JPS62114992A - アルコキシシランの精製方法 - Google Patents

アルコキシシランの精製方法

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JPS62114992A
JPS62114992A JP60255469A JP25546985A JPS62114992A JP S62114992 A JPS62114992 A JP S62114992A JP 60255469 A JP60255469 A JP 60255469A JP 25546985 A JP25546985 A JP 25546985A JP S62114992 A JPS62114992 A JP S62114992A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野1 本発明は、アルコキシシランの精製方法に関するもので
あり、詳しくは、アルコキシシラン中に含まれる塩素に
起因する不純物を、極めて微量まで除去することができ
るアルコキシシランの精製方法に関する。
[従来の技術1 近年、アルコキシシラン類の電気・電子分野への用途は
増大しているが、その用途によってはアルコキシシラン
の純度に対する要求は非常に厳しいものであるため、高
純度のアルコキシシランを得るための精製方法の開発が
急務になっている。
ところで、RmSi(OR’)、−曽で示されるアルコ
キシシラン類はそれに相当するクロロシランとアルコー
ルとを液相または気相で接触反応させることによって得
られる。得られたアルコキシシランの精製は、従来、中
和剤による中和、ついでアルコキシシランの蒸留による
中和塩など不揮発成分からの分離に上って精製されてい
た。しかしながら、この方法では、中和剤として、乾燥
アンモニウム、アミン類、ナトリウム、カリウム、マグ
ネシウム等のアルカリ金属を有する塩基性化合物等のう
ちいずれを用いても、塩化水素やクロロシラン等の加水
分解性塩素に起因する不純物しか、中和塩を形成しない
ので、例えば、クロロメチルトリメトキシシランのよう
な炭素原子に結合する塩素原子等の非加水分解性塩素に
起因する不純物は除去することができないという欠点が
あった。
この非加水分解性塩素に起因する不純物を除去する試み
として、例えばJournal ofOrganome
Lallic Chemistry、265(1984
L135−139に記載の方法があり、これは400p
pm程度の非加水分解性塩素を含むアルコキシシランを
、リチウムアルミニウバイドライド、テトラメチルグリ
ニシン、酸化マグネシウム、ジヒドリドジブチルスズ、
金属ナトリウムのうち、いずれかの存在下に加熱処理し
、次いで蒸留するものである。
しかしながら、この方法ではアルコキシシラン中に不純
物として含まれる非加水分解性塩素を、金属ナトリウム
を用いた場合を除いて100 ppmより少なくするこ
ゝとはでトないという欠点があった。また、金属ナトリ
ウムを用いた場合、アルコキシシラン中の非加水分解性
塩素を1100pp以下にすることは可能であるが、取
り扱い上非常に危険であるため、工業的には適さないと
いう欠点があった。
[発明が解決しようとする問題点1 以上述べたように、従来の精製方法では塩素に起因する
不純物の除去が困難であったが、本発明は、アルコキシ
シラン中の加水分解性塩素に起因する不純物および非加
水分解性塩素に起因する不純物の両方を、比較的簡単に
除去できるため、不純物の極めて少ないアルコキシシラ
ン、特に電気・電子分野へ有用な電気伝導度の小さいア
ルコキシシランを提供することを目的とするものである
[問題を解決するための手段とその作用1すなわち、本
発明は、 塩素に起因する不純物を含む、 一般式 %式%) (式中、Rは水素原子または炭素原子数1〜8の置換も
しくは非置換の1価炭化水素基、R1は炭素原子数1〜
8の置換もしくは非置換の1価炭化水素基、mは0〜3
の整数である。)で示されるアルコキシシランを精製す
るに際し、全精製工程中食なくとも、 (i)   アルコキシシランを酸性白土または金属ハ
ロゲン化物の存在下に加熱処理する工程、 (ii)  中和剤で中和する工程、 (iii)中和塩を除去する工程 を順に実施する工程を含むことを特徴とするアルコキシ
シランの精製方法によって目的を達成することができる
本発明の塩素に起因する不純物を含むアルコキシシラン
の精製方法は、クロロシランのフルコキシ化工程で生成
された粗アルコキシシランに対して行なわれても良いし
、従来の精製方法により、加水分解性塩素に起因する不
純物は中和除去されているが、非加水分解性塩素に起因
する不純物は除去されていないアルコキシシランに対し
て行なわれても良い。なお、粗アルコキシシラン中に未
反応物のアルコール等の不純物を多く含む場合は、本発
明を実施する前に蒸留等で除去しておくことが望ましい
。また、本発明の精製方法はい)、(置)および(ii
i)工程を順に実施するものであるが、これは(i)工
程を実施した後は、必ず中和処理と中和塩を除去する工
程を必要とするからである。
本発明に使用されるアルコキシシランは、一般式RmS
i(OR’)4a+(式中、RおよびR1は炭素原子数
1〜8の置換もしく、は非置換の1価炭化水素基であり
、具体的にはメチル基、エチル基、プロピル基、オクチ
ル基などのアルキル基、ビニル基、アリル基などのフル
ケニル基、フェニル基、トリル基、キシリル基などの7
リール基、ベンジル基などのアラルキル基、もしくはこ
れらの1価炭化水素基の水素原子の一部または全部がシ
アノ基、ハロゲン原子で置換された基などをあげること
ができる。この他Rとしては水素原子を、R1としては
アルフキジアルキル基をあげることがで外る。また、式
中、のmはO〜3の整数である。)で示さhるものであ
る。
このアルコキシシランの具体例としては、例えばトリメ
トキシシラン、トリエトキシシラン、テトラメトキシシ
ラン、テトラエトキシシラン、メチルジメトキシシラン
、メチルジエトキシシラン、トリメチルメトキシシラン
、トリメトキシエトキシシラン、メチルトリメトキシシ
ラン、メチルトリエトキシシラン、トリス−2−メトキ
シエトキシシラン、ビニルメチルジェトキシシラン、ビ
ニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、
ビニルトリー2−7トキシエトキシシラン、フェニルト
リメトキシシラン、ジフェニルメトキシシラン、フェニ
ルメチルジメトキシシラン、アリルトリメトキシシラン
等があげられる。
本発明の(i)工程に使用される酸性白土または金属ハ
ロゲン化物の非加水分解性塩素に対するメカニズムは、
明確ではないが、その非加水分解性塩素を引き抜く触媒
的な作用を有するものであり、したがって、(i)工程
で加熱処理することによって非加水分解性塩素は加水分
解性塩素に変化するものと考えられる。
に)工程に用いられる酸性白土は、天然に産した酸性白
土をそのまま使用してもよいが、有利には、酸処理を施
した、いわゆる活性白土である方が望ましい。具体的に
は、日本活性白土社のに−500、西ドイツのズードケ
ミカル社のトンシルFF、米国フィトロール社のフィト
ロール20 L ki等が例示できるが、これらに限定
するものではない。
また、(i)工程に用いられる金属ハロゲン化物として
は、金属塩化物が好ましい。特に、周期律表第■族から
第1族の金属塩化物が好ましいが、この範囲に限定する
ものではない。具体的には、塩化鉄、塩化銅、塩化ニッ
ケル、塩化亜鉛、塩化コバルト、塩化マンガン、塩化ク
ロム、塩化モリブデン、塩化セリウムおよびこれらの沃
化物、臭化物、弗化物等があげられる。
酸性白土または金属ハロゲン化物の使用量としては、加
熱処理されるフルフキジシランの重量に対し、0.01
重1%以上添加すれば、塩素に起因する不純物に対して
有効である。一般に酸性白土または金属ハロゲン化物の
量を増すと加熱処理時間が短縮できる傾向がみられるが
、経済上、通常、使用される好ましい範囲は処理される
アルコキシシランの重量の0.05〜2重量%である。
加熱処理温度としては、通常50℃〜200℃の範囲で
行なわれるが、もし、加熱処理されるアルコキシシラン
の沸点が200℃より低い場合はそのアルコキシシラン
の沸点で、還流状態で加熱処理されるのが望ましい。
反応時間は、加熱処理されるアルコキシシラン中の不純
物量、酸性白土または金属ハロゲン化物の添加量および
反応温度に影響されるが、一般には30分間以上、10
時間以下の範囲である。
本発明の(ii)工程に使用される中和剤は(i)工程
で生じた加水分解性塩素および酸性白土または金属ハロ
ゲン化物から付随的に生じる酸性化合物を中和するため
のものであり、したがって、従来技術の中和剤を使用す
ることができる。
このような中和剤としては乾燥アンモニア、アミン類、
ナトリウム、カリウム、カルシウム、マグネシウム等の
アルカリ金属を有する塩基性化合物、酸化フルキレン、
オルトエステル類等があげられる。
具体例をあげると、アミン類としては、3級アミン、2
級アミン、1級アミンがいずれら使用でき、トリエチル
アミン、トリブチルアミン、トリオクチルアミン、NN
−ジメチルドデシルアミン、ジエチルアミン、ジブチル
アミン、プロピルアミン、ブチルアミン、オクチルアミ
ン、ステアリルアミン、アニリン、ピリジン、ジフェニ
ルアミン、キノリン、エタ7−ルアミン、ジェタノール
アミン、トリエタノールアミン等が例示され、アルカリ
金属を有する塩基性化合物としては水酸化ナトリウム、
水酸化カリウム、水酸化マグネシウム、ナトリウムメ、
チラート、゛酸化マグネシウム、炭酸ナトリウム、炭酸
マグネシウム等があげられる6また、酸化アルキレンと
しては、酸化エチレン、酸化プロピレン、酸化ブチレン
等が例示され、オルトエステルとしては、オルトギ酸ト
リメチル、オルト酢酸トリエチル等があげられる。
これらの中和剤の使用量は必要に応じて自由に選択する
ことがで鰺るが、望ましくはアルコキシシランの1重量
%以下、より望ましくは0゜5重量%以下で使用するの
が好ましい。
本発明の(iii)工程の中和により生じた中和塩の除
去方法は、特に限定するものではなく、必要に応じて適
宜選択すればよい。例えば、水洗により中和塩を洗い出
しても良いし、ろ過により除去しても良い。主た、蒸留
によりアルコキシシランを中和塩から分離しても良ν1
゜また。
より効果的に中和塩を除去するため、これらの方法を組
み合わせることもできる。
[実施例1 次に、本発明を実施例および比較例をあげて説明する。
実施例中に%とあるのはいずれも重量%を表わす。
実施例1 バッチ法でメチルトリクロロシランをメトキシ化させ、
ナトリウムメチラートで中和し、中和塩をろ過で除き、
蒸留により精製して得られたメチルトリメトキシシラン
の特性は次のようであった。ガスクロマトグラフィーに
よる純度は99.8%、元素分析の結果トータル塩素量
は81 ppm、2%濃度の水溶液とした時の電気伝導
度は17.0μJCms I)Hは4.5であった。
このメチルトリメトキシシラン200gを、コンデンサ
、温度計および攪拌モーターの付し)た300m&7ラ
スコに入れ、酸性白土(日本活性白土社IK−500)
をメチルトリメトキシシランに対しSOOppmの量を
添加し、2時間還流下に加熱処理した。この時の加熱温
度は100±2℃であった。次いで、酸性白土をろ過で
除去後、水酸化カリウム0.5gで中和し、イオン交換
水で水洗し、中和塩を取り除−1だ。
このように精製したメチルトリメトキシシランに含まれ
るトータル塩素量は6 ppm、2%水溶液とした時の
電気伝導度は1.67μs / c m %pl+は5
.43であった。
なお、比較例として、酸性白土で加熱処理なせずに、そ
れ以外は上記と同様の処理を行なったメチルトリノ[ジ
シランのトータル塩素量は78ppm、2%水溶液の電
気伝導度は16゜5μs/an、pHは4.9であった
実施例2 メチルトリクロロシランを充填カラムで連続的にメタノ
ール蒸気と向流接触させて得られた粗メチルトリメトキ
シシランは以下の特性値を有していた。すなわち、ガス
クロマトグラフィーによれば、メタノール16.5%を
含む。またナトリウムメチラートによる中和後の硝酸銀
滴定によれば加水分解性塩素を760 ppm含んでい
た。またトータル塩素量は11000ppであった。2
%水溶液の電気伝導度は194μS/cfflであった
この粗メチルトリメトキシシラン57.8trを100
+nNフラスコにて加熱し、大部分のメタノールを留出
除去後、塩化第■鉄を粗メチルトリメトキシシランに対
し400 ppm加え、91°Cで1時間、還流下に加
熱処理した。次いでナトリウムメチラートで中和後、単
蒸留により、メチルトリメトキシシランを留出させた。
このようにして得られたメチルトリメトキシシランには
、加水分解性塩素は検出せず、トータル塩素量は12p
pmであり、2%水溶液の電気伝導度は1.6μs /
 c mであった。
比較例として、塩化第■鉄を加えて加熱処理した工程を
除いた以外は、実施例2と同様の処理を行なったメチル
トリメトキシシランのトータル塩素量は248pp+n
であり、2%水溶液の電気伝導度は45μs / c 
mであった。
実施例3 実施例2で使用した塩化第■鉄の代わりに、塩化亜鉛を
祖メチルトリメトキシシランに対し1%加え、90〜9
5゛Cで1時間、還流下に加熱処理した。以後、実施例
2と同様の操作後、得られた精製メチルトリメトキシシ
ラン中の加水分解性塩素量は10ppmで、トータル塩
素量は59ρpmであり、2%水溶液の電気伝導度は2
.1μS / e IIIであった。
実施例4 実施例2で使用した塩化第■鉄の代わりに、塩化セリウ
ムを゛祖メチルトリメトキシシランに対し1%加え、9
0〜95°Cで1.5時間、還流下に加熱処理した。以
後、実施例2と同様にしてメチルトリメトキシシランを
得た。これのトータル塩素量は40ppmであり、2%
水溶液の電気伝導度は2.2μS / e FOであっ
た。
実施例5 実施例2で使用した塩化第■鉄の代わりに、臭化第■鉄
を粗メチルトリメトキシシランに対し1%加え、90〜
9 S ’Cで2時間、還流下に加熱処理した以外は実
施例2に従って実施した。
この結果トータル塩素量は48p陣であり、電気伝導度
は4.5μs / c mであった。
実施例6 テトラクt70シランをエトキシ化して製造した従来法
による精製テトラエトキシシラン中のトータル塩素量は
64ppmで、電気伝導度は8゜5μs/amであった
。このテトラエトキシシラン200gをフラスコに入れ
、酸性白土(フィトロール社製フィトロール20LM)
を500ppm加えて1時間還流下に加熱処理した。そ
れ以降の繰作を実施例1に準じて行なった後のテトラエ
トキシシランのトータル塩素量は4 ppmであり、電
気伝導度は1.0μs/co+であった。
[発明の効果1 本発明のアルコキシシランの精製方法は、塩素に起因す
る不純物を含むアルコキシシランを、酸性白土または金
属ハロゲン化物の存在下に加熱処理することにより、加
水分解性塩素に起因する不純物および非加水分解性塩素
に起因する不純物の両方を除去できるため、従来方法で
は到達困難であった程度に、不純物の少ない、電気伝導
度の小さいアルコキシシランを、容易に得ることが可能
となった。このため、従来のアルコキシシランの用途以
外に、高純度で電気伝導度の小さいアルコキシシランを
必要とする電気・電子分野への用途として待に有用であ
る。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、塩素に起因する不純物を含む、 一般式 RmSi(OR^1)_4−m (式中、Rは水素原子または炭素原子数1〜8の置換も
    しくは非置換の1価炭化水素基、R^1は炭素原子数1
    〜8の置換もしくは非置換の1価炭化水素基、mは0〜
    3の整数である。)で示されるアルコキシシランを精製
    するに際し、全精製工程中少なくとも、 (i)アルコキシシランを酸性白土または金属ハロゲン
    化物の存在下に加熱処理する工 程、 (ii)中和剤で中和する工程、 (iii)中和塩を除去する工程 を順に実施する工程を含むことを特徴とするアルコキシ
    シランの精製方法。
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