JP2004087360A - 無電極放電ランプを用いた光源装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】発光効率の良好な無電極放電ランプを用いた光源装置を提供する。
【解決手段】開口部3bを有する導体ケース3と、導体ケース3の内部にあって、先端部が開口部3bに向かい、他端が導体ケース3の他側面3cに固定された共振器6Aと、共振器6Aの先端部に設けられた放電ランプ5と、開口部3bに設けられ、共振器6Aの先端部を挿入する開口部4aを有しており、放電ランプ5からの放電発光光を反射して、開口部3bより放射する回転楕円面ミラー4と、導体ケース3の底面に設けられた支持台7と、支持台7の表面に設けられたマイクロストリップ線路9と、マイクロストリップ線路9にマイクロ波を供給する電源16とからなり、共振器6Aの先端部に接する無電極放電ランプ5の発光部19の断面積を、共振器6Aの先端部の断面積と等しく、もしくは大きく構成した。
【選択図】 図1
【解決手段】開口部3bを有する導体ケース3と、導体ケース3の内部にあって、先端部が開口部3bに向かい、他端が導体ケース3の他側面3cに固定された共振器6Aと、共振器6Aの先端部に設けられた放電ランプ5と、開口部3bに設けられ、共振器6Aの先端部を挿入する開口部4aを有しており、放電ランプ5からの放電発光光を反射して、開口部3bより放射する回転楕円面ミラー4と、導体ケース3の底面に設けられた支持台7と、支持台7の表面に設けられたマイクロストリップ線路9と、マイクロストリップ線路9にマイクロ波を供給する電源16とからなり、共振器6Aの先端部に接する無電極放電ランプ5の発光部19の断面積を、共振器6Aの先端部の断面積と等しく、もしくは大きく構成した。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マイクロ波の電界により放電し発光する無電極放電ランプを用いた光源装置に係り、特に、発光効率が良好となる構造を有する無電極放電ランプを用いた光源装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
無電極放電ランプを用いた光源装置は、発光部である無電極放電ランプに電極を有していないので、メタルハライド、キセノンランプ等の有電極放電ランプのように、発光時のプラズマによって電極が消耗しランプの寿命を短縮させてしまう問題がなく、長寿命化が図れるという特徴を有している。そのため、紫外線硬化インクの光源装置用、液晶プロジェクタ等の光源装置用に適用すべく検討がなされている。
【0003】
従来の無電極放電ランプを用いた光源装置について、図5を用いて以下に説明する。
図5は、従来例の無電極放電ランプを用いた光源装置を示す構成図である。
同図に示すように、無電極放電ランプを用いた光源装置1は、高周波電源部20と無電極放電ランプ部30とから構成される。
無電極放電ランプ部30は、内部が中空で、かつ前面部3aの中央部に開口部3bを有し、アルミニウム(Al)や銅(Cu)などの良導電性の金属を用いて形成された箱状または円筒状の接地用導体ケース(シールドケース)3と、先端が前面部3aの開口部3b側に向かい、他端が接地用導体ケース3の背面部3cの中央部に固着接地された電気伝導性および熱伝導性の良好なアルミニウムや銅または銅合金からなる棒状の共振器6と、湾曲面の底面側が共振器6の先端側になるように配置され、かつ共振器6が貫通する開口部4aを有し、接地用導体ケース3の開口部3bに固定された回転楕円面ミラー4と、開口部3bを覆うようにして接地用導体ケース3に取り付けられた金属からなるメッシュ状の平板状シールド板2と、回転楕円面ミラー4の第1の焦点位置F1に配置された共振器6の先端に取り付けられた希ガス及び発光物質を封入した無電極放電ランプ5と、接地用導体ケース3の内側底面3dに載置された金属製支持台7と、金属製支持台7の表面にアルミナ等からなる誘電体基板8を介して共振器6に対向して、略平行となるように設けられた良導電性の銅箔または金箔等の金属箔からなるマイクロストリップ線路9と、を有して構成されている。
【0004】
なお、上記共振器6の長さは、マイクロストリップ線路9から放出されるマイクロ波の波長をλgとした場合、略λg/4となるように形成される。
また、上記マイクロストリップ線路9は、インピーダンスが略50Ωとなるように、誘電体基板8の誘電率を考慮して適当な線幅、厚さでもって形成される。例えば、誘電体基板8として誘電率が8〜10で厚さが2mmのアルミナを用いた場合には、マイクロストリップ線路9は幅が2mmで厚さが0.17mmとなるように設定される。
【0005】
一方、高周波電源部20は、第1給電線12、インピーダンス整合器11、第2給電線3、方向性結合器14、第3給電線15、高周波電源16より構成されている。
また、接地用導体ケース3の背面部3cには穿設した孔10が形成されている。この孔10を通して、マイクロストリップ線路9とインピーダンス整合器11とが同軸ケーブルまたは硬質のマイクロ波ケーブルを用いた第1給電線12によって接続されている。
【0006】
このインピーダンス整合器11は、さらに第1給電線12と同種の第2給電線13によって、共振器6からの反射波を検出して駆動周波数や整合条件を可変させる方向性結合器14に接続されている。
この方向性結合器14は、第1及び第2給電線12、13と同種の第3給電線15によって、マイクロ波を発生する高周波電源16に接続されている。
上記インピーダンス整合器11は、高周波電源16のインピーダンスと、共振器6側のインピーダンスとのマッチングをとるために設けられるものであり、マッチングをとる必要がない場合には第1給電線12の一端を直接高周波電源16に接続してもよい。
【0007】
この無電極放電ランプを用いた光源装置1は、以下のように動作する。
高周波電源16で発生した600MHz〜1GHz程度のマイクロ波を、第3給電線15、方向性結合器14、第2給電線13、インピーダンス整合器11、第1給電線12を伝送してマイクロストリップ線路9に供給する。そして、方向性結合器14により、共振器6からの反射波を検出して共振器6の反射波が小さくなる反射波条件を高周波電源16に供給する。
【0008】
この高周波電源16からは、上記したようにマイクロ波を供給する一方、前記した反射波条件に基づいて共振器6側のインピーダンスとマッチングする整合定数をインピーダンス整合器11に出力する。そして、インピーダンス整合器11では、上記した整合定数に基づいて共振器6側と高周波電源16のインピーダンスがマッチングするように調整する。インピーダンスマッチングしない場合には、反射波が増加する。
ここで、伝送された波長λv(自由空間における波長)のマイクロ波を誘電体基板8、空気などの誘電媒体を介してマイクロストリップ線路9の表面より波長λgで空気中に放出する。
【0009】
この場合、誘電体および空気の比誘電率を考慮した実効比誘電率をε1とすれば、自由空間におけるマイクロ波の波長λvと、マイクロストリップ線路9から放出されるマイクロ波の波長λgとは、次式で表される関係になる。即ち、
λg=λv/(ε1)1/2
となる。
【0010】
更に、マイクロストリップ線路9から放出された波長λgのマイクロ波に対して、共振により略λg/4の波長のマイクロ波を共振器6で得る。共振器6の長さ(共振長である)は、略λg/4である。このマイクロ波の強い電界が無電極放電ランプ(発光管である)5に供給される。無電極放電ランプ5の内部には希ガスと発光物質が封入されている。マイクロ波の電界により、無電極放電ランプ5内に封入されている希ガスが放電し、この放電により発光物質が気化されて、発光物質特有の発光スペクトルの光が発光される。
無電極放電ランプ5で発光した光を、回転楕円面ミラー4で反射させ、接地用導体ケース3の外部に向けて放射する。メッシュ状の導体部2aからなるシールド板2は、この際に発生する電磁波の漏洩を防ぐ役目を果たしている。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、棒状の共振器6から放出されたマイクロ波の電界は、発光物質である希ガスを封止した無電極放電ランプ5の内部で強電界になることが必要である。無電極放電ランプ5の内部で強電界にならない場合には、放出されたマイクロ波のエネルギーの大半は、希ガスの発光に寄与せずに、不要な電磁波として放出、または、近傍物質の加熱に消費されてしまい、発光効率の良好な無電極放電ランプを用いた光源装置を得られないという問題がある。
【0012】
そこで本発明は、上記問題を解決し、発光効率の良好な無電極放電ランプを用いた光源装置を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための手段として、本発明は、内部が中空で、かつ一側面(前面部3a)に第1開口部(開口部3b)を有する接地用導体ケース3と、前記接地用導体ケース3の内部にあって、先端部が前記第1開口部(開口部3b)に向かい、他端が前記一側面(前面部3a)に対向する他側面(背面部3c)に固定された棒状の共振器6Aと、前記共振器6Aの前記先端部に設けられた発光部19を有する無電極放電ランプ5と、前記第1開口部(開口部3b)の縁部に設けられ、前記共振器6Aの前記先端部を挿入する第2開口部(開口部4a)を有しており、前記無電極放電ランプ5の前記発光部19からの放電発光光を反射して、前記第1開口部(開口部3b)より放射する回転楕円面ミラー4と、前記接地用導体ケース3の内側底面(内側底面部3d)に設けられた金属製支持台7と、前記金属製支持台7の表面に誘電体基板8を介して前記共振器6Aに対向して、平行となるように設けられたマイクロストリップ線路9と、前記マイクロストリップ線路9にマイクロ波を供給する高周波電源16と、からなる無電極放電ランプを用いた光源装置であって、
前記共振器6Aの前記先端部に接する前記無電極放電ランプ5の前記発光部19の断面積を、前記共振器6Aの前記先端部の断面積と等しく、もしくは大きく構成したことを特徴とする無電極放電ランプを用いた光源装置である。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態につき、好ましい実施例により、図面を参照して説明する。なお、説明の簡略のため、参照符号については、従来例と同一の構成については同一の参照符号を付し、その説明を省略してある。
【0015】
<実施例>
図1は、本発明の無電極放電ランプを用いた光源装置の実施例を示す構成図である。
同図に示すように、本実施例の無電極放電ランプを用いた光源装置1Aは、上述した従来の無電極放電ランプを用いた光源装置1において、無電極放電ランプ部30に代えて無電極放電ランプ部30Aとした以外は、無電極放電ランプを用いた光源装置1と同様に構成したものである。さらに、本実施例における無電極放電ランプ部30Aは、従来の無電極放電ランプ部30において、共振器6に代えて、共振器6A(又は共振器6B)とした以外は、無電極放電ランプ部30と同様に構成してある。
【0016】
共振器6A,6Bについては後述するが、まず、無電極放電ランプについて図2により説明する。
図2は、無電極放電ランプの断面図である。
同図に示すように、無電極放電ランプ5は、透明な例えば石英からなる円筒状の容器17の内部の中空部(発光部19になる)に発光物質18を封入したものから構成されている。容器17において、外形の円筒部の長さL1は例えば6mmであり、発光部19の円筒部の長さL2は例えば2.5mmである。容器17において、円筒部の外径Dは例えば5mmであり、円筒部の内径φ2は例えば3.5mmである。ここで、容器17の大きさは、回転楕円面ミラー4の形状に対応する、発光部19の大きさを基本に決定している。
【0017】
容器17の発光部19となる中空部には、発光物質18として所定量の水銀(Hg)及び発光光の分光特性を調整するための物質である例えば臭化インジウム(InBr2)が真空封入されている。
無電極放電ランプ5にマイクロ波の電界が印加されると、発光物質18はプラズマ化し、高圧力の希ガスとなって、発光する。
【0018】
図1に示すように、無電極放電ランプ5は、一端を接地用導体ケース3の背面部3cに例えば嵌合により固着された共振器6A,6Bの他端に嵌合すると共に接着剤により固着されている。接着剤としては、無電極放電ランプ5の容器17を構成する材料(例えば石英)と、共振器6A,6Bを構成する材料(例えば銅)との熱膨張係数の近いものが用いられる。
【0019】
次に、共振器6A,6Bについて説明する。
無電極放電ランプ5の構造が一定であるという条件で、800MHzのマイクロ波をマイクロストリップ線路9に印加し、共振器6A,6Bをこのとき共振する長さを有するものとし、マクスウェル方程式を解くことによって、電界強度をシミュレーションした。座標軸としては、接地用導体ケース3の背面部3cの平面にxy軸をとり、矢印25(図1)の方向をz軸として、z軸上の電界強度を求めた。原点は共振器6A,6Bと背面部3cとの接合点にとってある。
【0020】
ここで、共振器については3つのケースを設定した。
図3は、電界強度のシュミレーションに用いた共振器と無電極放電ランプとの関係を示す図である。図3の(a)には、共振器6Aを用いたケース1が、図3の(b)には、共振器6Bを用いたケース2が、図3の(c)には、共振器6Cを用いたケース3が、それぞれ示されている。
ここで、共振器6A,6Bは、本実施例として、共振器6Cは比較例として示してある。
【0021】
同図に示すように、ケース1乃至3において、無電極放電ランプ5は同一のものが使われており、その形状寸法は上述したとおり、L1=6mm、L2=2.5mm、D=5.0mm、φ2=3.5mmである。
図3の(a)に示すケース1においては、共振器6Aの端面部6Abに無電極放電ランプ5の端面部5aが接合されており、共振器6Aの直径φ1Aは2mmである。共振器6Aの長さは、共振長となる約80mmである。共振器6Aの端面部6Aaは背面部3cに嵌合されている。
【0022】
図3の(b)に示すケース2においては、共振器6Bの端面部6Bbに無電極放電ランプ5の端面部5aが接合されており、共振器6Bの直径φ1Bは3.5mmである。共振器6Bの長さは、共振長となる約80mmである。共振器6Bの端面部6Baは背面部3cに嵌合されている。
図3の(c)に示すケース3においては、共振器6Cの端面部6Cbに無電極放電ランプ5の端面部5aが接合されており、共振器6Cの直径φ1Cは6.0mmである。共振器6Cの長さは、共振長となる約80mmである。共振器6Cの端面部6Caは背面部3cに嵌合されている。
【0023】
以上の3つのケースについてのシミュレーション結果を図4に示す。
図4は、無電極放電ランプにおける電界強度のシュミレーション結果を示すグラフ図である。
同図において、横軸はz軸方向位置を表し、縦軸は電界強度を表す。ケース1を2点鎖線で、ケース2を細実線で、ケース3を太実線で示してある。
【0024】
これによれば、比較例であるケース3におけるように、共振器6Cの直径(先端部の直径)φ1Cが発光部19の径φ2よりも大となるの場合には、棒状の共振器6Cから放射されるマイクロ波は、無電極放電ランプ5の外部にも拡散し、発光部19の領域に集中はしていないことがわかる。
これに対して、実施例であるケース1においては、共振器6Aの直径φ1Aが発光部19の直径φ2より小さく、及びケース2においては、共振器6Bの直径φ1Bが発光部19の直径φ2と同じであり、これらの場合には、棒状の共振器6A,6Bから放射されるマイクロ波の無電極放電ランプ5外部への漏れが少なく、発光部19にマイクロ波を集中することが出来る。
【0025】
円筒棒状の共振器の直径(すなわち断面積)をAとし、共振器に接続する無電極放電ランプの発光部の直径(すなわち共振器への発光部の投影断面積)をBとすると、A=B、又はA<Bと構成することにより、発光部の領域を強電界に出来、発光効率の良い光を発光部より取り出せる。共振器から放出された高周波エネルギーは、発光物質が封止されている発光エリア(発光部)に対して最大となり、高効率な光が得られる。
【0026】
ケース1とケース3については、上記の結果に基き、それぞれ無電極光源ランプを用いた光源を製作し、60Wを投入したところ、ケース1はケース3の154%の光量を得ている。
以上、共振器の直径が全体に亘って均一な円柱の場合について説明したが、無電極放電ランプに接する片側のみにテーパーをつけて、無電極放電ランプと接する共振器の端部の直径を規定の値とすることによっても効率の良い光を得ることがわかっている。
【0027】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の無電極放電ランプを用いた光源装置は、共振器の先端部に接する無電極放電ランプの発光部の断面積を、前記共振器の前記先端部の断面積と等しく、もしくは大きく構成したことにより、発光効率の良好な無電極放電ランプを用いた光源装置を提供できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の無電極放電ランプを用いた光源装置の実施例を示す構成図である。
【図2】無電極放電ランプの断面図である。
【図3】電界強度のシュミレーションに用いた共振器と無電極放電ランプとの関係を示す図である。
【図4】無電極放電ランプにおける電界強度のシュミレーション結果を示すグラフ図である。
【図5】従来例の無電極放電ランプを用いた光源装置を示す構成図である。
【符号の説明】
1,1A…無電極放電ランプ光源装置、2…シールド板、2a…導体部、3…接地用導体ケース、3a…前面部、3b…開口部、3c…背面部、3d…内側底面部、4…回転楕円面ミラー、4a…開口部、5…無電極放電ランプ、5a,5b…端面部、6,6A,6B,6C…共振器、6Aa,6Ab,6Ba,6Bb,6Ca,6Cb…端面部、7…金属製支持台、8…誘電体基板、9…マイクロストリップ線路、10…孔、11…インピーダンス整合器、12…第1給電線、13…第2給電線、14…方向性結合器、15…第3給電線、16…高周波電源、17…容器、18…発光物質、19…発光部、20…高周波電源部、30,30A…無電極放電ランプ部。
【発明の属する技術分野】
本発明は、マイクロ波の電界により放電し発光する無電極放電ランプを用いた光源装置に係り、特に、発光効率が良好となる構造を有する無電極放電ランプを用いた光源装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
無電極放電ランプを用いた光源装置は、発光部である無電極放電ランプに電極を有していないので、メタルハライド、キセノンランプ等の有電極放電ランプのように、発光時のプラズマによって電極が消耗しランプの寿命を短縮させてしまう問題がなく、長寿命化が図れるという特徴を有している。そのため、紫外線硬化インクの光源装置用、液晶プロジェクタ等の光源装置用に適用すべく検討がなされている。
【0003】
従来の無電極放電ランプを用いた光源装置について、図5を用いて以下に説明する。
図5は、従来例の無電極放電ランプを用いた光源装置を示す構成図である。
同図に示すように、無電極放電ランプを用いた光源装置1は、高周波電源部20と無電極放電ランプ部30とから構成される。
無電極放電ランプ部30は、内部が中空で、かつ前面部3aの中央部に開口部3bを有し、アルミニウム(Al)や銅(Cu)などの良導電性の金属を用いて形成された箱状または円筒状の接地用導体ケース(シールドケース)3と、先端が前面部3aの開口部3b側に向かい、他端が接地用導体ケース3の背面部3cの中央部に固着接地された電気伝導性および熱伝導性の良好なアルミニウムや銅または銅合金からなる棒状の共振器6と、湾曲面の底面側が共振器6の先端側になるように配置され、かつ共振器6が貫通する開口部4aを有し、接地用導体ケース3の開口部3bに固定された回転楕円面ミラー4と、開口部3bを覆うようにして接地用導体ケース3に取り付けられた金属からなるメッシュ状の平板状シールド板2と、回転楕円面ミラー4の第1の焦点位置F1に配置された共振器6の先端に取り付けられた希ガス及び発光物質を封入した無電極放電ランプ5と、接地用導体ケース3の内側底面3dに載置された金属製支持台7と、金属製支持台7の表面にアルミナ等からなる誘電体基板8を介して共振器6に対向して、略平行となるように設けられた良導電性の銅箔または金箔等の金属箔からなるマイクロストリップ線路9と、を有して構成されている。
【0004】
なお、上記共振器6の長さは、マイクロストリップ線路9から放出されるマイクロ波の波長をλgとした場合、略λg/4となるように形成される。
また、上記マイクロストリップ線路9は、インピーダンスが略50Ωとなるように、誘電体基板8の誘電率を考慮して適当な線幅、厚さでもって形成される。例えば、誘電体基板8として誘電率が8〜10で厚さが2mmのアルミナを用いた場合には、マイクロストリップ線路9は幅が2mmで厚さが0.17mmとなるように設定される。
【0005】
一方、高周波電源部20は、第1給電線12、インピーダンス整合器11、第2給電線3、方向性結合器14、第3給電線15、高周波電源16より構成されている。
また、接地用導体ケース3の背面部3cには穿設した孔10が形成されている。この孔10を通して、マイクロストリップ線路9とインピーダンス整合器11とが同軸ケーブルまたは硬質のマイクロ波ケーブルを用いた第1給電線12によって接続されている。
【0006】
このインピーダンス整合器11は、さらに第1給電線12と同種の第2給電線13によって、共振器6からの反射波を検出して駆動周波数や整合条件を可変させる方向性結合器14に接続されている。
この方向性結合器14は、第1及び第2給電線12、13と同種の第3給電線15によって、マイクロ波を発生する高周波電源16に接続されている。
上記インピーダンス整合器11は、高周波電源16のインピーダンスと、共振器6側のインピーダンスとのマッチングをとるために設けられるものであり、マッチングをとる必要がない場合には第1給電線12の一端を直接高周波電源16に接続してもよい。
【0007】
この無電極放電ランプを用いた光源装置1は、以下のように動作する。
高周波電源16で発生した600MHz〜1GHz程度のマイクロ波を、第3給電線15、方向性結合器14、第2給電線13、インピーダンス整合器11、第1給電線12を伝送してマイクロストリップ線路9に供給する。そして、方向性結合器14により、共振器6からの反射波を検出して共振器6の反射波が小さくなる反射波条件を高周波電源16に供給する。
【0008】
この高周波電源16からは、上記したようにマイクロ波を供給する一方、前記した反射波条件に基づいて共振器6側のインピーダンスとマッチングする整合定数をインピーダンス整合器11に出力する。そして、インピーダンス整合器11では、上記した整合定数に基づいて共振器6側と高周波電源16のインピーダンスがマッチングするように調整する。インピーダンスマッチングしない場合には、反射波が増加する。
ここで、伝送された波長λv(自由空間における波長)のマイクロ波を誘電体基板8、空気などの誘電媒体を介してマイクロストリップ線路9の表面より波長λgで空気中に放出する。
【0009】
この場合、誘電体および空気の比誘電率を考慮した実効比誘電率をε1とすれば、自由空間におけるマイクロ波の波長λvと、マイクロストリップ線路9から放出されるマイクロ波の波長λgとは、次式で表される関係になる。即ち、
λg=λv/(ε1)1/2
となる。
【0010】
更に、マイクロストリップ線路9から放出された波長λgのマイクロ波に対して、共振により略λg/4の波長のマイクロ波を共振器6で得る。共振器6の長さ(共振長である)は、略λg/4である。このマイクロ波の強い電界が無電極放電ランプ(発光管である)5に供給される。無電極放電ランプ5の内部には希ガスと発光物質が封入されている。マイクロ波の電界により、無電極放電ランプ5内に封入されている希ガスが放電し、この放電により発光物質が気化されて、発光物質特有の発光スペクトルの光が発光される。
無電極放電ランプ5で発光した光を、回転楕円面ミラー4で反射させ、接地用導体ケース3の外部に向けて放射する。メッシュ状の導体部2aからなるシールド板2は、この際に発生する電磁波の漏洩を防ぐ役目を果たしている。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、棒状の共振器6から放出されたマイクロ波の電界は、発光物質である希ガスを封止した無電極放電ランプ5の内部で強電界になることが必要である。無電極放電ランプ5の内部で強電界にならない場合には、放出されたマイクロ波のエネルギーの大半は、希ガスの発光に寄与せずに、不要な電磁波として放出、または、近傍物質の加熱に消費されてしまい、発光効率の良好な無電極放電ランプを用いた光源装置を得られないという問題がある。
【0012】
そこで本発明は、上記問題を解決し、発光効率の良好な無電極放電ランプを用いた光源装置を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための手段として、本発明は、内部が中空で、かつ一側面(前面部3a)に第1開口部(開口部3b)を有する接地用導体ケース3と、前記接地用導体ケース3の内部にあって、先端部が前記第1開口部(開口部3b)に向かい、他端が前記一側面(前面部3a)に対向する他側面(背面部3c)に固定された棒状の共振器6Aと、前記共振器6Aの前記先端部に設けられた発光部19を有する無電極放電ランプ5と、前記第1開口部(開口部3b)の縁部に設けられ、前記共振器6Aの前記先端部を挿入する第2開口部(開口部4a)を有しており、前記無電極放電ランプ5の前記発光部19からの放電発光光を反射して、前記第1開口部(開口部3b)より放射する回転楕円面ミラー4と、前記接地用導体ケース3の内側底面(内側底面部3d)に設けられた金属製支持台7と、前記金属製支持台7の表面に誘電体基板8を介して前記共振器6Aに対向して、平行となるように設けられたマイクロストリップ線路9と、前記マイクロストリップ線路9にマイクロ波を供給する高周波電源16と、からなる無電極放電ランプを用いた光源装置であって、
前記共振器6Aの前記先端部に接する前記無電極放電ランプ5の前記発光部19の断面積を、前記共振器6Aの前記先端部の断面積と等しく、もしくは大きく構成したことを特徴とする無電極放電ランプを用いた光源装置である。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態につき、好ましい実施例により、図面を参照して説明する。なお、説明の簡略のため、参照符号については、従来例と同一の構成については同一の参照符号を付し、その説明を省略してある。
【0015】
<実施例>
図1は、本発明の無電極放電ランプを用いた光源装置の実施例を示す構成図である。
同図に示すように、本実施例の無電極放電ランプを用いた光源装置1Aは、上述した従来の無電極放電ランプを用いた光源装置1において、無電極放電ランプ部30に代えて無電極放電ランプ部30Aとした以外は、無電極放電ランプを用いた光源装置1と同様に構成したものである。さらに、本実施例における無電極放電ランプ部30Aは、従来の無電極放電ランプ部30において、共振器6に代えて、共振器6A(又は共振器6B)とした以外は、無電極放電ランプ部30と同様に構成してある。
【0016】
共振器6A,6Bについては後述するが、まず、無電極放電ランプについて図2により説明する。
図2は、無電極放電ランプの断面図である。
同図に示すように、無電極放電ランプ5は、透明な例えば石英からなる円筒状の容器17の内部の中空部(発光部19になる)に発光物質18を封入したものから構成されている。容器17において、外形の円筒部の長さL1は例えば6mmであり、発光部19の円筒部の長さL2は例えば2.5mmである。容器17において、円筒部の外径Dは例えば5mmであり、円筒部の内径φ2は例えば3.5mmである。ここで、容器17の大きさは、回転楕円面ミラー4の形状に対応する、発光部19の大きさを基本に決定している。
【0017】
容器17の発光部19となる中空部には、発光物質18として所定量の水銀(Hg)及び発光光の分光特性を調整するための物質である例えば臭化インジウム(InBr2)が真空封入されている。
無電極放電ランプ5にマイクロ波の電界が印加されると、発光物質18はプラズマ化し、高圧力の希ガスとなって、発光する。
【0018】
図1に示すように、無電極放電ランプ5は、一端を接地用導体ケース3の背面部3cに例えば嵌合により固着された共振器6A,6Bの他端に嵌合すると共に接着剤により固着されている。接着剤としては、無電極放電ランプ5の容器17を構成する材料(例えば石英)と、共振器6A,6Bを構成する材料(例えば銅)との熱膨張係数の近いものが用いられる。
【0019】
次に、共振器6A,6Bについて説明する。
無電極放電ランプ5の構造が一定であるという条件で、800MHzのマイクロ波をマイクロストリップ線路9に印加し、共振器6A,6Bをこのとき共振する長さを有するものとし、マクスウェル方程式を解くことによって、電界強度をシミュレーションした。座標軸としては、接地用導体ケース3の背面部3cの平面にxy軸をとり、矢印25(図1)の方向をz軸として、z軸上の電界強度を求めた。原点は共振器6A,6Bと背面部3cとの接合点にとってある。
【0020】
ここで、共振器については3つのケースを設定した。
図3は、電界強度のシュミレーションに用いた共振器と無電極放電ランプとの関係を示す図である。図3の(a)には、共振器6Aを用いたケース1が、図3の(b)には、共振器6Bを用いたケース2が、図3の(c)には、共振器6Cを用いたケース3が、それぞれ示されている。
ここで、共振器6A,6Bは、本実施例として、共振器6Cは比較例として示してある。
【0021】
同図に示すように、ケース1乃至3において、無電極放電ランプ5は同一のものが使われており、その形状寸法は上述したとおり、L1=6mm、L2=2.5mm、D=5.0mm、φ2=3.5mmである。
図3の(a)に示すケース1においては、共振器6Aの端面部6Abに無電極放電ランプ5の端面部5aが接合されており、共振器6Aの直径φ1Aは2mmである。共振器6Aの長さは、共振長となる約80mmである。共振器6Aの端面部6Aaは背面部3cに嵌合されている。
【0022】
図3の(b)に示すケース2においては、共振器6Bの端面部6Bbに無電極放電ランプ5の端面部5aが接合されており、共振器6Bの直径φ1Bは3.5mmである。共振器6Bの長さは、共振長となる約80mmである。共振器6Bの端面部6Baは背面部3cに嵌合されている。
図3の(c)に示すケース3においては、共振器6Cの端面部6Cbに無電極放電ランプ5の端面部5aが接合されており、共振器6Cの直径φ1Cは6.0mmである。共振器6Cの長さは、共振長となる約80mmである。共振器6Cの端面部6Caは背面部3cに嵌合されている。
【0023】
以上の3つのケースについてのシミュレーション結果を図4に示す。
図4は、無電極放電ランプにおける電界強度のシュミレーション結果を示すグラフ図である。
同図において、横軸はz軸方向位置を表し、縦軸は電界強度を表す。ケース1を2点鎖線で、ケース2を細実線で、ケース3を太実線で示してある。
【0024】
これによれば、比較例であるケース3におけるように、共振器6Cの直径(先端部の直径)φ1Cが発光部19の径φ2よりも大となるの場合には、棒状の共振器6Cから放射されるマイクロ波は、無電極放電ランプ5の外部にも拡散し、発光部19の領域に集中はしていないことがわかる。
これに対して、実施例であるケース1においては、共振器6Aの直径φ1Aが発光部19の直径φ2より小さく、及びケース2においては、共振器6Bの直径φ1Bが発光部19の直径φ2と同じであり、これらの場合には、棒状の共振器6A,6Bから放射されるマイクロ波の無電極放電ランプ5外部への漏れが少なく、発光部19にマイクロ波を集中することが出来る。
【0025】
円筒棒状の共振器の直径(すなわち断面積)をAとし、共振器に接続する無電極放電ランプの発光部の直径(すなわち共振器への発光部の投影断面積)をBとすると、A=B、又はA<Bと構成することにより、発光部の領域を強電界に出来、発光効率の良い光を発光部より取り出せる。共振器から放出された高周波エネルギーは、発光物質が封止されている発光エリア(発光部)に対して最大となり、高効率な光が得られる。
【0026】
ケース1とケース3については、上記の結果に基き、それぞれ無電極光源ランプを用いた光源を製作し、60Wを投入したところ、ケース1はケース3の154%の光量を得ている。
以上、共振器の直径が全体に亘って均一な円柱の場合について説明したが、無電極放電ランプに接する片側のみにテーパーをつけて、無電極放電ランプと接する共振器の端部の直径を規定の値とすることによっても効率の良い光を得ることがわかっている。
【0027】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の無電極放電ランプを用いた光源装置は、共振器の先端部に接する無電極放電ランプの発光部の断面積を、前記共振器の前記先端部の断面積と等しく、もしくは大きく構成したことにより、発光効率の良好な無電極放電ランプを用いた光源装置を提供できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の無電極放電ランプを用いた光源装置の実施例を示す構成図である。
【図2】無電極放電ランプの断面図である。
【図3】電界強度のシュミレーションに用いた共振器と無電極放電ランプとの関係を示す図である。
【図4】無電極放電ランプにおける電界強度のシュミレーション結果を示すグラフ図である。
【図5】従来例の無電極放電ランプを用いた光源装置を示す構成図である。
【符号の説明】
1,1A…無電極放電ランプ光源装置、2…シールド板、2a…導体部、3…接地用導体ケース、3a…前面部、3b…開口部、3c…背面部、3d…内側底面部、4…回転楕円面ミラー、4a…開口部、5…無電極放電ランプ、5a,5b…端面部、6,6A,6B,6C…共振器、6Aa,6Ab,6Ba,6Bb,6Ca,6Cb…端面部、7…金属製支持台、8…誘電体基板、9…マイクロストリップ線路、10…孔、11…インピーダンス整合器、12…第1給電線、13…第2給電線、14…方向性結合器、15…第3給電線、16…高周波電源、17…容器、18…発光物質、19…発光部、20…高周波電源部、30,30A…無電極放電ランプ部。
Claims (1)
- 内部が中空で、かつ一側面に第1開口部を有する接地用導体ケースと、
前記接地用導体ケースの内部にあって、先端部が前記第1開口部に向かい、他端が前記一側面に対向する他側面に固定された棒状の共振器と、
前記共振器の前記先端部に設けられた発光部を有する無電極放電ランプと、
前記第1開口部の縁部に設けられ、前記共振器の前記先端部を挿入する第2開口部を有しており、前記無電極放電ランプの前記発光部からの放電発光光を反射して、前記第1開口部より放射する回転楕円面ミラーと、
前記接地用導体ケースの内側底面に設けられた金属製支持台と、
前記金属製支持台の表面に誘電体基板を介して前記共振器に対向して、平行となるように設けられたマイクロストリップ線路と、
前記マイクロストリップ線路にマイクロ波を供給する高周波電源と、
からなる無電極放電ランプを用いた光源装置であって、
前記共振器の前記先端部に接する前記無電極放電ランプの前記発光部の断面積を、前記共振器の前記先端部の断面積と等しく、もしくは大きく構成したことを特徴とする無電極放電ランプを用いた光源装置。
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US7554054B2 (en) | 2004-10-01 | 2009-06-30 | Seiko Epson Corporation | High-frequency heating device, semiconductor manufacturing device, and light source device |
US7795815B2 (en) | 2005-11-01 | 2010-09-14 | Seiko Epson Corporation | Light source device and projector including light source device |
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-
2002
- 2002-08-28 JP JP2002248340A patent/JP2004087360A/ja active Pending
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