイクロ波の漏洩を阻止
出来る為、パイプ8や接続リング10、11等の材質は
特定されない。
【0033】図5は本発明の紫外線殺菌処理装置のさら
に第3の実施例を示す図2に対応する模式断面図で、図
1乃至図4と同じ機能部分には同一の参照符号を付して
ある。図5において、参照符号14は遮蔽板である。こ
の遮蔽板14は筐体4に嵌め込まれたフランジ7にマイ
クロ波入口を塞ぐように配置されている。遮蔽板14は
マイクロ波が透過可能な例えばプラスチック板等を基材
とし、この基材にUV線を反射または吸収する材料、例
えば酸化チタンをコーティング或いは含浸させた構成と
なっている。
【0034】この構成とすることで、無電極水銀ランプ
2から直接或いは他の部材で反射したUV線は遮蔽板1
4で遮断され、導波管内に達することは無い。このた
め、UV線でイオン化される気体、例えば塩素を含む気
体が導波管内側空間に存在しても、それがイオン化され
ることはない。従って、イオン化に伴って発生するマイ
クロ波放電(スパ−ク)の発生を抑制でき、スパ−クに
よるマグネトロンの損傷が防止され、装置の長寿命化が
可能となる。
【0035】図6は本発明の紫外線殺菌処理装置の第4
の実施例を示す図2に対応する模式断面図であり、図1
乃至図5と同じ機能部分には同一の参照記号を付してあ
る。図6において、参照符号15は円筒状の反射体であ
る。この反射体15は筐体4内の無電極水銀ランプ2の
外側でこの無電極水銀ランプ2及び処理容器3を内包す
るように配置されている。
【0036】反射体15はマイクロ波が透過可能な例え
ばプラスチック板等を基材とし、この基材にUV線を反
射する材料、例えば酸化チタンをコーティング或いは含
浸させた構成となっている。この構成とすることで、無
電極水銀ランプ2から直接或いは他の部材で反射して外
側、すなわち筐体4側に向かうUV線は、反射体15で
反射されて処理容器3方向に向い殺菌処理に寄与する。
【0037】ここで、前記反射体15は一体の筒状体と
したが、少なくとも各無電極水銀ランプ2の外側を覆う
ように複数個に分割した構成でも良い。又、反射体15
に代えて、筐体4の無電極水銀ランプ2に対面する表面
をUV線を反射する様に、例えば光沢仕上げ等の構成と
すれば、図6の構成と略同様な効果が期待できるが、反
射体15を介在させれば無電極水銀ランプ2に近接して
配置可能なことから反射効果を一層高めることが出来る
と共に。筐体4の内表面の加工を省略することも可能と
なる。
【0038】図7は本発明の紫外線殺菌処理装置の第5
の実施例を示す図2に対応する模式断面図で、図1乃至
図6と同じ機能部分には同一の参照符号を付してある。
図7において、参照符号16は貫通孔である。この貫通
孔16は筐体4の長手方向の中心軸Lと直交する両側面
41に、前記中心軸Lと略平行方向にそれぞれ穿孔され
て設けられている。
【0039】貫通孔16は無電極水銀ランプ2及び処理
容器3等の温度上昇を抑制するための強制空冷或いは自
然空冷で用いられるもので、冷却効果は大きく、かつU
V線の漏洩は少ない寸法、配置とされている。
【0040】図8は本発明の紫外線殺菌処理装置の第6
の実施例を示す図1に対応する模式図であり、図8
(a)は正面図、図8(b)は側面図である。前述した
図1と同一機能部分には同一の参照符号を付してある。
図8において、参照符号21は紫外線殺菌処理装置本体
である。この本体21には、第2のマグネトロン25を
付加した構成とされて、マグネトロン5(以下、第1の
マグネトロン)と共働させたものである。
【0041】第2のマグネトロン25は、第1のマグネ
トロン5と同一特性のものでも或いは例えば発信周波数
が異なるものでも良い。又、第1のマグネトロン5と第
2のマグネトロン25とを被処理物毎で分割作動させる
ことで、被処理物の対象を拡大することも可能となる。
このような構成とすることにより、本体内部に導入され
るマイクロ波電力を2倍にすることもでき、UV線の輝
度を更に強くすることができるので、殺菌処理する時間
の短縮あるいは処理量の倍増を図ることが可能となる。
【0042】同じ処理量であれば、マグネトロン1本当
りの出力を小さくできるので、安価なマグネトロンが使
用可能となり、殺菌処理装置を低コストで構成すること
ができる。更に又、マグネトロンは、その発振周波数が
少なくとも15MHz以上離れていれば、干渉をしない
ので、マグネトロンの使用本数は更に多くすることもで
きる。
【0043】図9は本発明の紫外線殺菌処理装置の第7
の実施例を示す図1に対応する模式図であり、図9
(a)は正面図、図9(b)は側面図である。前述した
図1と同一参照符号は同一の機能部分を示す。図9にお
いて、参照符号31は紫外線殺菌処理装置本体である。
この本体31はマグネトロン5を導波管を介すること無
く筐体4のフランジ7に直接取り付けた構造のものであ
る。
【0044】この様な構成とすることにより、導波管内
でのマイクロ波の損失を皆無もしくは著しく小さくする
事ができ、UV線の輝度を更に強くすることができるの
で、殺菌処理する時間の短縮あるいは処理量の倍増を図
ることが可能となる。同じ処理量であれば、マグネトロ
ン1本当りの出力を小さくできるので、安価なマグネト
ロンが使用可能となり、殺菌処理装置を安価に製作する
ことができる。
【0045】又、図9に示したの構成において、前述の
図5或いは図6に示す遮蔽板14、あるいは反射体15
を組み合わせることで、高性能でかつ安価な殺菌処理装
置を提供出来る。本発明は前述した各実施例の構成に限
定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱するこ
となく種々の変更が可能であることは言うまでもない。
【0046】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
殺菌に必要な波長254nmのUV線を出す無電極水銀
ランプ及びこの無電極水銀ランプをマイクロ波電力によ
りプラズマ状態に励起するマグネトロンとを用いること
により、前記無電極水銀ランプには電極が無いので、ス
パッター物でランプの内面が汚れることは無く、スパッ
ター物の堆積による輝度の低下は無い。又、例えば、石
英ガラスを用いたランプの場合は、ランプ寿命は半永久
的であり、装置としてはマグネトロンの交換のみで長寿
命化が可能となる。
【0047】更に、長寿命設計のマグネトロンと組み合
わせることにより、殺菌装置としてのランニングコスト
が著しく低減できる。そして更に、UV線の輝度はマイ
クロ波出力に関係するので、マグネトロンの出力を制御
することにより高輝度のUV光を得ることができ、殺菌
処理のコストダウンを図ることができ、殺菌処理効率の
向上と殺菌の信頼性の確保が可能な紫外線殺菌処理装置
を提供することができる。
【0048】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の紫外線殺菌処理装置の第1の実施例を
説明する模式図である。
【図2】図1の管軸に平行な要部拡大断面図である。
【図3】図2のD−D線に沿った断面図である。
【図4】本発明の紫外線殺菌処理装置の第2の実施例を
示す図2に対応する模式断面図である。
【図5】本発明の紫外線殺菌処理装置の第3の実施例を
示す図2に対応する模式断面図である。
【図6】本発明の紫外線殺菌処理装置の第4の実施例を
示す図2に対応する模式断面図である。
【図7】本発明の紫外線殺菌処理装置の第5の実施例を
示す図2に対応する模式断面図である。
【図8】本発明の紫外線殺菌処理装置の第6の実施例を
示す図1に対応する模式図である。
【図9】本発明の紫外線殺菌処理装置の第7の実施例を
示す図1に対応する模式図である。
【図10】従来の水を殺菌するための紫外線殺菌処理装
置の一例の摸式断面図である。
【符号の説明】
1、21、31・・・・本体 2・・・・無電極水銀ランプ 3・・・・処理容器 4・・・・筐体 5、25・・・・マグネトロン 5a・・・・マグネトロンアンテナ 6・・・・導波管 7・・・・フランジ 13・・・・遮蔽体 14・・・・遮蔽板 15・・・・反射体 16・・・・貫通孔。
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) F21Y 103:00 F21S 1/00 P Fターム(参考) 4C058 AA12 AA21 BB06 DD12 KK02 KK12 4D037 AA01 AB03 BA18 4G075 AA03 AA42 CA26 CA33 EA01 EB24 EB33 FB06

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】内部に被処理物を流通する空間をもつ処理
    容器と、この処理容器に近接配置され前記被処理物に紫
    外線を照射する紫外線発生機構と、前記処理容器及び紫
    外線発生機構を取り囲む筐体部と、前記紫外線発生機構
    にマイクロ波電力を供給するためのマイクロ波電力供給
    機構と、このマイクロ波電力供給機構と前記筐体部との
    結合機構とを有することを特徴とする紫外線殺菌処理装
    置。
  2. 【請求項2】前記紫外線発生機構は無電極放電ランプを
    有することを特徴とする請求項1に記載の紫外線殺菌処
    理装置。
  3. 【請求項3】前記マイクロ波電力供給機構はマイクロ波
    電力源としてマグネトロンを有することを特徴とする請
    求項1又は請求項2に記載の紫外線殺菌処理装置。
  4. 【請求項4】前記紫外線発生機構は254nmの波長の
    紫外線を含む紫外線を発生させることを特徴とする請求
    項1乃至請求項3に記載の紫外線殺菌処理装置。
  5. 【請求項5】内部に被処理物を流通する空間をもつ処理
    容器と、この処理容器に近接配置され前記被処理物に紫
    外線を照射する紫外線発生機構と、前記処理容器及び紫
    外線発生機構を取り囲む筐体部と、前記紫外線発生機構
    にマイクロ波電力を供給するためのマイクロ波電力供給
    機構と、このマイクロ波電力供給機構と結合され、前記
    紫外線発生機構へマイクロ波電力を導く導波管と、この
    導波管と前記筐体部との結合機構とを有することを特徴
    とする紫外線殺菌処理装置。
  6. 【請求項6】内部に被処理物を流通する空間をもつ処理
    容器と、この処理容器に近接配置され前記被処理物に紫
    外線を照射する紫外線発生機構と、前記処理容器及び紫
    外線発生機構を取り囲む筐体部と、前記紫外線発生機構
    にマイクロ波電力を供給するためのマイクロ波電力供給
    機構と、このマイクロ波電力供給機構と結合され、前記
    紫外線発生機構へマイクロ波電力を導く導波管と、この
    導波管と前記筐体部との結合機構と、前記紫外線発生機
    構と前記マイクロ波電力供給機構間に配置された紫外線
    遮蔽機構とを有することを特徴とする紫外線殺菌処理装
    置。
  7. 【請求項7】内部に被処理物を流通する空間をもつ処理
    容器と、この処理容器に近接配置され前記被処理物に紫
    外線を照射する紫外線発生機構と、前記処理容器及び紫
    外線発生機構を取り囲む筐体部と、前記紫外線発生機構
    にマイクロ波電力を供給するためのマイクロ波電力供給
    機構と、このマイクロ波電力供給機構と結合され、前記
    紫外線発生機構へマイクロ波電力を導く導波管と、この
    導波管と前記筐体部との結合機構と、前記処理容器と紫
    外線発生機構間に配置されたマイクロ波遮蔽機構とを有
    することを特徴とする紫外線殺菌処理装置。
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