JPS61273849A - マイクロ波放電光源装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、マイクロ波数ｔを利用した光源装置に関す
るもので、特に無電極放電ランプの冷却手段に係るもの
である。　′ 〔従来の技術〕 第２図は例えば特願昭５６−６６３００号明細書に示さ
れた従来のマイクロ波放電光源装置の断面図を示すもの
で、図において、１はマイクａ波共振空胴壁を構成する
円筒状の金属メツシュ、２は給電口３を有するマイクｑ
波空胴壁で、金属メツシュ１と空胴壁２とでマイクロ波
共振空胴４が構成されている。５はこの空胴４内に配設
された球□、ｊ１．：１１：　　　形の無電極放電ラン
プで、このランプ５はこれかＮ日 丁　　　ら突出した支持棒６が上記給電口３′ｆｔ跨い
でビス７等で空胴壁２に固定したガラスやセラミック等
の固定部材８の凹部９に挿着されて支持しである。

１０はマイクロ波共振空胴４内にマイクロ波を放射する
導波管である。

゛　　　　次に動作について説明する。図示しないマグ
ネ゛　　　トロンから発振されたマイクロ波は導波管１
０を伝播し、給電口３からマイクロ波共振空胴４内に放
射する。このマイクロ波によって空胴４内に７４、　　
　イクロ波電磁界が形成され、ランプ５が放電し発光す
る。そしてランプ光は金属メツシニｌを通過して外部へ
放出される。ととろで、上記のランプ５は過熱さけるた
めに強制冷却される。第３図は例えｔｉ’％ｊｌＬ昭５
９−３９９８０号明細誉に示された従来のランプ冷却手
段を備えたマイクロ波放電光源装置を示すもので、ファ
ン１１からの冷風は導波管１０にあけた通気孔１２から
導波管ＩＱ内に゛　　　流入し、そして給電口３からマ
イクロ波共振空胴、　　　４内に流入してランプ５を冷
却している。表お、１３ハ反射板、１４はマグネトロン
を示す。

〔発明が解決しようとする間組点〕

従来のマイクロ波放電光源装置は以上のように構成され
ておシ、給電口３は一般に矩形状であるため、給電口３
の長手方向からの冷風の方が幅方向からの冷風よりも強
くランプ５に吹付けられ、また幅方向からの冷風は固定
部材８に辿ぎられたシしてランプ冷却が不均一となる。

この結果、ランプに局部的な過熱が生じてランプ管壁が
膨らみ、その個所から孔がありて点灯不能となる問題点
があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、ランプの冷却を均一にして局部的な過熱部の
生じることのないマイクロ波放電光源装置を得ることを
目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係るマイクロ波放電光源装置は、マイクロ波
共振空胴内に、給電口と連通ずる吸込口と、ランプ直下
に対応する吹出口とを有するホーン状の冷風ガイドを設
けたものである。

〔作　用〕

この発明におけるマイクロ波放電光源装置は、給電口よ
り共振空胴内に流入した冷風は、ホーン状の冷風ガイド
内を導かれて吹出口から冷風が均一化されて吹出され、
ランプ全体を均一に冷却することができる。これにょシ
ランプの局部的な過熱が防止できる。

〔発明の実施例〕

以下この発明の一実施例を図について説明する。

第１図はマイクロ波共振仝胴壁を破断して内部の構成を
示す斜視図であシ、符号１〜１０は第２図に示した従来
のものと同一である。１５はマイクロ波共振空胴４内に
配設した絶縁部材からなるホーン状の冷風ガイドで、こ
の冷風ガイド１５の下部吸込口１６はランプ５の固定部
材８と共に給電口３を後い、上部吹出口１７はランプ５
の中心直下に対応して開口している。１８は上記吹出口
１７の中央部においてランプ支持棒６に保持されている
補助円板ガイドである。

上記のように構成したこの発明のマイクロ波放電光源装
置は、図示しないファンからの冷風は導波管１０の通気
孔１２から導波管１０内に流入する。そして冷風は矩形
状の給電口３およびランプ固定部材８の通孔８ａから冷
風がイド１５内に導かれ、ガイド１５内で冷風が均一化
される。との均一化された冷風は補助円板ガイド１８に
よって吹出口１７の周縁から均一に吹出され、ランプ５
の全周縁に沿ってフレア状に流れてランプ５１！″冷却
し、ランプ冷却後の風は金属メツシュ１を通過して外部
へ放出される。なお、吹出口１７から冷風を均一に吹出
させるには、吹出口１７の開口面積が給電口３の開口面
積よ一シ小さくするとよい。

また、マイクロ波放電光源装置が上向きで点灯される場
合は、特に吹田口１７の中央部に補助円板ガイド１８を
設けることで、吹出口１７からの冷風がランプ５０周縁
に沿ってフレア状に流れるのでランプ上面も効果的に冷
却することができる。

しかも冷風ガイド１５の吹出口１７の開口径はランプ径
よりや−大きくするとより一層ランプの均一な冷却が行
なえる。さらに、ラング固定部材８１　　　　の通孔８
ａｔ−給電口３からの冷風が遮ぎられないように大きな
孔をあけることで冷風ガイド、の冷品　　　風の流入を
均一にできる。

〔発明の効果〕

以上説明したようＫこの発明によれば、マイクロ波共振
空胴内に、給電口と連通する吸込口と、ランプ直下に対
応するようにした吹出口とを有するホーン状の冷風ガイ
ドを設けたことにより、ランプ全体を均一に冷却でき、
これにより従来のようにランプの局部的な過熱によるラ
ンプの破損や寿命低下を効果的に防止できる。

【図面の簡単な説明】

國“　　　放電光源装置の破断斜視図、第２図および第
３図第１図はこの発明の一実施例を示すマイクロ波は従
来のマイク四肢放電光源装置の桐成図である。 １・・・金属メツシニ、３・・・給電口、４・・・マイ
クロゝ、・ 、”ｌ　　　波共振空胴、５・・・無電極放電ランプ、
６・・・支持棒１、・ｊパ 、；”　　　８・・・固定部材、１０・・・導波管、１
２・・・通孔、１５′ジ ゛・・・冷風ガイド、１６・・・吸込口、１７・・・吹
出口、−。 １８・・・補助円板ガイド〇 なお、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人　　　大　　岩　　増　　雄 第１図 ３：１合電口　　　　　　　　　　　　　１５：冷風η
°イ臂４：マイタロ；皮共４躾２胴　　　　　　　　　
１６：−罠込口５１竪ｔＩｌ杉彷欠電ヲ：ｙ７’　　　
　　　１７：’で出口６：＊持棒　　　　　　　　　旧
：補且力円板か住第２図

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）少なくとも壁面の一部が光透過性部分からなるマ
   イクロ波共振空胴、このマイクロ波共振空胴内に設けら
   れた無電極放電ランプ、導波管を通じてマイクロ波を上
   記マイクロ波共振空胴内に放射する給電口、この給電口
   を跨ぎ上記ランプの支持棒を保持する固定部材を有し、
   給電口よりマイクロ波共振空胴内に冷風を供給してラン
   プを強制冷却するマイクロ波放電光源装置において、上
   記マイクロ波共振空胴内に、給電口と連通する吸込口と
   、ランプ直下に対応するようにした吹出口とを有する絶
   縁材からなるホーン状の冷風ガイドを設けたことを特徴
   とするマイクロ波放電光源装置。
2. （２）冷風ガイドの吹出口中央部に補助円板ガイドを設
   けて吹出口周縁から冷風が吹出すようにしたことを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載のマイクロ波放電光源
   装置。
3. （３）冷風ガイドの吹出口開口面積を給電口の開口面積
   より小さくしたことを特徴とする特許請求の範囲第１項
   および第２項記載のマイクロ波放電光源装置。
4. （４）冷風ガイドの吹出口からの冷風がランプ周縁に沿
   つて吹出すことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載
   のマイクロ波放電光源装置。