JPH0176067U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0176067U JPH0176067U JP1987172093U JP17209387U JPH0176067U JP H0176067 U JPH0176067 U JP H0176067U JP 1987172093 U JP1987172093 U JP 1987172093U JP 17209387 U JP17209387 U JP 17209387U JP H0176067 U JPH0176067 U JP H0176067U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- source
- recessed
- semiconductor device
- oxide film
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
Description
第1図は本考案の一実施例に係る半導体装置の
断面図、第2図は従来の半導体装置の断面図であ
る。 符号の説明、1……基板、2……ソース拡散層
、3……ドレイン拡散層、4……ゲート部、6…
…フイールド酸化膜層、7……ソース電極、8…
…ドレイン電極、9……ゲート電極。
断面図、第2図は従来の半導体装置の断面図であ
る。 符号の説明、1……基板、2……ソース拡散層
、3……ドレイン拡散層、4……ゲート部、6…
…フイールド酸化膜層、7……ソース電極、8…
…ドレイン電極、9……ゲート電極。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 MOS型半導体装置において、 ゲート部が形成される基板表面を、ソース、ド
レイン拡散層が形成される基板表面より凹入して
設け、ゲート電極の上端とソース、ドレイン電極
の上端の高さをほぼ同一にすると共に、フイール
ド酸化膜層が形成される基板表面を、上記ソース
、ドレイン拡散層が形成される基板表面より深く
凹入して設け、該フイールド酸化膜層表面を上記
基板表面より僅かに高く位置させたことを特徴と
する半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987172093U JPH0176067U (ja) | 1987-11-11 | 1987-11-11 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987172093U JPH0176067U (ja) | 1987-11-11 | 1987-11-11 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0176067U true JPH0176067U (ja) | 1989-05-23 |
Family
ID=31464079
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987172093U Pending JPH0176067U (ja) | 1987-11-11 | 1987-11-11 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0176067U (ja) |
-
1987
- 1987-11-11 JP JP1987172093U patent/JPH0176067U/ja active Pending