JP5271855B2 - 防風部材を備えた照明装置 - Google Patents
防風部材を備えた照明装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5271855B2 JP5271855B2 JP2009219453A JP2009219453A JP5271855B2 JP 5271855 B2 JP5271855 B2 JP 5271855B2 JP 2009219453 A JP2009219453 A JP 2009219453A JP 2009219453 A JP2009219453 A JP 2009219453A JP 5271855 B2 JP5271855 B2 JP 5271855B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- sealing
- discharge
- discharge tube
- sealing tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005286 illumination Methods 0.000 title claims description 30
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 142
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 21
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 32
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 18
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 18
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 18
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 8
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 241000680172 Platytroctidae Species 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Projection Apparatus (AREA)
- Arrangement Of Elements, Cooling, Sealing, Or The Like Of Lighting Devices (AREA)
- Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
12 放電管
12T 肩部
12V 末広部分
13A 封止管(一方の封止管)
13K 封止管の端部
30 反射ミラー(照明光学系)
30P 開口部
40、40’ 防風板(防風部材、筒状部材)
40T 防風板の端部
D1 肩部の外径
D2 防風板の内径
Q 曲率変更部分
Claims (13)
- 放電管と、前記放電管の両側に連設する一対の封止管とを備えた放電ランプと、
前記放電管を囲み、一方の封止管を挿通させる開口部が形成された凹型の照明光学系と、
前記開口部から突出する前記一方の封止管を覆う筒状の防風部材とを備え、
前記放電管が、前記封止管との接続部分において、前記封止管の接続部外径よりも相対的に外径の大きい肩部を有し、
前記防風部材の端部が、前記肩部よりも封止管側に位置し、
前記防風部材の内径が、前記肩部の外径以上であることを特徴とする照明装置。 - 前記防風部材の端部が、放電ランプ軸方向に関して前記一方の封止管の先端部とほぼ同じ位置にあることを特徴とする請求項1に記載の照明装置。
- 前記放電管が管球形状であって、
前記防風部材の内径が、封止管端部側から放電管中心側に向けて径変化率が増加から減少に変わる曲率変更部分における放電管外径以下であることを特徴とする請求項1に記載の照明装置。 - 前記防風部材の内径が、前記一方の封止管に取り付けられる口金の最大外径よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の照明装置。
- 前記防風部材が、通気口を有することを特徴とする請求項1に記載の照明装置。
- 前記防風部材が、半円筒を組み合わせることによって構成されることを特徴とする請求項1に記載の照明装置。
- 前記照明光学系の開放部が、鉛直上方を向くように設置されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の照明装置。
- 前記一対の封止管に向けてエアを吐出するエア吐出手段をさらに有することを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の照明装置。
- 請求項1に記載されている照明装置を備えた露光装置。
- 肩部を有する放電管と、前記放電管の両側に連設する一対の封止管とを備えた放電ランプに対する防風部材であって、
凹型照明光学系に挿通された一方の封止管周りに同軸配置される筒状部材を備え、
前記筒状部材の端部が、放電ランプ軸方向に関して前記肩部よりも封止管側に位置し、
前記筒状部材の内径が、前記肩部の外径以上であることを特徴とする放電ランプ用防風部材。 - 中央部が膨らんでいる放電管と、前記放電管の両側に連設する一対の封止管とを備えた放電ランプと、
前記放電管を囲み、一方の封止管を挿通させる開口部が形成された凹型の照明光学系と、
前記開口部から突出する前記一方の封止管を覆う筒状の防風部材とを備え、
前記放電管が、前記封止管との接続部分と、封止管端部側から放電管中心側に向けて径変化率が増加から減少に変わる曲率変更部分とを両端部とする末広部分を有し、
前記防風部材の端部が、前記曲率変更部分よりも封止管側に位置し、
前記防風部材の内径が、前記曲率変更部分における放電管外径以下であることを特徴とする照明装置。 - 前記防風部材の端部が、前記放電管と前記封止管との接続部から前記放電管側までの範囲に位置することを特徴とする請求項11に記載の照明装置。
- 中央部が膨らみ、封止管との接続部分と、封止管端部側から放電管中心側に向けて径変化率が増加から減少に変わる曲率変更部分とを両端部とする末広部分を有する放電管と、前記放電管の両側に連設する一対の封止管とを備えた放電ランプに対する防風部材であって、
凹型照明光学系に挿通された一方の封止管周りに同軸配置される筒状部材を備え、
前記防風部材の端部が、電極軸方向に関して前記曲率変更部分よりも封止管側に位置し、
前記防風部材の内径が、前記曲率変更部分における放電管外径以下であることを特徴とする放電ランプ用防風部材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009219453A JP5271855B2 (ja) | 2009-09-24 | 2009-09-24 | 防風部材を備えた照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009219453A JP5271855B2 (ja) | 2009-09-24 | 2009-09-24 | 防風部材を備えた照明装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011070833A JP2011070833A (ja) | 2011-04-07 |
JP5271855B2 true JP5271855B2 (ja) | 2013-08-21 |
Family
ID=44015936
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009219453A Active JP5271855B2 (ja) | 2009-09-24 | 2009-09-24 | 防風部材を備えた照明装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5271855B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6523868B2 (ja) * | 2015-08-25 | 2019-06-05 | 株式会社オーク製作所 | 防風部材を備えた照明装置 |
JP7210269B2 (ja) * | 2018-12-26 | 2023-01-23 | 株式会社オーク製作所 | 放電ランプ及び照明装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3381566B2 (ja) * | 1997-07-18 | 2003-03-04 | ウシオ電機株式会社 | 光源ユニット |
JP3744223B2 (ja) * | 1998-09-08 | 2006-02-08 | ウシオ電機株式会社 | 光源装置 |
JP3827492B2 (ja) * | 1999-11-01 | 2006-09-27 | 株式会社オーク製作所 | 放電灯 |
JP2003123529A (ja) * | 2001-10-18 | 2003-04-25 | Ushio Inc | 光源ユニット |
JP2010244821A (ja) * | 2009-04-06 | 2010-10-28 | Ushio Inc | 光照射装置 |
-
2009
- 2009-09-24 JP JP2009219453A patent/JP5271855B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011070833A (ja) | 2011-04-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI434317B (zh) | 放電燈用之電極結構 | |
KR100428959B1 (ko) | 광원장치 | |
JP4947370B2 (ja) | 紫外線光源装置 | |
JP5271855B2 (ja) | 防風部材を備えた照明装置 | |
JP4453621B2 (ja) | 光源装置 | |
JP2009129590A (ja) | 光源装置 | |
JP5363174B2 (ja) | ショートアーク型放電灯 | |
CN103189954B (zh) | 气体放电灯、气体放电灯用电极及其制造方法 | |
JP4556656B2 (ja) | ショートアーク型水銀ランプ | |
JP4946842B2 (ja) | ショートアーク型放電ランプおよび当該ショートアーク型放電ランプを備えた光源装置 | |
KR20190111045A (ko) | 고압 방전 램프 | |
JP2006012672A (ja) | ショートアーク型放電ランプ | |
US8841843B2 (en) | Short arc type mercury lamp | |
JP2006210237A (ja) | 放電ランプ | |
JP6523868B2 (ja) | 防風部材を備えた照明装置 | |
JP6971703B2 (ja) | 放電ランプ、放電ランプ用電極および放電ランプ用電極の製造方法 | |
US8203268B2 (en) | Discharge lamp with a reflective mirror with optimized electrode configuration | |
JP2007305460A (ja) | ランプ装置 | |
JP4222258B2 (ja) | ショートアーク型放電ランプ | |
JP5258473B2 (ja) | ショートアーク型放電ランプ | |
JP7210269B2 (ja) | 放電ランプ及び照明装置 | |
KR101120722B1 (ko) | 고압 방전 램프 및 그 제조 방법 및 광 조사 장치 | |
JP2021022503A (ja) | 放電ランプ | |
JP2010182613A (ja) | 光源装置 | |
JP2018092860A (ja) | 放電ランプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120514 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130430 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130507 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130513 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5271855 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |