WO2008026709A1

WO2008026709A1 - Lampe à décharge, appareil de source de lumière, appareil d'exposition et procédé de fabrication de l'appareil d'exposition

Info

Publication number: WO2008026709A1
Application number: PCT/JP2007/066947
Authority: WO
Inventors: Hiroshi Shirasu; Yasuo Aoki; Motoo Koyama; Takayuki Kikuchi
Original assignee: Nikon Corporation
Priority date: 2006-09-01
Filing date: 2007-08-30
Publication date: 2008-03-06
Also published as: KR101865527B1; TW201941264A; TWI703617B; KR101778704B1; KR101812308B1; KR20190110155A; KR101685858B1; TW201730926A; KR101834805B1; KR20170070282A; JP2012253045A; TWI661470B; KR102288690B1; JP5115588B2; KR20150038734A; KR20170143030A; KR20090049563A; JP2017224626A; TWI562196B; JP6264427B2

Description

明細書

放電ランプ、光源装置、露光装置、及び露光装置の製造方法

技術分野

[0001] 本発明は、放電ランプ、この放電ランプを備えた光源装置、この光源装置を備えた露光装置、及びこの露光装置の製造方法に関する。

背景技術

[0002] 各種デバイス（マイクロデバイス、電子デバイス等）を製造するためのリソグラフイエ程においては、レチクル（又はフォトマスク等）に形成されたパターンをレジストが塗布されたウェハ（又はガラスプレート等）上に転写するために、ステッパー等の一括露光型（静止露光型）の投影露光装置、及びスキャニング'ステッパー等の走査露光型の投影露光装置などの露光装置が使用されている。これらの露光装置においては、従来より水銀ランプ等の放電ランプと集光鏡とを組み合わせて構成される露光用の光源装置が使用されており、その放電ランプは所定の取り付け機構を介して保持されていた。

[0003] 従来の放電ランプの取り付け機構の一例は、放電ランプの口金にフランジ部及びリング状の溝部を設けておき、その溝部に板ばねの開口部を係合させ、その板ばねでそのフランジ部をブラケットに押し付けて固定する機構である（例えば、特許文献 1参照）。この機構では、放電ランプの装着時又は交換時には、その板ばねのクランプ機構を緩め、その板ばねの開口部をその口金が通過できるように、その板ばねをスライドさせる必要がある。また、従来の放電ランプの取り付け機構の他の例は、放電ランプの口金に位置決めピン等を設けておき、その口金を平板状の取り付け板に設けられた円形の開口部に所定の回転角で差し込み、その開口部に設けたすり割り部をボノレトで締め付けることによって、その口金を固定する機構である（例えば、特許文献 2 参照)。

[0004] また、放電ランプを有する従来の光源装置の中には、発熱の影響を軽減するために冷却機構を備えたタイプもある。従来の冷却機構の一例は、放電ランプの一方の口金の外面からバルブ部の外面を経て他方の口金の外面に向けて冷却された空気を供給する機構である（例えば、特許文献 3参照）。従来の冷却機構の別の例として、放電ランプの口金にリング状の溝部を設け、その溝部及び所定の送風管を介してバルブ部に冷却された空気を供給する機構も知られている（例えば、特許文献 4参昭）

特許文献 1 :特開平 10— 55713号公報

特許文献 2 :特開 2003 45219号公報

特許文献 3：特開平 9 213129号公報

特許文献 4 :特開平 11 283898号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0005] 従来の光源装置における放電ランプの取り付け機構は、放電ランプの装着時又は交換時に、板ばねのクランプ機構を緩めてその板ばねをスライドさせる力、、又は取り付け板のすり割り部のクランプを緩める必要があるため、放電ランプの装着等に時間を要するという問題があった。また、従来の取り付け機構は、板ばねに設けた開口部の輪郭の一部を口金の溝部に掛ける力、、又は取り付け板のすり割り部を締めるかして、放電ランプの口金を固定して!/、るため、その口金を固定する力を目標とする範囲内に設定するのが困難であるという問題があった。

[0006] また、従来の光源装置における放電ランプの冷却機構は、主に放電ランプのバルブ部に冷風を吹き付けて!/、たため、口金に対する冷却作用が小さ!/、と!/、う問題があつた。

本発明はこのような事情に鑑み、取り付け機構に対する放電ランプの装着等を容易に、かつ短時間に行うことができる光源装置を提供することを第 1の目的とする。

[0007] また、本発明は、簡単な機構で放電ランプの冷却を効率的に行うことができる光源装置を提供することを第 2の目的とする。

さらに、本発明は、そのような光源装置に適用できる放電ランプ、及びその光源装置を用いる露光技術を提供することをも目的とする。

課題を解決するための手段

[0008] 本発明の第 1の態様による光源装置は、発光部を形成するガラス部材（25)と該ガラス部材に連結された口金部材（26)とを有する放電ランプ（1)と、その口金部材を介してその放電ランプを保持する保持部材（50, 52)を有する保持装置（31)とを備えた光源装置であって、その放電ランプが備えるその口金部材は、その保持部材と当接してその保持部材に対するその発光部の第 1方向における位置を規定する当接部（26a)と、その当接部をその第 1方向に沿ってその保持部材に押圧する押圧力が付勢される被付勢部（26e〜26h)と、その当接部とその被付勢部との間に備えられ、その保持部材と嵌合する嵌合部（26b)と、その嵌合部に備えられ、その当接部近傍からその被付勢部に至る冷却用媒体の流路をその保持部材との間で構成する溝部（26d)とを有し、その保持装置は、その保持部材と、その被付勢部にその押圧力を付勢する付勢部材（55A)と、その付勢部材によるその当接部のその保時部材への押圧と、該押圧の解除とを切り替える切替機構 ½3)と、その口金部材を冷却するための媒体をその溝部を介してその流路に供給する媒体供給装置（71)とを有するものである。

[0009] また、本発明の第 2の態様による光源装置は、発光部を形成するガラス部材（25)と該ガラス部材に連結された口金部材（26)とを有する放電ランプ（1)と、その口金部材を介してその放電ランプを保持する保持部材（50, 52)を有する保持装置（31)とを備えた光源装置であって、その放電ランプが備えるその口金部材は、その保持部材と当接してその保持部材に対するその発光部の第 1方向における位置を規定する当接部（26a)と、その当接部をその第 1方向に沿ってその保持部材に押圧する押圧力が付勢される被付勢部（26e〜26h)と、その当接部とその被付勢部との間に備えられ、その保持部材に対し、その発光部の第 1方向と直交する方向における位置を規定する規定部（26bl)と、その当接部と被付勢部との間に備えられ、当接部近傍力、ら被付勢部に至る冷却用媒体の流路をその保持部材との間で構成する冷却部（2 6b2)とを有し、その保持装置は、その保持部材と、その被付勢部にその押圧力を付勢する付勢部材（55A)と、その付勢部材によるその当接部のその保時部材への押圧と、該押圧の解除とを切り替える切替機構 ½3)と、その口金部材を冷却するための媒体をその流路に供給する媒体供給装置（71)とを有するものである。

[0010] 次に、本発明の第 1の態様による放電ランプは、発光部を形成するガラス部材（25) と、該ガラス部材に連結された口金部材（26)とを備えた放電ランプ（1)であって、その放電ランプは、該放電ランプとは別個に設けられた保持部材（50, 52)にその口金部材を介して着脱可能に保持され、その口金部材は、その保持部材と当接してその保持部材に対するその発光部の第 1方向における位置を規定する当接部（26a)と、その当接部をその第 1方向に沿ってその保持部材に押圧する押圧力が付勢される被付勢部（26e〜26h)と、その当接部とその被付勢部との間に備えられ、その保持部材と嵌合する嵌合部（26b)と、その嵌合部に備えられ、その当接部近傍からその被付勢部に至る冷却用媒体の流路をその保持部材との間で構成する溝部（26d)とを有するものである。

[0011] また、本発明の第 2の態様による放電ランプは、発光部を形成するガラス部材（25) と、該ガラス部材に連結された第 1口金部材（26)と、その第 1口金部材とは別の位置でそのガラス部材に連結された第 2口金部材（28)とを備えた放電ランプであって、その放電ランプは、該放電ランプとは別個に設けられた保持部材（50, 52)にその第 1 口金部材を介して着脱可能に保持され、その第 1口金部材は、その保持部材と当接してその保持部材に対するその発光部の第 1方向における位置を規定する当接部（ 26a)と、その当接部に対してそのガラス部材とはその第 1方向に沿った反対側に備えられ、その保持部材と嵌合する嵌合部（26b)と、その嵌合部に備えられて、冷却用媒体の流路をその保持部材との間で構成する溝部（26d)とを備え、その第 2口金部材は、その第 2口金部材を冷却する冷却用媒体が流通する流路（28f)を備えるものである。

[0012] また、本発明の第 3の態様による放電ランプは、互いに離間した第 1及び第 2電極間で放電することにより発光する放電ランプ（1)であって、その第 1電極と接続された第 1口金部材（26)と、その第 2電極と接続された第 2口金部材（28)とを備え、その第 1口金部材には、その第 1口金部材を冷却する冷却媒体が流動する第 1流路（26d) が形成され、その第 2口金部材にはその第 2口金部材を冷却する冷却媒体が流動する第 2流路（28f)が形成されて!/、るものである。

[0013] また、本発明の第 4の態様による放電ランプは、発光部を形成するガラス部材（25) と、該ガラス部材の第 1方向側に連結され、その第 1方向と直交する第 2方向に延在する当接部（26a)と、その第 1方向に沿った力が付勢される被付勢部（26e〜26h)と、その当接部とその被付勢部との間に備えられた嵌合部（26b)と、その嵌合部に備えられた溝部（26d)とを有する口金部材（26)と、を備え、その口金部材は、その被付勢部に付勢されたその第 1方向の力によりその当接部と当接してその発光部のその第 1方向の位置を規定するとともに、その嵌合部と嵌合することによりその第 1方向と直交する方向の位置を規定し、かつその保持部材とその溝部との間に形成された流路に冷却用媒体を供給する保持装置（31)に保持可能であるものである。

[0014] 次に、本発明の第 5の態様による放電ランプは、発光部を形成するガラス部材（25 A)と、該ガラス部材に連結された口金部材（26P)とを備えた放電ランプ（1P)であつて、その放電ランプは、該放電ランプとは別個に設けられた保持部材（50, 52)にその口金部材を介して着脱可能に保持され、その口金部材は、その保持部材と当接してその保持部材に対するその発光部の第 1方向における位置を規定する当接部（2 6a)と、その当接部をその第 1方向に沿ってその保持部材に押圧する押圧力が付勢される被付勢部（26e〜26h)と、その当接部とその被付勢部との間に備えられ、その保持部材と嵌合する嵌合部（26b)と、その嵌合部の内部を通過するように、その当接部近傍とその被付勢部との間に備えられた冷却用媒体の流路となる流体路（26P d)とを有するものである。

[0015] また、本発明の第 3の態様による光源装置は、本発明の第 5の態様による放電ランプと、その口金部材を介してその放電ランプを保持するその保持部材を有する保持装置（31)とを備えた光源装置であって、その保持装置は、その被付勢部にその押圧力を付勢する付勢部材と、その口金部材を冷却するための媒体をその流体路に供給する媒体供給装置（71)とを有するものである。

[0016] また、本発明の第 6の態様による放電ランプは、発光部を形成するガラス部材（25 ;

25A)と、該ガラス部材に連結された口金部材（26； 26P)とを備えた放電ランプであつて、その口金部材は、第 1の方向に平行な第 1の軸に沿ってガラス部材から離れる方向に、順に、その第 1の軸を中心とする第 1の半径以上の半径を有する円盤形状を包含する形状を有する当接部（26a)と、その第 1の軸を中心とするその第 1の半径より小さな第 2の半径を有する円柱形状に外接する形状を有する嵌合部（26b)と、その第 1の軸を中心としてその第 2の半径より小さな第 3の半径を有する円柱形状を包含する形状を有する小径部（26k)と、その第 1の軸を中心として、その第 1の半径より小さくかつその第 3の半径より大きな第 4の半径を有する円盤形状を包含する形状を有する被付勢部（26g, 26h)と、を有するとともに、その嵌合部の外周またはその近傍に、その嵌合部と空気との接触面積を増大せしめるための立体構造（26d ; 26Pd) を有するものである。

[0017] また、本発明の第 7の態様による放電ランプは、発光部を備え、第 1方向に伸びるように形成されたガラス部材（25； 25A)と、そのガラス部材のその第 1方向側の端部に、一端部が連結される第 1口金部材（26 ; 26P)とを備えた放電ランプであって、その第 1口金部材は、その第 1方向と直交する直交方向に突出した突出部（26a)と、その突出部とその第 1口金部材の他端部との間に設けられ、その直交方向に関する外形形状が、その突出部の外形形状より小さい第 1軸部（26b)と、その突出部とその第 1 口金部材の他端部との間に設けられ、その直交方向に関する外形形状が、その第 1 軸部より小さい第 2軸部（26k)と、その突出部とその第 1口金部材の他端部との間に設けられ、その直交方向に関する外形形状が、その突出部の外形形状より小さぐかつその第 2軸部よりも大き!/ヽ第 3軸部（26g； 26h)と、その第 1軸部の外周面の少なくとも一部に設けられ、冷却用媒体と接触可能な冷却部（26b2)とを備えるものである

〇

[0018] また、本発明の第 8の態様による放電ランプは、発光部を形成するガラス部材（25) と、該ガラス部材に連結された口金部材（26)とを備えた放電ランプ（1)であって、その放電ランプは、該放電ランプとは別個に設けられた保持部材（50, 52)にその口金部材を介して着脱可能であり、その口金部材は、その保持部材と当接してその保持部材に対するその発光部の第 1方向における位置を規定する当接部（26a)と、その当接部をその第 1方向に沿ってその保持部材に押圧する押圧力が付勢される被付勢部（26e〜26h)と、その当接部とその被付勢部との間に備えられ、前記保持部材と嵌合する嵌合部（26b)と、その当接部とその被付勢部との間に設けられ、その当接部近傍からその被付勢部に至る冷却用媒体の流路をその保持部材との間で構成する冷却部とを有するものである。また、本発明の態様による露光装置は、光源装置力発生した露光光によって感光基板にパターンを露光する露光装置であって、その光源装置として本発明の光源装置（30)を備えたものである。

[0019] また、本発明の態様による露光装置の製造方法は、放電ランプ（1)の 2つの電極間の放電により発生した光によって感光基板にパターンを露光する露光装置の製造方法であって、その放電ランプを保持するための保持装置（31)に、その放電ランプのその 2つの電極のうちの一方に対応して設けられた第 1口金部材（26)を介してその放電ランプを装着する段階と、その放電ランプの他方の電極に対応して設けられた第 2口金部材（28)に用力ケーブル（33B)を接続する段階と、その装着されたその放電ランプのその第 1口金部材をその保持装置に装着された状態で冷却する段階とを備えるものである。

なお、以上の本発明の所定要素に付した括弧付き符号は、本発明の一実施形態を示す図面中の部材に対応している力各符号は本発明を分力、り易くするために本発明の要素を例示したに過ぎず、本発明をその実施形態の構成に限定するものではない。

発明の効果

[0020] 本発明の第 1、第 2、又は第 3の態様による光源装置によれば、保持装置に対するその放電ランプの取り外し及び装着を容易に短時間に行うことができる。また、簡単な機構で放電ランプの冷却を効率的に行うことができる。

また、本発明の放電ランプは、本発明の第 1、第 2、又は第 3の態様による光源装置の放電ランプとして使用できる。

図面の簡単な説明

[0021] [図 1]本発明の実施形態の一例の投影露光装置の概略構成を示す図である。

[図 2] (A)は図 1中の放電ランプ 1を示す一部を切り欠いた図、（B)は図 2 (A)の BB 線に沿う断面図、（C)は図 2 (B)の別の構成例を示す図である。

[図 3]図 1中の取り付け装置 31を示す一部を切り欠いた図である。

[図 4]図 3の取り付け装置 31の要部を示す平面図である。

[図 5]図 3の AA線に沿う断面図である。 [図 6]図 3の BB線に沿う一部を省略した断面図である。

[図 7] (A)は図 3中の固定用アーム 55Aを上方から視た拡大断面図、（B)はその固定用アーム 55Aを拡大して示す正面図である。

[図 8]図 2 (A)の放電ランプ 1を図 3の取り付け装置 31に装着した状態を示す一部を切り欠いた図である。

[図 9]図 8の放電ランプ 1の口金部 26及び取り付け装置 31の部分を拡大して示す一部を切り欠いた図である。

[図 10] (A)は、図 3の取り付け装置 31において、切替用リンク機構 63によって移動部材 41を降下させた状態を示す図、（B)は、切替用リンク機構 63によって移動部材 41 を上昇させた状態を示す図である。

[図 11] (A)、 (B)、 (C)、及び (D)は、それぞれ本発明の放電ランプの別の実施形態を示す一部を切り欠レ、た図である。

[図 12] (A)、（B)、（C)、及び (D)は、それぞれ本発明の放電ランプのさらに別の実施形態を示す一部を切り欠!/、た図である。

[図 13] (A)、 (B)、及び (C)は、それぞれ本発明の放電ランプのさらに別の実施形態を示す図である。

[図 14] (A)及び (B)は、それぞれ本発明の放電ランプのさらに別の実施形態を示す一部を切り欠いた図である。

[図 15] (A)、（B)、（C)、及び (D)は、それぞれ本発明の放電ランプのさらに別の実施形態を示す図である。

[図 16] (A)は図 15 (B)の AA線に沿う断面図、（B)は図 15 (C)の BB線に沿う断面図、（C)は図 15 (D)の CC線に沿う断面図である。

[図 17]図 15 (D)に示す放電ランプの製造方法の一例を示す要部の斜視図である。

[図 18] (A)及び (B)は、それぞれ本発明の放電ランプのさらに別の実施形態を示す図である。

[図 19]マイクロデバイスの製造工程の一例を示すフローチャートである。

符号の説明

1 , 1A〜； 1(3· · ·放電ランプ、 2· · ·精円鏡、 25, 25Α· · ·ガラス管、 25&· · ·ノノレフ、、き、 2 5b…棒状部、 26, 26Α〜260···Ρ金部、 26a…フランジ部、 26b…軸部、 26d…、溝部、 26Pd…流路、 26f…凹部、 26h…固定部、 28…口金部、 28b…溝部、 29…固定板、 30···露光光源、 31···取り付け装置、 32···絶縁板、 33A, 33Β···電力ケープノレ、 34···電原、 36···底板、 37A〜37C--- K M^、 41···移動才、 42A—42C …連結部材、 44A〜44C…圧縮コィノレばね、 45…上板、 46A, 46B…フレーム、 47 A, 47B, 47。···ノネノレ板、 48A, 48Β···昇降き才、 50···位置決め板、 52···円筒部材、 55A〜55C…固定用アーム、 63···切替用リンク機構、 64···回転レバー部、 6 5…可動ロッド、、 67A, 67B…リンク、 69A, 69B…ローラ、 70A, 70B…ピン、 71··· 送風装置、 73···配管

発明を実施するための最良の形態

[0023] 以下、本発明の好ましい実施形態の一例につき図 1〜図 10を参照して説明する。

図 1は、本例の露光光源 30 (光源装置)を備えた投影露光装置 (露光装置)を示し、この図 1において、アーク放電型の水銀ランプよりなる放電ランプ 1が、取り付け装置 31 (保持装置）を介して絶縁状態で固定板 29に固定されている。また、放電ランプ 1の陰極及び陽極が可撓性を持つ電力ケーブル 33A及び 33Bを介して電源 34に接続され、放電ランプ 1のバルブ部を囲むように楕円鏡 2 (集光ミラー）が不図示のブラケットに固定されている。放電ランプ 1のバルブ部内の発光部は、一例として楕円鏡 2 の第 1焦点付近に配置されている。放電ランプ 1、楕円鏡 2、取り付け装置 31、電力ケーブル 33A, 33B、及び電源 34を含んで露光光源 30が構成されている（詳細後述)。

[0024] 放電ランプ 1から射出された光束は、楕円鏡 2によって第 2焦点付近に収束された後、シャツタ 3の近傍を通過して発散光となって光路折り曲げ用のミラー 4に入射する。シャツタ 3の開閉はシャツタ駆動装置 3aによって行われ、シャツタ駆動装置 3aは、不図示のシャツタ制御系で制御される。本実施の形態では、一例として後述のステージ制御系 15が、装置全体の動作を統括制御する主制御系 14の指令のもとでシャツタ駆動装置 3aを制御する。

[0025] ミラー 4で反射された光束は干渉フィルタ 5に入射し、干渉フィルタ 5により所定の輝線（例えば波長 365nmの i線）よりなる露光光 ILのみが選択される。なお、露光光 IL としては、 i線の他に、 g線、 h線、若しくはこれらの混合光等、又は水銀ランプ以外のランプの輝線等も使用できる。その選択された露光光 ILは、フライアイレンズ 6 (ォプティカル 'インテグレータ）に入射し、フライアイレンズ 6の射出面に配置された可変開口絞り 7上に多数の 2次光源が形成される。可変開口絞り 7を通過した露光光 ILは、第 1リレーレンズ 8を経てレチクルブラインド（可変視野絞り） 9に入射する。レチタルブラインド 9の配置面はレチクル Rのパターン面と実質的に共役であり、駆動装置 9aを介してレチクルブラインド 9の開口形状を設定することで、レチクル R上での照明領域が規定される。また、ウェハ Wのステッピング時等に不要な露光光がウェハ W上に照射されな!/、ように、ステージ制御系 15が駆動装置 9aを介してレチクルブラインド 9を開閉できるようにも構成されて!/、る。

[0026] レチクルブラインド 9を通過した露光光 ILは、第 2リレーレンズ 10、露光光 ILを反射するダイクロイツクミラー 11、及びコンデンサレンズ 12を介してレチクル Rのパターン面のパターン領域を照明する。シャツタ 3、ミラー 4、干渉フィルタ 5、フライアイレンズ 6 、可変開口絞り 7、リレーレンズ 8, 10、レチクルブラインド 9、ダイクロイツクミラー 11、及びコンデンサレンズ 12を含んで照明光学系 13が構成されている。露光光源 30からの光束は、照明光学系 13を経て露光光 ILとしてレチクル R (マスク）を照明し、レチクル Rのパターン領域内のパターンが投影光学系 PLを介して、フォトレジストが塗布されたウェハ W (感光基板）の一つのショット領域上に投影倍率 /3 ( /3は例えば 1/4 , 1/5等）で露光される。以下、投影光学系 PLの光軸 AXに平行に Z軸を取り、 Z軸に垂直な平面内で図 1の紙面に平行に X軸を、図 1の紙面に垂直に Y軸を取って説明する。

[0027] このとき、レチクル Rは、レチクルベース（不図示）上で X方向、 Y方向、及び Z軸周りの回転方向に微動可能なレチクルステージ RST上に保持されている。レチクルステージ RSTの位置は、これに固定された移動鏡 17Rに計測用レーザビームを照射するレーザ干渉計 18Rによって高精度に計測され、この計測値力 Sステージ制御系 15及び主制御系 14に供給されている。その計測値及び主制御系 14からの制御情報に基づレ、て、ステージ制御系 15がリニアモータ等を含む駆動系 19Rを介してレチクルステージ RSTの位置を制御する。 [0028] 一方、ウェハ Wは不図示のウェハホルダを介してウェハステージ WST上に保持され、ウェハステージ WSTはウェハベース（不図示）上に X方向及び Y方向に移動自在に載置されている。ウェハステージ WSTの位置は、これに固定された移動鏡 17W に計測用レーザビームを照射するレーザ干渉計 18Wにより高精度に計測され、この計測値はステージ制御系 15及び主制御系 14に供給されて!/、る。その計測値及び主制御系 14からの制御情報に基づいて、ステージ制御系 15はリニアモータ等を含む駆動系 19Wを介してウェハステージ WST (ウェハ W)の位置を制御する。

[0029] ウェハ Wの露光時には、ウェハステージ WSTによりウェハ Wの各ショット領域を投影光学系 PLの露光フィールド内に移動する動作と、露光光源 30からの光束を照明光学系 13を介してレチクル Rに照射して、レチクル Rのパターンを投影光学系 PLを介してウェハ W上の当該ショット領域に露光する動作とがステップ.アンド'リピート方式で繰り返される。これによつて、レチクル Rのパターンの像がウェハ W上の各ショット領域に転写される。

[0030] なお、この露光に際して予めァライメントを行うために、レチクル Rの上方には、レチクル Rに形成されたァライメントマークの位置を検出するためのレチクルァライメント顕微鏡 20が設置され、投影光学系 PLの側面には、ウェハ W上の各ショット領域に付設されたァライメントマークの位置を検出するためのァライメントセンサ 21が設置されている。また、ウェハステージ WST上のウェハ Wの近傍にはァライメントセンサ 21等のための複数の基準マークが形成された基準マーク部材 22が設けられて!/、る。レチクルァライメント顕微鏡 20及びァライメントセンサ 21の検出信号はァライメント信号処理系 16に供給され、ァライメント信号処理系 16は、例えばそれらの検出信号の画像処理によって被検マークの配列座標を求め、この配列座標の情報を主制御系 14に供給する。主制御系 14は、その配列座標の情報に基づいてレチクル R及びウェハ Wのァライメントを行う。

[0031] 次に、本例の投影露光装置の露光光源 30を構成する放電ランプ 1及び取り付け装置 31の構成等につき詳細に説明する。

図 2 (A)は、図 1の露光光源 30中の放電ランプ 1を示す一部を切り欠いた図であり、この図 2 (A)において、放電ランプ 1は、バルブ部 25a及びこれを挟むように固定されたほぼ対称で円筒状の 2つの棒状部 25b, 25c力、らなるガラス管 25と、一方の棒状部 25bの端部に連結された口金部 26と、他方の外側に向けて段階的に直径が小さくなる棒状部 25cの端部に連結された口金部 28とを備えている。そのバルブ部 25a 内に発光部を形成するための陽極 ELI及び陰極 EL2が対向して固定され、陰極 EL 2及び陽極 EL1はそれぞれ口金部 26及び 28に接続され、口金部 26及び 28は電気伝導率及び熱伝導率の良好な金属製である。口金部 26、ガラス管 25、及び口金部 28は、ガラス管 25の棒状部 25b, 25cの中心軸を結び発光部の中心を通る一つの直線上に配置されている。その棒状部 25b, 25cの中心軸を結ぶ直線に平行な方向が放電ランプ 1の長手方向 Lである。

[0032] 口金部 26及び 28は、基本的に陰極 EL2及び陽極 EL1に図 1の電源 34から電力ケーブル 33A及び 33Bを介して電力を供給するための電力受給端子として使用される。その他に、口金部 26は、ガラス管 25 (放電ランプ 1)を保持するための被保持部としても使用され、口金部 26及び 28にはともにガラス管 25から伝導してくる熱を冷却するための気体を流す溝が形成されている。

[0033] 即ち、陰極 EL2に接続された口金部 26には、棒状部 25bから開放端側に順に、棒状部 25bの外径の 2倍程度の外径の輪帯状のフランジ部 26a (当接部）と、棒状部 25 bの外径よりも僅かに大き!/、外径の円柱状の軸部 26b (嵌合部（規定部） )と、軸部 26 bよりも外径の小さい円柱状の小径部 26kと、軸部 26bより僅かに小さい外径、あるいは軸部 26bと略同じ外形の円柱状の固定部 26hとが形成され、軸部 26bと小径部 26 kとの境界部には面取り部 26eが形成され、固定部 26hの開放端側にも面取り部 26i が形成されている。なお、円柱状の軸部 26bの外形は、棒状部 25bの外形とほぼ同じ外形であってもよい。小径部 26kは、軸部 26bと固定部 26hとの間に、放電ランプ 1 の長手方向 Lと交差する方向に関して凹部（段部） 26fを設けることによって形成される。放電ランプ 1を図 1の取り付け装置 31に取り付ける際に、フランジ部 26aは対応する部材に当接して、ガラス管 25の発光部の長手方向 L (第 1方向）における位置決めの基準となり、軸部 26bは対応する部材の開口に嵌合して、その発光部の長手方向 Lに直交する面内における位置決めの基準となる。また、固定部 26hには、凹部 26f によって被押圧面 26gが形成されている。被押圧面 26gは、長手方向 Lに垂直な平面である。放電ランプ 1を図 1の取り付け装置 31で保持する際に、取り付け装置 31側の付勢機構の一部の部材が凹部 26f側に差し込まれ、その部材によって被押圧面 2 6gに長手方向 Lに沿って口金部 26の開放端側に向力、う押圧力が加えられる。従つて、面取り部 26e、凹部 26f、被押圧面 26g、及び固定部 26hより、その付勢機構によつて付勢される部材が形成されて!/、る。

[0034] 図 2 (B)は、図 2 (A)の放電ランプ 1の BB線に沿った断面図であり、この図 2 (B)に示すように、フランジ部 26aには一例として 90° 間隔で 2箇所の開口 27A, 27B (位置決め部）が形成されている。この開口 27A, 27Bに図 1の取り付け装置 31側の対応する 2つのピン 70A, 70B (図 4参照）が差し込まれることで、放電ランプ 1の長手方向 Lに沿った軸の周りの位置決めが行われる。すなわち、取り付け装置 31に対し、放電ランプ 1の長手方向を中心とした回転角が決まる。また、放電ランプ 1には発光パヮ一等が異なる複数の種類があり、種類が異なる毎に開口 27A, 27Bの個数及び/又は角度等が異なっている。従って、その開口の個数は 1個又は複数個である。具体的に、図 2 (B)とは別の種類の放電ランプのフランジ部 26aには、図 2 (C)に示すように、例えば 90° 間隔で 3箇所に開口 27A, 27B, 27Cが形成され、対応する取り付け装置には 3個のピンが形成されている。これによつて、投影露光装置の露光光源の取り付け装置に、仕様と異なる放電ランプが取り付けられることが確実に防止される。

[0035] 図 2 (A)に戻り、軸部 26bの外面のフランジ部 26aの近傍から面取り部 26e (凹部 2 6f)までの部分に、長手方向 Lに平行な軸の周りに螺旋状に溝部 26dが形成されている。溝部 26dには、後述の送風装置 71 (図 9参照）から口金部 26を冷却するための気体（冷却用媒体）が流され、これによつてガラス管 25で発生した熱が口金部 26 に伝導しても、口金部 26を効率的に冷却でき、結果としてガラス管 25の冷却も行われる。また、溝部 26dと図 2 (B)の開口 27A, 27Bとの位置関係は、開口 27A, 27B に図 1の取り付け装置 31の対応するピンを差し込んだ状態で、送風装置 71 (図 9参照）から溝部 26dに対して冷却された気体が効率的に供給されるように設定されてい

[0036] この陰極 EL2側の口金部 26において、軸部 26bと固定部 26hとの間には、凹部 26 fが形成されている。すなわち、軸部 26bと固定部 26hとの間には、長手方向 Lに直交する面における断面積が軸部 26bよりも小さい小径部 26kが設けられているため、図 1の取り付け装置 31の付勢機構の一部を容易に差し込むことができる。

この場合、軸部 26b及び小径部 26kはそれぞれ長手方向 Lに平行な軸を中心とした円形断面を有し、その小径部 26kの円形断面の直径は、軸部 26bの円形断面の直径の 1/2以下 (例えば 1/3程度）であることが望ましい。これによつて、その付勢機構の一部を凹部 26fに大きく差し込むことができ、被押圧面 26gを口金部 26の開放端側に大きい力で容易に付勢できる。

[0037] また、溝部 26dは面取り部 26eを通して凹部 26fに連通しているため、冷却用の気体を長手方向 Lに沿って円滑に流すことができる。この場合、溝部 26dは軸部 26bの表面に螺旋状に形成されているため、その冷却用の気体によって軸部 26b (口金部 26)の全体を効率的に冷却できる。なお、螺旋状の溝部 26dの代わりに、後述するように、軸部 26bの表面に長手方向 Lにほぼ沿って直線状に複数の溝部を設け、これらの複数の溝部に冷却用の気体を流してもよい。

[0038] また、ガラス管 25及び口金部 26, 28を含む放電ランプ 1全体の長手方向 Lの長さを LT1、取り付け装置 31によって保持される口金部 26の長手方向 Lの長さを LT2とすると、長さ LT2は次式のように長さ LT1の 1/5以上で 1/4以下（一例として LT1 の 0. 22倍程度）であることが望ましい。長さ LT2が式（1)の下限以上であることによって、放電ランプ 1を口金部 26を介して十分な力で安定に図 1の取り付け装置 31で保持することができるとともに、口金部 26の冷却効果を高めることができる。さらに、長さ LT2が式（1)の上限以下であることによって、放電ランプ 1全体の長さ及び重量を許容範囲内に収めることが容易になる。なお、他方の自由端側の口金部 28の長手方向 Lの長さ LT3は、例えば長さ LT1の 1/8以上で 1/5以下（一例として長さ LT1の 0. 15倍程度）である。

[0039] また、口金部 26の軸部 26bの表面で図 1の取り付け装置 31の対応する部材の開口と嵌合する (接触する）部分の面積は、軸部 26bに形成された溝部 26dの面積よりも広いことが望ましい。これは、図 2 (A)において、長手方向 Lにおける軸部 26bの表面（凸部）の幅 Mlが、以下のように溝部 26dの幅 M2より大きいことを意味する。これによって、溝部 26dに冷却用の気体を流すことによる冷却効果を高め、かつ軸部 26b に対する保持力を高めることができる。

[0040] Μ1 >Μ2 · ' · (2)

より実用的には、軸部 26bの表面で対応する部材の開口と嵌合する部分の面積は、溝部 26dの面積の 2倍よりも広い（一例として 3倍程度である。）ことが望ましい。これは、次式が成立することを意味する。これによつて、軸部 26bに対する保持力をさらに高め、かつ比較的高い冷却効果も得られる。

[0041] Μ1 > 2 ·Μ2 … ）

一方、図 2 (A)の陽極 EL1に接続された口金部 28は、棒状部 25c側から開放端側に順に、棒状部 25cの最大直径より僅かに大きい外径の薄い輪帯部 28hと、輪帯部 28hとほぼ同じ外径、あるいは輪帯部 28hより小さい外径を有する円柱状の軸部 28c と、軸部 28cの開放端側の面を僅かな空間 28dを隔てて覆い、かつ軸部 28cに嵌合する円筒状のカバー部 28bとを備える。さらに、円筒状のカバー部 28bには、その外径が軸部 28cの 1/3程度の円筒状の端子部 28aが形成されている。軸部 28cの表面には、開放端側から輪帯部 28hにかけて長手方向 Lに平行な軸の周りに螺旋状に溝部 28fが形成されている。輪帯部 28hと軸部 28cとの間には、凹部 28gが形成されており、軸部 28cの溝 28fは、この凹部 28gに連通している。

また、端子部 28aの内部には、端子部 28の外部と、カバー部 28bの内部、すなわち、空間 28dとを連通する流通穴 28eが形成されている。円筒状のカバー部 28bは、電気伝導率及び熱伝導率の良好な金属で形成されている。

[0042] 口金部 28の端子部 28aには、図 8に示す電力ケーブル 33Bが接続される。この電力ケーブル 33Bには、陽極 EL1に接続される電力線の他に、流通穴 28eを通して溝部 28fに冷却された気体 (冷却用媒体)を供給するための配管も収納されている。このように電力ケーブル 33Bは、電力の他に冷却された気体を供給するために使用されるため、用力ケーブルとも呼ぶことができ、端子部 28aは用力受給端子とも呼ぶこと力 Sできる。電力ケーブル 33B及び端子部 28aがそれぞれ電力及び冷却された気体の受給 (供給)用に使用されてレ、るため、口金部 28及び電力ケーブル 33Bをコンパタトに形成することができる。 [0043] 図 2 (A)において、電力ケーブル 33Bから端子部 28a内の流通穴 28eに供給された冷却用の気体は、口金部 28の軸部 28cの表面の溝部 28fとカバー部 28bとで形成された流路内を流れた後、軸部 28gと輪帯部 28hとの間の凹部 28gから外側に排気される。この際に、溝部 28f (流路）が螺旋状であるため、口金部 28の全体を効率的に冷却できる。なお、口金部 28においても、溝部 28fの代わりに、軸部 28cの表面に長手方向 Lにほぼ平行に設けた複数の溝部を形成しておき、これらの溝部に冷却用の気体を供給してもよい。

[0044] なお、仮に陰極 EL2用の口金部 26の溝部 26dに冷却用の気体を供給するのみで、口金部 26及びガラス管 25の冷却を十分に行うことができる場合には、陽極 EL1用の口金部 28には必ずしも冷却用の気体を流す流路を形成しなくともよい。さらに、放電ランプ 1にお!/、て、取り付け装置 31に保持される口金部 26に接続される電極を陽極として、自由端側の口金部 28に接続される電極を陰極とすることも可能である。

[0045] 次に、図 3は図 1の露光光源 30の取り付け装置 31の構成を示し、図 4は図 3の取り付け装置 31の平面図、図 5は図 3の AA線に沿う断面図、図 6は図 3の BB線に沿う断面図である。図 3において、ほぼ正方形の平板状のセラミックス製の絶縁板 32の表面に、薄い平板状の底板 36が複数箇所でボルト 35を用いて固定されている。この場合、予め底板 36の表面の 3箇所には、円柱状のガイド部材 37A, 37B, 37C (図 5参照 )力裏面から螺合されたボルト 39Aによって、底板 36に固定されている。絶縁板 32 の表面にはボルト 39Aを収納する凹部 32aが形成されているため、絶縁板 32の表面に底板 36を密着させて固定することができる。底板 36の 4隅にはボルト 40を通すための開口 36aが形成され、その開口 36aを通して絶縁板 32は 4箇所でボルト 40 (図 5 参照）によって固定板 29に固定されている。この構成によって、取り付け装置 31は固定板 29に対して絶縁状態で固定されている。

[0046] また、図 5に示すように、底板 36の左側の 2箇所の隅には断面形状が L字型のフレーム 46A, 46Bが固定され、底板 36の右側の 2箇所の隅には平板状のパネル板 47 A, 47Bが右側に突き出るように固定され、パネル板 47A, 47Bの右端部は平板状のパネル板 47Cで連結されている。フレーム 46A, 46B及びパネル板 47A, 47Bの上に、図 4に示すようにほぼ正方形の平板状で中央に大きい円形開口 45a (図 3参照 )が形成された上板 45が固定されている。上板 45には、 3箇所のガイド部材 37A〜3 7Cの先端部を通すための 3個の小さい開口も形成されて!/、る。

[0047] 図 3において、上板 45の上面に開口 45aを覆うようにボルト 51によって輪帯状の位置決め板 50が固定され、位置決め板 50の底面に、ほぼ円筒状の円筒部材 52のフランジ部が例えば 4箇所でボルト 53によって固定されている。位置決め板 50の上面 50aには、図 2 (A)の放電ランプ 1の口金部 26のフランジ部 26aが載置され、位置決め板 50の中央の円形開口 50b及びこれに続く円筒部材 52の内面には、その口金部 26の軸部 26bが嵌合される。従って、位置決め板 50及び円筒部材 52は、一体的に放電ランプ 1の口金部 26を保持するための部材となる。円筒部材 52の中心軸に沿つた方向を放電ランプ 1の移動方向 Dと呼ぶ。

[0048] また、位置決め板 50の開口 50bとその側面とを連通するように通気孔 50cが形成され、通気孔 50cに図 9の送風装置 71から冷却された気体を供給するための可撓性の高い配管 73の端子が連結されている。さらに、位置決め板 50の上面 50aには、図 4 に示すように、図 2 (B)の放電ランプ 1のフランジ部 26aの開口 27A, 27Bに対応する配置でピン 70A, 70Bが固定されている。これによつて、位置決め板 50上に放電ランプ 1のフランジ部 26aを常に同じ角度位置で載置することができる。

[0049] 図 3において、位置決め板 50、上板 45、及びフレーム 46A, 46Bは互いに電気的に導通し、かつ放熱効果を高めるように、電気伝導率及び熱伝導率の良好な金属より形成され、フレーム 46Aにボルト 55を介して電力ケーブル 33Aが固定されている。位置決め板 50に図 2 (A)の口金部 26のフランジ部 26aが接触するように放電ランプ 1を保持することによって、電力ケーブル 33A、フレーム 46A、上板 45、及び位置決め板 50を介して口金部 26に電力が供給される。同様に、円筒部材 52も熱伝導率の良好な金属製である。

[0050] さらに、上板 45上に位置決め板 50 (円筒部材 52が連結されている）を固定する際には、予め円筒部材 52を囲むようにカップ状で中央に開口を持つ移動部材 41が移動方向 Dに沿って移動できる状態で配置される。移動部材 41は、上板 45側から底板 36側に順に、円筒部材 52に近接して配置された輪帯部 41aと、移動方向 Dに対して底板 36側が外側にほぼ 5° 程度開いた円錐の側面状の内面（テーパ面）を持つ傾斜部 41bと、傾斜部 41bよりもさらに外側に 40° 程度開いた円錐の側面状の内面 (テーパ面）を持つ収納部 41cと、輪帯部 41aよりも大きい輪帯状で 3箇所にガイド部材 37A〜37C (図 5参照）を通すための開口が形成された駆動部 41dとを連結して形成されている。輪帯部 41aの上端には、図 5に示すように、これをパネル板 47A, 4 7Bとほぼ平行に挟むように 2箇所に、小さい平板状の昇降部材 48A, 48Bが固定されている。

[0051] また、図 5において、移動部材 41の駆動部 41dには等角度間隔に設けられた 3箇所の開口を覆うようにボルト 43によって連結部材 42A, 42B, 42Cが固定され、連結部材 42A〜42Cの貫通孔にそれぞれガイド部材 37A〜37Cが揷通されている。図 4に示すように、上板 45の上面に位置決め板 50を囲むように配置された 3箇所の開口を覆うように、ボルト 39Cを用いてほぼ逆 U字型の止め具 38A, 38B, 38C力 S 固定され、止め具 38A〜38Cの中央にそれぞれボルト 39Bを用いて図 5のガイド部材 37A〜37Cの先端が固定されている。さらに、止め具 38A〜38Cと連結部材 42A 〜42Cとの間に、それぞれガイド部材 37A〜37Cを覆うように圧縮コイルばね 44A, 44B, 44C (図 5参照）が装着されている。この結果、移動部材 41の駆動部 41dには、 3箇所の連結部材 42A〜42Cを介して圧縮コイルばね 44A〜44Cによって移動方向 Dに沿って底板 36側に押圧力 F1が常時加えられている。従って、移動部材 41の輪帯部 41aに固定された昇降部材 48A, 48Bに、後述の切替用リンク機構 63によつて上板 45側に向力、う駆動力を加えない限り、移動部材 41は円筒部材 52に沿って底板 36側に移動する。

[0052] また、図 3において、円筒部材 52の側面の上板 45と底板 36とのほぼ中間位置に、ガイド部材 37A〜37Cと同じ角度で 3箇所の矩形の窓部 52a, 52b, 52c (図 5参照）が形成されている。さらに、円筒部材 52の下端部に窓部 52a〜52cと同じ角度で 3箇所の凸部 52d, 52e, 52fが形成され、凸部 52d〜52fにそれぞれ軸 56の周りに回転可能にほぼ L字型の固定用アーム 55A, 55B, 55C (図 6参照）が固定されている。固定用アーム 55A〜55Cにはそれぞれ代表的にコイルばね 62Aで示すように、円筒部材 52に対して外側に回転するような小さいトルクが常時付与されている。

[0053] 図 7 (A)は図 3の固定用アーム 55Aの平面断面図、図 7 (B)はその固定用アーム 5 5Aの正面図であり、固定用アーム 55Aを構成するフレーム 57の一端は軸 56を中心とする回転中心 Aの周りに回転可能であり、フレーム 57の他端には回転軸 60を介してローラ 61が固定され、フレーム 57の中間の屈曲部には小型軸受け 58を介して口ーラ 59が固定されている。従って、ローラ 59及び 61はそれぞれ回転可能であり、固定用アーム 55Aを軸 56の反時計周りに回転することによって、ローラ 61が固定対象面（本例では図 2 (A)の放電ランプ 1の口金部 26の被押圧面 26g)に付勢される。

[0054] 図 3の状態では、移動部材 41が円筒部材 52に沿って最も上板 45に近い位置にあり、固定用アーム 55A〜55Cの屈曲部のローラ 59は移動部材 41の収納部 41cに付勢され、ローラ 61は円筒部材 52の窓部 52a〜52cの外側に出ている。従って、図 2 ( A)の放電ランプ 1の口金部 26の軸部 26b及び固定部 26hは、位置決め板 50の開口 50b及び円筒部材 52の内面に沿って移動方向 Dに自由に移動できる。

[0055] 図 9は、図 3の状態から移動部材 41を円筒部材 52に沿って最も底板 36に近い位置まで降下させた状態の一例を示し、この図 9において、固定用アーム 55A (他の固定用アーム 55B, 55Cも同様）のローラ 59は、移動部材 41の傾斜部 41bに接触して円筒部材 52の内側に付勢されている。この結果、固定用アーム 55Aには軸 56の反時計周りにトルクが付与され、固定用アーム 55Aの他端側のローラ 61は円筒部材 52 の窓部 52aを通して内側に差し込まれる。図 9の状態では、円筒部材 52内に放電ランプ 1の口金部 26の軸部 26b及び固定部 26hが嵌合しているため、固定用アーム 5 5Aのローラ 61は口金部 26の凹部 26f内に差し込まれ、さらに固定部 26hの上面である被押圧面 26gに接触する。この状態では、圧縮コイルばね 44A, 44B等の押圧力が移動部材 41及び固定用アーム 55Aを介して被押圧面 26g (口金部 26)に加えられるため、口金部 26のフランジ部 26aが取り付け装置 31の位置決め板 50の上面 5 Oaに押し付けられ、口金部 26ひ!/、ては放電ランプ 1は取り付け装置 31によって安定に保持される。従って、固定用アーム 55A〜55Cが、口金部 26 (固定部 26h)に底板 36側への押圧力を付与する部材の一部を構成している。

[0056] ここで、固定用アーム 55A〜55Cによる口金部 26 (固定部 26h)への押圧力を解除するために、移動部材 41の昇降部材 48A, 48Bを上板 45側に引き上げる切替用リンク機構 63の構成につき説明する。図 3において、パネル板 47Cのほぼ中央に絶縁材料からなる回転レバー部 64が固定され、パネル板 47Cの内側の回転レバー部 64の先端に移動方向 Dに直交する駆動方向 Eに移動可能に可動ロッド 65が連結され、可動ロッド 65の先端に平面視がほぼ U字型の分岐部材 66が固定されている。本例では、一例として回転レバー部 64をオペレータが手動で回転することによって、それに連動して可動ロッド 65が駆動方向 Eに移動する。なお、可動ロッド 65を移動する機構は任意であり、例えば回転レバー部 64を用いることなぐ延長した可動ロッド 65をオペレータが直接操作してもよい。また、駆動方向 Eは移動方向 Dに直交していなくともよぐ例えば移動方向 Dにほぼ平行であってもよい。

[0057] 図 5において、一例として回転レバー部 64を支持するパネル板 47A〜47Cはともに絶縁材料から形成されている。そして、分岐部材 66の 2箇所の先端部には軸 66A , 66Bを介して回転可能に細長いリンク部材 67A, 67Bの一端が連結され、リンク部材 67A, 67Bの他端にローラ 69A, 69Bが回転可能に連結され、移動部材 41の上端の輪帯部 41aに固定された昇降部材 48A, 48Bに底面側からローラ 69A, 69Bが接触可能である。さらに、パネル板 47A, 47Bの上部に軸 68C, 68Dを介して回転可能に細長いリンク部材 68A, 68Bの一端が固定され、リンク部材 68A, 68Bの他端は軸 67C, 67Dを介してリンク部材 67A, 67Bの中間位置（リンク部材の一端部と他端部との間の位置）に連結されている（図 3参照）。このように、回転レバー部 64、可動ロッド 65、分岐部材 66、リンク部材 67A, 67B、リンク部材 68A, 68B、及びローラ 69A, 69Bを含んで切替用リンク機構 63が構成されている。

[0058] なお、移動部材 41と切替用リンク機構 63のリンク機構との機械的な干渉を確実に防止するために、図 5に示すように、移動部材 41の収納部 41c及び駆動部 41dの点線で囲まれた 2箇所の端部 147A及び 148Bを削除してもよい。

図 10 (A)及び (B)は、図 3において、切替用リンク機構 63の手前側のリンク部材 6 7B, 68B等を表示した図に相当し、かつ取り付け装置 31に放電ランプ 1の口金部 26 が保持されている状態を示し、図 10 (A)のように、回転レバー部 64を操作して可動ロッド 65を駆動方向 Eに沿って右端部まで移動した状態では、リンク部材 67B (図 5 のリンク部材 67Aも同様）がほぼ可動ロッド 65に平行になり、移動部材 41は移動方向 Dに沿って最下端まで降下する。この結果、図 3の固定用アーム 55Aのローラ 61 が口金部 26の固定部 26hを下方に付勢して、口金部 26は安定に保持される。

[0059] これに対して、図 10 (B)のように、回転レバー部 64を操作して可動ロッド 65に付勢力 F3を与えて駆動方向 Eに沿って左端部まで移動した状態では、リンク部材 68Bの回転によってリンク部材 67Bの先端部のローラ 69B (図 5のローラ 69Aも同様）は上昇し、これによつて昇降部材 48B及び移動部材 41が上昇する。この結果、図 3に示すようにコイルばね 62Aによって固定用アーム 55Aが外側に収納部 41cに接触するまで回転し、ローラ 61が円筒部材 52の窓部 52aの外に出るため、口金部 26の固定部 26hを円筒部材 52から引き抜いて、放電ランプ 1を取り付け装置 31から取り外すことができる。

[0060] このように図 5の切替用リンク機構 63を用いることによって、取り付け装置 31に対する放電ランプ 1の口金部 26の固定と解除とを、容易に切り替えることができる。なお、切替用リンク機構 63の他に、図 3の移動部材 41を移動方向 Dに沿って上昇させる任意の機構を用いることができる。例えば、図 5のリンク部材 68A, 68Bの先端部に直接ローラ 69A, 69Bを固定し、オペレータがリンク部材 68A, 68Bを回転することによつて移動部材 41の昇降部材 48A, 48Bを上昇させるような機構も用いること力 Sできる

〇

[0061] 上述のように本例の取り付け装置 31は、図 3〜図 6に示す絶縁板 32、底板 36、上板 45、フレーム 46A, 46B、及びパネル板 47A〜47Cからなるフレーム機構と、位置決め板 50及び円筒部材 52からなり放電ランプ 1の口金部 26を保持する部材と、口金部 26の固定部 26hに押圧力を付与するための固定用アーム 55A〜55Cと、移動部材 41、ガイド部材 37A〜37C、連結部材 42A〜42C、コイルばね 62A等、及び圧縮コイルばね 44A〜44C (弾性部材）を含み固定用アーム 55A〜55Cに付勢力を与える機構と、この機構による固定用アーム 55A〜55Cに対する付勢力を解除するための切替用リンク機構 63と、図 8の口金部 28側の電力ケーブル 33Bと、電力ケーブル 33Bに冷却された気体を供給する気体供給装置 (不図示）と、図 3の配管 7 3と、配管 73に冷却された気体を供給する図 9の送風装置 71とを含んで構成されている。 [0062] 図 9において、送風装置 71は、取り入れ口 72から取り込んだ気体（例えば空気）の除塵を行うフィルタ部 71aと、フィルタ部 71aから供給された気体を冷却する冷却部 7 lbと、冷却部 71bから供給された気体を配管 73側に所定流量で供給する送風部 71 cとを備えている。なお、例えば円筒部材 52の外面に温度センサを設け、この温度センサの計測結果に基づいて冷却部 71bにおける設定温度を制御してもよい。

[0063] 次に、本例の図 2 (A)の放電ランプ 1を図 3の取り付け装置 31に着脱する際の動作の一例につき図 8〜図 10を参照して説明する。

図 8は、放電ランプ 1を取り付け装置 31に装着した状態を示す図、図 9は図 8中の放電ランプ 1の口金部 26及び取り付け装置 31を示す拡大図、図 10 (A)及び (B)は図 3に対応させて切替用リンク機構 63の動作を示す図である。

[0064] 先ず、取り付け装置 31に放電ランプ 1を装着する際には、図 10 (B)に示すように（この段階では取り付け装置 31に口金部 26は装着されていない。）、オペレータが切替用リンク機構 63を操作して付勢力 F3によってローラ 69Bを押し上げ、昇降部材 48 Bを介して移動部材 41を上板 45側に上昇させて、固定用アーム 55A (図 6の他の固定用アーム 55B, 55Cも同様）の先端部（図 3のローラ 61)を円筒部材 52の窓部 52a 力も引く抜く。この状態で、オペレータが、位置決め板 50の開口及び円筒部材 52の内面に図 2 (A)の放電ランプ 1の口金部 26の固定部 26h及び軸部 26bを嵌合させる。この際に、口金部 26には図 2 (A)に示すように面取り部 26i及び 26eが形成されているため、固定部 26h及び軸部 26bを円滑に位置決め板 50の開口及び円筒部材 5 2の内面に差し込むことができる。

[0065] 次に、図 10 (A)に示すように、オペレータが切替用リンク機構 63を操作してローラ 6 9Bを降下させると、圧縮コイルばね 44A (及び図 5の圧縮コイルばね 44B, 44C)の押圧力 F1によって移動部材 41は底板 36側に付勢される。この際に、図 3に示すように、固定用アーム 55Aのローラ 59が移動部材 41の収納部 41c力、ら傾斜部 41bに移動し、押圧力 F1によって固定用アーム 55Aには軸 56を中心とした反時計周りのトノレクが作用する。そして、図 8に示すように、固定用アーム 55Aのローラ 61が円筒部材 52の窓部 52aを通して口金部 26の凹部 26f側に差し込まれ、さらにローラ 61は口金部 26の被押圧面 26gを底板 36側に付勢する。この状態で、円筒部材 52の内面に沿つた口金部 26の移動方向 Dと、放電ランプ 1の長手方向とは一致している。そして、口金部 26のフランジ部 26aが位置決め板 50の上面 50aに密着し、口金部 26の軸部 26bが位置決め板 50の開口 50b及び円筒部材 52の内面に嵌合した状態で、放電ランプ 1は取り付け装置 31によって安定に保持される。

[0066] 図 8において、さらに他方の口金部 28の端子部 28aに可撓性の高い電力ケーブル

33Bが連結される。電力ケーブル 33Bから端子部 28aには電力が供給されるとともに、電力ケーブル 33B内の配管を介して口金部 28の溝部 28fとカバー部 28bとの間の流路に冷却された気体が供給される。供給された気体は、軸部 28cと輪帯部 28hとの間に形成された凹部 28gを介して排気され、口金部 28は効率的に冷却される。

[0067] また、取り付け装置 31で保持される口金部 26には、電力ケーブル 33A、フレーム 4 6A、上板 45、及び位置決め板 50を介して電力が供給され、ガラス管 25内で発光が行われる。さらに、図 8の要部を拡大した図 9に示すように、送風装置 71から配管 73 を介して位置決め板 50の通気孔 50cに冷却された気体が供給される。供給された気体は、矢印 74A, 74B, 74Cで示すように、通気孔 50c、口金部 26の溝部 26dと円筒部材 52との間の流路、及び凹部 26fを経て、円筒部材 52の窓部 52a (及び他の 2 箇所の窓部）の外に排気される。これによつて、口金部 26及びガラス管 25が効率的に冷却される。

[0068] 次に、例えば放電ランプ 1を交換するために、図 8の取り付け装置 31から放電ランプ 1を取り外す場合には、図 10 (B)に示すように、オペレータが切替用リンク機構 63 を操作して、ローラ 69B及び昇降部材 48Bを介して移動部材 41を上板 45側に上昇させて、固定用アーム 55Aの先端部（図 3のローラ 61)を円筒部材 52の窓部 52aの外に出す。この後、オペレータが、口金部 26を位置決め板 50及び円筒部材 52から引き抜くことによって、取り付け装置 31から容易に放電ランプ 1を取り外すことができ

[0069] このように本例の放電ランプ 1及び取り付け装置 31を備えた露光光源 30によれば、切替用リンク機構 63によって、固定用アーム 55A〜55Cによる放電ランプ 1の口金部 26の固定部 26hに対する押圧を解除するのみで、取り付け装置 31に対する放電ランプ 1の取り外し及び装着を容易に短時間に行うことができる。また、切替用リンク機構 63によって、その固定用アーム 55A〜55Cによる固定部 26hに対する口金部 2 6の移動方向 D (放電ランプ 1の長手方向 Lと等しい）への押圧を開始するだけで、放電ランプ 1は、圧縮コイルばね 44A〜44Cの付勢力によって定まるほぼ一定の押圧力で位置決め板 50に押圧されて固定される。従って、その圧縮コイルばね 44A〜4 4Cのばね定数等を調整することによって容易に、放電ランプ 1を取り付け装置 31に固定する際の押圧力を目標とする範囲内に設定できる。

[0070] また、図 9の送風装置 71から口金部 26の溝部 26dに冷却用の気体を供給すると、その気体が口金部 26の表面に沿って固定部 26h側に流れるため、簡単な機構で放電ランプ 1の冷却を効率的に行うことができる。

また、本例の取り付け装置 31は、図 9に示すように、移動方向 Dに対して傾斜した内面（テーパ面）を持つ傾斜部 41bを有し、圧縮コイルばね 44A〜44Cの弾性力が作用して移動方向 Dに沿って移動する移動部材 41と、傾斜部 4 lbの内面と当接して移動部材 41の移動方向 Dの移動を口金部 26の凹部 26fへの揷入方向の移動に変換し、先端のローラ 61が凹部 26fに揷入される固定用アーム 55A〜55Cとを有し、固定用アーム 55Aによって被押圧面 26gを付勢して!/、るため、容易に口金部 26に移動方向 Dの押圧力を与えることができる。

[0071] なお、移動部材 41に押圧力 F1を与える部材としては、圧縮コイルばね 44A〜44C の他に、引っ張りコイルばね、又は板ばね等も使用できる。また、固定用アーム 55A 〜55Cは、口金部 26の周囲に等角度間隔で複数個（ここでは 3個）配置されて!/、るため、口金部 26を均一な力で取り付け装置 31に保持できる。なお、例えば 1つの固定用アーム 55Aのみで口金部 26を固定することも可能である。

[0072] また、図 8において、本例の口金部 28側の電力ケーブル 33Bには、電力供給用のケーブルと冷却された気体を供給する配管とが並列に収納されている。しかしながら、その電力ケーブル 33Bとして、電力と冷却用気体とを導く導電体で形成された柔軟性のある管状ケーブルを用いてもよい。これによつて、電力ケーブル 33Bの構成を簡略化できる。

[0073] 次に、上記の図 8及び図 9に示す放電ランプ 1及び取り付け装置 31を備えた露光光源を、図 1の投影露光装置の露光光源 30として使用する場合の製造方法又は使用方法 (稼働方法)の一例につき説明する。

その製造方法の一例は、図 1の放電ランプ 1の 2つの電極間の放電により発生した光によってウェハ Wにレチクル Rのパターンの像を露光する投影露光装置の製造方法であって、放電ランプ 1を保持するための図 8に示す取り付け装置 31に、放電ランプ 1の一方の口金部 26を介して放電ランプ 1を装着するステップ S 1と、放電ランプ 1 の他方の口金部 28の端子部 28aに電力ケーブル 33B (用力ケーブル）を接続するステツプ S2と、そのように装着された放電ランプ 1の口金部 26を取り付け装置 31に装着された状態で冷却するステップ S3とを備えている。これによつて、放電ランプ 1を効率的に冷却できる。

[0074] この場合、そのステップ S 1は、さらに取り付け装置 31の位置決め板 50の開口 50b 及び円筒部材 52の内面に口金部 26の一部（軸部 26b及び固定部 26h)を揷入するステップ S 11と、取り付け装置 31に揷入された口金部 26に対して放電ランプ 1を保持するための押圧力（保持力）を付勢するステップ S12と、取り付け装置 31の円筒部材 52と口金部 26の溝部 26dとの間に冷却用気体の流路を形成するステップ S13とを含むこと力 Sできる。

[0075] さらに、そのステップ S3は、そのステップ S 13で形成された流路に図 9の送風装置 7 1から冷却用気体を供給するステップ 31を含むことができる。このようにほぼ密閉された流路に冷却用気体を流すことによって、口金部 26をより効率的に冷却できる。また、さらに電力ケーブル 33Bが接続された口金部 28を、電力ケーブル 33Bを介して供給された冷却用液体により冷却するステップ S4を含むこともできる。これによつて、口金部 28も冷却され、ひいては放電ランプ 1のガラス管 25も効率的に冷却できる

〇

[0076] 次に、本発明の放電ランプの実施形態の他の種々の例につき図 11〜図 18を参照して説明する。以下で説明する種々の放電ランプもそれぞれ図 3及び図 4の取り付け装置 31に容易に着脱できるとともに、必要に応じて固定する力を容易に目標とする範囲内に設定できる。そして、それらの放電ランプを取り付け装置 31に装着して構成される光源は、図 1の露光装置の露光光源 30として使用できる。また、図 11 (A)〜（ D)、図 12 (A)〜（D)、図 13 (A)〜（C)、図 14 (A)、（B)、及び図 15 (A)、（B)に示す放電ランプ 1A〜10は、いずれも、その一方の口金部の軸部の表面の溝部（又はその表面自体）と、対応する図 3の取り付け装置 31の円筒部材 52との間に形成される流路に冷却用媒体 (気体又は液体）を流すものであり、図 15 (C)、（D)に示す放電ランプ IP, 1Qは、その一方の口金部の軸部の内部を通過するように、フランジ部近傍と固定部 (被付勢部）との間に備えられた流体路に冷却用媒体を流すものであり、図 18 (A)、（B)に示す放電ランプ 1AA、 1ABは、その一方の口金部に、嵌合部として機能する部分と、冷却用媒体が接触する部分とを分けたものである。以下、図 11 〜図 18において、図 2 (A)及び図 2 (B)に対応する部分には同一又は類似の符号を付してその詳細な説明を省略又は簡略化する。

[0077] 先ず、図 11 (A)の放電ランプ 1 Aは、内部で発光部が形成されるバルブ部 25aを含むガラス管 25Aを長手方向に挟むように、その発光部を形成するための陰極及び陽極（不図示）がそれぞれ接続された口金部 26A及び 28を固定して構成され、一方の口金部 26Aが図 3 (A)の取り付け装置 31によって固定される。なお、そのガラス管 2 5Aの棒状部 25Ab, 25Acの段差形状は、図 2 (A)の放電ランプ 1のガラス管 25の棒状部 25b, 25cと僅かに異なっている力 S、発光する照明光の波長及び出力はほぼ

| BJしでめる。

[0078] また、図 11 (A)の放電ランプ 1 Aの口金部 26Aは、その軸部 26b (嵌合部）に形成された溝部 26 Adが、図 2 (A)の口金部 26の溝部 26 dとは逆周りの螺旋状に（例えばねじ用の溝状に)形成されている点と、その軸部 26bの先端に凹部 26fとほぼ同じ断面形状の円柱状の先端部 2¾が形成されて!/、る点とが、図 2 (A)の口金部 26と異なつている。溝部 26Adのフランジ部 26a (当接部)側の始点と開口 27Bとの位置関係は、口金部 26Aを図 3の取り付け装置 31に装着したときに、図 9の送風装置 71から図 3の位置決め板 50の通気孔 50cに供給された冷却された気体 (冷却用媒体）が、溝部 26Adの始点に流入するように設定されている。これによつて、口金部 26Aひいては放電ランプ 1 Aが効率的に冷却される。

[0079] 次に、図 11 (B)の放電ランプ 1Bは、ガラス管 25Aを口金部 26B及び 28で挟んで構成され、口金部 26Bの軸部 26bのフランジ部 26aの近傍にリング状の切り欠き部 2 6c (溝部）が形成され、この切り欠き部 26cに溝部 26Adが連通している点力図 11 ( A)の放電ランプ 1Aと異なっている。この結果、放電ランプ 1Bの口金部 26Bを図 3の取り付け装置 31に装着した場合、溝部 26Adの始点と開口 27Bとの位置関係に関係なぐ図 9の送風装置 71から図 3の位置決め板 50の通気孔 50cに供給された冷却された気体が、切り欠き部 26cを介して溝部 26Adに流入する。これによつて、溝部 26 Adの加工が容易になる。

[0080] 次に、図 11 (C)の放電ランプ 1Cは、その口金部 26Cの軸部 26bのフランジ部 26a の近傍にリング状の切り欠き部 26Ccが形成され、この切り欠き部 26Ccと凹部 26f ( 段部）とを連通するように、軸部 26bの表面に、ガラス管 25Aの長手方向 Lに平行に複数の溝部 26Cdが形成されている点力図 11 (A)の放電ランプ 1 Aと異なっている。この結果、放電ランプ 1Cの口金部 26Cを図 3の取り付け装置 31に装着した場合、図 9の送風装置 71から図 3の位置決め板 50の通気孔 50cに供給された冷却された気体 (冷却用媒体） 1S 切り欠き部 26Cc及び溝部 26Cdを介して凹部 26f側に流れる。これによつて、放電ランプ 1Cが効率的に冷却される。

[0081] 次に、図 11 (D)の放電ランプ 1Dは、その口金部 26Dのフランジ部 26Daに溝部 D 1が設けられ、軸部 26bの表面に長手方向 Lに沿って、長手方向 Lに平行な軸を中心とする複数のリング状の切り欠き部 26Dkが形成され、これらの切り欠き部 26Dkの間の軸部 26bに交互に例えば 180° 異なる間隔で溝部 D2が形成されている点が、図 11 (A)の放電ランプ 1 Aと異なっている。この結果、放電ランプ 1Dの口金部 26D を図 3の取り付け装置 31に装着した場合、図 9の送風装置 71から図 3の位置決め板 50の通気孔 50cに供給された冷却された気体力 S、溝部 Dl、切り欠き部 26Dk、及び溝部 D2を介して軸部 26bの表面を流れるとともに、溝部 D1からガラス管 25A側に排気される。これによつて、口金部 26D及びガラス管 25A、ひいては放電ランプ IDが効率的に冷却される。

[0082] 次に、図 12 (A)の放電ランプ 1Eは、その口金部 26Eの軸部 26bの表面に長手方向 Lに沿って、長手方向 Lに平行な軸を中心とする複数のリング状の切り欠き部 26E k (横溝）が形成され、これらの切り欠き部 26Ekの間の軸部 26bが複数の放熱用のフインとして作用する点力図 11 (A)の放電ランプ 1 Aと異なっている。この結果、放電ランプ 1Eの口金部 26Eを図 3の取り付け装置 31に装着した場合、図 9の送風装置 7 1から図 3の位置決め板 50の通気孔 50cに供給された冷却された気体力切り欠き部 26Ekを介して軸部 26bの表面を流れて、放電ランプ 1Eが効率的に冷却される。

[0083] 次に、図 12 (B)の放電ランプ 1Fは、その口金部 26Fの軸部 26bの表面に長手方向 Lに沿って、長手方向 Lに平行な軸を中心とする複数のリング状の切り欠き部 26F kが形成され、これらの切り欠き部 26Fkの間の軸部 26bの 90° 間隔の 4箇所にそれぞれ溝部 Gl , G2, G3 (4番目の溝部は不図示）が形成されている点力図 11 (A) の放電ランプ 1Aと異なっている。放電ランプ 1Fの口金部 26Fを図 3の取り付け装置 31に装着した場合、図 9の送風装置 71から図 3の位置決め板 50の通気孔 50cに供給された冷却された気体が、切り欠き部 26Fk及び溝部 F1等を介して軸部 26bの表面を凹部 26f側に流れるため、放電ランプ 1Fは効率的に冷却される。

[0084] 次に、図 12 (C)の放電ランプ 1Gは、その口金部 26Gの軸部 26bのフランジ部 26a の近傍に切り欠き部 26cが形成され、この切り欠き部 26cに連通するように、軸部 26b の表面に回転方向が異なる 2つの螺旋状の溝部 26d及び 26Gdが交差して形成されてレ、る点力図 11 (B)の放電ランプ 1Bと異なって!/、る。

一方、図 12 (D)の放電ランプ 1Hは、その口金部 26Hの軸部 26bのフランジ部 26a の近傍に切り欠き部 26cが形成され、この切り欠き部 26cに連通するように、軸部 26b の表面に多条ねじ (本例では 2条ねじ）状に螺旋状の複数の平行な溝部 26Hdが形成されている点が、図 11 (B)の放電ランプ 1Bと異なっている。これらの放電ランプ 1 G (又は 1H)は、 2つの溝部 26d, 26Gd (又は複数の溝部 26Hd)に沿って冷却された気体が流れるため、特に冷却効果に優れて!/、る。

[0085] 次に、図 13 (A)の放電ランプ IIは、その口金部 261の軸部 26bの先端部の図 3の固定用アーム 55A等によって付勢される部分のうち、被押圧面 26Igがガラス管 25A の長手方向に垂直な平面に対して緩やかに傾斜している点と、被押圧面 26Igとともに固定部 26hを挟む面取り部 26Iiが、被押圧面 26Igとほぼ対称に緩やかに傾斜している点と力図 11 (A)の放電ランプ 1 Aと異なっている。その放電ランプ IIの口金部 261を図 3の取り付け装置 31に装着したときに、被押圧面 26Igに対する固定用ァーム 55A等からの付勢力を高めることができる場合がある。この場合には、放電ランプ IIをより安定に保持できる。 [0086] 一方、図 13 (B)の放電ランプ 1Jは、その口金部 26Jの被押圧面 26Jgが、図 13 (A) の被押圧面 26Igとは逆方向に傾斜して、固定部 26hがお椀型である点力図 11 (A )の放電ランプ 1Aと異なっている。図 3の固定用アーム 55A等の支持方法等によつては、その放電ランプ 1Jの口金部 26Jを図 3の取り付け装置 31に装着したときに、被押圧面 26Jgに対する固定用アーム 55A等からの付勢力を高めることができる場合がある。この場合にも、放電ランプ 1Jをより安定に保持できる。

[0087] また、図 13 (C)の放電ランプ 1Kは、その口金部 26Kの固定部 26Khの形状が小さい点が、図 11 (A)の放電ランプ 1 Aと異なっている。これによつて、図 3の取り付け装置 31の構成を小型化できる場合がある。

次に、図 14 (A)の放電ランプ 1Lは、その口金部 26Lの軸部 26bのフランジ部 26a の近傍に切り欠き部 26cが形成され、この切り欠き部 26cに連通するように、軸部 26b の表面に回転方向が異なる 2つの多条ねじ (例えば 2条ねじ等）の螺旋状の複数の溝部 26Ld及び 26Hdが交差して形成されている点力図 11 (B)の放電ランプ IBと異なっている。

[0088] 一方、図 14 (B)の放電ランプ 1Mは、その口金部 26Mの軸部 26bのフランジ部 26 aの近傍に切り欠き部 26cが形成され、この切り欠き部 26cに連通するように、軸部 26 bの表面に多条ねじ（例えば 2条ねじ）状の螺旋状の複数の平行な溝部 26Ldと、多条ねじ (例えば 3条ねじ）状で長いピッチの螺旋状の複数の平行な溝部 26Mdとが交差するように形成されている点力図 11 (B)の放電ランプ 1Bと異なっている。これらの放電ランプ 1L及び 1Mによれば、冷却用媒体が流れる溝部が増加しているため、特に冷却効果に優れて!/、る。

[0089] 次に、図 15 (A)の放電ランプ 1Nは、その口金部 26Nの軸部 26bの先端部の図 3 の固定用アーム 55A等によって付勢される部分において、 3箇所の固定部 26hl , 2 6h2, 26h3が設けられている点力図 11 (B)の放電ランプ IBと異なっている。その放電ランプ 1Nの口金部 26Nを図 3の取り付け装置 31に装着したときに、図 6の 3箇所の固定用アーム 55A〜55Cがそれぞれ固定部 26h；!〜 26h3を長手方向に付勢するため、放電ランプ 1Nが取り付け装置 31に安定に保持される。この場合には、図 11 (B)の放電ランプ 1B等に比べて、口金部 26Nを軽量化できる。 [0090] 一方、図 15 (B)の放電ランプ lOは、その口金部 260の軸部 26bの表面が矩形状の多数の凸部 26ηを除いて凹部 26mとされている点力図 11 (A)の放電ランプ 1 A と異なっている。図 15 (B)の AA線に沿う断面図である図 16 (A)に示すように、口金部 260の軸部 26bの凸部 26ηの間は溝部となっている。その結果、放電ランプ lOの口金部 260を図 3の取り付け装置 31に装着した場合、図 9の送風装置 71から図 3の位置決め板 50の通気孔 50cに供給された冷却された気体が、その軸部 26bの凸部 26ηの間の溝部を流れて、放電ランプ lOが効率的に冷却される。この場合、凸部 26 ηの数を少なくすることにより流通抵抗を小さくでき、供給される気体の流量を多くしたい状況により適している。

[0091] 次に、図 15 (C)の放電ランプ 1Pは、その口金部 26Ρの軸部 26bのフランジ部 26a の近傍 (本例ではフランジ部 26aに接する位置）にリング状の切り欠き部 26Pc (溝部）が形成され、この切り欠き部 26Pcに連通するように、軸部 26bの内部を通過するように、かつフランジ部 26a (切り欠き部 26Pc)力も凹部 26fに至るように長手方向 Lに平行に複数の貫通穴よりなる流体路 26Pdが備えられて!/、る（本例では、形成されて!/ヽる）点力図 11 (B)の放電ランプ 1Bと異なっている。各流体路 26Pdはそれぞれ切り欠き部 26Pcに連通する開口 P1と、凹部 26f (面取り部 26e)に連通する開口 P2とを有している。図 15 (C)の BB線に沿う断面図である図 16 (B)に示すように、口金部 26 Pの軸部 26bにおいて、複数の流体路 26Pdはほぼ同一円周上に配置されている。その結果、放電ランプ 1Pの口金部 26Pを図 3の取り付け装置 31に装着すると、図 9 の送風装置 71から図 3の位置決め板 50の通気孔 50cに供給された冷却された気体ヽ切り欠き部 26Pc及び複数の流体路 26Pdを介して軸部 26bの内部を凹部 26f側に流れるため、放電ランプ 1Pは効率的に冷却される。

[0092] 一方、図 15 (D)の放電ランプ 1Qは、その口金部 26Qの軸部 26bのフランジ部 26a の近傍の内部にリング状の切り欠き部 26Rc (図 17参照）が形成され、この切り欠き部 26Rcに連通して軸部 26bの内部を通過するように、かつフランジ部 26a近傍から凹部 26fに至るように、螺旋状に流体路 26Qdが備えられている（本例では、形成されている）点力図 11 (B)の放電ランプ 1Bと異なっている。流体路 26Qdの一端は、（切り欠き部 26Rcを介して）フランジ部 26aの近傍の軸部 26bの表面に設けられた開口 Q 1に連通し、流体路 26Qdの他端は凹部 26f (面取り部 26e)に設けられた開口 Q2に連通している。図 15 (D)の CC線に沿う断面図である図 16 (C)に示すように、流体路 26Qdは、口金部 26Qの軸部 26bの内部を周回している。その結果、放電ランプ 1Q の口金部 26Qを図 3の取り付け装置 31に装着すると、図 9の送風装置 71から図 3の位置決め板 50の通気孔 50cに供給された冷却された気体が、開口 Ql、軸部 26bの内部の流体路 26Qd、及び開口 Q2を介して凹部 26f側に流れるため、放電ランプ 1 Qは効率的に冷却される。

[0093] なお、図 15 (D)の放電ランプ 1Qの口金部 26Qを製造する場合には、一例として、図 17に示すように、外側面に切り欠き部 26Rc及び螺旋状の流体路 26Qdが形成された軸部 26Rbと、この軸部よりも僅かに断面形状が小さい固定部 26Rhとを備えた棒状の主口金部 26Rの外面に対して、円筒状で上端近傍に開口 Q1が形成された副口金部 26Sを嵌合させた後、例えば一例として口金部 26R及び 26Sを溶着させればよい。なお、固定方法として、ネジ止めや接着するようにしても良い。

なお、流体路 26Qdは、口金部 26Qの外側面ではなぐ副口金部 26Sの内側面に形成してもよい。

[0094] 次に、図 18 (A)の口金部 26AAを持つ放電ランプ 1AAは、図 11 (A)の放電ランプ 1Aの軸部 26bに対して、長手方向と直交する方向の断面形状が互いに異なる 2 つの部分を備えている点が異なっている。すなわち、図 18 (A)に示すように、放電ランプ 1AAの口金部 26AAには、図 11 (A)の軸部 26bに比べて、長手方向の長さが短い嵌合部としての軸部分 26Mと、その下部の小径部 26kまでの間に軸部 26Mよりも直径 (長手方向と直交する方向における外形形状）の小さい円柱状のロッド部 26 b2とが形成されている。

[0095] 長手方向におけるロッド部 26b2の長さは、軸部分 26blの長さに比べて長ぐさらには、ロッド部 26b2の表面積は、軸部分 26bの表面積に比べて広い。

これに伴い、口金部 26AAを図 3の取り付け装置 31に装着したときに、図 9の送風装置 71から図 3の位置決め板 50の通気孔 50cに供給された冷却された気体 (冷却用媒体）が、冷却部として作用するロッド部 26b2の表面に流れるように、通気孔 50c は、ロッド部 26b2のうち、軸部分 26blの近傍に対向するように配置される。そして、通気孔 50cから供給された気体は、ロッド部 26b2の軸部分 26bl側から小径部 26k に向かって流れる。本実施形態の放電ランプ 1AAを取り付け装置 31に装着する場合には、予め通気孔 50cの位置がロッド部 26b2に対向するように調整しておけばよい。なお、本実施形態では、通気孔 50cから供給される気体は、直接、軸部分 26M に接触することがないが、ロッド部 26b2を介して、軸部分 26blを冷却することが可能である。この他の構成は、図 11 (A)の放電ランプ 1Aと同様である。

[0096] この結果、放電ランプ 1AAの口金部 26AAを図 3の取り付け装置 31に装着したときに、短い軸部分 26blによって放電ランプ 1AAの位置決めが行われるとともに、図 9の送風装置 71から図 3の位置決め板 50の通気孔 50cに供給された冷却された気体（冷却用媒体）が、口金部 26AAのロッド部 26b2の表面に送風される。これによつて、口金部 26AAひ!/、ては放電ランプ 1AAが効率的に冷却される。

なお、図 18 (B)の放電ランプ 1ABの口金部 26ABで示すように、軸部 26bの下方のロッド部 26b2の表面に螺旋状の溝部 26Adを形成してもよい。これによつて、ロッド部 26b2の気体との接触面積が大きくなるため、口金部 26ABに対する冷却効果が大きくなる。

[0097] 図 18 (A)の口金部 26AAにおいて、ロッド部 26b2の直径と小径部 26fの直径を同じに形成してもよい。

また、ロッド部 26b2の表面には、図 11 (A)〜（D)、図 12 (A)〜（D)、図 14 (A)、 ( B)、図 15 (A)、（B)の軸部 26bに形成された立体構造を適用できることは言うまでもない。

図 18 (A)、（B)の放電ランプ 1AA、 1ABでは、取り付け装置 31の円筒部材 52に嵌合する部分（軸部分 26bl)に、溝が形成されていなくともロッド部 26b2の表面に送風される気体によって、効率的に冷却することができる。

[0098] 次に、図 2、図 11〜図 16、及び図 18の放電ランプ 1及び放電ランプ 1A〜1Qは、発光部を形成するガラス管 25 (又は 25A)と、このガラス管に連結された口金部 26 ( 又は 26A〜26Q)とを備えた放電ランプであって、その口金部は、長手方向 L (第 1 の方向）に平行な第 1の軸に沿ってそのガラス管から離れる方向に、順に、その第 1 の軸を中心とする第 1の半径 (R1とする）以上の半径を有する円盤形状を包含する形状を有するフランジ部 26a (又は 26Da)と、その第 1の軸を中心とするその半径 R1より小さな第 2の半径 (R2とする）を有する円柱形状に外接する形状を有する軸部 26b とを有するとも言うこと力 Sできる。さらに、それらの放電ランプは、その第 1の軸を中心としてその半径 R2より小さな第 3の半径 (R3とする）を有する円柱形状を包含する形状を有する小径部 26kと、その第 1の軸を中心として、その半径 R1より小さくかつその半径 R3より大きな第 4の半径 (R4とする）を有する円盤形状を包含する形状を有する付勢対象となる部分（被押圧面 26g (26Ig等）及び固定部 26h (26hl~26h3 )を含む部分）と、を有するとともに、その軸部 26bの外周またはその近傍に、その軸部 26bと空気（雰囲気気体）との接触面積を増大せしめるための立体的な構造としての溝部 26d等（又は流体路 26Pd, 26Qd等）を有するとも言うこと力 Sできる。

[0099] この場合、図 9の送風装置 71から図 3の位置決め板 50の通気孔 50cを介してその立体的な構造の周囲又は内部に冷却された気体 (又は液体)を供給することで、その軸部 26b、ひいては放電ランプを効率的に冷却できる。

この場合、フランジ部 26a等、及び付勢対象となる部分が、円盤形状を包含する形状を有するとは、それらの外面の少なくとも一部が円盤形状に内接するとともに、それらの内部に貫通孔（ねじ穴を含む）又は開いた穴等が形成されて!/、てもよ!/、ことを意味する。また、その軸部 26bがその円柱形状に外接するとは、軸部 26bの形状が、その円柱形状に対しその半径方向に、はみ出さない形状であって、かつ軸部 26bの外形端 (外側面）が、複数箇所で、その円柱形状の側面に接することを言う。また、その立体的な構造が、その軸部 26bと空気との接触面積を増大せしめるとは、その軸部 2 6bの空気との接触面積を、その半径 R2を有する円柱形状の側面よりも大きくすることを言う。この場合、その立体的な構造がその軸部 26b内に設けられる流体路 26Pd , 26Qdであるときには、その立体的な構造が、その軸部 26bと空気との接触面積を増大せしめるとは、その軸部 26bの側面の面積と、その流体路 26Pd, 26Qdの内面の面積との和が、その半径 R2を有する円柱形状の側面の面積よりも、大きくなることを言う。

[0100] また、その立体的な構造が、図 2 (A)の螺旋状の溝部 26d、図 11 (C)の縦方向の溝部 26Cd、図 15 (B)の多数の凸部 26ηのような、軸部 26bの外周に設けられた凹凸形状である場合には、その加工が容易である。

また、立体的な構造が、図 15 (C)、（D)の流体路 26Pd, 26Qdのような軸部 26bの内部に設けられた流体路である場合には、放電ランプ IP, 1Qの口金部 26P, 26Q の軸部 26bと図 3の取り付け装置 31の円筒部材 52との接触面積を増大させて、口金部 26P, 26Qをより安定に保持できるとともに、放電ランプ IP, 1Qの冷却も効率的に fiうこと力 Sでさる。

[0101] また、図 15 (C)、（D)に示すように、軸部 26bのフランジ部 26aの近傍の外側面及び軸部 26bの小径部 26k側の端部の近傍に、それぞれ流体路 26Pd, 26Qdに連通する開口 PI , Q1及び開口 P2及び Q2が形成された場合には、フランジ部 26aから凹部 26fに至る軸部 26bのほぼ全体を効率的に冷却できる。

なお、上述した立体的な構造は、取り付け装置 31に放電ランプが装着された際に、冷却用の媒体 (例えば、気体）が接触する冷却部と言うことができる。この冷却部は、立体的な構造に限らず、図 18 (A)のロッド部 26b2のように、嵌合部としての軸部分 26Mの直径よりも小さい直径で形成され、かつなだらかな表面を有するものも含まれ

[0102] さらに、図 2、図 11〜図 16、及び図 18の放電ランプ 1及び放電ランプ 1A〜1Qは、長手方向に伸びるように形成されたガラス管 25 (又は 25A)と、このガラス管の長手方向側の端部に、一端部が連結された口金部 26 (又は 26A〜26Q)とを備えた放電ランプである。さらに、口金部に設けられたフランジ部 26aは、長手方向と直交する方向に突出して形成されていると言うことができる。また、嵌合部 26bは、フランジ部 26a と口金部 26の開放端 (ガラス管に連結された端部を一端部と定義したので、ここでは、他端部と言うこともできる）との間に設けられ、長手方向と直交する方向に関する外形形状がフランジ部 26aの外形形状よりも小さレ、形状を有すると言うことができる。なお、本実施形態では、長手方向と直交する方向に関して、フランジ部の外形形状は円形であり、また、嵌合部 26bの外形形状も円形である。

[0103] また、小径部 26kは、フランジ部 26aと口金部 26の開放端との間に設けられ、長手方向と直交する方向に関する外形形状が嵌合部 26bよりも小さい形状を有すると言うこと力 Sできる。また、固定部 26hは、フランジ部 26aと口金部 26の開放端との間に設けられ、長手方向と直交する方向に関する外形形状がフランジ部 26aの外形形状より小さぐかつ小径部 26kよりも大きい形状を有すると言うことができる。また、上記の実施の形態の投影露光装置は、露光光源、複数のレンズ等から構成される照明光学系、及び投影光学系を露光装置本体に組み込み光学調整をして、多数の機械部品からなるレチクルステージやウェハステージを露光装置本体に取り付けて配線や配管を接続し、更に総合調整 (電気調整、動作確認等）をすることにより製造すること力できる。なお、その投影露光装置の製造は温度及びクリーン度等が管理されたタリーンルームで行うことが望まし!/、。

[0104] 本実施形態によれば、取り付け装置 (保持装置） 31の切替用リンク機構 (切替機構 ) 63によって、その固定用アーム（付勢部材）によるその放電ランプの固定部 (被付勢部） 26hに対する押圧を解除するのみで、その取り付け装置 31に対するその放電ランプの取り外し及び装着を容易に短時間に行うことができる。また、その切替用リンク機構 63によって、その固定用アームによるその固定部 26hに対するその第 1方向への押圧を開始するだけで、容易にその放電ランプは、目標とする範囲内のほぼ一定の押圧力でその取り付け装置 31に固定される。また、その気体供給装置から媒体を供給すると、その媒体がその口金部材の表面に沿ってその固定部 26h側に流れるため、簡単な機構で放電ランプの冷却を効率的に行うことができる。

[0105] なお、上記の実施形態の露光装置を用いて半導体デバイス等のマイクロデバイスを製造する場合、マイクロデバイスは、図 19に示すように、マイクロデバイスの機能 · 性能設計を行うステップ 201、この設計ステップに基づいたマスク（レチクル）を製作するステップ 202、デバイスの基材である基板を製造するステップ 203、前述した実施形態の投影露光装置 (露光装置）によりマスク (レチクル)のパターンを基板に露光する工程、露光した基板を現像する工程、現像した基板の加熱 (キュア）及びエッチング工程などを含む基板処理ステップ 204、デバイス組み立てステップ (ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程などの加工プロセスを含む） 205、並びに検査ステップ 206等を経て製造される。

[0106] なお、本発明の光源装置は、上述のステップ ·アンド ·リピート方式の投影露光装置

(ステッパー等）の他に、ステップ 'アンド '·スキャン方式の走査露光型の投影露光装置 (スキャニング'ステッパー等）の露光光源にも適用できる。また、本発明の光源装置は、国際公開第 99/49504号パンフレット、国際公開第 2004/019128号パンフレット等に開示される液浸型露光装置の露光光源にも適用することができる。また、本発明の光源装置は、投影光学系を使用しないプロキシミティ方式若しくはコンタクト方式の露光装置の光源装置、又は露光装置以外の機器の光源にも適用することができる。

[0107] なお、上述の実施形態においては、転写用のパターンが形成されたレチクル (マスク）を用いた力 S、このレチクルに代えて、例えば米国特許第 6, 778, 257号明細書に開示されているように、露光すべきパターンの電子データに基づいて透過パターンまたは反射パターンを形成する電子マスクを用いてもよ!/、。

また、本発明は、半導体デバイス製造用の露光装置に限らず、液晶表示素子ゃプラズマディスプレイなどを含むディスプレイの製造に用いられる、デバイスパターンをガラスプレート上に転写する露光装置、薄膜磁気ヘッドの製造に用いられるデバイスノターンをセラミックスウェハ上に転写する露光装置、並びに撮像素子（CCDなど）、有機 EL、マイクロマシーン、 MEMS(Microelectromechanical Systems),及び DNA チップなどの製造に用いられる露光装置などにも適用することができる。また、半導体素子などのマイクロデバイスだけでなぐ光露光装置及び EUV露光装置などで使用されるマスクを製造するために、ガラス基板又はシリコンウェハなどに回路パターンを転写する露光装置にも本発明を適用できる。

[0108] また、例えば、図 13 (A)、（B)、（C)の固定部 26hの被押圧面の形状をその他の各放電ランプに適用することが可能である。

このように本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を取り得る。また、明細書、特許請求の範囲、図面、及び要約を含む 2006年 9月 1日付け提出の曰本国特願 2006— 237252、 2007年 1月 15日付け提出の曰本国特願 2007— 006462、及び 2007年 5月 11日付け提出の曰本国特願 2007— 127451の全ての開示内容は、そっくりそのまま引用して本願に組み込まれている。

産業上の利用可能性本発明の光源装置によれば、保持装置 (取り付け機構）に対する放電ランプの装着等を容易に短時間に行うことができる。また、簡単な機構で放電ランプの冷却を効率的に行うことができるため、露光装置の露光光源等に好適である。

Claims

請求の範囲

[1] 発光部を形成するガラス部材と、該ガラス部材に連結された口金部材とを備えた放電ランプであって、

前記放電ランプは、該放電ランプとは別個に設けられた保持部材に前記口金部材を介して着脱可能に保持され、

前記口金部材は、

前記保持部材と当接して前記保持部材に対する前記発光部の第 1方向における位置を規定する当接部と、

前記当接部を前記第 1方向に沿って前記保持部材に押圧する押圧力が付勢される被付勢部と、

前記当接部と前記被付勢部との間に備えられ、前記保持部材と嵌合する嵌合部と前記嵌合部に備えられ、前記当接部近傍から前記被付勢部に至る冷却用媒体の流路を前記保持部材との間で構成する溝部と

を有することを特徴とする放電ランプ。

[2] 前記被付勢部は、前記口金部材の開放端近傍に備えられた凹部を含むことを特徴とする請求項 1に記載の放電ランプ。

[3] 前記溝部は、前記凹部に連通していることを特徴とする請求項 2に記載の放電ランプ。

[4] 前記被付勢部は、前記口金部材の開放端近傍に備えられた段部を含むことを特徴とする請求項 1に記載の放電ランプ。

[5] 前記段部は、前記第 1方向と直交する面における前記嵌合部の断面積よりも小さい断面積を有する小径部を含むことを特徴とする請求項 4に記載の放電ランプ。

[6] 前記嵌合部と前記小径部とは、いずれも前記第 1方向と平行な軸を中心とした円形断面を有し、

前記小径部の直径は、前記嵌合部の直径の 1/2以下であることを特徴とする請求項 5に記載の放電ランプ。

[7] 前記溝部は、前記段部に連通していることを特徴とする請求項 4から請求項 6のいずれか一項に記載の放電ランプ。

[8] 前記嵌合部は、前記第 1方向と直交する方向における前記発光部の前記保持部材に対する位置を規定することを特徴とする請求項 1から請求項 7のいずれか一項に記載の放電ランプ。

[9] 前記ガラス部材は、前記口金部材と連結する棒状部を有し、

前記嵌合部の太さは、前記棒状部の太さと略同一であることを特徴とする請求項 1 力、ら請求項 8のいずれか一項に記載の放電ランプ。

[10] 前記溝部は、前記第 1方向に沿った軸の周りに螺旋状に形成されていることを特徴とする請求項 1から請求項 9のいずれか一項に記載の放電ランプ。

[11] 前記放電ランプの前記当接部に少なくとも一つの位置決め部が形成されたことを特徴とする請求項 1から請求項 10のいずれか一項に記載の放電ランプ。

[12] 前記位置決め部は、前記嵌合部における前記溝部の形成位置に対応した位置に設けられて!/、ることを特徴とする請求項 11に記載の放電ランプ。

[13] 前記口金部の前記第 1方向の長さは、前記放電ランプの全長の 1/5以上で 1/4 以下であることを特徴とする請求項 1から請求項 12のいずれか一項に記載の放電ランプ。

[14] 前記嵌合部が前記保持部材と嵌合する部分の面積は、前記嵌合部に備えられた前記溝部の面積よりも広いことを特徴とする請求項 1から請求項 13のいずれか一項に記載の放電ランプ。

[15] 前記嵌合部が前記保持部材と嵌合する部分の面積は、前記嵌合部に備えられた前記溝部の面積の 2倍よりも広いことを特徴とする請求項 14に記載の放電ランプ。

[16] 前記放電ランプは、前記口金部材とは異なる位置で前記ガラス部材に連結された第 2口金部材を有し、

前記第 2口金部材は、内部に冷却用媒体が流通する流路が設けられていることを特徴とする請求項 1から請求項 15のいずれか一項に記載の放電ランプ。

[17] 前記第 2口金部材に設けられた前記流路は、前記第 1方向に沿った軸の周りに螺旋状に形成されたことを特徴とする請求項 16記載の放電ランプ。

[18] 前記口金部材と前記第 2口金部材とは、前記放電ランプ点灯用の電力の供給を受けるためのそれぞれ異なる極性に対応した電力受給部であり、

前記第 2口金部材は、放電ランプ点灯用の電力とともに、前記冷却用媒体が供給される用力受給端子を備えることを特徴とする請求項 16または請求項 17に記載の放電ランプ。

[19] 前記第 2口金部材は、前記口金部材に対して前記ガラス部材を挟んで前記第 1方向に沿った反対側に設けられたことを特徴とする請求項 16から請求項 18のいずれか一項に記載の放電ランプ。

[20] 発光部を形成するガラス部材と、該ガラス部材に連結された第 1口金部材と、前記第 1口金部材とは別の位置で前記ガラス部材に連結された第 2口金部材とを備えた放電ランプであって、

前記放電ランプは、該放電ランプとは別個に設けられた保持部材に前記第 1口金部材を介して着脱可能に保持され、

前記第 1口金部材は、

前記当接部に対して前記ガラス部材とは前記第 1方向に沿った反対側に備えられ、前記保持部材と嵌合する嵌合部と、

前記嵌合部に備えられて、冷却用媒体の流路を前記保持部材との間で構成する溝部とを備え、

前記第 2口金部材は、前記第 2口金部材を冷却する冷却用媒体が流通する流路を備えることを特徴とする放電ランプ。

[21] 前記嵌合部は、前記第 1方向と直交する方向における前記発光部の前記保持部材に対する位置を規定することを特徴とする請求項 20に記載の放電ランプ。

[22] 前記ガラス部材は、前記第 1口金部材と連結する棒状部を有し、

前記嵌合部の太さは、前記棒状部の太さと略同一であることを特徴とする請求項 2 0または請求項 21に記載の放電ランプ。

[23] 前記溝部は、前記第 1方向に沿った軸の周りに螺旋状に形成されていることを特徴とする請求項 20から請求項 22のいずれか一項に記載の放電ランプ。

[24] 前記放電ランプの前記当接部に少なくとも一つの位置決め部が形成されたことを特徴とする請求項 20から請求項 23のいずれか一項に記載の放電ランプ。

[25] 前記位置決め部は、前記嵌合部における前記溝部の形成位置に対応した位置に設けられていることを特徴とする請求項 24に記載の放電ランプ。

[26] 前記第 1口金部の前記第 1方向の長さは、前記放電ランプの全長の 1/5以上で 1

/4以下であることを特徴とする請求項 20から請求項 25のいずれか一項に記載の放電ランプ。

[27] 前記嵌合部が前記保持部材と嵌合する部分の面積は、前記嵌合部に備えられた前記溝部の面積よりも広!/、ことを特徴とする請求項 20から請求項 26の!/、ずれか一項に記載の放電ランプ。

[28] 前記嵌合部が前記保持部材と嵌合する部分の面積は、前記嵌合部に備えられた前記溝部の面積の 2倍よりも広いことを特徴とする請求項 27に記載の放電ランプ。

[29] 前記第 2口金部材は、冷却用媒体が流通する流路を備えることを特徴とする請求項 20力、ら請求項 28のいずれか一項に記載の放電ランプ。

[30] 前記第 1口金部材と、前記発光部と、前記第 2口金部材とは前記第 1方向に沿って配置され、

前記第 2口金部材に設けられた前記流路は、前記第 1方向に沿った軸の周りに螺旋状に形成されたことを特徴とする請求項 29に記載の放電ランプ。

[31] 前記第 1口金部材と前記第 2口金部材とは、放電ランプ点灯用の電力の供給を受けるためのそれぞれ異なる極性に対応した電力受給端子であり、

前記第 2口金部材は、前記放電ランプ点灯用の電力とともに、前記冷却用媒体が供給される用力受給端子を備えることを特徴とする請求項 20から請求項 30のいずれか一項に記載の放電ランプ。

[32] 互いに離間した第 1及び第 2電極間で放電することにより発光する放電ランプであつて、

前記第 1電極と接続された第 1口金部材と、前記第 2電極と接続された第 2口金部材とを備え、

前記第 1口金部材には、前記第 1口金部材を冷却する冷却媒体が流動する第 1流路が形成され、前記第 2口金部材には前記第 2口金部材を冷却する冷却媒体が流動する第 2流路が形成されていることを特徴とする放電ランプ。

[33] 前記第 1口金部材と、前記第 1電極と、前記第 2電極と、前記第 2口金部材とは同一の一軸上に配置され、

前記第 1流路と前記第 2流路とは、前記一軸を周回する螺旋状に形成されていることを特徴とする請求項 32に記載の放電ランプ。

[34] 前記第 2口金部材は、前記第 2口金部材を冷却する冷却媒体と、放電用の電力とが供給される用力受給端子を備えることを特徴とする請求項 32または請求項 33に記載の放電ランプ。

[35] 発光部を形成するガラス部材と該ガラス部材に連結された口金部材とを有する放電ランプと、前記口金部材を介して前記放電ランプを保持する保持部材を有する保持装置とを備えた光源装置であって、

前記放電ランプが備える前記口金部材は、

前記当接部と前記被付勢部との間に備えられ、前記保持部材と嵌合する嵌合部と前記嵌合部に備えられ、前記当接部近傍から前記被付勢部に至る冷却用媒体の流路を前記保持部材との間で構成する溝部とを有し、

前記保持装置は、

前記保持部材と、

前記被付勢部に前記押圧力を付勢する付勢部材と、

前記付勢部材による前記当接部の前記保持部材への押圧と、該押圧の解除とを切り替える切替機構と、

前記口金部材を冷却するための前記冷却用媒体を前記溝部を介して前記流路に供給する媒体供給装置とを有することを特徴とする光源装置。

[36] 前記放電ランプの前記被付勢部は、前記付勢部材によって前記当接部を前記保持部材に押圧する際に、前記付勢部材の少なくとも一部が揷入される段部を有することを特徴とする請求項 35に記載の光源装置。

[37] 前記口金部に備えられた前記溝部は、前記第 1方向に沿った軸を周回する螺旋状に形成されていることを特徴とする請求項 35または請求項 36に記載の光源装置。

[38] 前記放電ランプの前記当接部に少なくとも一つの位置決め部が形成され、

前記保持装置の前記保持部材に前記位置決め部と係合する少なくとも一つの凸部が形成されたことを特徴とする請求項 35から請求項 37のいずれか一項に記載の光源装置。

[39] 前記放電ランプの前記当接部に少なくとも一つの位置決め部が形成され、

前記保持装置の前記保持部材に前記位置決め部と係合する少なくとも一つの凸部が形成され、

前記位置決め部と前記凸部とは、前記放電ランプを前記保持装置に装着した状態において前記媒体供給装置と前記溝部とが連通する位置で係合することを特徴とする請求項 35から請求項 37のいずれか一項に記載の光源装置。

[40] 前記保持装置は、

弾性部材と、

前記第 1方向に対して傾斜したテーパ面を有し、前記弾性部材の弾性力が作用して前記第 1方向に沿って移動する移動子と、

前記テーパ面と当接して前記移動子の前記第 1方向の移動を前記段部への揷入方向の移動に変換し、少なくとも一部が前記段部に挿入される前記付勢部材としてのアーム部材とを有することを特徴とする請求項 36に記載の光源装置。

[41] 前記移動子は、前記放電ランプの前記口金部材の少なくとも一部を囲むように配置される円筒状の部材を含み、

前記アーム部材は、前記口金部材の周りに略等角度間隔で複数個配置されることを特徴とする請求項 40に記載の光源装置。

[42] 前記保持装置の前記切替機構は、回転可能に配置されたレバー部材と、

前記レバー部材の回転角に応じて前記移動子を前記第 1方向に移動するリンク機構とを有することを特徴とする請求項 40または請求項 41に記載の光源装置。

[43] 前記放電ランプは、前記口金部材とは異なる位置で前記ガラス部材と連結された第 2口金部材を有し、

前記第 2口金部材の内部に冷却用媒体が流通する流路が設けられたことを特徴とする請求項 35から請求項 42のいずれか一項に記載の光源装置。

[44] 前記口金部材と、前記発光部と、前記第 2口金部材とは前記第 1方向に沿って配置され、

前記第 2口金部材は、前記第 1方向に沿った軸を周回する螺旋状に形成された流路を有することを特徴とする請求項 43に記載の光源装置。

[45] 前記第 2口金部材は、前記冷却用媒体と前記放電ランプ点灯用の電力とが供給される用力受給端子を備えることを特徴とする請求項 43または請求項 44に記載の光源装置。

[46] 前記用力受給端子と係合可能な用力供給端子と、

前記用力供給端子に電力と冷却用媒体とを導く導電体で形成された柔軟性のある管状ケーブルとを備えることを特徴とする請求項 43から請求項 45のいずれか一項に記載の光源装置。

[47] 発光部を形成するガラス部材と、

該ガラス部材の第 1方向側に連結され、前記第 1方向と直交する第 2方向に延在する当接部と、前記第 1方向に沿った力が付勢される被付勢部と、前記当接部と前記被付勢部との間に備えられた嵌合部と、前記嵌合部に備えられた溝部とを有する口金部材と、を備え、

前記口金部材は、

前記被付勢部に付勢された前記第 1方向の力により前記当接部と当接して前記発光部の前記第 1方向の位置を規定するとともに、前記嵌合部と嵌合することにより前記第 1方向と直交する方向の位置を規定し、かつ前記保持部材と前記溝部との間に形成された流路に冷却用媒体を供給する保持装置に保持可能であることを特徴とする放電ランプ。

[48] 前記口金部材の前記被付勢部は、前記口金部材に前記第 1方向の力を作用させるための付勢部材の少なくとも一部が揷入される段部を有することを特徴とする請求項 47に記載の放電ランプ。

[49] 前記溝部は、前記第 1方向に沿った軸を周回する螺旋状に形成されていることを特徴とする請求項 47または請求項 48に記載の放電ランプ。

[50] 前記当接部は、前記保持部材に形成された少なくとも一つの凸部に係合する少なくとも一つの位置決め部を有することを特徴とする請求項 47から請求項 49のいずれか一項に記載の放電ランプ。

[51] 前記位置決め部の位置は、前記保持装置が前記冷却用媒体を供給する位置に応じて設定されていることを特徴とする請求項 50に記載の放電ランプ。

[52] 前記放電ランプは、前記口金部材が設けられた位置とは異なる位置に設けられた第 2口金部材を有し、

前記第 2口金部材の内部に冷却用媒体が流通する流路が設けられたことを特徴とする請求項 47から請求項 51のいずれか一項に記載の放電ランプ。

[53] 前記口金部材と、前記発光部と、前記第 2口金部材とは前記第 1方向に沿って配置され、

前記第 2口金部材は、前記第 1方向に沿った軸を周回する螺旋状に形成された前記流路を有することを特徴とする請求項 52に記載の放電ランプ。

[54] 前記第 2口金部材は、前記冷却用媒体と前記放電ランプ点灯用の電力とが供給される用力受給端子を備えることを特徴とする請求項 52または請求項 53に記載の放電ランプ。

[55] 光源装置から発生した露光光によって感光基板にパターンを露光する露光装置であって、

前記光源装置として請求項 35から請求項 46のいずれか一項に記載の光源装置を用いることを特徴とする露光装置。

[56] 放電ランプの 2つの電極間の放電により発生した光によって感光基板にパターンを露光する露光装置の製造方法であって、前記放電ランプを保持するための保持装置に、前記放電ランプの前記 2つの電極のうちの一方に対応して設けられた第 1口金部材を介して前記放電ランプを装着する段階と、

前記放電ランプの他方の電極に対応して設けられた第 2口金部材に用力ケーブルを接続する段階と、

前記装着された前記放電ランプの前記第 1口金部材を前記保持装置に装着された状態で冷却する段階とを備えることを特徴とする露光装置の製造方法。

[57] 前記放電ランプを装着する段階は、

前記保持装置に設けられた開口部に前記第 1口金部の一部を揷入する段階と、前記保持装置に揷入された前記第 1口金部に対して前記放電ランプを保持するための保持力を付勢する段階と

前記保持装置と前記第 1口金部材との間に冷却用媒体の流路を形成する段階とを含み、

前記冷却する段階は、前記流路に冷却用媒体を供給する段階を含むことを特徴とする請求項 56に記載の露光装置の製造方法。

[58] 前記用力ケーブルが接続された前記第 2口金部材を、前記用力ケーブルを介して供給された冷却用媒体により冷却する段階を含むことを特徴とする請求項 56または請求項 57に記載の露光装置の製造方法。

[59] 発光部を形成するガラス部材と、該ガラス部材に連結された口金部材とを備えた放電ランプであって、

前記口金部材は、

前記当接部と前記被付勢部との間に備えられ、前記保持部材と嵌合する嵌合部と前記嵌合部の内部を通過するように、前記当接部近傍と前記被付勢部との間に備えられた冷却用媒体の流路となる流体路と

を有することを特徴とする放電ランプ。

[60] 前記嵌合部の前記当接部の近傍の外側面に溝部が形成され、前記溝部に前記流体路に連通する開口が備えられたことを特徴とする請求項 59に記載の放電ランプ。

[61] 前記嵌合部の前記当接部の近傍の外側面に前記流体路に連通する開口が備えられたことを特徴とする請求項 59に記載の放電ランプ。

[62] 前記嵌合部は、前記流体路が外側面に形成された第 1部材を覆うように、円筒状の第 2部材を嵌合させて構成されることを特徴とする請求項 59から請求項 61のいずれか一項に記載の放電ランプ。

[63] 請求項 59から請求項 62のいずれか一項に記載の放電ランプと、前記口金部材を介して前記放電ランプを保持する前記保持部材を有する保持装置とを備えた光源装置であって、

前記保持装置は、

前記被付勢部に前記押圧力を付勢する付勢部材と、

前記口金部材を冷却するための媒体を前記流体路に供給する媒体供給装置とを有することを特徴とする光源装置。

[64] 発光部を形成するガラス部材と、該ガラス部材に連結された口金部材とを備えた放電ランプであって、

前記口金部材は、

第 1の方向に平行な第 1の軸に沿ってガラス部材から離れる方向に、順に、前記第 1の軸を中心とする第 1の半径以上の半径を有する円盤形状を包含する形状を有する当接部と、

前記第 1の軸を中心とする前記第 1の半径より小さな第 2の半径を有する円柱形状に外接する形状を有する嵌合部と、

前記第 1の軸を中心として前記第 2の半径より小さな第 3の半径を有する円柱形状を包含する形状を有する小径部と、前記第 1の軸を中心として、前記第 1の半径より小さくかつ前記第 3の半径より大きな第 4の半径を有する円盤形状を包含する形状を有する被付勢部と、を有するとともに、

前記嵌合部の外周またはその近傍に、前記嵌合部と空気との接触面積を増大せしめるための立体構造を有することを特徴とする放電ランプ。

[65] 前記立体構造は、前記嵌合部の外周に設けられた凹凸形状であることを特徴とする請求項 64に記載の放電ランプ。

[66] 前記立体構造は、前記嵌合部の内部に設けられた流体路であることを特徴とする請求項 64に記載の放電ランプ。

[67] 前記嵌合部の前記当接部の近傍の外側面及び前記嵌合部の前記小径部側端部の近傍に、前記流体路に連通する開口が形成されたことを特徴とする請求項 66に記載の放電ランプ。

[68] 発光部を備え、第 1方向に伸びるように形成されたガラス部材と、前記ガラス部材の前記第 1方向側の端部に、一端部が連結される第 1口金部材とを備えた放電ランプであって、

前記第 1口金部材は、

前記第 1方向と直交する直交方向に突出した突出部と、

前記突出部と前記第 1口金部材の他端部との間に設けられ、前記直交方向に関する外形形状が、前記突出部の外形形状より小さい第 1軸部と、

前記突出部と前記第 1口金部材の他端部との間に設けられ、前記直交方向に関する外形形状が、前記第 1軸部より小さい第 2軸部と、

前記突出部と前記第 1口金部材の他端部との間に設けられ、前記直交方向に関する外形形状が、前記突出部の外形形状より小さぐかつ前記第 2軸部よりも大きい第 3 軸部と、

前記第 1軸部の外周面の少なくとも一部に設けられ、冷却用媒体と接触可能な冷却部とを備えることを特徴とする放電ランプ。

[69] 前記第 1軸部は、前記第 1方向に伸びる円柱形状で形成されることを特徴とする請求項 68に記載の放電ランプ。

[70] 前記第 1軸部は、前記直交方向に関する外形形状が互いに異なる 2つの部分を有することを特徴とする請求項 68に記載の放電ランプ。

[71] 前記第 1軸部は、第 1部分と、前記直交方向に関する外形形状が、前記第 1部分より小さい形状を有する第 2部分とを有することを特徴とする請求項 70に記載の放電ランプ。

[72] 前記第 1軸部は、前記直交方向に関する外形形状が円形で形成された第 1部分と、前記冷却部を備えた第 2部分とを有することを特徴とする請求項 70に記載の放電ランプ。

[73] 前記第 1口金部材は、前記一端部から前記他端部に順に、前記突出部と、前記第

1軸部の前記第 1部分と、前記第 1軸部の前記第 2部分と、前記第 2軸部と、前記第 3 軸部とを備えることを特徴とする請求項 72に記載の放電ランプ。

[74] 前記第 3軸部は、前記直交方向に関する外形形状が、前記第 1軸部と同じ力、、あるいは前記第 1軸部より小さレ、ことを特徴とする請求項 68から請求項 73の!/、ずれか一項に記載の放電ランプ。

[75] 前記第 3軸部は、前記直交方向に突出した複数の凸部を有することを特徴とする請求項 68から請求項 74のいずれか一項に記載の放電ランプ。

[76] 前記第 3軸部は、前記ガラス部材側に形成された表面を有することを特徴とする請求項 68から請求項 74のいずれか一項に記載の放電ランプ。

[77] 前記表面は、前記第 1方向に直交する平面であることを特徴とする請求項 76に記載の放電ランプ。

[78] 前記表面は、前記第 1方向に直交する平面に対して傾斜している面であることを特徴とする請求項 76に記載の放電ランプ。

[79] 前記冷却部は、前記第 1口金部材の前記一端部側から前記他端部側に向かう溝部を有することを特徴とする請求項 68から請求項 78のいずれか一項に記載の放電ランプ。

[80] 前記溝部は、前記第 1方向に沿った軸の周りに螺旋状に形成されていることを特徴とする請求項 79に記載の放電ランプ。

[81] 前記溝部は、前記第 1方向に沿って形成されていることを特徴とする請求項 79に記載の放電ランプ。

[82] 前記冷却部は、前記第 1軸部の外周面の少なくとも一部に設けられた凹凸形状を有することを特徴とする請求項 68から請求項 78のいずれか一項に記載の放電ランプ。

[83] 前記突出部は、輪帯状に形成されることを特徴とする請求項 68から請求項 82のいずれか一項に記載の放電ランプ。

[84] 前記突出部は、前記第 1方向に伸びる複数の開口を有することを特徴とする請求項 68から請求項 82のいずれか一項に記載の放電ランプ。

[85] 前記突出部は、前記第 1方向に伸びる複数の溝を有することを特徴とする請求項 6

8から請求項 82のいずれか一項に記載の放電ランプ。

[86] 前記第 1口金部材に対して、前記ガラス部材を挟んで前記第 1方向に沿った反対側に設けられる第 2口金部材を備え、

前記第 2口金部材は、前記第 1方向に沿って形成された溝部を有することを特徴とする請求項 68から請求項 85のいずれか一項に記載の放電ランプ。

[87] 前記第 1口金部材に対して、前記ガラス部材を挟んで前記第 1方向に沿った反対側に設けられる第 2口金部材を備え、

前記第 2口金部材は、前記第 1方向に沿った軸の周りに形成された螺旋状の溝部を有することを特徴とする請求項 86に記載の放電ランプ。

[88] 前記第 2口金部材は、前記溝部を覆うカバーを備えることを特徴とする請求項 86または請求項 87に記載の放電ランプ。

[89] 発光部を形成するガラス部材と、該ガラス部材に連結された口金部材とを備えた放電ランプであって、

前記放電ランプは、該放電ランプとは別個に設けられた保持部材に前記口金部材を介して着脱可能であり、

前記口金部材は、

前記当接部と前記被付勢部との間に備えられ、前記保持部材と嵌合する嵌合部と前記当接部と前記被付勢部との間に設けられ、前記当接部近傍から前記被付勢部に至る冷却用媒体の流路を前記保持部材との間で構成する冷却部と

を有することを特徴とする放電ランプ。

[90] 前記冷却部は、前記第 1方向に沿った軸の周りに螺旋状に形成された溝部を有することを特徴とする請求項 89に記載の放電ランプ。

[91] 前記放電ランプは、前記口金部材とは異なる位置で前記ガラス部材に連結された第 2口金部材を有し、

前記第 2口金部材は、内部に冷却用媒体が流通する流路が設けられていることを特徴とする請求項 89または請求項 90に記載の放電ランプ。

[92] 前記第 2口金部材に設けられた前記流路は、前記第 1方向に沿った軸の周りに螺旋状に形成されたことを特徴とする請求項 91記載の放電ランプ。

[93] 発光部を形成するガラス部材と、該ガラス部材に連結された第 1口金部材と、前記第 1口金部材とは別の位置で前記ガラス部材に連結された第 2口金部材とを備えた放電ランプであって、

前記放電ランプは、該放電ランプとは別個に設けられた保持部材に前記第 1口金部材を介して着脱可能であり、

前記第 1口金部材は、

前記保持部材との間で構成する冷却用媒体の流路とを備え、

[94] 前記第 1口金部材に設けられた前記流路は、前記第 1方向に沿った軸の周りに螺旋状に形成されたことを特徴とする請求項 93に記載の放電ランプ。

[95] 前記第 2口金部材に設けられた前記流路は、前記第 1方向に沿った軸の周りに螺旋状に形成されたことを特徴とする請求項 93または請求項 94に記載の放電ランプ。

[96] 発光部を形成するガラス部材と該ガラス部材に連結された口金部材とを有する放電ランプと、前記口金部材を介して前記放電ランプを保持する保持部材を有する保持装置とを備えた光源装置であって、

前記放電ランプが備える前記口金部材は、

前記当接部と前記被付勢部との間に備えられ、前記保持部材に対し、前記発光部の前記第 1方向と直交する方向における位置を規定する規定部と、

前記当接部と前記被付勢部との間に備えられ、前記当接部近傍から前記被付勢部に至る冷却用媒体の流路を前記保持部材との間で構成する冷却部とを有し、前記保持装置は、

前記保持部材と、

前記被付勢部に前記押圧力を付勢する付勢部材と、

前記口金部材を冷却するための前記冷却用媒体を前記流路に供給する媒体供給装置と

を有することを特徴とする光源装置。