JP2003178605A - 無電極放電ランプを用いた光源装置 - Google Patents
無電極放電ランプを用いた光源装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 電磁波の漏洩を低減すると共に外部取り出し
効率の良好な発光が得られる無電極放電ランプを用いた
光源装置を提供する。 【解決手段】 開口部３ｂを有する導体ケース３と、こ
の導体ケース３内部にあって、先端が開口部３ｂに向か
い、他端が導体ケース３の他側面に固定された共振器６
と、この共振器６の先端に設けられた放電ランプ５と、
開口部３ｂに設けられ、共振器６の先端を挿入する開口
部４ａを有しており、放電ランプ５からの放電発光を反
射し、放電ランプ５を配置する位置に第１の焦点を有
し、放電発光方向の所定の位置に第２の焦点を有する楕
円体ミラー４と、導体ケース３の底面に設けられた支持
台７と、この支持台７表面に設けられた線路９と、この
線路９にマイクロ波を供給する電源１６とからなり、前
記第２焦点位置に孔２ｂを有して、楕円体ミラー４を覆
うシールド部２を導体ケース３に設けた。
効率の良好な発光が得られる無電極放電ランプを用いた
光源装置を提供する。 【解決手段】 開口部３ｂを有する導体ケース３と、こ
の導体ケース３内部にあって、先端が開口部３ｂに向か
い、他端が導体ケース３の他側面に固定された共振器６
と、この共振器６の先端に設けられた放電ランプ５と、
開口部３ｂに設けられ、共振器６の先端を挿入する開口
部４ａを有しており、放電ランプ５からの放電発光を反
射し、放電ランプ５を配置する位置に第１の焦点を有
し、放電発光方向の所定の位置に第２の焦点を有する楕
円体ミラー４と、導体ケース３の底面に設けられた支持
台７と、この支持台７表面に設けられた線路９と、この
線路９にマイクロ波を供給する電源１６とからなり、前
記第２焦点位置に孔２ｂを有して、楕円体ミラー４を覆
うシールド部２を導体ケース３に設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、マイクロ波で放電
する無電極放電ランプを用いた光源装置に関する。
する無電極放電ランプを用いた光源装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】無電極放電ランプを用いた光源装置は、
発光部に電極を有していないので、メタルハライド、キ
セノンランプ等の有電極放電ランプのように、発光時の
プラズマによって電極が消耗しランプの寿命を短縮させ
てしまう問題がなく、長寿命化が図れるという特徴を有
している。そのため、紫外線硬化インクの光源装置用、
液晶プロジェクタ等の光源装置用に適用すべく検討がな
されている。
発光部に電極を有していないので、メタルハライド、キ
セノンランプ等の有電極放電ランプのように、発光時の
プラズマによって電極が消耗しランプの寿命を短縮させ
てしまう問題がなく、長寿命化が図れるという特徴を有
している。そのため、紫外線硬化インクの光源装置用、
液晶プロジェクタ等の光源装置用に適用すべく検討がな
されている。
【０００３】従来の無電極放電ランプを用いた光源装置
について、図３を用いて以下に説明する。図４は、従来
の無電極放電ランプを用いた光源装置を示す断面図であ
る。図４において、無電極放電ランプを用いた共振装置
２３は、内部が中空、かつ前面部３ａの中央部に開口部
３ｂを有し、アルミニウム（Ａｌ）や銅（Ｃｕ）などの
良導電性の金属を用いて形成された箱状または円筒状の
接地用導体ケース（シールドケース）３と、先端が前面
部３ａの開口部３ｂ側に向かい、他端が接地用導体ケー
ス３の背面部３ｃの中央部に固着接地された電気伝導性
および熱伝導性の良好なアルミニウムや銅または銅合金
からなる棒状の共振器６と、湾曲面側が共振器６の先端
側になるように配置され、かつ共振器６が貫通する開口
部４ａを有し、接地用導体ケース３の開口部３ｂに固定
された回転楕円面ミラー４と、開口部３ｂを覆うように
して接地用導体ケース３に取り付けられた金属からなる
メッシュ状の平板状シールド板２４と、回転楕円面ミラ
ー４の第１の焦点位置Ｆ 1に配置された共振器６の先端
に取り付けられた希ガス及び発光物質を封入した無電極
放電ランプ５と、接地用導体ケース３の内側底面３ｄに
載置された金属性支持台７と、その表面にアルミナ等の
誘電体基板８を介して共振器６に対向して、略平行とな
るように設けられた良導電性の銅箔または金箔等の金属
箔からなるマイクロストリップ線路９と、を有して構成
されている。なお、図４中、Ｆ2は、回転楕円面ミラー
の第２の焦点位置である。
について、図３を用いて以下に説明する。図４は、従来
の無電極放電ランプを用いた光源装置を示す断面図であ
る。図４において、無電極放電ランプを用いた共振装置
２３は、内部が中空、かつ前面部３ａの中央部に開口部
３ｂを有し、アルミニウム（Ａｌ）や銅（Ｃｕ）などの
良導電性の金属を用いて形成された箱状または円筒状の
接地用導体ケース（シールドケース）３と、先端が前面
部３ａの開口部３ｂ側に向かい、他端が接地用導体ケー
ス３の背面部３ｃの中央部に固着接地された電気伝導性
および熱伝導性の良好なアルミニウムや銅または銅合金
からなる棒状の共振器６と、湾曲面側が共振器６の先端
側になるように配置され、かつ共振器６が貫通する開口
部４ａを有し、接地用導体ケース３の開口部３ｂに固定
された回転楕円面ミラー４と、開口部３ｂを覆うように
して接地用導体ケース３に取り付けられた金属からなる
メッシュ状の平板状シールド板２４と、回転楕円面ミラ
ー４の第１の焦点位置Ｆ 1に配置された共振器６の先端
に取り付けられた希ガス及び発光物質を封入した無電極
放電ランプ５と、接地用導体ケース３の内側底面３ｄに
載置された金属性支持台７と、その表面にアルミナ等の
誘電体基板８を介して共振器６に対向して、略平行とな
るように設けられた良導電性の銅箔または金箔等の金属
箔からなるマイクロストリップ線路９と、を有して構成
されている。なお、図４中、Ｆ2は、回転楕円面ミラー
の第２の焦点位置である。
【０００４】なお、上記共振器６の長さは、マイクロス
トリップ線路９から放出されるマイクロ波の波長をλｇ
とした場合、略λｇ／４となるように形成される。ま
た、上記マイクロストリップ線路９は、インピーダンス
が略５０Ωとなるように、誘電体基板８の誘電率を考慮
して適当な線幅、厚さでもって形成される。例えば、誘
電体基板８として誘電率が８〜１０で厚さが２ｍｍのア
ルミナを用いた場合には、マイクロストリップ線路９は
幅が２ｍｍで厚さが０．１７ｍｍとなるように設定され
る。
トリップ線路９から放出されるマイクロ波の波長をλｇ
とした場合、略λｇ／４となるように形成される。ま
た、上記マイクロストリップ線路９は、インピーダンス
が略５０Ωとなるように、誘電体基板８の誘電率を考慮
して適当な線幅、厚さでもって形成される。例えば、誘
電体基板８として誘電率が８〜１０で厚さが２ｍｍのア
ルミナを用いた場合には、マイクロストリップ線路９は
幅が２ｍｍで厚さが０．１７ｍｍとなるように設定され
る。
【０００５】また、接地用導体ケース３の背面部３ｃに
は穿設した孔１０が形成されている。この孔１０を介し
て、マイクロストリップ線路９とインピーダンス整合回
路１１とが同軸ケーブルまたは硬質のマイクロ波ケーブ
ルを用いた第１給電線１２によって接続されている。
は穿設した孔１０が形成されている。この孔１０を介し
て、マイクロストリップ線路９とインピーダンス整合回
路１１とが同軸ケーブルまたは硬質のマイクロ波ケーブ
ルを用いた第１給電線１２によって接続されている。
【０００６】このインピーダンス整合器１１は、さらに
第１給電線１２と同種の第２給電線１３によって、共振
器６からの反射波を検出して駆動周波数や整合条件を可
変させる方向性結合器１４に接続されている。この方向
性結合器１４は、第１及び２給電線１２、１３と同種の
第３給電線１５によって、マイクロ波を発生する高周波
電源１６に接続されている。上記インピーダンス整合器
１１は、高周波電源１６のインピーダンスと、共振器６
側のインピーダンスとのマッチングをとるために設けら
れるものであり、マッチングをとる必要がない場合には
第１給電線１２の一端を直接高周波電源１６に接続して
もよい。
第１給電線１２と同種の第２給電線１３によって、共振
器６からの反射波を検出して駆動周波数や整合条件を可
変させる方向性結合器１４に接続されている。この方向
性結合器１４は、第１及び２給電線１２、１３と同種の
第３給電線１５によって、マイクロ波を発生する高周波
電源１６に接続されている。上記インピーダンス整合器
１１は、高周波電源１６のインピーダンスと、共振器６
側のインピーダンスとのマッチングをとるために設けら
れるものであり、マッチングをとる必要がない場合には
第１給電線１２の一端を直接高周波電源１６に接続して
もよい。
【０００７】この無電極放電ランプを用いた光源装置２
３は、以下のように動作する。高周波電源１６で発生し
た６００ＭＨｚ〜１ＧＨｚ程度のマイクロ波を、第３給
電線１５、方向性結合器１４、第２給電線１３、インピ
ーダンス整合器１１、第１給電線１２を伝送してマイク
ロストリップ線路９に供給する。そして、方向性結合器
１４により、共振器６からの反射波を検出して共振器６
の反射波が小さくなる反射波条件を高周波電源１６に供
給する。
３は、以下のように動作する。高周波電源１６で発生し
た６００ＭＨｚ〜１ＧＨｚ程度のマイクロ波を、第３給
電線１５、方向性結合器１４、第２給電線１３、インピ
ーダンス整合器１１、第１給電線１２を伝送してマイク
ロストリップ線路９に供給する。そして、方向性結合器
１４により、共振器６からの反射波を検出して共振器６
の反射波が小さくなる反射波条件を高周波電源１６に供
給する。
【０００８】この高周波電源１６からは、上記したよう
にマイクロ波を供給する一方、前記した反射波条件に基
づいて共振器６側のインピーダンスとマッチングする整
合定数をインピーダンス整合器１１に出力する。そし
て、インピーダンス整合器１１では、上記した整合定数
に基づいて共振器６側と高周波電源１６のインピーダン
スがマッチングするように調整する。インピーダンスマ
ッチングしない場合には、反射波が増加する。ここで、
伝送された波長λｖ（自由空間における波長）のマイク
ロ波を誘電体基板８、空気などの誘電媒体を介してマイ
クロストリップ線路９の表面より波長λｇで空気中に放
出する。
にマイクロ波を供給する一方、前記した反射波条件に基
づいて共振器６側のインピーダンスとマッチングする整
合定数をインピーダンス整合器１１に出力する。そし
て、インピーダンス整合器１１では、上記した整合定数
に基づいて共振器６側と高周波電源１６のインピーダン
スがマッチングするように調整する。インピーダンスマ
ッチングしない場合には、反射波が増加する。ここで、
伝送された波長λｖ（自由空間における波長）のマイク
ロ波を誘電体基板８、空気などの誘電媒体を介してマイ
クロストリップ線路９の表面より波長λｇで空気中に放
出する。
【０００９】この場合、誘電体および空気の比誘電率を
考慮した実効比誘電率をε1とすれば、自由空間におけ
るマイクロ波の波長λｖと、マイクロストリップ線路９
から放出されるマイクロ波の波長λｇとは、次式で表さ
れる関係になる。即ち、 波長λｇ＝λｖ／（ε1）1/2 となる。
考慮した実効比誘電率をε1とすれば、自由空間におけ
るマイクロ波の波長λｖと、マイクロストリップ線路９
から放出されるマイクロ波の波長λｇとは、次式で表さ
れる関係になる。即ち、 波長λｇ＝λｖ／（ε1）1/2 となる。
【００１０】更に、マイクロストリップ線路９から放出
された波長λｇのマイクロ波に対して、略λｇ／４の共
振長のマイクロ波を共振器６で得る。このマイクロ波の
強い電界が無電極放電ランプ５に供給され、希ガスの放
電によって無電極放電ランプ５内の発光物質を気化させ
て、発光物質特有の発光スペクトルの光を発光させる。
無電極放電ランプ５で発光した光を、回転楕円面ミラー
４で反射させ、接地用導体ケース３の外部に向けて放射
する。シールド板２４は、この際に発生する電磁波の漏
洩を防ぐ役目を果たしている。
された波長λｇのマイクロ波に対して、略λｇ／４の共
振長のマイクロ波を共振器６で得る。このマイクロ波の
強い電界が無電極放電ランプ５に供給され、希ガスの放
電によって無電極放電ランプ５内の発光物質を気化させ
て、発光物質特有の発光スペクトルの光を発光させる。
無電極放電ランプ５で発光した光を、回転楕円面ミラー
４で反射させ、接地用導体ケース３の外部に向けて放射
する。シールド板２４は、この際に発生する電磁波の漏
洩を防ぐ役目を果たしている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】ところで、電磁波の漏
洩を低減するためには、シールド板２４の導体部２４ａ
を太くしてメッシュの開口面積を小さくする必要があ
る。しかし、メッシュの開口面積を小さくすると、発光
の際、この導体部２４ａで遮られるため、光の取り出し
効率が低下するといった問題を生じていた。一方、メッ
シュの開口面積を大きくすると、光取り出し効率は向上
するが、発光を開始した直後、発光が途中で停止しまっ
た場合や定常状態の発光にない場合には、投入電力が無
電極放電ランプ５内で発光に寄与することなく不要な電
磁波の漏洩や周辺部材の発熱によって消費されていた。
洩を低減するためには、シールド板２４の導体部２４ａ
を太くしてメッシュの開口面積を小さくする必要があ
る。しかし、メッシュの開口面積を小さくすると、発光
の際、この導体部２４ａで遮られるため、光の取り出し
効率が低下するといった問題を生じていた。一方、メッ
シュの開口面積を大きくすると、光取り出し効率は向上
するが、発光を開始した直後、発光が途中で停止しまっ
た場合や定常状態の発光にない場合には、投入電力が無
電極放電ランプ５内で発光に寄与することなく不要な電
磁波の漏洩や周辺部材の発熱によって消費されていた。
【００１２】そこで、本発明は、懸かる問題を解決する
ためになされたものであり、電磁波の漏洩を低減すると
共に外部取り出し効率の良好な発光が得られる無電極放
電ランプを用いた光源装置を提供することを目的とす
る。
ためになされたものであり、電磁波の漏洩を低減すると
共に外部取り出し効率の良好な発光が得られる無電極放
電ランプを用いた光源装置を提供することを目的とす
る。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本願発明の無電極放電ラ
ンプを用いた光源装置の第１の発明は、内部が中空、か
つ一側面に第１開口部を有する接地用導体ケースと、こ
の接地用導体ケース内部にあって、先端が前記第１開口
部に向かい、他端が前記一側面に対向する他側面に固定
された棒状の共振器と、この共振器の先端に設けられた
無電極放電ランプと、前記第１開口部に設けられ、前記
共振器の先端を挿入する第２開口部を有しており、前記
無電極放電ランプからの放電発光を反射し、前記無電極
放電ランプを配置する位置に第１焦点を有し、前記放電
発光の放射方向の所定の位置に第２焦点を有する回転楕
円面ミラーと、前記接地用導体ケースの内側底面に設け
られた金属性支持台と、この金属性支持台表面に誘電体
基板を介して前記共振器に対向して、平行となるように
設けられたマイクロストリップ線路と、前記マイクロス
トリップ線路にマイクロ波を供給する高周波電源と、か
らなる無電極放電ランプを用いた光源装置であって、前
記第２焦点位置に孔を有して、前記回転楕円面ミラーを
覆うシールド部を前記接地用導体ケースに設けたことを
特徴とする無電極放電ランプを用いた光源装置を提供す
る。第２の発明は、内部が中空、かつ一側面に第１開口
部を有する接地用導体ケースと、この接地用導体ケース
内部にあって、先端が前記第１開口部に向かい、他端が
前記一側面に対向する他側面に固定された棒状の共振器
と、この共振器の先端に設けられた無電極放電ランプ
と、前記第１開口部に設けられ、前記共振器の先端を挿
入する第２開口部を有しており、前記無電極放電ランプ
からの放電発光を反射し、前記無電極放電ランプを配置
する位置に第１焦点を有し、前記放電発光の放射方向の
所定の位置に第２焦点を有する回転楕円面ミラーと、前
記接地用導体ケースの内側底面に設けられた金属性支持
台と、この金属性支持台表面に誘電体基板を介して前記
共振器に対向して、平行となるように設けられたマイク
ロストリップ線路と、前記マイクロストリップ線路にマ
イクロ波を供給する高周波電源と、からなる無電極放電
ランプを用いた光源装置であって、前記接地用導体ケー
スの第１開口部側に設けられた前記無電極放電管からの
放電発光を検出する受光素子と、この受光素子からの出
力が前記周囲光を検知した出力レベルよりも高い場合に
は、前記高周波電源からマイクロ波を発生させる信号を
出力し、前記周囲光と同じ出力レベルの場合には、前記
高周波電源からマイクロ波を発生させる信号を出力しな
い制御回路と、前記回転楕円面ミラーの前面に開閉自在
のシャッターを設けたことを特徴とする無電極放電ラン
プを用いた光源装置を提供する。
ンプを用いた光源装置の第１の発明は、内部が中空、か
つ一側面に第１開口部を有する接地用導体ケースと、こ
の接地用導体ケース内部にあって、先端が前記第１開口
部に向かい、他端が前記一側面に対向する他側面に固定
された棒状の共振器と、この共振器の先端に設けられた
無電極放電ランプと、前記第１開口部に設けられ、前記
共振器の先端を挿入する第２開口部を有しており、前記
無電極放電ランプからの放電発光を反射し、前記無電極
放電ランプを配置する位置に第１焦点を有し、前記放電
発光の放射方向の所定の位置に第２焦点を有する回転楕
円面ミラーと、前記接地用導体ケースの内側底面に設け
られた金属性支持台と、この金属性支持台表面に誘電体
基板を介して前記共振器に対向して、平行となるように
設けられたマイクロストリップ線路と、前記マイクロス
トリップ線路にマイクロ波を供給する高周波電源と、か
らなる無電極放電ランプを用いた光源装置であって、前
記第２焦点位置に孔を有して、前記回転楕円面ミラーを
覆うシールド部を前記接地用導体ケースに設けたことを
特徴とする無電極放電ランプを用いた光源装置を提供す
る。第２の発明は、内部が中空、かつ一側面に第１開口
部を有する接地用導体ケースと、この接地用導体ケース
内部にあって、先端が前記第１開口部に向かい、他端が
前記一側面に対向する他側面に固定された棒状の共振器
と、この共振器の先端に設けられた無電極放電ランプ
と、前記第１開口部に設けられ、前記共振器の先端を挿
入する第２開口部を有しており、前記無電極放電ランプ
からの放電発光を反射し、前記無電極放電ランプを配置
する位置に第１焦点を有し、前記放電発光の放射方向の
所定の位置に第２焦点を有する回転楕円面ミラーと、前
記接地用導体ケースの内側底面に設けられた金属性支持
台と、この金属性支持台表面に誘電体基板を介して前記
共振器に対向して、平行となるように設けられたマイク
ロストリップ線路と、前記マイクロストリップ線路にマ
イクロ波を供給する高周波電源と、からなる無電極放電
ランプを用いた光源装置であって、前記接地用導体ケー
スの第１開口部側に設けられた前記無電極放電管からの
放電発光を検出する受光素子と、この受光素子からの出
力が前記周囲光を検知した出力レベルよりも高い場合に
は、前記高周波電源からマイクロ波を発生させる信号を
出力し、前記周囲光と同じ出力レベルの場合には、前記
高周波電源からマイクロ波を発生させる信号を出力しな
い制御回路と、前記回転楕円面ミラーの前面に開閉自在
のシャッターを設けたことを特徴とする無電極放電ラン
プを用いた光源装置を提供する。
【００１４】
【発明の実施の形態】まず、本発明の各実施形態の無電
極放電ランプを用いた光源装置について図１乃至図３を
参照して詳細に説明する。従来例と同一構成には同一符
号を付し、その説明を省略する。図１は、本発明の第１
実施形態の無電極放電ランプを用いた光源装置を示す断
面図である。図２は、本発明の第１実施形態の変形例を
示す断面図である。図３は、本発明の第２実施形態の無
電極放電ランプを用いた光源装置を示す断面図である。
極放電ランプを用いた光源装置について図１乃至図３を
参照して詳細に説明する。従来例と同一構成には同一符
号を付し、その説明を省略する。図１は、本発明の第１
実施形態の無電極放電ランプを用いた光源装置を示す断
面図である。図２は、本発明の第１実施形態の変形例を
示す断面図である。図３は、本発明の第２実施形態の無
電極放電ランプを用いた光源装置を示す断面図である。
【００１５】まず、本発明の第１実施形態について図１
を用いて説明する。図１に示すように、本発明の第１実
施形態の無電極放電ランプ１を用いた光源装置は、従来
の無電極放電ランプを用いた光源装置におけるシールド
板２４の代わりに、一方側に開口部２ａを有し、この開
口部２ａの対向側に孔２ｂを有する凹状のシールド部２
を開口部２ａ側が接地用導体ケース３の開口部３ｂに対
向し、孔２ｂが回転楕円面ミラー４の第２の焦点位置Ｆ
2と一致するように配置して接地用導体ケース３に固定
されたものであり、それ以外は同様である。シールド部
２は、孔２ｂ以外は接地用導体３の開口部３ｂを覆って
いるので、無電極放電ランプ５が発光した際に発生する
電磁波をカットして外部への電磁波の漏洩を低減できる
構造となっている。本発明の第１実施形態の動作は、従
来例の場合と同様である。
を用いて説明する。図１に示すように、本発明の第１実
施形態の無電極放電ランプ１を用いた光源装置は、従来
の無電極放電ランプを用いた光源装置におけるシールド
板２４の代わりに、一方側に開口部２ａを有し、この開
口部２ａの対向側に孔２ｂを有する凹状のシールド部２
を開口部２ａ側が接地用導体ケース３の開口部３ｂに対
向し、孔２ｂが回転楕円面ミラー４の第２の焦点位置Ｆ
2と一致するように配置して接地用導体ケース３に固定
されたものであり、それ以外は同様である。シールド部
２は、孔２ｂ以外は接地用導体３の開口部３ｂを覆って
いるので、無電極放電ランプ５が発光した際に発生する
電磁波をカットして外部への電磁波の漏洩を低減できる
構造となっている。本発明の第１実施形態の動作は、従
来例の場合と同様である。
【００１６】本発明の第１実施形態によれば、無電極放
電ランプ５が回転楕円面ミラー４の第１の焦点位置Ｆ1
に配置され、一方側に開口部２ａを有し、この開口部２
ａの対向側に孔２ｂを有する凹状のシールド板２が開口
部２ａ側を接地用導体ケース３の開口部３ｂに対向さ
せ、孔２ｂを回転楕円面ミラー４の第２の焦点位置Ｆ2
と一致するように配置して、接地用導体ケース３に固定
されているので、無電極放電ランプ５が発光した際、電
磁波の漏洩を低減すると共に外部取り出し効率の良好な
発光を得ることができる。
電ランプ５が回転楕円面ミラー４の第１の焦点位置Ｆ1
に配置され、一方側に開口部２ａを有し、この開口部２
ａの対向側に孔２ｂを有する凹状のシールド板２が開口
部２ａ側を接地用導体ケース３の開口部３ｂに対向さ
せ、孔２ｂを回転楕円面ミラー４の第２の焦点位置Ｆ2
と一致するように配置して、接地用導体ケース３に固定
されているので、無電極放電ランプ５が発光した際、電
磁波の漏洩を低減すると共に外部取り出し効率の良好な
発光を得ることができる。
【００１７】次に、本発明の第１実施形態の変形例につ
いて図２を用いて説明する。本発明の第１実施形態と同
一構成には同一符号を付し、その説明を省略する。図２
に示すように、本発明の第１実施形態の変形例の無電極
放電ランプを用いた光源装置１７は、本発明の第１実施
形態の無電極放電ランプを用いた光源装置１におけるシ
ールド板２の代わりに球面シールド板１８にしたもので
あり、それ以外は同様である。図２中、１８ａは、球面
シールド板１８の開口部であり、１８ｂは、球面シール
ド板１８の孔である。この場合も本発明の第１実施形態
と同様の効果が得られる。
いて図２を用いて説明する。本発明の第１実施形態と同
一構成には同一符号を付し、その説明を省略する。図２
に示すように、本発明の第１実施形態の変形例の無電極
放電ランプを用いた光源装置１７は、本発明の第１実施
形態の無電極放電ランプを用いた光源装置１におけるシ
ールド板２の代わりに球面シールド板１８にしたもので
あり、それ以外は同様である。図２中、１８ａは、球面
シールド板１８の開口部であり、１８ｂは、球面シール
ド板１８の孔である。この場合も本発明の第１実施形態
と同様の効果が得られる。
【００１８】次に、本発明の第２実施形態について図３
を用いて説明する。図１に示すように、本発明の第２実
施形態の無電極放電ランプを用いた光源装置１９は、本
発明の第１実施形態の無電極放電ランプを用いた光源装
置１において、接地用導体ケース３の前面部３ａに取り
付けられ、無電極放電ランプ５からのプラズマ放電を検
出して光電変換する受光素子２０と、無電極放電ランプ
５からの放電発光が周囲の外光よりも強いことを前提と
して、この受光素子２０からの出力が周囲光を検知した
出力レベルよりも高い場合には、高周波電源１６からマ
イクロ波を発生させる信号を出力し、周囲光と同じ出力
レベルの場合には、高周波電源１６からマイクロ波を発
生させる信号を出力しない制御回路２１と、シールド板
２前面に設けられた開閉自在の可動式シャッター２２
と、を有するものであり、これ以外は同様である。
を用いて説明する。図１に示すように、本発明の第２実
施形態の無電極放電ランプを用いた光源装置１９は、本
発明の第１実施形態の無電極放電ランプを用いた光源装
置１において、接地用導体ケース３の前面部３ａに取り
付けられ、無電極放電ランプ５からのプラズマ放電を検
出して光電変換する受光素子２０と、無電極放電ランプ
５からの放電発光が周囲の外光よりも強いことを前提と
して、この受光素子２０からの出力が周囲光を検知した
出力レベルよりも高い場合には、高周波電源１６からマ
イクロ波を発生させる信号を出力し、周囲光と同じ出力
レベルの場合には、高周波電源１６からマイクロ波を発
生させる信号を出力しない制御回路２１と、シールド板
２前面に設けられた開閉自在の可動式シャッター２２
と、を有するものであり、これ以外は同様である。
【００１９】本発明の第２実施形態の無電極放電ランプ
を用いた光源装置１９の動作は、無電極放電ランプ５か
らの放電発光の有無を受光素子２０で検出して、この受
光素子２０の出力が周囲光を検出したレベルよりも高い
場合には、高周波電源１６からマイクロ波を発生させる
信号を出力し、発光を開始した直後、発光が途中で停止
した場合や定常状態の発光にない場合には、シャッター
２２を閉じておき、発光が安定した場合に開くようにし
たことが異なり、それ以外は本発明の第１実施形態と同
様である。
を用いた光源装置１９の動作は、無電極放電ランプ５か
らの放電発光の有無を受光素子２０で検出して、この受
光素子２０の出力が周囲光を検出したレベルよりも高い
場合には、高周波電源１６からマイクロ波を発生させる
信号を出力し、発光を開始した直後、発光が途中で停止
した場合や定常状態の発光にない場合には、シャッター
２２を閉じておき、発光が安定した場合に開くようにし
たことが異なり、それ以外は本発明の第１実施形態と同
様である。
【００２０】本発明の第２実施形態によれば、接地用導
体ケース３の前面部３ａに取り付けられ、無電極放電ラ
ンプ５からのプラズマ放電を検出して光電変換する受光
素子２０と、無電極放電ランプ５からの放電発光が周囲
の外光よりも強いことを前提として、この受光素子２０
からの出力が周囲光を検知した出力レベルよりも高い場
合には、高周波電源１６からマイクロ波を発生させる信
号を出力し、周囲光と同じ出力レベルの場合には、高周
波電源１６からマイクロ波を発生させる信号を出力しな
い制御回路２１と、シールド板２前面に設けられた開閉
自在の可動式シャッター２２と、を有するので、本発明
の第１実施形態の効果に加え、発光を開始した直後、発
光が途中で停止した場合や定常状態の発光にない場合に
は、シャッターを閉じておき、発光が安定した場合に開
くようにして電磁波の漏洩を防止できる。
体ケース３の前面部３ａに取り付けられ、無電極放電ラ
ンプ５からのプラズマ放電を検出して光電変換する受光
素子２０と、無電極放電ランプ５からの放電発光が周囲
の外光よりも強いことを前提として、この受光素子２０
からの出力が周囲光を検知した出力レベルよりも高い場
合には、高周波電源１６からマイクロ波を発生させる信
号を出力し、周囲光と同じ出力レベルの場合には、高周
波電源１６からマイクロ波を発生させる信号を出力しな
い制御回路２１と、シールド板２前面に設けられた開閉
自在の可動式シャッター２２と、を有するので、本発明
の第１実施形態の効果に加え、発光を開始した直後、発
光が途中で停止した場合や定常状態の発光にない場合に
は、シャッターを閉じておき、発光が安定した場合に開
くようにして電磁波の漏洩を防止できる。
【００２１】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、回転楕
円面ミラーの第２焦点位置に孔を有して、前記回転楕円
面ミラーを覆うシールド部を接地用導体ケースに設けた
ので、無電極放電ランプが発光した際、電磁波の漏洩を
低減すると共に外部取り出し効率の良好な発光を得るこ
とができる。また、接地用導体ケースの第１開口部側に
設けられた無電極放電管からの放電発光を検出する受光
素子と、この受光素子からの出力が前記周囲光を検知し
た出力レベルよりも高い場合には、前記高周波電源から
マイクロ波を発生させる信号を出力し、前記周囲光と同
じ出力レベルの場合には、前記高周波電源からマイクロ
波を発生させる信号を出力しない制御回路と、前記回転
楕円面ミラーの前面に開閉自在のシャッターを設けたの
で、無電極放電ランプが発光を開始した直後、発光が途
中で停止した場合や定常状態の発光にない場合には、シ
ャッターを閉じておき、発光が安定した場合に開くよう
にして電磁波の漏洩を防止できる。
円面ミラーの第２焦点位置に孔を有して、前記回転楕円
面ミラーを覆うシールド部を接地用導体ケースに設けた
ので、無電極放電ランプが発光した際、電磁波の漏洩を
低減すると共に外部取り出し効率の良好な発光を得るこ
とができる。また、接地用導体ケースの第１開口部側に
設けられた無電極放電管からの放電発光を検出する受光
素子と、この受光素子からの出力が前記周囲光を検知し
た出力レベルよりも高い場合には、前記高周波電源から
マイクロ波を発生させる信号を出力し、前記周囲光と同
じ出力レベルの場合には、前記高周波電源からマイクロ
波を発生させる信号を出力しない制御回路と、前記回転
楕円面ミラーの前面に開閉自在のシャッターを設けたの
で、無電極放電ランプが発光を開始した直後、発光が途
中で停止した場合や定常状態の発光にない場合には、シ
ャッターを閉じておき、発光が安定した場合に開くよう
にして電磁波の漏洩を防止できる。
【図１】本発明の第１実施形態の無電極放電ランプを用
いた光源装置を示す断面図である。
いた光源装置を示す断面図である。
【図２】本発明の第１実施形態の変形例を示す断面図で
ある。
ある。
【図３】本発明の第２実施形態の無電極放電ランプを用
いた光源装置を示す断面図である。
いた光源装置を示す断面図である。
【図４】従来の無電極放電ランプを用いた光源装置を示
す断面図である。
す断面図である。
１、１７、１９…無電極放電ランプを用いた光源装置、
２…シールド部、３…接地用導体ケース、４…回転楕円
面ミラー、５…無電極放電ランプ、６…共振器、７…金
属台支持台、８…誘電体基板、９…マイクロストリップ
線路、１０…孔、１１…インピーダンス整合回路、１２
…第１給電線、１３…第２給電線、１４…方向性結合
器、１５…第３給電線、１６…高周波電源、１８…球面
シールド板、２０…受光素子、２１…制御回路、２２…
シャッター
２…シールド部、３…接地用導体ケース、４…回転楕円
面ミラー、５…無電極放電ランプ、６…共振器、７…金
属台支持台、８…誘電体基板、９…マイクロストリップ
線路、１０…孔、１１…インピーダンス整合回路、１２
…第１給電線、１３…第２給電線、１４…方向性結合
器、１５…第３給電線、１６…高周波電源、１８…球面
シールド板、２０…受光素子、２１…制御回路、２２…
シャッター
Claims (2)
- 【請求項１】内部が中空、かつ一側面に第１開口部を有
する接地用導体ケースと、 この接地用導体ケース内部にあって、先端が前記第１開
口部に向かい、他端が前記一側面に対向する他側面に固
定された棒状の共振器と、 この共振器の先端に設けられた無電極放電ランプと、 前記第１開口部に設けられ、前記共振器の先端を挿入す
る第２開口部を有しており、前記無電極放電ランプから
の放電発光を反射し、前記無電極放電ランプを配置する
位置に第１焦点を有し、前記放電発光の放射方向の所定
の位置に第２焦点を有する回転楕円面ミラーと、 前記接地用導体ケースの内側底面に設けられた金属性支
持台と、 この金属性支持台表面に誘電体基板を介して前記共振器
に対向して、平行となるように設けられたマイクロスト
リップ線路と、 前記マイクロストリップ線路にマイクロ波を供給する高
周波電源と、からなる無電極放電ランプを用いた光源装
置であって、 前記第２焦点位置に孔を有して、前記回転楕円面ミラー
を覆うシールド部を前記接地用導体ケースに設けたこと
を特徴とする無電極放電ランプを用いた光源装置。 - 【請求項２】内部が中空、かつ一側面に第１開口部を有
する接地用導体ケースと、 この接地用導体ケース内部にあって、先端が前記第１開
口部に向かい、他端が前記一側面に対向する他側面に固
定された棒状の共振器と、 この共振器の先端に設けられた無電極放電ランプと、 前記第１開口部に設けられ、前記共振器の先端を挿入す
る第２開口部を有しており、前記無電極放電ランプから
の放電発光を反射し、前記無電極放電ランプを配置する
位置に第１焦点を有し、前記放電発光の放射方向の所定
の位置に第２焦点を有する回転楕円面ミラーと、 前記接地用導体ケースの内側底面に設けられた金属性支
持台と、 この金属性支持台表面に誘電体基板を介して前記共振器
に対向して、平行となるように設けられたマイクロスト
リップ線路と、 前記マイクロストリップ線路にマイクロ波を供給する高
周波電源と、からなる無電極放電ランプを用いた光源装
置であって、 前記接地用導体ケースの第１開口部側に設けられた前記
無電極放電管からの放電発光を検出する受光素子と、 この受光素子からの出力が前記周囲光を検知した出力レ
ベルよりも高い場合には、前記高周波電源からマイクロ
波を発生させる信号を出力し、前記周囲光と同じ出力レ
ベルの場合には、前記高周波電源からマイクロ波を発生
させる信号を出力しない制御回路と、 前記回転楕円面ミラーの前面に開閉自在のシャッターを
設けたことを特徴とする無電極放電ランプを用いた光源
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001378240A JP2003178605A (ja) | 2001-12-12 | 2001-12-12 | 無電極放電ランプを用いた光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001378240A JP2003178605A (ja) | 2001-12-12 | 2001-12-12 | 無電極放電ランプを用いた光源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003178605A true JP2003178605A (ja) | 2003-06-27 |
Family
ID=19186018
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001378240A Pending JP2003178605A (ja) | 2001-12-12 | 2001-12-12 | 無電極放電ランプを用いた光源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003178605A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7554054B2 (en) | 2004-10-01 | 2009-06-30 | Seiko Epson Corporation | High-frequency heating device, semiconductor manufacturing device, and light source device |
| US7795815B2 (en) | 2005-11-01 | 2010-09-14 | Seiko Epson Corporation | Light source device and projector including light source device |
| JP6050539B1 (ja) * | 2016-03-16 | 2016-12-21 | 株式会社東亜インターシステム | 留め具 |
-
2001
- 2001-12-12 JP JP2001378240A patent/JP2003178605A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7554054B2 (en) | 2004-10-01 | 2009-06-30 | Seiko Epson Corporation | High-frequency heating device, semiconductor manufacturing device, and light source device |
| US7795815B2 (en) | 2005-11-01 | 2010-09-14 | Seiko Epson Corporation | Light source device and projector including light source device |
| US7965044B2 (en) | 2005-11-01 | 2011-06-21 | Seiko Epson Corporation | Light source device and projector including light source device |
| JP6050539B1 (ja) * | 2016-03-16 | 2016-12-21 | 株式会社東亜インターシステム | 留め具 |
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