JPH0176067U - - Google Patents

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JPH0176067U
JPH0176067U JP1987172093U JP17209387U JPH0176067U JP H0176067 U JPH0176067 U JP H0176067U JP 1987172093 U JP1987172093 U JP 1987172093U JP 17209387 U JP17209387 U JP 17209387U JP H0176067 U JPH0176067 U JP H0176067U
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substrate
source
recessed
semiconductor device
oxide film
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例に係る半導体装置の
断面図、第2図は従来の半導体装置の断面図であ
る。 符号の説明、1……基板、2……ソース拡散層
、3……ドレイン拡散層、4……ゲート部、6…
…フイールド酸化膜層、7……ソース電極、8…
…ドレイン電極、9……ゲート電極。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 MOS型半導体装置において、 ゲート部が形成される基板表面を、ソース、ド
    レイン拡散層が形成される基板表面より凹入して
    設け、ゲート電極の上端とソース、ドレイン電極
    の上端の高さをほぼ同一にすると共に、フイール
    ド酸化膜層が形成される基板表面を、上記ソース
    、ドレイン拡散層が形成される基板表面より深く
    凹入して設け、該フイールド酸化膜層表面を上記
    基板表面より僅かに高く位置させたことを特徴と
    する半導体装置。
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