JPS635169Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案はマイクロ波放電を利用した光源装置
に関するものである。

最近、放電利用の光源装置として高周波放電，
特に高周波にマイクロ波を用いた光源装置が注目
されている。

この光源装置は、従来の有電極の光源装置では
放電灯の寿命が電極の消耗により決定されていた
が、マイクロ波を用いていることにより放電灯を
無電極にできるため、放電灯の寿命が長くなると
いう特長がある。

また、電極による熱損失がなく、放電のインピ
ーダンスが初期状態と安定状態で差が小さいた
め、初期状態での電力注入が容易であり、さらに
放電電力が放電灯の管壁に偏つている等のために
最大出力到達までの時間が短かくなるという特長
もある。

一方、このマイクロ波放電光源装置は、一般に
小型の放電灯で大きな出力を得ることができるも
のであり、これらの特長を十分に発揮するために
は、放電灯や空胴壁の冷却が重要な条件となる。

即ち、一般にマイクロ波を漏出させないため
に、大きな開口部を導波管に設けることはできな
い。一方冷却のため所定の冷却風量を得るために
は、開口部ができるだけ大きい方が圧力損失が少
なくて好ましい。また送風機の吹出口をダクト
や、パイプによつて直接導波管やマイクロ波空胴
内に連結する通常の方法では、ダクトやパイプ中
での動圧が大きくなり、圧力損失が大きくなつ
て、結論的に送風機の容量を大きくしなければな
らない問題が生ずる。

この考案は、これら機能上の問題点に鑑みなさ
れたもので、放電灯、マイクロ波空胴、導波管、
マイクロ波発振器などの発熱部、もしくは熱の伝
導部を効率良く冷却でき、高出力化が図れるマイ
クロ波放電光源装置を提供することを目的とす
る。

上記の目的を達成するため、この考案ではマイ
クロ波空胴の一部と、導波管のマイクロ波空胴近
傍およびマイクロ波発振器近傍にそれぞれ貫通孔
を設け、さらにマイクロ波空胴壁に設けられた貫
通孔と導波管のマイクロ波空胴近傍に設けられた
貫通孔を覆う函体を設け、この函体に送風手段を
接続したことを特徴とする。

以下、図面とともにこの考案の一実施例につき
説明する。

第１図はこの考案の一実施例を示すマイクロ波
放電光源装置の断面図である。図において、１は
マイクロ波発振器、２はマイクロ波発振器１のア
ンテナで、導波管３の内部に突出するように配設
されている。導波管３の一端は、無電極の放電灯
６を通る軸を回転中心とする光学的、かつマイク
ロ波的な反射面５と、開口した面をマイクロ波的
に封じるメツシユ板７とで構成されるマイクロ波
共振空胴４に、スロツトアンテナ（給電口）１５
を介してマイクロ波的に結合されている。

また８はリング状のメツシユ固定板で、反射面
５の終端に外側に延出させて設けられたフランジ
９に、メツシユ板７を挾持する構成で、図示して
いない固定手段により固定されている。１１は反
射面５の一部で、かつ上記回転中心上に設けられ
た貫通孔で、漏出するマイクロ波を減衰させるた
めのノズル部１１６を有している。１２は導波管
３のマイクロ波共振空胴４近傍に設けられた貫通
孔、また、１６は導波管３のマイクロ波発振器１
近傍に設けられた貫通孔である。１０はこれらの
貫通孔１１，１２，１６の内マイクロ波共振空胴
４に設けられ貫通孔１１におよびマイクロ波共振
空胴近傍の導波管３に設けられた貫通孔１２と対
応した箇所に開口部１１ａ，１２ａが位置するよ
うに、導波管３と空胴４に跨つて固定された函
体、１４はこの函体１０の側部に設けられた通風
口１３に連結された送風機で、函体１０の空間部
１０ａに向けて送風するようになつている。

以上説明したように、この考案の構成によれ
ば、函体の空間部によつて送風機の吹出口（函体
通風口）と、貫通孔に至るまでの間の動圧を極小
に押えることができるので、小さな容量の送風機
でも大きな冷却風量を得ることができる。したが
つて冷却効率が良好となり高出力の向上が可能と
なる。

また、貫通孔を同一の函体空間部と接続するこ
とができるので、構造が簡単なのはもとより、ダ
クトやパイプの曲がりによる開口部直前での圧力
（全圧）の差異も生ぜず、設計的にもまた時系列
的にも安定した冷却風量が得られる。さらにマイ
クロ波発振器のアンテナの近くにも貫通孔を設け
ているので、導波管が冷却風のガイドとなり、ア
ンテナに向けても十分な風量を確保でき、しかも
導波管内を通つて空胴内へ向かう冷却風の流れ
が、空胴壁の熱を導波管内へ伝わるのを阻むよう
に作用し、このためアンテナの冷却を一層効果的
に行うことができ、マイクロ波発振器の長寿命化
が図れる。さらにまた、１つの送風機により放電
灯、反射面、導波管、アンテナを同時に冷却する
ことが可能になるなどの効果がある。

なお上記実施例において貫通孔１１は、反射面
５の回転中心上に配したが、これは放電灯６や反
射面５の冷却における冷却風の偏流を考慮したも
のであつて、他の場所であつても冷却を効率良く
行なうという点に関しては、実施例のものと同等
の効果があることは言うまでもない。

【図面の簡単な説明】

図はこの考案によるマイクロ波放電光源装置の
一実施例を示す概略断面図である。 図中、１はマイクロ波発振器、３は導波管、４
はマイクロ波共振空胴、６は放電灯、１０は函
体、１１，１２，１６は貫通孔、１３は通風口、
１４は送風手段。なお、各図中同一符号は同一ま
たは相当部分を示す。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. マイクロ波発振器、このマイクロ波発振器によ
   り発振されたマイクロ波を導く導波管、この導波
   管に給電口を通じて接続され、一面にマイクロ波
   を遮断し、光を通過する部材を有するマイクロ波
   空胴、この空胴内に配設された無電極放電灯から
   なるマイクロ波放電光源装置において、上記マイ
   クロ波空胴壁の一部および上記導波管の上記マイ
   クロ波発振器近傍と上記マイクロ波空胴近傍に貫
   通孔を形成するとともに、通風口を介して送風手
   段に接続され、かつ上記マイクロ波空胴壁および
   この空胴壁近傍の上記導波管に形成された上記貫
   通孔を覆う函体を設けたことを特徴とするマイク
   ロ波放電光源装置。