JP5055632B2 - 放電ランプ、光源装置、露光装置、及び露光装置の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明はこのような事情に鑑み、取り付け機構に対する放電ランプの装着等を容易に、かつ短時間に行うことができる光源装置を提供することを第1の目的とする。
さらに、本発明は、そのような光源装置に適用できる放電ランプ、及びその光源装置を用いる露光技術を提供することをも目的とする。
また、本発明の態様による露光装置は、光源装置から発生した露光光によって感光基板にパターンを露光する露光装置であって、その光源装置として本発明の光源装置(30)を備えたものである。
なお、以上の本発明の所定要素に付した括弧付き符号は、本発明の一実施形態を示す図面中の部材に対応しているが、各符号は本発明を分かり易くするために本発明の要素を例示したに過ぎず、本発明をその実施形態の構成に限定するものではない。
また、本発明の放電ランプは、本発明の第1、第2、又は第3の態様による光源装置の放電ランプとして使用できる。
図1は、本例の露光光源30(光源装置)を備えた投影露光装置(露光装置)を示し、この図1において、アーク放電型の水銀ランプよりなる放電ランプ1が、取り付け装置31(保持装置)を介して絶縁状態で固定板29に固定されている。また、放電ランプ1の陰極及び陽極が可撓性を持つ電力ケーブル33A及び33Bを介して電源34に接続され、放電ランプ1のバルブ部を囲むように楕円鏡2(集光ミラー)が不図示のブラケットに固定されている。放電ランプ1のバルブ部内の発光部は、一例として楕円鏡2の第1焦点付近に配置されている。放電ランプ1、楕円鏡2、取り付け装置31、電力ケーブル33A,33B、及び電源34を含んで露光光源30が構成されている(詳細後述)。
図2(A)は、図1の露光光源30中の放電ランプ1を示す一部を切り欠いた図であり、この図2(A)において、放電ランプ1は、バルブ部25a及びこれを挟むように固定されたほぼ対称で円筒状の2つの棒状部25b,25cからなるガラス管25と、一方の棒状部25bの端部に連結された口金部26と、他方の外側に向けて段階的に直径が小さくなる棒状部25cの端部に連結された口金部28とを備えている。そのバルブ部25a内に発光部を形成するための陽極EL1及び陰極EL2が対向して固定され、陰極EL2及び陽極EL1はそれぞれ口金部26及び28に接続され、口金部26及び28は電気伝導率及び熱伝導率の良好な金属製である。口金部26、ガラス管25、及び口金部28は、ガラス管25の棒状部25b,25cの中心軸を結び発光部の中心を通る一つの直線上に配置されている。その棒状部25b,25cの中心軸を結ぶ直線に平行な方向が放電ランプ1の長手方向Lである。
この場合、軸部26b及び小径部26kはそれぞれ長手方向Lに平行な軸を中心とした円形断面を有し、その小径部26kの円形断面の直径は、軸部26bの円形断面の直径の1/2以下(例えば1/3程度)であることが望ましい。これによって、その付勢機構の一部を凹部26fに大きく差し込むことができ、被押圧面26gを口金部26の開放端側に大きい力で容易に付勢できる。
LT1/5≦LT2≦LT1/4 …(1)
長さLT2が式(1)の下限以上であることによって、放電ランプ1を口金部26を介して十分な力で安定に図1の取り付け装置31で保持することができるとともに、口金部26の冷却効果を高めることができる。さらに、長さLT2が式(1)の上限以下であることによって、放電ランプ1全体の長さ及び重量を許容範囲内に収めることが容易になる。なお、他方の自由端側の口金部28の長手方向Lの長さLT3は、例えば長さLT1の1/8以上で1/5以下(一例として長さLT1の0.15倍程度)である。
より実用的には、軸部26bの表面で対応する部材の開口と嵌合する部分の面積は、溝部26dの面積の2倍よりも広い(一例として3倍程度である。)ことが望ましい。これは、次式が成立することを意味する。これによって、軸部26bに対する保持力をさらに高め、かつ比較的高い冷却効果も得られる。
一方、図2(A)の陽極EL1に接続された口金部28は、棒状部25c側から開放端側に順に、棒状部25cの最大直径より僅かに大きい外径の薄い輪帯部28hと、輪帯部28hとほぼ同じ外径、あるいは輪帯部28hより小さい外径を有する円柱状の軸部28cと、軸部28cの開放端側の面を僅かな空間28dを隔てて覆い、かつ軸部28cに嵌合する円筒状のカバー部28bとを備える。さらに、円筒状のカバー部28bには、その外径が軸部28cの1/3程度の円筒状の端子部28aが形成されている。軸部28cの表面には、開放端側から輪帯部28hにかけて長手方向Lに平行な軸の周りに螺旋状に溝部28fが形成されている。輪帯部28hと軸部28cとの間には、凹部28gが形成されており、軸部28cの溝28fは、この凹部28gに連通している。
また、端子部28aの内部には、端子部28の外部と、カバー部28bの内部、すなわち、空間28dとを連通する流通穴28eが形成されている。円筒状のカバー部28bは、電気伝導率及び熱伝導率の良好な金属で形成されている。
図4に示すように、上板45の上面に位置決め板50を囲むように配置された3箇所の開口を覆うように、ボルト39Cを用いてほぼ逆U字型の止め具38A,38B,38Cが固定され、止め具38A〜38Cの中央にそれぞれボルト39Bを用いて図5のガイド部材37A〜37Cの先端が固定されている。さらに、止め具38A〜38Cと連結部材42A〜42Cとの間に、それぞれガイド部材37A〜37Cを覆うように圧縮コイルばね44A,44B,44C(図5参照)が装着されている。この結果、移動部材41の駆動部41dには、3箇所の連結部材42A〜42Cを介して圧縮コイルばね44A〜44Cによって移動方向Dに沿って底板36側に押圧力F1が常時加えられている。従って、移動部材41の輪帯部41aに固定された昇降部材48A,48Bに、後述の切替用リンク機構63によって上板45側に向かう駆動力を加えない限り、移動部材41は円筒部材52に沿って底板36側に移動する。
図3において、パネル板47Cのほぼ中央に絶縁材料からなる回転レバー部64が固定され、パネル板47Cの内側の回転レバー部64の先端に移動方向Dに直交する駆動方向Eに移動可能に可動ロッド65が連結され、可動ロッド65の先端に平面視がほぼU字型の分岐部材66が固定されている。本例では、一例として回転レバー部64をオペレータが手動で回転することによって、それに連動して可動ロッド65が駆動方向Eに移動する。なお、可動ロッド65を移動する機構は任意であり、例えば回転レバー部64を用いることなく、延長した可動ロッド65をオペレータが直接操作してもよい。また、駆動方向Eは移動方向Dに直交していなくともよく、例えば移動方向Dにほぼ平行であってもよい。
図10(A)及び(B)は、図3において、切替用リンク機構63の手前側のリンク部材67B,68B等を表示した図に相当し、かつ取り付け装置31に放電ランプ1の口金部26が保持されている状態を示し、図10(A)のように、回転レバー部64を操作して可動ロッド65を駆動方向Eに沿って右端部まで移動した状態では、リンク部材67B(図5のリンク部材67Aも同様)がほぼ可動ロッド65に平行になり、移動部材41は移動方向Dに沿って最下端まで降下する。この結果、図3の固定用アーム55Aのローラ61が口金部26の固定部26hを下方に付勢して、口金部26は安定に保持される。
図8は、放電ランプ1を取り付け装置31に装着した状態を示す図、図9は図8中の放電ランプ1の口金部26及び取り付け装置31を示す拡大図、図10(A)及び(B)は図3に対応させて切替用リンク機構63の動作を示す図である。
また、本例の取り付け装置31は、図9に示すように、移動方向Dに対して傾斜した内面(テーパ面)を持つ傾斜部41bを有し、圧縮コイルばね44A〜44Cの弾性力が作用して移動方向Dに沿って移動する移動部材41と、傾斜部41bの内面と当接して移動部材41の移動方向Dの移動を口金部26の凹部26fへの挿入方向の移動に変換し、先端のローラ61が凹部26fに挿入される固定用アーム55A〜55Cとを有し、固定用アーム55Aによって被押圧面26gを付勢しているため、容易に口金部26に移動方向Dの押圧力を与えることができる。
その製造方法の一例は、図1の放電ランプ1の2つの電極間の放電により発生した光によってウエハWにレチクルRのパターンの像を露光する投影露光装置の製造方法であって、放電ランプ1を保持するための図8に示す取り付け装置31に、放電ランプ1の一方の口金部26を介して放電ランプ1を装着するステップS1と、放電ランプ1の他方の口金部28の端子部28aに電力ケーブル33B(用力ケーブル)を接続するステップS2と、そのように装着された放電ランプ1の口金部26を取り付け装置31に装着された状態で冷却するステップS3とを備えている。これによって、放電ランプ1を効率的に冷却できる。
また、さらに電力ケーブル33Bが接続された口金部28を、電力ケーブル33Bを介して供給された冷却用液体により冷却するステップS4を含むこともできる。これによって、口金部28も冷却され、ひいては放電ランプ1のガラス管25も効率的に冷却できる。
一方、図12(D)の放電ランプ1Hは、その口金部26Hの軸部26bのフランジ部26aの近傍に切り欠き部26cが形成され、この切り欠き部26cに連通するように、軸部26bの表面に多条ねじ(本例では2条ねじ)状に螺旋状の複数の平行な溝部26Hdが形成されている点が、図11(B)の放電ランプ1Bと異なっている。これらの放電ランプ1G(又は1H)は、2つの溝部26d,26Gd(又は複数の溝部26Hd)に沿って冷却された気体が流れるため、特に冷却効果に優れている。
次に、図14(A)の放電ランプ1Lは、その口金部26Lの軸部26bのフランジ部26aの近傍に切り欠き部26cが形成され、この切り欠き部26cに連通するように、軸部26bの表面に回転方向が異なる2つの多条ねじ(例えば2条ねじ等)の螺旋状の複数の溝部26Ld及び26Hdが交差して形成されている点が、図11(B)の放電ランプ1Bと異なっている。
なお、流体路26Qdは、口金部26Qの外側面ではなく、副口金部26Sの内側面に形成してもよい。
これに伴い、口金部26AAを図3の取り付け装置31に装着したときに、図9の送風装置71から図3の位置決め板50の通気孔50cに供給された冷却された気体(冷却用媒体)が、冷却部として作用するロッド部26b2の表面に流れるように、通気孔50cは、ロッド部26b2のうち、軸部分26b1の近傍に対向するように配置される。そして、通気孔50cから供給された気体は、ロッド部26b2の軸部分26b1側から小径部26kに向かって流れる。本実施形態の放電ランプ1AAを取り付け装置31に装着する場合には、予め通気孔50cの位置がロッド部26b2に対向するように調整しておけばよい。なお、本実施形態では、通気孔50cから供給される気体は、直接、軸部分26b1に接触することがないが、ロッド部26b2を介して、軸部分26b1を冷却することが可能である。この他の構成は、図11(A)の放電ランプ1Aと同様である。
なお、図18(B)の放電ランプ1ABの口金部26ABで示すように、軸部26bの下方のロッド部26b2の表面に螺旋状の溝部26Adを形成してもよい。これによって、ロッド部26b2の気体との接触面積が大きくなるため、口金部26ABに対する冷却効果が大きくなる。
また、ロッド部26b2の表面には、図11(A)〜(D)、図12(A)〜(D)、図14(A)、(B)、図15(A)、(B)の軸部26bに形成された立体構造を適用できることは言うまでもない。
図18(A)、(B)の放電ランプ1AA、1ABでは、取り付け装置31の円筒部材52に嵌合する部分(軸部分26b1)に、溝が形成されていなくともロッド部26b2の表面に送風される気体によって、効率的に冷却することができる。
この場合、フランジ部26a等、及び付勢対象となる部分が、円盤形状を包含する形状を有するとは、それらの外面の少なくとも一部が円盤形状に内接するとともに、それらの内部に貫通孔(ねじ穴を含む)又は開いた穴等が形成されていてもよいことを意味する。また、その軸部26bがその円柱形状に外接するとは、軸部26bの形状が、その円柱形状に対しその半径方向に、はみ出さない形状であって、かつ軸部26bの外形端(外側面)が、複数箇所で、その円柱形状の側面に接することを言う。また、その立体的な構造が、その軸部26bと空気との接触面積を増大せしめるとは、その軸部26bの空気との接触面積を、その半径R2を有する円柱形状の側面よりも大きくすることを言う。この場合、その立体的な構造がその軸部26b内に設けられる流体路26Pd,26Qdであるときには、その立体的な構造が、その軸部26bと空気との接触面積を増大せしめるとは、その軸部26bの側面の面積と、その流体路26Pd,26Qdの内面の面積との和が、その半径R2を有する円柱形状の側面の面積よりも、大きくなることを言う。
また、立体的な構造が、図15(C)、(D)の流体路26Pd,26Qdのような軸部26bの内部に設けられた流体路である場合には、放電ランプ1P,1Qの口金部26P,26Qの軸部26bと図3の取り付け装置31の円筒部材52との接触面積を増大させて、口金部26P,26Qをより安定に保持できるとともに、放電ランプ1P,1Qの冷却も効率的に行うことができる。
なお、上述した立体的な構造は、取り付け装置31に放電ランプが装着された際に、冷却用の媒体(例えば、気体)が接触する冷却部と言うことができる。この冷却部は、立体的な構造に限らず、図18(A)のロッド部26b2のように、嵌合部としての軸部分26b1の直径よりも小さい直径で形成され、かつなだらかな表面を有するものも含まれる。
また、本発明は、半導体デバイス製造用の露光装置に限らず、液晶表示素子やプラズマディスプレイなどを含むディスプレイの製造に用いられる、デバイスパターンをガラスプレート上に転写する露光装置、薄膜磁気ヘッドの製造に用いられるデバイスパターンをセラミックスウエハ上に転写する露光装置、並びに撮像素子(CCDなど)、有機EL、マイクロマシーン、MEMS(Microelectromechanical Systems)、及びDNAチップなどの製造に用いられる露光装置などにも適用することができる。また、半導体素子などのマイクロデバイスだけでなく、光露光装置及びEUV露光装置などで使用されるマスクを製造するために、ガラス基板又はシリコンウエハなどに回路パターンを転写する露光装置にも本発明を適用できる。
このように本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を取り得る。また、明細書、特許請求の範囲、図面、及び要約を含む2006年9月1日付け提出の日本国特願2006−237252、2007年1月15日付け提出の日本国特願2007−006462、及び2007年5月11日付け提出の日本国特願2007−127451の全ての開示内容は、そっくりそのまま引用して本願に組み込まれている。
Claims (66)
- 発光部を形成するガラス部材と、該ガラス部材に連結された口金部材とを備えた放電ランプであって、
前記放電ランプは、該放電ランプとは別個に設けられた保持部材に前記口金部材を介して着脱可能に保持され、
前記口金部材は、
前記保持部材と当接して前記保持部材に対する前記発光部の第1方向における位置を規定する当接部と、
前記口金部材の開放端近傍に設けられた凹部を備え、前記当接部を前記第1方向に沿って前記保持部材に押圧する押圧力が付勢される被付勢部と、
前記当接部と前記被付勢部との間に備えられ、前記保持部材と嵌合する嵌合部と、
前記嵌合部に備えられ、かつ前記凹部に連通し、前記当接部近傍から前記被付勢部に至る冷却用媒体の流路を前記保持部材との間で構成する溝部と
を有することを特徴とする放電ランプ。 - 前記口金部材は、前記口金部材の開放端近傍に前記凹部を設けることによって形成された小径部を有し、前記小径部は、前記第1方向と直交する面における前記嵌合部の断面積よりも小さい断面積を有することを特徴とする請求項1に記載の放電ランプ。
- 前記嵌合部と前記小径部とは、いずれも前記第1方向と平行な軸を中心とした円形断面を有し、
前記小径部の直径は、前記嵌合部の直径の1/2以下であることを特徴とする請求項2に記載の放電ランプ。 - 前記嵌合部は、前記第1方向と直交する方向における前記発光部の前記保持部材に対する位置を規定することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の放電ランプ。
- 前記ガラス部材は、前記口金部材と連結する棒状部を有し、
前記嵌合部の太さは、前記棒状部の太さと略同一であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の放電ランプ。 - 前記溝部は、前記第1方向に沿った軸の周りに螺旋状に形成されていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の放電ランプ。
- 前記放電ランプの前記当接部に少なくとも一つの位置決め部が形成されたことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の放電ランプ。
- 前記位置決め部は、前記嵌合部における前記溝部の形成位置に対応した位置に設けられていることを特徴とする請求項7に記載の放電ランプ。
- 前記口金部の前記第1方向の長さは、前記放電ランプの全長の1/5以上で1/4以下であることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の放電ランプ。
- 前記嵌合部が前記保持部材と嵌合する部分の面積は、前記嵌合部に備えられた前記溝部の面積よりも広いことを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか一項に記載の放電ランプ。
- 前記嵌合部が前記保持部材と嵌合する部分の面積は、前記嵌合部に備えられた前記溝部の面積の2倍よりも広いことを特徴とする請求項10に記載の放電ランプ。
- 前記放電ランプは、前記口金部材とは異なる位置で前記ガラス部材に連結された第2口金部材を有し、
前記第2口金部材は、内部に冷却用媒体が流通する流路が設けられていることを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか一項に記載の放電ランプ。 - 前記第2口金部材に設けられた前記流路は、前記第1方向に沿った軸の周りに螺旋状に形成されたことを特徴とする請求項12に記載の放電ランプ。
- 前記口金部材と前記第2口金部材とは、前記放電ランプ点灯用の電力の供給を受けるためのそれぞれ異なる極性に対応した電力受給部であり、
前記第2口金部材は、放電ランプ点灯用の電力とともに、前記冷却用媒体が供給される用力受給端子を備えることを特徴とする請求項12または請求項13に記載の放電ランプ。 - 前記第2口金部材は、前記口金部材に対して前記ガラス部材を挟んで前記第1方向に沿った反対側に設けられたことを特徴とする請求項12から請求項14のいずれか一項に記載の放電ランプ。
- 発光部を形成するガラス部材と該ガラス部材に連結された口金部材とを有する放電ランプと、前記口金部材を介して前記放電ランプを保持する保持部材を有する保持装置とを備えた光源装置であって、
前記放電ランプが備える前記口金部材は、
前記保持部材と当接して前記保持部材に対する前記発光部の第1方向における位置を規定する当接部と、
前記口金部材の開放端近傍に設けられた凹部を備え、前記当接部を前記第1方向に沿って前記保持部材に押圧する押圧力が付勢される被付勢部と、
前記当接部と前記被付勢部との間に備えられ、前記保持部材と嵌合する嵌合部と、
前記嵌合部に備えられ、かつ前記凹部に連通し、前記当接部近傍から前記被付勢部に至る冷却用媒体の流路を前記保持部材との間で構成する溝部とを有し、
前記保持装置は、
前記保持部材と、
前記被付勢部に前記押圧力を付勢する付勢部材と、
前記付勢部材による前記当接部の前記保持部材への押圧と、該押圧の解除とを切り替える切替機構と、
前記口金部材を冷却するための前記冷却用媒体を前記溝部に供給する媒体供給装置と
を有することを特徴とする光源装置。 - 前記放電ランプの前記被付勢部に備えられる前記凹部に、前記付勢部材によって前記当接部を前記保持部材に押圧する際に、前記付勢部材の少なくとも一部が挿入されることを特徴とする請求項16に記載の光源装置。
- 前記口金部に備えられた前記溝部は、前記第1方向に沿った軸を周回する螺旋状に形成されていることを特徴とする請求項16または請求項17に記載の光源装置。
- 前記放電ランプの前記当接部に少なくとも一つの位置決め部が形成され、
前記保持装置の前記保持部材に前記位置決め部と係合する少なくとも一つの凸部が形成されたことを特徴とする請求項16から請求項18のいずれか一項に記載の光源装置。 - 前記放電ランプの前記当接部に少なくとも一つの位置決め部が形成され、
前記保持装置の前記保持部材に前記位置決め部と係合する少なくとも一つの凸部が形成され、
前記位置決め部と前記凸部とは、前記放電ランプを前記保持装置に装着した状態において前記媒体供給装置と前記溝部とが連通する位置で係合することを特徴とする請求項16から請求項18のいずれか一項に記載の光源装置。 - 前記保持装置は、
弾性部材と、
前記第1方向に対して傾斜したテーパ面を有し、前記弾性部材の弾性力が作用して前記第1方向に沿って移動する移動子と、
前記テーパ面と当接して前記移動子の前記第1方向の移動を前記凹部への挿入方向の移動に変換し、少なくとも一部が前記凹部に挿入される前記付勢部材としてのアーム部材とを有することを特徴とする請求項17に記載の光源装置。 - 前記移動子は、前記放電ランプの前記口金部材の少なくとも一部を囲むように配置される円筒状の部材を含み、
前記アーム部材は、前記口金部材の周りに略等角度間隔で複数個配置されることを特徴とする請求項21に記載の光源装置。 - 前記保持装置の前記切替機構は、
回転可能に配置されたレバー部材と、
前記レバー部材の回転角に応じて前記移動子を前記第1方向に移動するリンク機構とを有することを特徴とする請求項21または請求項22に記載の光源装置。 - 前記放電ランプは、前記口金部材とは異なる位置で前記ガラス部材と連結された第2口金部材を有し、
前記第2口金部材の内部に冷却用媒体が流通する流路が設けられたことを特徴とする請求項16から請求項23のいずれか一項に記載の光源装置。 - 前記口金部材と、前記発光部と、前記第2口金部材とは前記第1方向に沿って配置され、前記第2口金部材は、前記第1方向に沿った軸を周回する螺旋状に形成された流路を有することを特徴とする請求項24に記載の光源装置。
- 前記第2口金部材は、前記冷却用媒体と前記放電ランプ点灯用の電力とが供給される用力受給端子を備えることを特徴とする請求項24または請求項25に記載の光源装置。
- 前記用力受給端子と係合可能な用力供給端子と、
前記用力供給端子に電力と冷却用媒体とを導く導電体で形成された柔軟性のある管状ケーブルとを備えることを特徴とする請求項24から請求項26のいずれか一項に記載の光源装置。 - 発光部を形成するガラス部材と、
該ガラス部材の第1方向側に連結され、前記第1方向と直交する第2方向に延在する当接部と、前記第1方向に沿った力が付勢される被付勢部と、前記当接部と前記被付勢部との間に備えられた嵌合部と、前記嵌合部に備えられ、前記嵌合部における前記当接部側と前記嵌合部における前記被付勢部側とを連通する溝部とを有する口金部材と、を備え、
前記口金部材は、
前記被付勢部に付勢された前記第1方向の力により前記当接部と当接して前記発光部の前記第1方向の位置を規定するとともに、前記嵌合部と嵌合することにより前記第1方向と直交する方向の位置を規定し、かつ前記溝部に冷却用媒体を供給する保持装置に保持可能であることを特徴とする放電ランプ。 - 前記口金部材の前記被付勢部は、前記口金部材に前記第1方向の力を作用させるための付勢部材の少なくとも一部が挿入される段部を有することを特徴とする請求項28に記載の放電ランプ。
- 前記溝部は、前記第1方向に沿った軸を周回する螺旋状に形成されていることを特徴とする請求項28または請求項29に記載の放電ランプ。
- 前記当接部は、前記保持部材に形成された少なくとも一つの凸部に係合する少なくとも一つの位置決め部を有することを特徴とする請求項28から請求項30のいずれか一項に記載の放電ランプ。
- 前記位置決め部の位置は、前記保持装置が前記冷却用媒体を供給する位置に応じて設定されていることを特徴とする請求項31に記載の放電ランプ。
- 前記放電ランプは、前記口金部材が設けられた位置とは異なる位置に設けられた第2口金部材を有し、
前記第2口金部材の内部に冷却用媒体が流通する流路が設けられたことを特徴とする請求項28から請求項32のいずれか一項に記載の放電ランプ。 - 前記口金部材と、前記発光部と、前記第2口金部材とは前記第1方向に沿って配置され、前記第2口金部材は、前記第1方向に沿った軸を周回する螺旋状に形成された前記流路を有することを特徴とする請求項33に記載の放電ランプ。
- 前記第2口金部材は、前記冷却用媒体と前記放電ランプ点灯用の電力とが供給される用力受給端子を備えることを特徴とする請求項33または請求項34に記載の放電ランプ。
- 光源装置から発生した露光光によって感光基板にパターンを露光する露光装置であって、前記光源装置として請求項16から請求項27のいずれか一項に記載の光源装置を用いることを特徴とする露光装置。
- 発光部を形成するガラス部材と、該ガラス部材に連結された口金部材とを備えた放電ランプであって、
前記放電ランプは、該放電ランプとは別個に設けられた保持部材に前記口金部材を介して着脱可能に保持され、
前記口金部材は、
前記保持部材と当接して前記保持部材に対する前記発光部の第1方向における位置を規定する当接部と、
前記当接部を前記第1方向に沿って前記保持部材に押圧する押圧力が付勢される被付勢部と、
前記当接部と前記被付勢部との間に備えられる主口金部と、
前記主口金部を覆う副口金部と、
前記主口金部と前記副口金部との間に形成された冷却用媒体の流路となる流体路と
を有することを特徴とする放電ランプ。 - 前記主口金部の前記当接部の近傍の外側面に溝部が形成され、前記溝部が前記流体路に連通することを特徴とする請求項37に記載の放電ランプ。
- 前記副口金部は、前記主口金部に形成された前記溝部に連通する開口を備えることを特徴とする請求項38に記載の放電ランプ。
- 前記流体路は、前記第1方向に沿った軸の周りに螺旋状に形成されることを特徴とする請求項37から請求項39のいずれか一項に記載の放電ランプ。
- 請求項37から請求項40のいずれか一項に記載の放電ランプと、前記口金部材を介して前記放電ランプを保持する前記保持部材を有する保持装置とを備えた光源装置であって、
前記保持装置は、
前記被付勢部に前記押圧力を付勢する付勢部材と、
前記口金部材を冷却するための媒体を前記流体路に供給する媒体供給装置と
を有することを特徴とする光源装置。 - 発光部を形成するガラス部材と、該ガラス部材に連結された口金部材とを備えた放電ランプであって、
前記口金部材は、
第1の方向に平行な第1の軸に沿ってガラス部材から離れる方向に、順に、
前記第1の軸を中心とする第1の半径以上の半径を有する円盤形状を包含する形状を有する当接部と、
前記第1の軸を中心とする前記第1の半径より小さな第2の半径を有する円柱形状に外接する形状を有する嵌合部と、
前記第1の軸を中心として前記第2の半径より小さな第3の半径を有する円柱形状を包含する形状を有する小径部と、
前記第1の軸を中心として、前記第1の半径より小さくかつ前記第3の半径より大きな第4の半径を有する円盤形状を包含する形状を有する被付勢部と、
前記嵌合部の外周またはその近傍に備えられ、前記嵌合部と前記被付勢部との間の空間に連通し、前記嵌合部と空気との接触面積を増大せしめるために前記当接部近傍から前記被付勢部に至る立体構造とを有することを特徴とする放電ランプ。 - 前記立体構造は、前記嵌合部の外周に設けられた凹凸形状であることを特徴とする請求項42に記載の放電ランプ。
- 前記立体構造は、前記嵌合部の内部に設けられた流体路であることを特徴とする請求項42に記載の放電ランプ。
- 前記嵌合部の前記当接部の近傍の外側面及び前記嵌合部の前記被付勢部の近傍に、前記流体路に連通する開口が形成されたことを特徴とする請求項44に記載の放電ランプ。
- 発光部を備え、第1方向に伸びるように形成されたガラス部材と、前記ガラス部材の前記第1方向側の端部に連結される一端部を有する第1口金部材とを備えた放電ランプであって、
前記第1口金部材は、
前記第1方向と直交する直交方向に突出した突出部と、
前記突出部と前記第1口金部材の他端部との間に設けられ、前記直交方向に関する外形形状が、前記突出部の外形形状より小さい第1軸部と、
前記第1軸部と前記第1口金部材の他端部との間に設けられ、前記直交方向に関する外形形状が、前記第1軸部より小さい第2軸部と、
前記第1口金部材の他端部側に設けられ、前記直交方向に関する外形形状が、前記突出部の外形形状より小さく、かつ前記第2軸部よりも大きい第3軸部と、
前記第1軸部に設けられ、前記第1軸部の一端部側と前記第1軸部の他端部側とを連通する溝部とを備えることを特徴とする放電ランプ。 - 前記第1軸部は、前記第1方向に伸びる円柱形状で形成されることを特徴とする請求項46に記載の放電ランプ。
- 前記第1軸部は、前記直交方向に関する外形形状が互いに異なる2つの部分を有することを特徴とする請求項46に記載の放電ランプ。
- 前記第1軸部は、第1部分と、前記直交方向に関する外形形状が、前記第1部分より小さい形状を有する第2部分とを有することを特徴とする請求項48に記載の放電ランプ。
- 前記第1軸部は、前記直交方向に関する外形形状が円形で形成された第1部分と、前記冷却部を備えた第2部分とを有することを特徴とする請求項48に記載の放電ランプ。
- 前記第1口金部材は、前記一端部から前記他端部に順に、前記突出部と、前記第1軸部の前記第1部分と、前記第1軸部の前記第2部分と、前記第2軸部と、前記第3軸部とを備えることを特徴とする請求項50に記載の放電ランプ。
- 前記第3軸部は、前記直交方向に関する外形形状が、前記第1軸部と同じか、あるいは前記第1軸部より小さいことを特徴とする請求項46から請求項51のいずれか一項に記載の放電ランプ。
- 前記第3軸部は、前記直交方向に突出した複数の凸部を有することを特徴とする請求項46から請求項52のいずれか一項に記載の放電ランプ。
- 前記第3軸部は、前記ガラス部材側に形成された表面を有することを特徴とする請求項46から請求項52のいずれか一項に記載の放電ランプ。
- 前記表面は、前記第1方向に直交する平面であることを特徴とする請求項54に記載の放電ランプ。
- 前記表面は、前記第1方向に直交する平面に対して傾斜している面であることを特徴とする請求項54に記載の放電ランプ。
- 前記溝部には、冷却用媒体が供給されることを特徴とする請求項46から請求項56のいずれか一項に記載の放電ランプ。
- 前記溝部は、前記第1方向に沿った軸の周りに螺旋状に形成されていることを特徴とする請求項57に記載の放電ランプ。
- 前記溝部は、前記第1方向に沿って形成されていることを特徴とする請求項57に記載の放電ランプ。
- 前記溝部は、前記第1軸部の外周面の少なくとも一部に設けられた凹凸形状を有することを特徴とする請求項46から請求項56のいずれか一項に記載の放電ランプ。
- 前記突出部は、輪帯状に形成されることを特徴とする請求項46から請求項60のいずれか一項に記載の放電ランプ。
- 前記突出部は、前記第1方向に伸びる複数の開口を有することを特徴とする請求項46から請求項60のいずれか一項に記載の放電ランプ。
- 前記突出部は、前記第1方向に伸びる複数の溝を有することを特徴とする請求項46から請求項60のいずれか一項に記載の放電ランプ。
- 前記第1口金部材に対して、前記ガラス部材を挟んで前記第1方向に沿った反対側に設けられる第2口金部材を備え、
前記第2口金部材は、前記第1方向に沿って形成された溝部を有することを特徴とする請求項46から請求項63のいずれか一項に記載の放電ランプ。 - 前記第1口金部材に対して、前記ガラス部材を挟んで前記第1方向に沿った反対側に設けられる第2口金部材を備え、
前記第2口金部材は、前記第1方向に沿った軸の周りに形成された螺旋状の溝部を有することを特徴とする請求項64に記載の放電ランプ。 - 前記第2口金部材は、前記溝部を覆うカバーを備えることを特徴とする請求項64または請求項65に記載の放電ランプ。
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WO (1) | WO2008026709A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017224626A (ja) * | 2006-09-01 | 2017-12-21 | 株式会社ニコン | 放電ランプ |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI461856B (zh) * | 2008-09-24 | 2014-11-21 | Univ Ming Chi Technology | With a precise alignment of the tilt exposure mechanism |
TW201015230A (en) | 2008-10-03 | 2010-04-16 | Univ Nat Chiao Tung | Immersion inclined lithography apparatus and tank thereof |
DE102009021524B3 (de) * | 2009-05-15 | 2010-11-11 | Osram Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Hochdruckentladungslampe mit Kühlelement |
US8878908B2 (en) | 2009-07-02 | 2014-11-04 | Sony Corporation | 3-D auto-convergence camera |
JP5387633B2 (ja) * | 2011-08-05 | 2014-01-15 | パナソニック株式会社 | 放電管及び該放電管を備えた発光装置 |
CN102854953B (zh) * | 2012-08-27 | 2016-08-24 | 无锡市福曼科技有限公司 | 显卡冷却装置上部盖板的固定结构 |
JP6029387B2 (ja) * | 2012-08-30 | 2016-11-24 | 株式会社オーク製作所 | 放電ランプ着脱機構 |
JP6253891B2 (ja) * | 2013-04-12 | 2017-12-27 | 株式会社オーク製作所 | 放電ランプ、及び放電ランプの給電部材に対する取り付け方法 |
DE102013215983A1 (de) | 2013-08-13 | 2015-02-19 | Osram Gmbh | Entladungslampe mit Kühlsockel |
US9433070B2 (en) | 2013-12-13 | 2016-08-30 | Kla-Tencor Corporation | Plasma cell with floating flange |
TWI711892B (zh) * | 2014-03-28 | 2020-12-01 | 日商尼康股份有限公司 | 放電燈之更換方法及點亮方法、放電燈以及其製造方法 |
JP6381346B2 (ja) * | 2014-08-05 | 2018-08-29 | キヤノン株式会社 | 光源装置、照明装置、露光装置、および物品の製造方法 |
JP2016111268A (ja) * | 2014-12-09 | 2016-06-20 | キヤノン株式会社 | 冷却装置、照明光学系、露光装置、並びに物品の製造方法 |
JP6473999B2 (ja) | 2015-06-01 | 2019-02-27 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | スタイラス |
DE102016102187B3 (de) * | 2016-02-09 | 2017-08-10 | Heraeus Noblelight Gmbh | Vorrichtung für die Behandlung eines Substrats mit UV-Strahlung und Verwendung der Vorrichtung |
KR101958299B1 (ko) | 2017-08-18 | 2019-03-15 | 한국전력공사 | 반사파 처리 장치 |
CN108682602B (zh) * | 2018-06-07 | 2024-05-03 | 山东广达源照明电器有限公司 | 用于灯管加工过程中的定位装置 |
JP7278185B2 (ja) | 2019-09-17 | 2023-05-19 | キヤノン株式会社 | ランプ装置、露光装置、および物品の製造方法 |
JP7520675B2 (ja) * | 2020-10-02 | 2024-07-23 | キヤノン株式会社 | 光源装置、露光装置および物品製造方法 |
JP2022162413A (ja) * | 2021-04-12 | 2022-10-24 | キヤノン株式会社 | ランプ、光源装置、露光装置、および物品製造方法 |
JP7545116B2 (ja) | 2021-05-19 | 2024-09-04 | 東芝ライテック株式会社 | 紫外線照射装置 |
KR102690714B1 (ko) | 2021-10-19 | 2024-08-09 | (주)진영에스텍 | 파이프렁을 구성한 케이블트레이 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2520262A (en) * | 1947-06-18 | 1950-08-29 | Hartford Nat Bank & Trust Co | Cooler of discharge tubes |
JPH0528968A (ja) * | 1991-07-18 | 1993-02-05 | Iwasaki Electric Co Ltd | メタルハライドランプ装置 |
US5465025A (en) * | 1993-05-10 | 1995-11-07 | Litetronics International, Inc. | Lamp with removable base and replaceable bulb capsule |
JPH09213129A (ja) * | 1996-02-05 | 1997-08-15 | Ushio Inc | 光源装置 |
JPH1055713A (ja) * | 1996-08-08 | 1998-02-24 | Ushio Inc | 紫外線照射装置 |
JPH11283898A (ja) * | 1998-03-27 | 1999-10-15 | Canon Inc | 露光装置及び方法、デバイス製造方法ならびに放電灯 |
JP2000181075A (ja) * | 1998-12-11 | 2000-06-30 | Ushio Inc | 露光装置におけるランプ点灯制御方法 |
JP2001216938A (ja) * | 2000-02-01 | 2001-08-10 | Ushio Inc | ショートアーク型放電ランプおよび光源装置 |
JP2002373626A (ja) * | 2001-06-14 | 2002-12-26 | Ushio Inc | ショートアーク型放電ランプ |
JP2003045219A (ja) * | 2001-07-27 | 2003-02-14 | Canon Inc | 水銀ランプ、照明装置及び露光装置 |
JP2003059454A (ja) * | 2001-08-20 | 2003-02-28 | Ushio Inc | ショートアーク型放電ランプ |
JP2003297228A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-17 | Orc Mfg Co Ltd | ショートアーク型放電灯および光源装置 |
US6692309B1 (en) * | 2003-03-28 | 2004-02-17 | Light Sources, Inc. | Mercury vapor lamp electrical connector |
Family Cites Families (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB359468A (ja) * | 1929-06-25 | 1931-10-22 | Siemens & Halske Aktiengesellschaft | |
JPS5875704A (ja) * | 1981-10-30 | 1983-05-07 | 株式会社湘南工作所 | 高出力探照灯におけるランプ及び反射鏡の空冷装置 |
JPS59103361U (ja) * | 1982-12-28 | 1984-07-11 | 京立電機株式会社 | 光源装置 |
JPS60154435A (ja) | 1984-01-24 | 1985-08-14 | Nec Corp | 超高圧水銀ランプ用ハウジング |
JPS61294753A (ja) * | 1985-06-24 | 1986-12-25 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | シヨ−トア−ク型放電ランプ装置 |
JPH0220265U (ja) * | 1988-07-26 | 1990-02-09 | ||
JPH0731146Y2 (ja) * | 1989-08-17 | 1995-07-19 | 日本分光株式会社 | 光源用冷却ホルダ |
AU6642390A (en) | 1989-10-27 | 1991-05-31 | Arch Development Corporation | Methods and compositions for promoting immunopotentiation |
JPH0432154A (ja) * | 1990-05-25 | 1992-02-04 | Iwasaki Electric Co Ltd | メタルハライドランプ装置 |
JPH04105453U (ja) * | 1991-02-22 | 1992-09-10 | セイコーエプソン株式会社 | 高輝度ランプの構造 |
JP3090506B2 (ja) | 1991-08-05 | 2000-09-25 | 株式会社ジェイエスピー | 印刷図柄を有する発泡シート成形品の製造方法 |
JP2576953Y2 (ja) * | 1991-10-25 | 1998-07-23 | ウシオ電機株式会社 | 放電灯 |
DE9206314U1 (de) * | 1992-05-11 | 1992-07-02 | Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH, 8000 München | Elektrische Lampe |
DE19517516A1 (de) * | 1995-05-12 | 1996-11-14 | Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh | Zweiseitig gesockelte elektrische Lampe mit bevorzugter Betriebslage und Fassung sowie Sockel und Sockelhülse für eine derartige Lampe |
US5721465A (en) * | 1996-08-23 | 1998-02-24 | Ilc Technology, Inc. | Xenon arc lamp with improved reflector cooling |
JPH10106498A (ja) * | 1996-09-26 | 1998-04-24 | Toshiba Lighting & Technol Corp | 高圧放電ランプ,ランプ装置,点灯装置,照明装置および液晶プロジェクター |
HUP9701338A3 (en) * | 1997-08-01 | 1999-12-28 | Gen Electric Co Cleveland | Neck of plastic house and threhded head for compact fluorescent tubes and operating units of compact fluorescent tubes |
AU2747999A (en) | 1998-03-26 | 1999-10-18 | Nikon Corporation | Projection exposure method and system |
JP2000075496A (ja) | 1998-08-31 | 2000-03-14 | Canon Inc | 冷却機構を有する光源、光源装置及びこれを用いた露光装置 |
CA2267674C (en) * | 1999-03-31 | 2010-03-30 | Imax Corporation | Method for cooling an arc lamp |
JP4386555B2 (ja) * | 2000-08-30 | 2009-12-16 | 株式会社オーク製作所 | 放電灯およびその冷却方法 |
JP2002140978A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-05-17 | Orc Mfg Co Ltd | 放電ランプ |
US6591701B2 (en) * | 2000-12-29 | 2003-07-15 | Suga Test Instruments Co., Ltd. | Weathering test apparatus having a long-arc type air-cooled vertical metal halide lamp |
JP3671869B2 (ja) | 2001-06-11 | 2005-07-13 | ウシオ電機株式会社 | ショートアーク型放電ランプ |
JP2003017003A (ja) | 2001-07-04 | 2003-01-17 | Canon Inc | ランプおよび光源装置 |
TW529172B (en) | 2001-07-24 | 2003-04-21 | Asml Netherlands Bv | Imaging apparatus |
US7362508B2 (en) | 2002-08-23 | 2008-04-22 | Nikon Corporation | Projection optical system and method for photolithography and exposure apparatus and method using same |
JP2004119053A (ja) | 2002-09-24 | 2004-04-15 | Canon Inc | 光源装置及び露光装置 |
JP2004348109A (ja) * | 2003-04-28 | 2004-12-09 | Mitsubishi Electric Corp | 投写型表示装置 |
US20050095946A1 (en) | 2003-11-05 | 2005-05-05 | Fridrich Elmer G. | Mounting light source filament tubes and arc tubes in lamps |
JP4640090B2 (ja) | 2005-10-04 | 2011-03-02 | ウシオ電機株式会社 | 放電ランプ用ホルダー、および放電ランプ保持機構 |
JP3124444U (ja) * | 2006-06-06 | 2006-08-17 | Hoya Candeo Optronics株式会社 | 放電ランプおよび光源装置 |
JP2007335106A (ja) * | 2006-06-12 | 2007-12-27 | Nikon Corp | 光源装置、放電ランプ、露光装置、及びデバイス製造方法 |
KR101748733B1 (ko) * | 2006-09-01 | 2017-06-19 | 가부시키가이샤 니콘 | 방전램프, 광원장치, 노광장치 및 노광장치의 제조방법 |
US7728495B2 (en) * | 2007-08-01 | 2010-06-01 | Osram Sylvania Inc. | HID lamp with frit seal thermal control |
-
2007
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-
2012
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- 2012-07-23 JP JP2012163161A patent/JP5553089B2/ja active Active
- 2012-09-27 JP JP2012214262A patent/JP5360279B2/ja active Active
-
2014
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-
2015
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-
2016
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-
2021
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Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2520262A (en) * | 1947-06-18 | 1950-08-29 | Hartford Nat Bank & Trust Co | Cooler of discharge tubes |
JPH0528968A (ja) * | 1991-07-18 | 1993-02-05 | Iwasaki Electric Co Ltd | メタルハライドランプ装置 |
US5465025A (en) * | 1993-05-10 | 1995-11-07 | Litetronics International, Inc. | Lamp with removable base and replaceable bulb capsule |
JPH09213129A (ja) * | 1996-02-05 | 1997-08-15 | Ushio Inc | 光源装置 |
JPH1055713A (ja) * | 1996-08-08 | 1998-02-24 | Ushio Inc | 紫外線照射装置 |
JPH11283898A (ja) * | 1998-03-27 | 1999-10-15 | Canon Inc | 露光装置及び方法、デバイス製造方法ならびに放電灯 |
JP2000181075A (ja) * | 1998-12-11 | 2000-06-30 | Ushio Inc | 露光装置におけるランプ点灯制御方法 |
JP2001216938A (ja) * | 2000-02-01 | 2001-08-10 | Ushio Inc | ショートアーク型放電ランプおよび光源装置 |
JP2002373626A (ja) * | 2001-06-14 | 2002-12-26 | Ushio Inc | ショートアーク型放電ランプ |
JP2003045219A (ja) * | 2001-07-27 | 2003-02-14 | Canon Inc | 水銀ランプ、照明装置及び露光装置 |
JP2003059454A (ja) * | 2001-08-20 | 2003-02-28 | Ushio Inc | ショートアーク型放電ランプ |
JP2003297228A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-17 | Orc Mfg Co Ltd | ショートアーク型放電灯および光源装置 |
US6692309B1 (en) * | 2003-03-28 | 2004-02-17 | Light Sources, Inc. | Mercury vapor lamp electrical connector |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017224626A (ja) * | 2006-09-01 | 2017-12-21 | 株式会社ニコン | 放電ランプ |
Also Published As
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6493458B2 (ja) | 放電ランプ | |
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