JPH09213129A

JPH09213129A - 光源装置

Info

Publication number: JPH09213129A
Application number: JP8018507A
Authority: JP
Inventors: Kiyotada Nakamura; 清忠中村; Akira Satomi; 昭里見; Toshiyuki Shima; 利之嶋; Shinkichi Morimoto; 真吉森本
Original assignee: Ushio Denki KK; Ushio Inc
Current assignee: Ushio Denki KK; Ushio Inc
Priority date: 1996-02-05
Filing date: 1996-02-05
Publication date: 1997-08-15
Anticipated expiration: 2016-02-05
Also published as: JP3189661B2; KR970063379A; KR100428959B1

Abstract

(57)【要約】【課題】定格消費電力の大きい水銀放電灯が集光ミラ
ー内に配置され、前方開口から流れる冷却風を発生させ
る手段を有する光源装置であって、点灯したときに、封
入された水銀が完全に蒸発して十分大きな強度の光放射
が得られ、前方口金の過熱状態を有効に防止することの
できる光源装置を提供すること。【解決手段】本発明の光源装置は、集光ミラーと、集
光ミラーの光軸に沿って伸びるよう配置された、中央膨
出部分と両端の封止管部とを有する封体を具えてなり、
水銀の封入量が２５ｍｇ／ｃｍ³以上で、定格消費電力
が２．５ｋＷ以上の水銀放電灯と、集光ミラーの前方開
口から中央基部に向かって流れるよう冷却風を発生させ
る冷却風発生手段と、水銀放電灯の前方側封止管部の口
金に設けられた、集光ミラーの前方開口からの冷却風を
光軸から離間するよう外方に偏向させる冷却風偏向部分
を有する金属板部材とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、集光ミラーにショ
ートアーク型水銀放電灯を組込んでなる光源装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】例えば液晶パネルの製造工程において、
当該パネルの露光用光源として、楕円状集光ミラーに、
紫外線放射用のショートアーク型水銀放電灯を配置して
なる光源装置が知られている。

【０００３】図８は、このような光源装置の要部である
光源部を示す説明図であり、１は楕円状集光ミラー、２
は紫外線放射用の水銀放電灯である。この光源装置を構
成する水銀放電灯２は、発光空間を形成する中央膨出部
分３およびその両側に突出するよう伸びる封止管部４，
５よりなる封体を有し、この封体の封止管部４，５の端
部にはそれぞれ口金６，７が設けられている。

【０００４】水銀放電灯２は、集光ミラー１の光軸に沿
って配置され、この水銀放電灯２からの放射光は、集光
ミラー１およびミラーやレンズなどの光学系（図示省
略）を介して被照射物に照射される。そして、図示しな
い冷却ファンにより、集光ミラー１の頂部側から前方開
口に向かって矢印で示すように冷却風が流され、この冷
却風により、集光ミラー１や水銀放電灯２が冷却され
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような光源装置においては、水銀放電灯２が長時間点灯
されたときに、集光ミラー１の前方開口側に位置する封
止管部５の口金（以下において「前方口金」ともい
う。）７の温度が２２０〜２５０℃程度まで昇温し、こ
れに伴い、当該封止管部５の温度も２５０〜４００℃程
度に達する。然るに、封止管部がこのような過熱状態と
なると、当該封止管部に埋設されている給電用の通常モ
リブデンよりなる金属箔の酸化反応が大きく進行し、こ
の酸化に伴って金属箔に体積膨張が生ずるために当該封
止管部にクラックが生じ、その結果、水銀放電灯の封体
が破損する、という問題がある。

【０００６】上記のような問題に対して、冷却ファンに
よる冷却風の量を増加させることにより冷却効果を高
め、前方口金および封止管部の温度を低下させることが
考えられる。しかしながら、このような手段では、水銀
放電灯の封体全体の温度が低下してしまうため、当該封
体内に封入されている発光物質である水銀の全部を完全
に蒸発させることができなくなる、という別の問題を生
じる。

【０００７】以上のよう背景から、水銀放電灯の前方口
金に金属板製の冷却用フィンを設けることが提案されて
いる。このフィンは、放射される光を遮断しないよう冷
却風の流れる方向、すなわち集光ミラーの光軸方向に沿
って伸びるよう設けられる。そして、この冷却用フィン
を設けることにより放熱面積が大幅に増加するので、上
記の問題を解決するうえで有効であり、更に集光ミラー
の前方開口が上流となる状態で冷却風を流すことによ
り、一層高い効率で前方口金を冷却することができる。

【０００８】上記のようなショートアーク型水銀放電灯
による光源装置は、例えば液晶ディスプレイ装置の製造
における露光用紫外線光源装置として好適に使用される
が、最近、液晶ディスプレイ装置の大面積化が要求され
ており、これに応えるための光源装置として、大きな面
積の被照射領域の全体に対し、所定の強度のしかも均一
な照度分布で紫外線を照射することのできるものが必要
である。

【０００９】このような光源装置の水銀放電灯として
は、定格消費電力が例えば２．５ｋＷ以上のように大き
なものが必要である。然るに、このように定格消費電力
の大きい水銀放電灯を具えた光源装置においては、前方
口金が十分に冷却されるように集光ミラーの前方開口か
ら冷却風が流れるようにすると、当該水銀放電灯から十
分な強度の紫外線が放射されない場合があり、その原因
について研究したところ、封体内に封入された水銀の全
部が完全に蒸発していないことが判明した。

【００１０】具体的に、その理由は次のとおりであると
考えられる。すなわち、定格消費電力の大きな水銀放電
灯においては、封体内に多量の水銀を封入することが必
要であるところ、多量に封入された水銀が完全に蒸発す
るためには、封体の発光空間を包囲するすべての管壁部
分が十分に高温となっている必要がある。しかし、定格
消費電力の大きい水銀放電灯では、封体の中央膨出部分
の最大外径が大きくなっているためにその放熱面積が相
当に大きく、そのため、前方からの冷却風によって、当
該中央膨出部分の前方を向いた前面領域が過冷却状態と
なってしまい、その結果、封入された水銀の全部が完全
に蒸発しない状態となるのである。然るに、冷却風の量
を減少させると、水銀が完全に蒸発した状態を得ること
はできるが、今度は前方口金の過熱状態を防止すること
ができない。

【００１１】以上のように、従来の光源装置において
は、定格消費電力の大きい水銀放電灯では前方口金およ
び封体の中央膨出部分の両方を適切に冷却することがで
きないという問題点がある。本発明は以上のような事情
に基いてなされたものであって、本発明の目的は、定格
消費電力が３．５ｋＷ以上の水銀放電灯が集光ミラー内
に配置され、集光ミラーの前方開口から流れる冷却風を
発生させる手段を有する光源装置であって、水銀放電灯
を点灯したときに、封入された水銀の全部が完全に蒸発
して十分大きな強度の光放射が得られると共に、当該水
銀放電灯の前方口金の過熱状態を有効に防止することの
できる光源装置を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明の光源装置は、集
光ミラーと、この集光ミラーの光軸に沿って伸びるよう
配置された、中央膨出部分と両端の封止管部とを有する
封体を具えてなり、水銀の封入量が２５ｍｇ／ｃｍ³以
上で、定格消費電力が２．５ｋＷ以上の水銀放電灯と、
集光ミラーの前方開口から中央基部に向かって流れるよ
う冷却風を発生させる冷却風発生手段と、水銀放電灯の
前方側封止管部の口金に設けられた、集光ミラーの前方
開口からの冷却風を光軸から離間するよう外方に偏向さ
せる冷却風偏向部分を有する金属板部材とを有すること
を特徴とする。上記の金属板部材は、光軸に直角な面内
における最大径が、封体の中央膨出部分の外径以下であ
ることが好ましい。また、金属板部材の冷却風偏向部分
は、水銀放電灯の封体の中央膨出部分の前面領域を覆う
カバー部分を有することができる。

【００１３】本発明の構成によれば、水銀放電灯の前方
側封止管部の口金に、冷却風を外方に偏向させる冷却風
偏向部分を有する金属板部材が設けられているため、当
該金属板部材が冷却風によって高い効率で冷却されるよ
うになり、従って水銀放電灯の前方口金が十分に冷却さ
れて当該前方側封止管部が過熱状態となることが確実に
防止される。しかも、金属板部材の冷却風偏向部分によ
り、水銀放電灯の封体の中央膨出部分の前面領域に冷却
風の流れが直接に衝突することが防止されるため、中央
膨出部分に過冷却状態の個所が生ずることがなく、その
結果、封入された水銀の全部が完全に蒸発し、所期の大
きな放射強度が得られる。さらに、当該水銀放電灯の中
央膨出部分は相当に大きいものであるため、集光ミラー
との組合せにおいて、照射される光を大きく犠牲にする
ことなしに、金属板部材の冷却風偏向部分の径が比較的
大きいものを用いることができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について説
明するが、本発明の範囲は、これらによって限定される
ものではない。

【００１５】図１は、本発明の光源装置の一例を示す説
明図である。図１において、１０はショートアーク型水
銀放電灯、２０は金属板部材、３０はランプハウス、４
０はランプハウス３０内に収納された楕円状の集光ミラ
ー、７０は空気吸引口、８１および８２は一対のコール
ドミラー、８３はインテグレータレンズなどを備えた光
学ユニットであり、水銀放電灯１０は集光ミラー４０内
にその光軸に沿って配置されている。

【００１６】集光ミラー４０は、内面に紫外線反射層が
コートされた凹面反射鏡であり、集光ミラー４０の開口
の大きさは、水銀放電灯１０の大きさなどによっても異
なるが、例えば１５０〜４００ｍｍとされる。

【００１７】空気吸引口７０はランプハウス３０の壁面
に設けられ、このランプハウス３０の外部に配置された
吸込式の冷却ファン（図示省略）に接続されている。こ
の空気吸引口７０からランプハウス３０内の空気が排出
されることにより、集光ミラー４０内において、前方開
口から頂部に向かって流れる冷却風が発生する（ランプ
ハウス３０内における冷却風の流れ方向を矢印で示
す）。

【００１８】このような構成の光源装置によれば、水銀
放電灯１０からの放射光は集光ミラー４０を経てあるい
は直接に前方開口から前方に投射され、コールドミラー
８１に到達して反射され、光学ユニット８３およびコー
ルドミラー８２を経てランプハウス３０の照射窓３１か
ら被照射物Ｓに照射される。

【００１９】図２は、本発明の光源装置に組込まれるシ
ョートアーク型水銀放電灯１０の一例を示す説明図であ
る。この例の水銀放電灯１０は、発光空間を形成する中
央膨出部分１１Ａおよびその両側に突出するよう伸びる
棒状の封止管部１１Ｂ，１１Ｃよりなる封体１１を有
し、封体１１の中央膨出部分１１Ａ内において陰極１２
および陽極１３が対向する状態に配置され、封体１１の
封止管部１１Ｂ，１１Ｃの先端には口金１４，１５が設
けられて構成されている。この水銀放電灯１０の前方側
封止管部１１Ｃに係る口金１５には、金属板部材２０が
取り付けられている。

【００２０】図３は、図２の水銀放電灯１０における金
属板部材２０を示す斜視図である。この金属板部材２０
は口金１５の外周に嵌着されるものであり、口金１５の
外径に適合する内径の貫通孔Ｈを有する円管状の固定用
筒部２１と、この固定用筒部２１の外周面から外方に突
出する冷却風偏向部分２２とにより構成され、これらは
アルミニウム、銅などの熱伝導率の高い金属材料によっ
て一体的に形成されている。

【００２１】この金属板部材２０の冷却風偏向部分２２
は、前方から流れて来る冷却風（矢印でその方向が示さ
れている）を光軸から離間するよう、すなわち固定用筒
部２１の半径方向外方に偏向させるよう、固定用筒部２
１の半径方向外方に突出する形態を有するものであれば
よく、その具体的な形状は限定されず、種々の形状とす
ることができる。

【００２２】図示の金属板部材２０は、固定用筒部２１
の中央膨出部分側の端部（冷却風の流れの下流側端部、
図３で下端部）に、軸方向に直角な面に沿って外方に突
出する円形鍔状フィン２２Ａにより冷却風偏向部分２２
が形成され、同時に、各々半径方向外方に放射状に突出
し軸方向に伸びて円形鍔状フィン２２Ａに至る順方向フ
ィンＦが形成されて構成されている。

【００２３】図４〜図６は、それぞれ異なる形態の金属
板部材２０の例を示す。図４の金属板部材２０は、複数
（図の例では３枚）の円形鍔状フィン２２Ａが互いに軸
方向に離間する位置に設けられてなる重層円形鍔状フィ
ンにより冷却風偏向部分２２が形成されて構成されてい
る。図５の金属板部材２０は、固定用筒部２１の外周面
に、半径方向外方に突出し軸方向に次第に変位して螺旋
状に伸びるスクリューフィン２２Ｂにより冷却風偏向部
分２２が形成されて構成されている。

【００２４】図６の金属板部材２０は、固定用筒部２１
の下流側部分の外周面に、中央膨出部分側端部に向かう
に従って次第に半径が大きくなる全体が円錐台状のホー
ン状フィン２２Ｃにより冷却風偏向部分２２が形成され
て構成されている。

【００２５】金属板部材２０を構成する固定用筒部２１
の高さＬは口金１５の高さ（ランプ軸方向における長
さ）の０．５倍〜１．５倍程度であることが好ましい。
この高さＬが過大である場合には、前方に投射される光
が徒に遮断されるために光の利用率が低下する。

【００２６】冷却風偏向部分２２の最大外径、すなわち
軸方向投影像における輪郭の外径Ｒの最大値は、水銀放
電灯１０の中央膨出部分１１の最大外径Ｄ以下とされ、
冷却風偏向部分２２の軸方向投影像は、中央膨出部分１
１の軸方向投影像の領域内に収まることが必要である。
ここにＲ＞Ｄであると、前方に投射される光が大きく遮
断されるために光の利用率が低下する。冷却風偏向部分
２２の最大外径Ｒの寸法および中央膨出部分１１の最大
外径Ｄに対する比率は、冷却風偏向部分２２の具体的な
形態、軸方向の長さ（設置領域の長さ）、当該金属板部
材２０の装着位置、その他の条件によって異なり、また
冷却風の量や流れの状態によっても異なるので、一概に
規定することはできないが、例えばＤに対するＲの比率
は、５〜９０％、好ましくは１０〜８０％、特に２０〜
６０％であることが好ましい。

【００２７】金属板部材２０の冷却風偏向部分２２の肉
厚は例えば０．５〜５ｍｍとされる。この肉厚が０．５
ｍｍより小さい場合には、当該冷却風偏向部分２２の熱
伝導の程度が低いため十分な放熱効果が得られない。ま
た、この肉厚が５ｍｍより大きい場合には、重量が大き
くなる。

【００２８】金属板部材２０の冷却風偏向部分２２が冷
却風の流れに対して直角方向に伸びるものでなく、例え
ば図６のホーン状フィン２２Ｃのように冷却風の下流側
に向かうに従って外方に傾斜する冷却風偏向面を有する
場合には、冷却風を円滑に外方に偏向させる作用を有
し、冷却風の流れが大きく乱されないので好ましい。

【００２９】金属板部材２０の固定用筒部２１を、前方
側封止管部の口金１５に固定するための手段は特に限定
されるものではない。例えば、固定用筒部２１に軸方向
スリットを形成しておき、これを拡開させて水銀放電灯
１０の前方側封止管部の口金１５に嵌着することができ
る。この場合には、固定用筒部２１の復元力によってそ
の内周面が口金１５の外周面に密着した状態が容易に得
られ、良好な熱伝導路が確保される。

【００３０】以上において、固定用筒部２１の内周面
と、口金１５の外周面とが接触していない部分には、そ
の隙間に熱伝導性グリースを充填することが好ましい。
これによって、口金１５から金属板部材２０への熱伝導
性が向上し、口金１５の冷却効果を高めることができ
る。

【００３１】金属板部材２０は、水銀放電灯１０の前方
側封止管部の口金１５の外周面に直接、一体的に形成さ
れていてもよい。この場合には、金属板部材２０は、固
定用の部分が不要であるから、固定用筒部２１を有さず
に冷却風偏向部分２２のみからなるものとすることがで
きる。このように、口金自体に冷却風偏向部分が形成さ
れている場合には、良好な熱伝導状態が得られるので、
一層高い冷却効果が得られる。

【００３２】上記のような構成の光源装置によれば、水
銀放電灯１０が定格消費電力の大きいものである場合に
も、当該水銀放電灯１０の前方側封止管部１１Ｃは、そ
の口金１５に設けられた金属板部材２０の冷却風偏向部
分２２が効率的に冷却風の作用を受けるために十分に高
い冷却効果で冷却され、従って当該封止管部１１Ｃが過
熱状態となることが有効にかつ確実に防止されるので、
封止管部１１Ｃにおけるクラックなどの発生を防止する
ことができる。しかも、金属板部材２０は冷却風偏向部
分２２を有することにより、前方からの冷却風が光軸方
向から外方に向かって偏向されるので、水銀放電灯１０
の中央膨出部分１１Ａの前面領域が過冷却状態となるこ
とが有効に防止され、その結果、封体１１内に封入され
た水銀の全部が完全に蒸発するので、常に所期の十分な
放射強度の発光を得ることができる。

【００３３】金属板部材２０が図６に示されているよう
なホーン状フィン２２Ｃを有する場合には、図７に示す
ように、当該金属板部材２０を水銀放電灯１０の中央膨
出部分１１に接近させて配置することにより、当該ホー
ン状フィン２２Ｃ内に中央膨出部分１１の前面領域１１
Ｆが収容された状態となり、当該ホーン状フィン２２Ｃ
により当該前面領域１１ＦがギャップＧを介して蔽われ
た状態となるが、この状態において、例えばギャップＧ
の寸法を十分に小さく、例えば５ｍｍ以下に設定する
と、上述の効果に加え、ホーン状フィン２２Ｃが中央膨
出部分１１の前面領域１１Ｆに対して保温作用を発揮す
る効果を得ることができる。

【００３４】本発明において、金属板部材は、集光ミラ
ーの前方開口からの冷却風を光軸から外方に偏向させる
冷却風偏向部分を有するものであればよいので、種々の
形態とすることができる。例えば、図３〜図６に示され
ている金属板部材２０の冷却風偏向部分２２は、いずれ
も固定用筒部２１の周方向に３６０度にわたって連続す
る形状を有するが、周方向において分割されたものであ
ってもよく、また冷却風偏向部分には、適宜スリットや
貫通孔が形成されていてもよい。また図４の例のよう
に、複数の冷却風偏向部分２２を軸方向に重なる状態で
設けることもできる。更に、冷却風偏向部分を含む金属
板部材の表面には微小凹凸形成加工を施すことも可能で
ある。

【００３５】

【実施例】図１に示した構成に従って本発明の光源装置
を製造した。この光源装置の具体的詳細は以下のとおり
である。

【００３６】〔イ〕ランプハウス（３０）の大きさは、
高さ５００ｍｍ、幅１０００ｍｍ、奥行４００ｍｍ、内
容積が２００，０００ｃｍ³である。〔ロ〕集光ミラー（４０）の開口の大きさ（径）は３０
０ｍｍである。〔ハ〕水銀放電灯（１０）は、図２に示したようなショ
ートアーク型の超高圧水銀ランプであって、定格消費電
力が３．０ｋＷ、封体の長さが８５ｍｍ、封体の中央膨
出部分の最大外径が８０ｍｍ、封体の内容積が２２０ｃ
ｍ³であり、水銀の封入量が３０ｍｇ／ｃｍ³のもので
ある。

【００３７】水銀放電灯（１０）の集光ミラーの開口側
に位置する口金（１５）には、図３に示した構成の金属
板部材（２０）が取り付けられている。この金属板部材
はアルミニウム製であり、固定用筒部（２１）は、その
高さが５０ｍｍ、内径が３３ｍｍ、肉厚が１ｍｍであ
り、円形鍔部２２Ａの直径が４５ｍｍ、肉厚が１ｍｍで
あり、順方向フィン（Ｆ）の枚数は４枚、肉厚が１ｍ
ｍ、突出長さが５ｍｍである。〔ニ〕空気吸引口（７０）からの排気量、すなわち、冷
却ファンによる冷却風の送風量は毎秒０．１ｍ³に設定
した。

【００３８】上記の光源装置の冷却ファンを動作させる
と共に水銀放電灯を点灯し、点灯を開始してから３０分
間経過後における口金（１５）の表面温度を測定したと
ころ１７０℃であった。また、ランプハウスの照射窓
（３１）から１００ｍｍ離間したところに照度計を配置
してｇ線（波長４３６ｎｍの紫外線）の放射照度を測定
したところ１５０ｍＷ／ｃｍ²であった。

【００３９】＜対照実験例１＞口金（１５）の金属板部
材を取り外した水銀放電灯を用いたこと以外は、上記の
実験例と同様にして口金温度および照度を測定したとこ
ろ、口金温度は２２０℃、放射照度は１００〜１２０ｍ
Ｗ／ｃｍ²の範囲で変動した。これは、冷却風によって
封体が過冷却されてしまうために、封入した水銀の一部
が未蒸発の状態であり、その結果、放電が不安定になっ
たものと考えられる。

【００４０】＜対照実験例２＞口金（１５）の金属板部
材において、円形鍔状フィン２２Ａを除去して順方向フ
ィンＦのみとした水銀放電灯を用いたこと以外は、上記
の実験例と同様にして口金温度および照度を測定したと
ころ、口金温度は１６０℃、放射照度は１００〜１２０
ｍＷ／ｃｍ²の範囲で変動した。この理由も、対照実験
例１の場合と同様であると考えられる。

【００４１】＜評価＞以上の実験例および対照実験例か
ら、次のことが理解される。（１）金属板部材を取り付けることにより、点灯時にお
ける水銀放電灯の前方口金の温度を２２０℃から１７０
℃以下にまで低下させることができ、当該口金に係る封
止管部における金属箔の酸化を有効に防止できる。（２）外方に伸びる冷却風偏向部分を有する金属板部材
を取り付けるので、口金の温度を２００℃以下に維持し
ながらしかも封体が過冷却状態となることが防止されて
封入した水銀が完全に蒸発した状態が得られるので、高
い放射照度を得ることができる。（３）冷却風の流れに沿って伸びるフィンのみでは、封
体が過冷却状態となって封入された水銀の全部が完全に
蒸発しないため、大きな放射照度を得ることができな
い。

【００４２】

【発明の効果】本発明の構成によれば、水銀放電灯の前
方側封止管部の口金に、冷却風を外方に偏向させる冷却
風偏向部分を有する金属板部材が設けられているため、
当該金属板部材が冷却風によって高い効率で冷却される
ようになり、従って水銀放電灯の前方口金が十分に冷却
されて当該前方側封止管部が過熱状態となることが確実
に防止される。しかも、金属板部材の冷却風偏向部分に
より、水銀放電灯の封体の中央膨出部分の前面領域に冷
却風の流れが直接に衝突することが防止されるため、中
央膨出部分に過冷却状態の個所が生ずることがなく、そ
の結果、封入された水銀の全部が完全に蒸発し、所期の
大きな放射強度が得られる。さらに、当該水銀放電灯の
中央膨出部分は相当に大きいものであるため、集光ミラ
ーとの組合せにおいて、照射される光を大きく犠牲にす
ることなしに、金属板部材の冷却風偏向部分の径が比較
的大きいものを用いることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の光源装置の一例の構成を示す説明図で
ある。

【図２】本発明の光源装置の水銀放電灯の構成の一例を
示す説明図である。

【図３】金属板部材の一例を示す斜視図である。

【図４】金属板部材の他の例を示す斜視図である。

【図５】金属板部材の更に他の例を示す斜視図である。

【図６】金属板部材の他の例を示す斜視図である。

【図７】ホーン状フィンを有する金属板部材による例を
を示す説明図である。

【図８】従来の光源装置の要部を示す説明図である。

【符合の説明】

１集光ミラー２水銀放電灯３中央膨出部分４，５封止管部６，７口金１０水銀放電灯１１封体１１Ａ中央膨出部分１１Ｂ，１１Ｃ封止管部１１Ｆ前面領域１２陰極１３陽極１４，１５口金２０金属板部材２１固定用筒部２２冷却風偏向部分２２Ａ円形鍔状フィン２２Ｂスクリューフィン２２Ｃホーン状フィン３０ランプハウス３１照射窓４０集光ミラー７０空気吸引口８１，８２コールドミラー８３光学ユニットＦ順方向フィンＧギャップＨ貫通孔Ｓ被照射物

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者嶋利之兵庫県姫路市別所町佐土1194番地ウシオ電機株式会社内 (72)発明者森本真吉兵庫県姫路市別所町佐土1194番地ウシオ電機株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】集光ミラーと、この集光ミラーの光軸に沿って伸びるよう配置された、
中央膨出部分と両端の封止管部とを有する封体を具えて
なり、水銀の封入量が２５ｍｇ／ｃｍ³以上で、定格消
費電力が２．５ｋＷ以上の水銀放電灯と、集光ミラーの前方開口から中央基部に向かって流れるよ
う冷却風を発生させる冷却風発生手段と、水銀放電灯の前方側封止管部の口金に設けられた、集光
ミラーの前方開口からの冷却風を光軸から離間するよう
外方に偏向させる冷却風偏向部分を有する金属板部材と
を有することを特徴とする光源装置。
【請求項２】集光ミラーの光軸に直角な面内における
金属板部材の最大径が、封体の中央膨出部分の最大外径
以下である請求項１に記載の光源装置。
【請求項３】金属板部材の冷却風偏向部分が、水銀放
電灯の封体の中央膨出部分の前面領域を覆うカバー部分
を有する請求項１または請求項２に記載の光源装置。