JPS6197544A - 差圧発信器 - Google Patents
差圧発信器Info
- Publication number
- JPS6197544A JPS6197544A JP21863884A JP21863884A JPS6197544A JP S6197544 A JPS6197544 A JP S6197544A JP 21863884 A JP21863884 A JP 21863884A JP 21863884 A JP21863884 A JP 21863884A JP S6197544 A JPS6197544 A JP S6197544A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- fluid
- sensor
- pressure side
- choke
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体圧力センサを内蔵する差圧発信器に関
する。
する。
従来、この種の差圧発信器は衝撃波により圧力センサが
破壊するという問題点がある。この衝撃波から圧力セン
サを保護するためには発信器が通常もつ過圧防止機構に
よりこれを防止できず、衝撃波から圧力センサを保護す
るためには次に示す手段をもった差圧発信器が考えられ
ている。
破壊するという問題点がある。この衝撃波から圧力セン
サを保護するためには発信器が通常もつ過圧防止機構に
よりこれを防止できず、衝撃波から圧力センサを保護す
るためには次に示す手段をもった差圧発信器が考えられ
ている。
すなわち、発信器内にできるだけ大きい絞りを設け、こ
の絞りから圧力センサまでの容積を大きくして衝撃波を
極力低ぐ抑えることができるものおよび絞りにより静圧
の伝達特性を揃え、圧力センサに伝達される衝撃波の位
相を高圧側と低圧側で合わせることができるものである
。
の絞りから圧力センサまでの容積を大きくして衝撃波を
極力低ぐ抑えることができるものおよび絞りにより静圧
の伝達特性を揃え、圧力センサに伝達される衝撃波の位
相を高圧側と低圧側で合わせることができるものである
。
第４図は従来の差圧発信器を示しており、同図において
、符号１で示すものは高圧側ボディ１ａおよび低圧倒ボ
ディ１ｂからなる分割状の検出器ボディで、高圧側ボデ
ィ１ａにはネック部材２の取付用スペースを確保するた
めに奥行きの深いはまり代３が設けられており、このは
まり代３に低圧側ボディ１ｂが嵌合されて両部材１ａ、
Ｉｂが図中Ａで？容接されている。この検出器ボディＩ
は両開口端に断面波形状に形成された高圧側のバリアダ
イヤフラム４と低圧側のハリアタイヤフラム５とが装着
されており、これらバリアダイヤフラム４，５には前記
検出器ボディ１に通しボルト６により固着された両側の
カバー７と検出器ボディ１との間に形成された孔８．９
から流入する流体によって高圧と低圧とがそれぞれ印加
される。また、検出器ボディ１は前記バリアダイヤフラ
ム４゜５に対向するバックアツプ面１０がバリアダイヤ
フラム４，５を密接可能にする断面波形状に形成されて
おり、これにより両バリアダイヤフラム４゜５のうちい
ずれか一方のバリアダイヤフラム例えば高圧側のバリア
ダイヤフラム４に過大圧力が加わった時バリアダイヤフ
ラム４をバックアンプ面１０に密接させそれ以上の変形
を阻止している。
、符号１で示すものは高圧側ボディ１ａおよび低圧倒ボ
ディ１ｂからなる分割状の検出器ボディで、高圧側ボデ
ィ１ａにはネック部材２の取付用スペースを確保するた
めに奥行きの深いはまり代３が設けられており、このは
まり代３に低圧側ボディ１ｂが嵌合されて両部材１ａ、
Ｉｂが図中Ａで？容接されている。この検出器ボディＩ
は両開口端に断面波形状に形成された高圧側のバリアダ
イヤフラム４と低圧側のハリアタイヤフラム５とが装着
されており、これらバリアダイヤフラム４，５には前記
検出器ボディ１に通しボルト６により固着された両側の
カバー７と検出器ボディ１との間に形成された孔８．９
から流入する流体によって高圧と低圧とがそれぞれ印加
される。また、検出器ボディ１は前記バリアダイヤフラ
ム４゜５に対向するバックアツプ面１０がバリアダイヤ
フラム４，５を密接可能にする断面波形状に形成されて
おり、これにより両バリアダイヤフラム４゜５のうちい
ずれか一方のバリアダイヤフラム例えば高圧側のバリア
ダイヤフラム４に過大圧力が加わった時バリアダイヤフ
ラム４をバックアンプ面１０に密接させそれ以上の変形
を阻止している。
検出器ボディ１の上方には前記ネック部材２を介しセン
サカプセル１１が設けられており、このセンサカプセル
１１内のセンサ室１１ａには半導体センサ１２がセンサ
台１３に保持されて配設されている。１４は断面波形形
状のセンタダイヤフラムで、前記検出器ボディ１の中央
接合部に設けた内室を高圧側内室１５と低圧側内室１６
とに画成するように検出器ボディ１にその周縁が固定さ
れている。このセンタダイヤフラム１４は、前記バリア
ダイヤフラム４，５に過大圧力が作用しても検出器ボデ
ィ１に着座しないように所定の大きさの剛性を有してお
り、これにより前記半導体センサ１２に後述する圧力伝
達液を介して゛過大圧力が伝達されるのを阻止し半導体
センサ１２を過大圧力から保護している。１７は圧力伝
達用の高圧側キャピラリチューブで、高圧側内室１５．
半導体センサ１２の下側に連通し前記高圧側ボディ１ａ
およびネック部材２に設けられている。１８は前記高圧
側キャピラリチューブと同一の機能を有する低圧側キャ
ピラリチューブで、低圧側内室１６゜半導体センサ１２
の上側に連通し低圧側ボディ１ｂ、高圧倒ボディ１ａお
よびネック部材２に設けられている。また、前記バリア
ダイヤフラム４゜５と検出器ボディ１間に形成された間
隙１９，２０と前記内室１５．１６とは、検出器ボディ
１に設けた圧力伝送用の小孔２１・２２．２３・２４に
よってそれぞれ連通されている。これら圧力伝送用の小
孔２１〜２４は、高圧流体の急激な圧力変動や脈動を抑
制するために絞り２１２〜２４ａを有し前記バンクアッ
プ面１０の中心位置に、また過大圧力が加わった時に前
記バリアダイヤフラム４，５のバックアツプ面１０への
着座が遅れる偏心位置に開口されている。そして、前記
間隙１９・２０から圧力伝送用の小孔２１・２３（２２
・２４）、内室１５・１６およびキャピラリチューブ１
７・１８を経て半導体センサ１２の下側と上側とに至る
間にはシリコンオイル等の圧力伝達液２５が封入されて
いる。なお、２６および２７は液封入用孔である。
サカプセル１１が設けられており、このセンサカプセル
１１内のセンサ室１１ａには半導体センサ１２がセンサ
台１３に保持されて配設されている。１４は断面波形形
状のセンタダイヤフラムで、前記検出器ボディ１の中央
接合部に設けた内室を高圧側内室１５と低圧側内室１６
とに画成するように検出器ボディ１にその周縁が固定さ
れている。このセンタダイヤフラム１４は、前記バリア
ダイヤフラム４，５に過大圧力が作用しても検出器ボデ
ィ１に着座しないように所定の大きさの剛性を有してお
り、これにより前記半導体センサ１２に後述する圧力伝
達液を介して゛過大圧力が伝達されるのを阻止し半導体
センサ１２を過大圧力から保護している。１７は圧力伝
達用の高圧側キャピラリチューブで、高圧側内室１５．
半導体センサ１２の下側に連通し前記高圧側ボディ１ａ
およびネック部材２に設けられている。１８は前記高圧
側キャピラリチューブと同一の機能を有する低圧側キャ
ピラリチューブで、低圧側内室１６゜半導体センサ１２
の上側に連通し低圧側ボディ１ｂ、高圧倒ボディ１ａお
よびネック部材２に設けられている。また、前記バリア
ダイヤフラム４゜５と検出器ボディ１間に形成された間
隙１９，２０と前記内室１５．１６とは、検出器ボディ
１に設けた圧力伝送用の小孔２１・２２．２３・２４に
よってそれぞれ連通されている。これら圧力伝送用の小
孔２１〜２４は、高圧流体の急激な圧力変動や脈動を抑
制するために絞り２１２〜２４ａを有し前記バンクアッ
プ面１０の中心位置に、また過大圧力が加わった時に前
記バリアダイヤフラム４，５のバックアツプ面１０への
着座が遅れる偏心位置に開口されている。そして、前記
間隙１９・２０から圧力伝送用の小孔２１・２３（２２
・２４）、内室１５・１６およびキャピラリチューブ１
７・１８を経て半導体センサ１２の下側と上側とに至る
間にはシリコンオイル等の圧力伝達液２５が封入されて
いる。なお、２６および２７は液封入用孔である。
ところが、前者すなわち衝撃波を極力低く抑えるタイプ
の差圧発信器においては、絞り２１ａ〜２４ａが大きく
なりすぎ、発信器の差圧に対する応答特性が悪（なり実
用的ではなかった。
の差圧発信器においては、絞り２１ａ〜２４ａが大きく
なりすぎ、発信器の差圧に対する応答特性が悪（なり実
用的ではなかった。
また、後者すなわち高圧側と低圧側で衝撃波の位相を合
わせるタイプの差圧発信器においては、衝撃波による圧
力が通常半導体センサ１２の破壊圧に比較してはるかに
大きいため、絞り２１２〜２４ａの流量特性を正確に合
わせなければならずコスト高になるという不都合があっ
た。
わせるタイプの差圧発信器においては、衝撃波による圧
力が通常半導体センサ１２の破壊圧に比較してはるかに
大きいため、絞り２１２〜２４ａの流量特性を正確に合
わせなければならずコスト高になるという不都合があっ
た。
本発明に係る差圧発信器においては、第１．第２液通路
の途中にそれぞれ圧力センサに至るまでの通路内容積比
に応じた大きさの絞り抵抗をもつ流体絞りを設けたもの
である。
の途中にそれぞれ圧力センサに至るまでの通路内容積比
に応じた大きさの絞り抵抗をもつ流体絞りを設けたもの
である。
本発明においては、衝撃波が高圧側および低圧側のうち
いずれか一方の側に伝わっても、圧力センサまでの通路
内容積比に応じた大きさの絞り抵抗をもつ流体絞りによ
り、圧力センサまで同位相で衝撃波は伝播される。
いずれか一方の側に伝わっても、圧力センサまでの通路
内容積比に応じた大きさの絞り抵抗をもつ流体絞りによ
り、圧力センサまで同位相で衝撃波は伝播される。
以下、本発明に係る差圧発信器の構成等を図に示す実施
例によって詳細に説明する。第１図は本発明に係る差圧
発信器の一実施例を示す断面図である。同図において、
３１および３２は溶接により接合された一対の円板状検
出器ボディで、後述する圧力センサに比較して柔軟性を
有し高圧側内室３３と低圧側内室３４の２室に画成する
ダ、イヤフラム、ベローズ等の弾性体３５を介してそれ
ぞれが互いに対向している。これら雨検出器ボディ３１
．３２の反弾性体端には断面波形状に形成された高圧側
バリアダイヤフラム３６と低圧側バリアダイヤフラム３
７とが装着され、またこれらバリアダイヤフラム３６，
３７の外側には通しボルト（図示せず）によりカバー（
図示せず）が固着されている。３８および３９は上方に
開口する第１、第２の液通路で、それぞれ高圧側内室３
３゜低圧側内室３４に連通し前記検出器ボディ１，２に
形成されている。また、前記各バリアダイヤフラム３６
，３７と前記各検出器ボディ３１，３２間に形成された
間隙４０．４１と前記各内室３３゜３４とは、流体絞り
４２ａ・４３ａ、４４ａ・４５ａを有する液通路４２・
４３．４４・４５によってそれぞれ連通されている。な
お、前記流体絞り４２ａ〜４５ａは差圧に対する伝達特
性が悪くならない程度の絞り抵抗をもち前記両バリアダ
イヤフラム３６．３７の内側に伝達される衝撃波を抑制
している。４６は筒状のセンサ支持部材で、前記両液通
路３８．３９内の圧力がそれぞれその片側に伝達される
半導体圧力センサ（図示せず）を内蔵し前記雨検出器ボ
ディ３１，３２の上方に設けられている。４７はこのセ
ンサ支持部材４６と同一の軸線をもつ外筒で、前記セン
サ支持部材４６と同様雨検出器ボディ３１．３２の上方
に設けられており、センサ支持部材４６の外周面との間
には環状通路４８が形成されている。そして、前記第１
の液通路３８はセンサ支持部材４６の内側に開口され、
前記第２の液通路３９は環状通路４８に開口されている
。４９および５０は前記両° 検出器ボディ３１，３２
の軸線と直角な軸線をもつ流体絞りで、前記圧力センサ
の下上側に至るまでの通路内容積比に応じた大きさの絞
り抵抗すなわちＲイ／ ＶＬ ＝ ＲＬ ／ Ｖ）ｌ
（この場合、流体絞り４９．５０の絞り抵抗をＲＨ，
ＲＬ、流体絞り４９．５０から圧力センサの下上側に至
るまでの通路内容積をＶ、、ＶＬとする。）の関係を満
たす絞り抵抗をもち前記第１の液通路３８．第２の液通
路３９の途中に放電加工等により設けられている。５１
および５２は前記流体絞り４９．５０の深さ方向を位置
決めするための孔で、それぞれ前記第１の液通路３８．
第２の液通路３９に連通し前記雨検出器ボディ３１，３
２に設けられている。また、前記間隙４０から液通路４
２・４３゜高圧側内室３３および第１の液通路３８を経
て圧力センサの下側に至る間と、間隙４１から液通路４
４・４５．低圧側内室３４．第２の液通路３９および環
状通路４８を経て圧力センサの上側に至る間には、シリ
コンオイル等の圧力伝達液５３が封入されている。
例によって詳細に説明する。第１図は本発明に係る差圧
発信器の一実施例を示す断面図である。同図において、
３１および３２は溶接により接合された一対の円板状検
出器ボディで、後述する圧力センサに比較して柔軟性を
有し高圧側内室３３と低圧側内室３４の２室に画成する
ダ、イヤフラム、ベローズ等の弾性体３５を介してそれ
ぞれが互いに対向している。これら雨検出器ボディ３１
．３２の反弾性体端には断面波形状に形成された高圧側
バリアダイヤフラム３６と低圧側バリアダイヤフラム３
７とが装着され、またこれらバリアダイヤフラム３６，
３７の外側には通しボルト（図示せず）によりカバー（
図示せず）が固着されている。３８および３９は上方に
開口する第１、第２の液通路で、それぞれ高圧側内室３
３゜低圧側内室３４に連通し前記検出器ボディ１，２に
形成されている。また、前記各バリアダイヤフラム３６
，３７と前記各検出器ボディ３１，３２間に形成された
間隙４０．４１と前記各内室３３゜３４とは、流体絞り
４２ａ・４３ａ、４４ａ・４５ａを有する液通路４２・
４３．４４・４５によってそれぞれ連通されている。な
お、前記流体絞り４２ａ〜４５ａは差圧に対する伝達特
性が悪くならない程度の絞り抵抗をもち前記両バリアダ
イヤフラム３６．３７の内側に伝達される衝撃波を抑制
している。４６は筒状のセンサ支持部材で、前記両液通
路３８．３９内の圧力がそれぞれその片側に伝達される
半導体圧力センサ（図示せず）を内蔵し前記雨検出器ボ
ディ３１，３２の上方に設けられている。４７はこのセ
ンサ支持部材４６と同一の軸線をもつ外筒で、前記セン
サ支持部材４６と同様雨検出器ボディ３１．３２の上方
に設けられており、センサ支持部材４６の外周面との間
には環状通路４８が形成されている。そして、前記第１
の液通路３８はセンサ支持部材４６の内側に開口され、
前記第２の液通路３９は環状通路４８に開口されている
。４９および５０は前記両° 検出器ボディ３１，３２
の軸線と直角な軸線をもつ流体絞りで、前記圧力センサ
の下上側に至るまでの通路内容積比に応じた大きさの絞
り抵抗すなわちＲイ／ ＶＬ ＝ ＲＬ ／ Ｖ）ｌ
（この場合、流体絞り４９．５０の絞り抵抗をＲＨ，
ＲＬ、流体絞り４９．５０から圧力センサの下上側に至
るまでの通路内容積をＶ、、ＶＬとする。）の関係を満
たす絞り抵抗をもち前記第１の液通路３８．第２の液通
路３９の途中に放電加工等により設けられている。５１
および５２は前記流体絞り４９．５０の深さ方向を位置
決めするための孔で、それぞれ前記第１の液通路３８．
第２の液通路３９に連通し前記雨検出器ボディ３１，３
２に設けられている。また、前記間隙４０から液通路４
２・４３゜高圧側内室３３および第１の液通路３８を経
て圧力センサの下側に至る間と、間隙４１から液通路４
４・４５．低圧側内室３４．第２の液通路３９および環
状通路４８を経て圧力センサの上側に至る間には、シリ
コンオイル等の圧力伝達液５３が封入されている。
このように構成された差圧発信器においては、衝撃波が
高圧側および低圧側のうちいずれが一方のバリアダイヤ
フラムに加わっても、流体絞り４２ａ・４３ａ、４４ａ
・４５ａによりある程度抑制され、弾性体３５により第
１．第２の液通路３８．３９内の流体絞り入口までほと
んど同位相で衝撃波が伝わる。そして、流体絞り４９．
５０によりセンサ支持部材４６内の圧力センサの上下側
まで同位相で衝撃波は伝播される。
高圧側および低圧側のうちいずれが一方のバリアダイヤ
フラムに加わっても、流体絞り４２ａ・４３ａ、４４ａ
・４５ａによりある程度抑制され、弾性体３５により第
１．第２の液通路３８．３９内の流体絞り入口までほと
んど同位相で衝撃波が伝わる。そして、流体絞り４９．
５０によりセンサ支持部材４６内の圧力センサの上下側
まで同位相で衝撃波は伝播される。
なお、本実施例においては流体絞り４９．５０を放電加
工により設ける例を示したが、本発明はこれに限定され
ず、第２図に示すように焼結金属で形成された流体絞り
５４．５５を、また第３図に示すように肉厚パイプから
なる流体絞り５６゜５７を第１．第２液通路３８．３９
の途中に設けたものでも実施例と同様の効果を奏する。
工により設ける例を示したが、本発明はこれに限定され
ず、第２図に示すように焼結金属で形成された流体絞り
５４．５５を、また第３図に示すように肉厚パイプから
なる流体絞り５６゜５７を第１．第２液通路３８．３９
の途中に設けたものでも実施例と同様の効果を奏する。
この場合、他の液通路４２〜４５には流体絞り５４２〜
５７ａが設けられている。
５７ａが設けられている。
以上説明したように本発明によれば、弾性体によって画
成された２室に連通ずる第１．第２の液通路の途中にそ
れぞれ圧力センサに至るまでの通路内容積比に応じた大
きさの絞り抵抗をもつ流体絞りを設けたので、衝撃波が
圧力センサの両側まで同位相で伝播され、衝撃波から圧
力センサを確実に保護することができる。したがって、
従来のように絞りを過度に太き（したり、また絞りの流
量特性を正確に合わたりする必要がなくなり、応答性が
良好で、コストの低廉化を計ることができる。
成された２室に連通ずる第１．第２の液通路の途中にそ
れぞれ圧力センサに至るまでの通路内容積比に応じた大
きさの絞り抵抗をもつ流体絞りを設けたので、衝撃波が
圧力センサの両側まで同位相で伝播され、衝撃波から圧
力センサを確実に保護することができる。したがって、
従来のように絞りを過度に太き（したり、また絞りの流
量特性を正確に合わたりする必要がなくなり、応答性が
良好で、コストの低廉化を計ることができる。
第１図は本発明に係る差圧発信器の一実施例を示す断面
図、第２図および第３図は他の実施例を示す断面図、第
４図は従来の差圧発信器を示す断面図である。 ３１．３２・・・・検出器ボディ、３５・・・・弾性体
、３８・・・・第１の液通路、３９・・・・第２の液通
路、４６・・・・センサ支持部材、４９．５０・・・・
流体絞り。
図、第２図および第３図は他の実施例を示す断面図、第
４図は従来の差圧発信器を示す断面図である。 ３１．３２・・・・検出器ボディ、３５・・・・弾性体
、３８・・・・第１の液通路、３９・・・・第２の液通
路、４６・・・・センサ支持部材、４９．５０・・・・
流体絞り。
Claims (1)
- 弾性体によって画成された２室にそれぞれ連通する第１
、第２の液通路が形成された検出器ボディと、この検出
器ボディの上方に設けられ前記両液通路内の圧力がそれ
ぞれその片側に伝達される圧力センサを内蔵するセンサ
支持部材とを備え、前記両液通路の途中にそれぞれ前記
圧力センサに至るまでの通路内容積比に応じた大きさの
絞り抵抗をもつ流体絞りを設けたことを特徴とする差圧
発信器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21863884A JPS6197544A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 差圧発信器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21863884A JPS6197544A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 差圧発信器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6197544A true JPS6197544A (ja) | 1986-05-16 |
Family
ID=16723081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21863884A Pending JPS6197544A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 差圧発信器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6197544A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH062190U (ja) * | 1992-06-16 | 1994-01-14 | 横河電機株式会社 | 差圧測定装置 |
| JP2006128341A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置の運転方法，基板処理装置の制御方法，基板処理装置，基板処理装置の制御を行うプログラム |
-
1984
- 1984-10-19 JP JP21863884A patent/JPS6197544A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH062190U (ja) * | 1992-06-16 | 1994-01-14 | 横河電機株式会社 | 差圧測定装置 |
| JP2006128341A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置の運転方法，基板処理装置の制御方法，基板処理装置，基板処理装置の制御を行うプログラム |
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