JP2011070833A - 防風部材を備えた照明装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ショートアーク型放電ランプ10、反射ミラー30を備えた照明装置において、反射ミラー30の開口部30Pから突出する放電ランプ10の封止管13Aに対し、筒状防風板40を同軸的に配置する。防風板40の端部40Tの位置を、封止管13Aの端部13Kと一致させ、防風板40の内径D2を、放電管12の肩部12T以上の大きさに定める。
【選択図】図2
Description
12 放電管
12T 肩部
12V 末広部分
13A 封止管(一方の封止管)
13K 封止管の端部
30 反射ミラー(照明光学系)
30P 開口部
40、40’ 防風板(防風部材、筒状部材)
40T 防風板の端部
D1 肩部の外径
D2 防風板の内径
Q 曲率変更部分
Claims (13)
- 放電管と、前記放電管の両側に連設する一対の封止管とを備えた放電ランプと、
前記放電管を囲み、一方の封止管を挿通させる開口部が形成された凹型の照明光学系と、
前記開口部から突出する前記一方の封止管を覆う筒状の防風部材とを備え、
前記放電管が、前記封止管との接続部分において、前記封止管の接続部外径よりも相対的に外径の大きい肩部を有し、
前記防風部材の端部が、前記肩部よりも封止管側に位置し、
前記防風部材の内径が、前記肩部の外径以上であることを特徴とする照明装置。 - 前記防風部材の端部が、放電ランプ軸方向に関して前記一方の封止管の先端部とほぼ同じ位置にあることを特徴とする請求項1に記載の照明装置。
- 前記放電管が管球形状であって、
前記防風部材の内径が、封止管端部側から放電管中心側に向けて径変化率が増加から減少に変わる曲率変更部分における放電管外径以下であることを特徴とする請求項1に記載の照明装置。 - 前記防風部材の内径が、前記一方の封止管に取り付けられる口金の最大外径よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の照明装置。
- 前記防風部材が、通気口を有することを特徴とする請求項1に記載の照明装置。
- 前記防風部材が、半円筒を組み合わせることによって構成されることを特徴とする請求項1に記載の照明装置。
- 前記照明光学系の開放部が、鉛直上方を向くように設置されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の照明装置。
- 前記一対の封止管に向けてエアを吐出するエア吐出手段をさらに有することを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の照明装置。
- 請求項1に記載されている照明装置を備えた露光装置。
- 肩部を有する放電管と、前記放電管の両側に連設する一対の封止管とを備えた放電ランプに対する防風部材であって、
凹型照明光学系に挿通された一方の封止管周りに同軸配置される筒状部材を備え、
前記筒状部材の端部が、放電ランプ軸方向に関して前記肩部よりも封止管側に位置し、
前記筒状部材の内径が、前記肩部の外径以上であることを特徴とする放電ランプ用防風部材。 - 中央部が膨らんでいる放電管と、前記放電管の両側に連設する一対の封止管とを備えた放電ランプと、
前記放電管を囲み、一方の封止管を挿通させる開口部が形成された凹型の照明光学系と、
前記開口部から突出する前記一方の封止管を覆う筒状の防風部材とを備え、
前記放電管が、前記封止管との接続部分と、封止管端部側から放電管中心側に向けて径変化率が増加から減少に変わる曲率変更部分とを両端部とする末広部分を有し、
前記防風部材の端部が、前記曲率変更部分よりも封止管側に位置し、
前記防風部材の内径が、前記曲率変更部分における放電管外径以下であることを特徴とする照明装置。 - 前記防風部材の端部が、前記放電管と前記封止管との接続部から前記放電管側までの範囲に位置することを特徴とする請求項11に記載の照明装置。
- 中央部が膨らみ、封止管との接続部分と、封止管端部側から放電管中心側に向けて径変化率が増加から減少に変わる曲率変更部分とを両端部とする末広部分を有する放電管と、前記放電管の両側に連設する一対の封止管とを備えた放電ランプに対する防風部材であって、
凹型照明光学系に挿通された一方の封止管周りに同軸配置される筒状部材を備え、
前記防風部材の端部が、電極軸方向に関して前記曲率変更部分よりも封止管側に位置し、
前記防風部材の内径が、前記曲率変更部分における放電管外径以下であることを特徴とする放電ランプ用防風部材。
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