JP4386555B2 - 放電灯およびその冷却方法 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体、液晶、あるいはプリント基板などのワークを光処理する放電灯に関し、特に、耐クラック性に優れた口金部を有する放電灯、およびその冷却方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体、液晶、あるいはプリント基板などのワークを光処理する放電灯としては、例えば図5に示すものがあった。この放電灯は、発光管2、陰極3、陽極4、第1内部リード5、第2内部リード6、第1ビーズ管7、第2ビーズ管8、第1石英ガラス棒9、第2石英ガラス棒10、第1口金11、および第2口金12を備えている。
【0003】
発光管2は、石英ガラスにより略球状あるいは楕円球状に形成された発光部と、その両側に管状に形成された一対の封止部とを有する。発光部の内部では陰極3と陽極4が対向している。陰極3の後方には第1内部リード5が接続され、陽極4の後方には第2内部リード6が接続されている。第1内部リード5は第1ビーズ管7に挿通され、その後端は第1石英ガラス棒9内に挿入されている。同様に、第2内部リード6は第2ビーズ管8に挿通され、その後端は第2石英ガラス棒10内に挿入されている。
【0004】
封止部の内、第1石英ガラス棒9を収納している部分の外側には第1口金11が固定され、第2石英ガラス棒10を収納している部分の外側には第2口金12が固定されている。
【0005】
図6は、図5における陽極側の封止部、および口金の内部の構造を示す断面図である。この図に示すように、第2石英ガラス棒10の一端(陽極側の端)には第2内部リード6が挿入されている。また、第2石英ガラス棒10の他端には電流導入用金属14の先端側が挿入されている。電流導入用金属14の後端側は接合部16を介して給電線15が接続されている。さらに、第2石英ガラス棒10の外周面には電流導入用金属箔(図示せず)が配置され、発光管2の内面に溶融密着されている。そして、前記接合部16を覆うように第2口金12が配設されている。以上、陽極側の封止部について説明したが、陰極側の構造も同様である。
【0006】
このように封止された発光管2の内部には、水銀、およびアルゴンやキセノンなどの希ガスからなる放電媒体が封入され、高圧放電灯を構成している。
【0007】
以上のように構成された放電灯の点灯中での理想的な冷却バランスについて説明する。まず発光部は、低温時の水銀の未蒸発や、高温時の破裂の危険性を回避するために、500〜800℃が理想である。また、封止部は電流導入用金属箔の熱膨脹による封止部クラックや前記金属箔の発光部側の剥がれの誘発を防止するために、400℃以下が理想である。さらに、給電線15と電流導入用金属14との接合部16は、接合部16およびその周辺の酸化やそれに伴う電流導入用金属14の熱膨脹による封止部クラックの発生を防止するために、100℃以下が理想である。そして、このような理想的な冷却バランスを作成するために、放電灯の口金に気体(空気、窒素ガスなど)を吹きつける方法が一般的に行われていた。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の冷却方法では理想的な冷却バランスが実現されていなかった。以下、この点について図7〜図11を用いて説明する。
【0009】
図7は、空気孔のない口金に冷却用気体を吹きつけた場合を示す図である。この図の(a)は斜視図であり、(b)は口金の部分の水平断面である。図7に示すよに、同一水平面内で90°異なるA、Bの方向の冷却ノズルにより、空気孔のない口金12に対して冷却用気体を吹きつけた場合には、給電線15と電流導入用金属14との接合部16が適正温度内(100℃以下)となるように冷却すると、冷却用気体の流量が膨大になり、発光部が冷却されすぎてしまい、水銀の未蒸発が発生してしまう。その理由は、図7(a)に示すように、口金12に衝突した冷却用気体が図のE1、F1に示すように発光管2へと回り、その温度を低下させるからである。
【0010】
図8に示すように、発光部において陰極側を第1発光部R、陽極側を第2発光部S、陰極側の封止部を第1封止部Q、陽極側の封止部を第2封止部T、陰極側の接合部を第1接合部P、陽極側の接合部を第2接合部Uとし、同一水平面内で90°異なるC、Dの方向の冷却ノズルにより第1口金11に冷却用気体を吹きつけ、前述したA、Bの方向の冷却ノズルにより第2口金12に冷却用気体を吹きつけた場合の各部の温度と前記冷却用気体(ここでは空気とした)の流量との関係の測定データを図9に示す。なお、図8の第2発光部S、第2封止部T、第2接合部Uは、それぞれ図6におけるS、T、Uに対応する。つまり、第2発光部S、第2封止部Tは発光管の表面上に存在し、第2接合部Uは接合部16自身である。第1発光部R、第1封止部Q、第1接合部Pについても同様である。また、この測定は各ノズルから等量の冷却用気体が噴射するように調整されており、使用した放電灯の仕様は以下のとおりである。
電圧:約50V、電流:約100A、電力:約5kW、発光部径:φ82mm、水銀量:約30mg/cc
【0011】
図9に示すように、第1接合部P、および第2接合部Uを100℃以下にするためには、毎分250リットル程度の膨大な冷却用気体が必要となる。そして、その場合、第2発光部Sの温度は450℃程度に下がってしまうことが判る。
【0012】
これに対し、接合部を効率良く冷却するため、図10に示すように、4個の空気孔(同一水平面上で互いに直交する2個の貫通孔)17-1〜17-4を形成した第2口金12-1を備えた放電灯もある。ここで、空気孔17-1を真っ直ぐに延長した位置に空気孔17-3があり、空気孔17-2を真っ直ぐに延長した位置に空気孔17-4がある。そして、空気孔17-1と空気孔17-3を結ぶ線分と、空気孔17-2と空気孔17-4とを結ぶ線分とは、互いに直交している。
【0013】
しかし、図10に示す冷却方法では、Aの方向のノズルから噴射した冷却用気体は、F2に示すように空気孔17-1から空気孔17-3へと通り抜けてしまい、発光部および封止部へ回らない。Bの方向のノズルから噴射した冷却用気体についても同様にE2のように通り抜け、発光部および封止部へ回らない。このため、発光部と封止部とが充分に冷却されず高温となってしまった。その結果、発光部が高温となることによる放電灯の短寿命化と破裂の危険性の増加が避けられない。また、封止部が高温となることにより、電流導入用金属箔の熱膨脹に起因する封止部クラックや前記金属箔の剥がれを誘発してしまうおそれがあった。
【0014】
図10に示した放電灯の点灯中の各部の温度と冷却用気体の流量との関係の測定データを図11に示す。ここで、放電灯の仕様、および各ノズルの流量の関係は図9のデータの測定時と同じである。
【0015】
図11に示すように、第1、第2の接合部P、Uは常に適正温度である100℃以下に維持されているが、第1、第2の発光部R、Sと第1、第2の封止部Q、Tとをそれぞれの適正温度にするためには、毎分250リットル程度の膨大な冷却用気体が必要となってしまう。
【0016】
また、実験データ上は、冷却用気体の流量を膨大にすれば各部を適正温度にすることが可能であることを確認できたが、実際には機械装置により冷却用気体の流量や排気能力のバラツキが存在するため、全ての放電灯に対して適正温度が確保できるとは限らない。
【0017】
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであって、膨大な量の冷却用気体を使用せずに理想的な冷却バランスを作成することのできる放電灯およびその冷却方法を提供することを目的とする。
【0018】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る放電灯は、中央に発光部を有し、両側に封止部を有する発光管と、前記封止部内に配設され、かつ前記発光管に融着された電流導入用金属箔と、前記電流導入用金属箔に接続された電流導入用金属棒と、前記電流導入用金属棒と給電線とを接合する接合部と、前記接合部を覆うように設けられ、かつ複数の空気孔を有する口金とを備えた放電灯であって、前記口金の複数の空気孔のうちの少なくとも1つの空気孔から冷却用気体を流入させて前記接合部を冷却したのち、他の空気孔から冷却用気体を排出させるとともに、冷却用気体を前記口金の外周面から前記発光管の外周面へ伝搬させるように構成されていることを特徴としている。この構成を具備することにより、放電灯を冷却する際に、冷却用気体の一部で接合部を冷却し、他の一部で封止部および発光部を冷却することができるので、膨大な量の冷却用気体を使用せずに理想的な冷却バランスを形成することができる。
【0019】
また、本発明に係る放電灯の冷却方法は、中央に発光部を有し、両側に封止部を有する発光管と、前記封止部内に配設され、かつ前記発光管に融着された一対の電流導入用金属箔と、前記電流導入用金属箔に接続された電流導入用金属棒と、前記電流導入用金属棒と給電線とを接合する接合部と、前記接合部を覆うように設けられ、かつ複数の空気孔を有する口金とを備えた放電灯の冷却方法であって、複数の冷却ノズルから噴射する冷却用気体のうち、1つの冷却ノズルから噴射された冷却用気体を1つの空気孔から流入させて前記接合部を冷却したのち、他の空気孔から排出させるとともに、他の冷却ノズルから噴射した冷却用気体を前記口金の外周面から前記発光管の外周面へ伝搬させ前記封止部および発光部を冷却することを特徴としている。この構成を具備することにより、冷却用気体の一部で接合部を冷却し、他の一部で封止部および発光部を冷却することができるので、膨大な量の冷却用気体を使用せずに理想的な冷却バランスを形成することができる。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
【0021】
図1は、本発明の実施の形態の放電灯における陽極側の封止部、および口金の内部の構造を示す断面図である。この図において、図6と対応する構成要素には図6で使用した符号を付した。図1に示すように、本実施の形態の放電灯は口金12に口金空気孔(以下、単に空気孔という)17を備えている。その他の構成は図6の放電灯と同じである。
【0022】
図2は、本発明の実施の形態の放電灯を冷却する方法を説明するための図、および口金の構造の一例を示す断面図である。図2に示すように、第2口金12-2の外周面の互いに対向する位置には、一対の空気孔17-2、17-4が形成されている。また、第2口金12-2の周辺には、冷却用気体を第2口金12-2に吹きつけるための一対の冷却ノズルが配置されている。そして、一つの冷却ノズルは図のAの方向に冷却用気体を噴射し、他の一つの冷却ノズルは図のBの方向に冷却用気体を噴射する。Aの方向に噴射した冷却用気体は、第2口金12-2の外周面に衝突した後、発光管2の外周面に沿って上昇することで、第2封止部Tおよび第2発光部Sを冷却する。また、Bの方向に噴射した冷却用気体は、空気孔17-2を通って第2口金12-2の内部に入り、第2接合部Uを冷却し、空気孔17-4を通って外部に抜ける。したがって、Bの方向に噴射した冷却用気体により、第2接合部Uおよびその周辺の温度を抑制することができ、Aの方向に噴射した冷却用気体は第2封止部Tおよび第2発光部Sへ回り、それらの部分を適度に冷却することができる。これにより、膨大な量の冷却用気体を使用せずに放電灯の各部に対して理想的な冷却バランスを作成することができる。なお、図2は第2口金を冷却する方法を示したが、第1口金も同じ方法で冷却することができる。
【0023】
図3は、第2口金の構造の別の二例を示す断面図である。図3(a)に示す構造では、空気孔17-2と17-4との中間(90°離れた位置)に空気孔17-3が形成されている。この場合、Bの方向に噴射される冷却用気体は、空気孔17-2を通って第2口金の内部12-2の内部に入り、第2接合部Uを冷却し、空気孔17-3および17-4を通って外部に抜ける。Aの方向に噴射した冷却用気体の流れは図2の場合と同じである。また、図3(b)に示す構造では、冷却用気体を口金の外部へ排出するための空気孔17-5および17-6は図3(a)の空気孔17-4よりも空気孔17-2に近い位置に形成されている。そして、Bの方向に噴射される冷却用気体は、空気孔17-2を通って第2口金12-4の内部に入り、第2接合部Uを冷却し、空気孔17-5および17-6を通って外部に抜ける。Aの方向に噴射した冷却用気体流れは図2の場合と同じである。
【0024】
図1および図2に示した放電灯の点灯中の各部の温度と冷却用気体の流量との関係の測定データを図4に示す。ここで、口金の構造以外の放電灯の仕様、温度測定部位、および各ノズルの流量の関係は図9のデータの測定時と同じである。図4から判るように、本発明の実施の形態の放電灯の冷却方法によれば、毎分140リットル程度の冷却用気体を用いることで、第1、第2の発光部R、S、第1、第2の第2封止部Q、T、および第1、第2の接合部P、Uをそれぞれの適正温度に設定することができる。
【0025】
このように、本発明の実施の形態によれば、Bの方向に噴射した冷却用気体により接合部およびその周辺の温度を抑制することができるので、電流導入用金属箔が高温になり熱膨脹することにより発生する封止部クラックを防止することができる。また、発光部への大量の冷却用気体の回り込みがなくなるため、過冷却による水銀の未蒸発の発生も防止することができる。さらに、Aの方向に噴射した冷却用気体により封止部および発光部を冷却することができるため、発光部が高温となることによる放電灯の短寿命化や破裂の危険性の増加、および封止部が高温となることによる電流導入用金属箔の熱膨脹による封止部クラックや前記金属の発光部側密着剥がれを防止することができる。
【0026】
なお、本発明において、口金一つ当たりにあける空気孔は、口金強度を保持しながら、口金側面の全表面積の70%以下の範囲内に設定すれば良い。
【0027】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明によれば、放電灯の口金に空気孔をあけるとともに、冷却用気体の一部を前記空気孔から口金内部へ伝搬させることで接合部を冷却し、前記冷却用気体の他の一部を前記口金の外周面から発光管の外周面へ伝搬させることで封止部および発光部を冷却することにより、冷却用気体の一部で接合部を冷却し、他の一部で封止部および発光部を冷却することができるため、膨大な量の冷却用気体を使用せずに理想的な冷却バランスを作成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の放電灯における陽極側の封止部、および口金の内部の構造を示す断面図、
【図2】本発明の実施の形態の放電灯を冷却する方法を説明するための図、および口金の構造の一例を示す断面図、
【図3】本発明の実施の形態の放電灯における口金の構造の別の二例を示す断面図、
【図4】図1および図2に示した放電灯の点灯中の各部の温度と冷却用気体の流量との関係の測定データを示す図、
【図5】従来の放電灯の構成を示す図、
【図6】従来の放電灯における陽極側の封止部、および口金の内部の構造を示す断面図、
【図7】従来の放電灯における空気孔のない口金に冷却用気体を吹きつけた場合を示す図、
【図8】従来の放電灯における温度測定部位を示す図、
【図9】従来の空気孔のない口金に冷却用気体を吹きつけた場合の各部の温度と前記冷却用気体の流量との関係の測定データを示す図、
【図10】従来の放電灯における空気孔のある口金に冷却用気体を吹きつけた場合を示す図、
【図11】従来の空気孔のある口金に冷却用気体を吹きつけた場合の各部の温度と前記冷却用気体の流量との関係の測定データを示す図である。
【符号の説明】
2 発光管
3 陰極
4 陽極
11、12 口金
15 給電線
16 接合部
17 空気孔

Claims (2)

  1. 中央に発光部を有し、両側に封止部を有する発光管と、前記封止部内に配設され、かつ前記発光管に融着された電流導入用金属箔と、前記電流導入用金属箔に接続された電流導入用金属棒と、前記電流導入用金属棒と給電線とを接合する接合部と、前記接合部を覆うように設けられ、かつ複数の空気孔を有する口金とを備えた放電灯であって、
    前記口金の複数の空気孔のうちの少なくとも1つの空気孔から冷却用気体を流入させて前記接合部を冷却したのち、他の空気孔から冷却用気体を排出させるとともに、冷却用気体を前記口金の外周面から前記発光管の外周面へ伝搬させるように構成されていることを特徴とする放電灯。
  2. 中央に発光部を有し、両側に封止部を有する発光管と、前記封止部内に配設され、かつ前記発光管に融着された一対の電流導入用金属箔と、前記電流導入用金属箔に接続された電流導入用金属棒と、前記電流導入用金属棒と給電線とを接合する接合部と、前記接合部を覆うように設けられ、かつ複数の空気孔を有する口金とを備えた放電灯の冷却方法であって、
    複数の冷却ノズルから噴射する冷却用気体のうち、1つの冷却ノズルから噴射された冷却用気体を1つの空気孔から流入させて前記接合部を冷却したのち、他の空気孔から排出させるとともに、他の冷却ノズルから噴射した冷却用気体を前記口金の外周面から前記発光管の外周面へ伝搬させ前記封止部および発光部を冷却することを特徴とする放電灯の冷却方法。
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