JPS6197845U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6197845U JPS6197845U JP11033585U JP11033585U JPS6197845U JP S6197845 U JPS6197845 U JP S6197845U JP 11033585 U JP11033585 U JP 11033585U JP 11033585 U JP11033585 U JP 11033585U JP S6197845 U JPS6197845 U JP S6197845U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring
- contact hole
- layer wiring
- lower layer
- semiconductor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
Landscapes
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Description
第１図及び第２図ａ，ｂは、従来の層間の結線
の様子を示した平面図。第３図ａ，ｂは、その縦
断面図である。又、第４図ａ，ｂは、本考案の層
間の結線の様子を示し、第４図ｃは、第４図ｂの
縦断面図である。 １…電極配線、２…コンタクト穴、３…配線、
４…電極配線のコンタクト部、５…電極配線、６
…コンタクト穴、７…配線、８…電極配線のコン
タクト部、９…配線、１０…電極配線、１１…電
極配線のサイド、１２…コンタクト穴のずれ、１
３…ソースあるいはドレイン、１４…ゲート膜、
１５…配線の進行方向、１６…コンタクト穴、１
７…酸化膜、１８…電極配線、１９…コンタクト
穴、２０…配線、２１…配線、２２…電極配線、
２３…電極配線とコンタクト穴とのずれ、２４…
酸化膜。
の様子を示した平面図。第３図ａ，ｂは、その縦
断面図である。又、第４図ａ，ｂは、本考案の層
間の結線の様子を示し、第４図ｃは、第４図ｂの
縦断面図である。 １…電極配線、２…コンタクト穴、３…配線、
４…電極配線のコンタクト部、５…電極配線、６
…コンタクト穴、７…配線、８…電極配線のコン
タクト部、９…配線、１０…電極配線、１１…電
極配線のサイド、１２…コンタクト穴のずれ、１
３…ソースあるいはドレイン、１４…ゲート膜、
１５…配線の進行方向、１６…コンタクト穴、１
７…酸化膜、１８…電極配線、１９…コンタクト
穴、２０…配線、２１…配線、２２…電極配線、
２３…電極配線とコンタクト穴とのずれ、２４…
酸化膜。
補正 昭６０．８．１５
実用新案登録請求の範囲を次のように補正する
。
。
【実用新案登録請求の範囲】
半導体基板上に多層配線が形成されてなる半導
体装置において、下層配線端部より一定距離を有
して形成された前記下層配線より幅の広いコンタ
クトホールと、前記コンタクトホールを介して形
成された前記コンタクトホールより幅の広い上層
配線とからなり、前記コンタクトホールにて前記
上層配線と前記下層配線とが接続されてなること
る特徴とする半導体装置。
体装置において、下層配線端部より一定距離を有
して形成された前記下層配線より幅の広いコンタ
クトホールと、前記コンタクトホールを介して形
成された前記コンタクトホールより幅の広い上層
配線とからなり、前記コンタクトホールにて前記
上層配線と前記下層配線とが接続されてなること
る特徴とする半導体装置。
Claims (1)
- 半導体基板上に多層配線が形成されてなる半導
体装置において、下層配線端部より一定距離を有
して下層配線内部側に形成されたコンタクトホー
ルと、該コンタクトホールを介して形成された上
層配線とからなり、該コンタクトホールにて該上
層配線と該下層配線とが接続されてなることを特
徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11033585U JPS6197845U (ja) | 1985-07-18 | 1985-07-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11033585U JPS6197845U (ja) | 1985-07-18 | 1985-07-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6197845U true JPS6197845U (ja) | 1986-06-23 |
Family
ID=30669463
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11033585U Pending JPS6197845U (ja) | 1985-07-18 | 1985-07-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6197845U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5246799A (en) * | 1975-10-09 | 1977-04-13 | Seiko Epson Corp | Electronic apparatus |
-
1985
- 1985-07-18 JP JP11033585U patent/JPS6197845U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5246799A (en) * | 1975-10-09 | 1977-04-13 | Seiko Epson Corp | Electronic apparatus |