JPS6170950U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6170950U JPS6170950U JP15670284U JP15670284U JPS6170950U JP S6170950 U JPS6170950 U JP S6170950U JP 15670284 U JP15670284 U JP 15670284U JP 15670284 U JP15670284 U JP 15670284U JP S6170950 U JPS6170950 U JP S6170950U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- active layer
- layer
- semiconductor substrate
- gate electrode
- wiring portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 2
- 230000005669 field effect Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
Description
第１図は本考案のＦＥＴの１実施例の平面図、
第２図は第１図の−′断面図、第３図は他の
実施例の第２図に相当する断面図である。 １…半導体基板、１３…動作層、１４…凹部、
５，５′…絶縁物層、７…配線部、６…ゲートパ
ツド。
第２図は第１図の−′断面図、第３図は他の
実施例の第２図に相当する断面図である。 １…半導体基板、１３…動作層、１４…凹部、
５，５′…絶縁物層、７…配線部、６…ゲートパ
ツド。
Claims (1)
- 半導体基板の表面側に設けられている動作層の
表面にソース、ドレイン、ゲート電極を配備し、
前記動作層に隣接しており表面が該動作層の下面
よりも下位に位置する半導体基板の凹部に表面が
前記動作層のゲート電極が配設される表面に実質
的に一致している絶縁物層を配備し、さらに該絶
縁物層の表面に前記ゲート電極に連なりかつ該絶
縁物層上又は前記凹部上に備えるゲートパツドに
連なる配線部を配備してなる電界効果トランジス
タ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15670284U JPS6170950U (ja) | 1984-10-17 | 1984-10-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15670284U JPS6170950U (ja) | 1984-10-17 | 1984-10-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6170950U true JPS6170950U (ja) | 1986-05-15 |
Family
ID=30714708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15670284U Pending JPS6170950U (ja) | 1984-10-17 | 1984-10-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6170950U (ja) |
-
1984
- 1984-10-17 JP JP15670284U patent/JPS6170950U/ja active Pending