JPS60127697A - マイクロ波放電光源装置 - Google Patents

マイクロ波放電光源装置

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JPS60127697A
JPS60127697A JP15673084A JP15673084A JPS60127697A JP S60127697 A JPS60127697 A JP S60127697A JP 15673084 A JP15673084 A JP 15673084A JP 15673084 A JP15673084 A JP 15673084A JP S60127697 A JPS60127697 A JP S60127697A
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JP
Japan
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light source
waveguide
cavity
microwave
light
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JP15673084A
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憲治 吉沢
児玉 仁史
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、マイクロ波放電を利用したマイクロ波放電
光源装置に関する。
最近、放電利用の光源装置として、高周波放電。
特に高周波としてマイクロ波を用いた光源装置が注目さ
れている。従来の有電極の光源装置では。
ランプの寿命が電極の消耗により決定されていたが、マ
イクロ波を用いた光源装置では、ランプを無電極にでき
るため、ランプ寿命が長くなるという特徴がある。
さらに、電極による熱損失がなく、シかも、放電のイン
ピーダンスが初期状態と安定状態で差が小さいため、安
定状態でインピーダンス整合させた場合でも、初期状態
での電力注入が容易であり。
また、放電電力がランプ管壁に偏っているなどのために
、最大出力到達までの時間が短くなるという特徴もある
第1図は、これらの特長を利用した本考案者らの先行発
明によるマイクロ波放電光源装置の構成を示す縦断面図
で、(1)はマグネトロン、(2)はマグネトロンアン
テナ、(3)は導波管、(4)は内壁の反射面を形成す
る部分を球面t4nに、それにつづく部分を円筒面り、
42に形成するとともに光通過面となる面を金属メツシ
ュ板(43で覆った構成としたマイクロ波共振空胴、 
f441は円筒面0りを覆う光熱反射処理層。
(5)は空胴(4)と導波管(3)の接合部に設けられ
たマイクロ波給電口、(6)は球形に形成された放電灯
、Iυは放電灯(6)の管壁に形成された支持用の突起
、(7)はマグネトロン(1)および放電灯(6)を冷
却するためのファン、(8)は導波管(3)の一部に設
けられた通気口、 01はマグネトロン(1)、導波管
(3)、空胴(4)等を収容する箱体、αυは突起6υ
に嵌合して放電灯(6)を支持する支持棒である。
この装置の動作は次のようである。マグネトロン0)に
よって発生したマイクロ波は、マグネトロンアンテナ(
2)を通じて導波管(3)中に放射される。
このマイクロ波は、導波管(3)を伝幡し、給電口(5
)を通して空胴(4)中に放射され、空胴(4)中にマ
イクロ波電磁界を形成する。このマイクロ波電磁界によ
り、放電灯(6)中のガスが放電し、放電灯の内壁が熱
せられ、管中にある水銀等の金属が蒸発しガス化されて
、放電は金属ガスの放電に移る。この時、金属の種類に
応じた特定の発光スペクトルを持つ光が発生するので、
これを光源として用いる、この放電灯(6)からの光を
有効に利用するため、空胴(4)の球面部分を反射板と
して用い、前面はマイクロ波は遮断するが光は透過する
金属メツシュ板θJで構成して光を前方のみに放射させ
る。一方。
マグネトロン(11および放電灯(6)は動作中冷却す
る必要があるため、冷却ファン(7)により送風し、−
の冷却空気は通気口(8)、導波管(3)および給電口
(5)を経てランプ(6)を冷却した後メツシュ板a樟
から排気される。
以上のようなマイクロ波放電光源装置にあっては、導波
管(3)は金属メツシュ&t111の面と相対する位置
に接続されている。すなわち、導波管(3)のマイクロ
波伝送方向と金属メツシュ板o0の面とは垂直になって
いる。このため、導波管(3)が光を取り出す方向とは
反対の方向に伸びて、後方に多くの空間を占有する。一
方、この光源装置を使用する例として、フィルム転写装
置がある。
第2図はフィルム転写装置の概観断面図であり。
枠t13の中に第1図で示した光源装置αのを上ド逆に
して設置する。枠0の上面に被転写フィルムα荀と転写
フィルム晒な重ねて置き、光源装置aaからの光により
転写フィルム(lsが感光され被転写フィルムIが転写
フィルムαつに転写される。被転写フィルムQ41は編
集のために数枚重ねたものを用いることもある。このよ
うな場合、被転写フィルムに厚みがあるため、光線がフ
ィルム面に対して垂直でなければ転写フィルムttSへ
転写される像がボケだものになってしまう。したがって
、光源はできるだけフィルム面に対して垂直、すなわち
平行光に近いものが要求される。光源を平行光に近づけ
るためには光源を被照射面よりできるだけ離す必要があ
る。しかしながら、第1図のような光源装置を用いた場
合、光照射側と反対側に導波管(3)が伸びるため、光
源の位置と被照射面の距離が近づいて被照射面の端部で
は光線がかなり垂直からずれたものとなって、転写の質
が悪くなる。したがって、光源装置a3の高さはできる
だけ低いほうが良(・が、後方に導波管が接続されたも
のは高さを低くすることは離しい。
この発明は以上のように装置の高さを低くできない不都
合を解消するためなされたもので、側方に導波管を接続
するように構成することで、装置の高さを低くできるマ
イクロ波放電光源装置を提供することを目的としている
第3図は、この発明の一実施例の構成を示す縦断面図で
ある。給電口(5)の位置は、空胴内の電磁界モードと
導波管内の電磁界モードに密接に関係がある。第4図は
、第1図のような、空胴(4)の後面に導波管(3)の
端面より給電する構成とした場合に、給電可能なモード
の例を中心軸を含むある断面で見た図、第5図は、第4
図Vl −Vl線から見た断面図である。図中Eは電界
を、Hは磁界を示し。
図のように、導波管(3)のモードと結合し易いモード
が給電可能となる。一方、第3図のような、空胴(4)
の側面に導波管(3)の端面より給電した場合に。
給電できるモードの一例を第6図、第7図に示す。
第6図は中心軸を含むある断面で見た図、第7図は第6
図暫ト1#よりみた断面図である。第6図。
第7図で示すように、側面より給電する場合には。
後面より給電する場合と異なったモードを励振すること
になる。このため、空胴の寸法は異なった寸法になる。
すなわち、側面より給電した場合、給電できる電磁界モ
ードに対する空胴の寸法を円筒部分0邊の長さを変えて
めれば2反射面である球面0υの寸法を変えずに、すな
わち光に対しては大きな影響を与えずに空胴の寸法を決
定できる。
」ニ記実施例では、空胴の形状を球面と円筒面を合わせ
たものとしたが、他の形状であっても側面より給電する
構成であれば上述のモードと近似したモードが励振され
、同様の動作となる。
以上のように、側面より給電するよう構成された装置に
あっては、後方に導波管を接続する必要がなく多くの空
間を要さないので装置の厚みを薄(できる。この装置を
第2図で示ずようなフィルム転写装置に用いた場合、被
照射物と光源との距離を大きくでき、光線がより平行に
近いものとなって質の良いフィルム転写が行なえる。又
、フィルム転写装置に限ら“ず、平行光を喪する装置で
は。
上述のマイクロ波放電光源装置が有効である。
この発明は、マイクロ波発振器から導波管で無電極放電
灯を収容する空胴内にマイクロ波を導入し、上記空胴の
前面を形成せる金属メツシュ板をとおして光を放射させ
るように構成したものにおいて、上記導波管が上記空胴
の側面に接続されていることを特徴とするもので、装置
の厚みが薄くなり、限られた空間で被照射物と光源との
距離を大きくできて、被照射物への光線がより平行に近
くできる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は先行技術によるマイクロ波放電光源装置の構成
を示す縦断面図、第2図はマイクロ波放電光源装置を使
用したフィルム転写装置の概観断面図、第3図はこの発
明による一実施例の構成を示す縦断面図、第4図、第5
図は従来のマイクロ波放電光源装置の空胴内の電磁界分
布を示す図。 第6図と第7図はこの発明によるマイクロ波放電光源装
置の空胴内の電磁界分布を示す図である。 図において、(1)はマグネトロン、(3)は導波管。 (4)は空胴、(6)は無電極放電灯、(43は金属メ
ツシュ板である。 なお9図中同一符号はそれぞれ同一、又は相当部分を示
す。 代理人大岩増雄 III 図 f1L 嬉2図 5

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. マイクロ波発振器から導波管で無電極放電灯を収容する
    空胴内にマイクロ波を導入し、上記空胴の前面を形成せ
    る金属メツシュ板をとおして光を放射させるように構成
    したものにおいて、上記導波管が上記空胴の側面に接続
    されていることを特徴とするマイクロ波放電光源装置。
JP15673084A 1984-07-27 1984-07-27 マイクロ波放電光源装置 Granted JPS60127697A (ja)

Priority Applications (1)

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JP15673084A JPS60127697A (ja) 1984-07-27 1984-07-27 マイクロ波放電光源装置

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JP15673084A JPS60127697A (ja) 1984-07-27 1984-07-27 マイクロ波放電光源装置

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Publication Number Publication Date
JPS60127697A true JPS60127697A (ja) 1985-07-08
JPH0226359B2 JPH0226359B2 (ja) 1990-06-08

Family

ID=15634074

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JP15673084A Granted JPS60127697A (ja) 1984-07-27 1984-07-27 マイクロ波放電光源装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0298096A (ja) * 1988-06-24 1990-04-10 Fusion Syst Corp 小型バルブ無電極ランプ

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WO2021181815A1 (ja) 2020-03-11 2021-09-16 東レ株式会社 電池用セパレータ
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JPS51145643U (ja) * 1975-05-16 1976-11-22
JPS55122398A (en) * 1979-03-14 1980-09-20 Fusion Systems Corp Device for firing electrodeless discharge lamp

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