JPS6183668A - セラミツクグリ−ンシ−ト - Google Patents
セラミツクグリ−ンシ−トInfo
- Publication number
- JPS6183668A JPS6183668A JP59204162A JP20416284A JPS6183668A JP S6183668 A JPS6183668 A JP S6183668A JP 59204162 A JP59204162 A JP 59204162A JP 20416284 A JP20416284 A JP 20416284A JP S6183668 A JPS6183668 A JP S6183668A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- green sheet
- ceramic green
- hole
- deformation resistance
- pitch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0306—Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Producing Shaped Articles From Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はセラミックグリーンシートに係シ、特に高精度
でかつ高密度のスルーホール加工に好適なセラミックグ
リーンシートの組成に関する。
でかつ高密度のスルーホール加工に好適なセラミックグ
リーンシートの組成に関する。
セラミックグリーンシートの組成は、成形性。
積層性、焼結性などから決められており、積層した時上
、下配線パターンを接続する為のスルーホールを高密度
にかつ高精度に打抜きする為のグリーンシート組成、あ
るいはグリーンシートの機械的特性に関しては考慮され
ていなかった(例えば%開昭54−35679.特開昭
56−55210など)。
、下配線パターンを接続する為のスルーホールを高密度
にかつ高精度に打抜きする為のグリーンシート組成、あ
るいはグリーンシートの機械的特性に関しては考慮され
ていなかった(例えば%開昭54−35679.特開昭
56−55210など)。
従って、このようなセラミックグリーンシートに直径0
.15+wのスルーホールを高密度に打抜くと、例えば
第8図に示すようにピッチが小さくなるとたるみが発生
し、穴位置精度が得られなかった。
.15+wのスルーホールを高密度に打抜くと、例えば
第8図に示すようにピッチが小さくなるとたるみが発生
し、穴位置精度が得られなかった。
本発明の目的は高密度かつ高精度にスルーホールの打抜
きが行なえるセラミックグリーンシートを提供すること
にある。
きが行なえるセラミックグリーンシートを提供すること
にある。
一般に、セラミックグリーンシートの機械特性は第1図
に示すようになっておシ、引張bi形に対する変形抵抗
が非常に小さく、圧縮に対する変形抵抗が非常に大きく
、ぜん断はその中間である。
に示すようになっておシ、引張bi形に対する変形抵抗
が非常に小さく、圧縮に対する変形抵抗が非常に大きく
、ぜん断はその中間である。
一方、スルーホールの打抜きにおいては、第2図に示す
現象が生じている。つまυ、穴1,2゜3.4があけら
れているセラミックグリーンシートに穴5を打抜くと、
ポンチ押込みにょシ穴5の周囲には内圧Pが作用し、こ
の内圧Pにょシ穴5の周囲が変形し、変形領域6かすで
に打抜かれた穴(第2図で穴2.4)に達した時にはセ
ラミックグリーンシートが引張変形し、スルーホールの
位置精度が損われることになる。
現象が生じている。つまυ、穴1,2゜3.4があけら
れているセラミックグリーンシートに穴5を打抜くと、
ポンチ押込みにょシ穴5の周囲には内圧Pが作用し、こ
の内圧Pにょシ穴5の周囲が変形し、変形領域6かすで
に打抜かれた穴(第2図で穴2.4)に達した時にはセ
ラミックグリーンシートが引張変形し、スルーホールの
位置精度が損われることになる。
今、半径方向に発生する最大応力をσrmaxとすると
σrmaxは次の(1)式で表わされる関数である。
σrmaxは次の(1)式で表わされる関数である。
σrmhx =: f (ks ) 川・・
・(1)(ここでに8はぜん断降伏応力) 一方、変形領域がすでに打抜かれた穴に達する圧力つま
シ限昇内圧Perは次の(2)式で表わされる。
・(1)(ここでに8はぜん断降伏応力) 一方、変形領域がすでに打抜かれた穴に達する圧力つま
シ限昇内圧Perは次の(2)式で表わされる。
Pcr=f(1cr+a、d) +−・・−12)こ
こで、kT;引張)降伏応力 a;スルーホールピッチ d;スルーホール直径 従って、σrmaxがPcrよ)大きくなった時セラミ
ックグリーンシートがたるみ、ピッチ精度が悪くなる。
こで、kT;引張)降伏応力 a;スルーホールピッチ d;スルーホール直径 従って、σrmaxがPcrよ)大きくなった時セラミ
ックグリーンシートがたるみ、ピッチ精度が悪くなる。
今、このσrmaxとParの比をスルーホールピッチ
との関係で取ると第3図のようにな)、ヌル−ホールピ
ッチがlトさくなるに従ってこの値が大きくなシ、σr
max / Perの比が1以上のピッチで、第8図に
示したようにたるみが発生する。この原因は第3図に示
したように一般にセラミックグリーンシートが引張9に
対して非常に弱いことに帰因している。
との関係で取ると第3図のようにな)、ヌル−ホールピ
ッチがlトさくなるに従ってこの値が大きくなシ、σr
max / Perの比が1以上のピッチで、第8図に
示したようにたるみが発生する。この原因は第3図に示
したように一般にセラミックグリーンシートが引張9に
対して非常に弱いことに帰因している。
従って、セラミックグリーンシートに微小ピッチでスル
ーホールを打抜くには、セラミックグリーンシートの引
張夛変形に対する抵抗を大きくするか、ぜん断に対する
抵抗を小さくすれは良い。
ーホールを打抜くには、セラミックグリーンシートの引
張夛変形に対する抵抗を大きくするか、ぜん断に対する
抵抗を小さくすれは良い。
このことは(引張変形抵抗)/(ぜん断変形抵抗)を大
きくすることであシ、セラミック粒子を囲む有機物によ
って左右されると考えられた。つまシ、有機バインダの
1合度金大きくするかそのitを多くする、あるいは可
塑剤の量を少なくすることによシこの値を大きくするこ
とが考えられた。セラミックグリーンシートでは金属の
場合のように引張シ、あるいはぜん断変形抵抗を求める
ことは困難であシ、引張)強さとせん断強さの比′!i
−変形抵抗比として考えた。
きくすることであシ、セラミック粒子を囲む有機物によ
って左右されると考えられた。つまシ、有機バインダの
1合度金大きくするかそのitを多くする、あるいは可
塑剤の量を少なくすることによシこの値を大きくするこ
とが考えられた。セラミックグリーンシートでは金属の
場合のように引張シ、あるいはぜん断変形抵抗を求める
ことは困難であシ、引張)強さとせん断強さの比′!i
−変形抵抗比として考えた。
以下、本発明を実施例によシ更に説明する。セラミック
粉末としてアルミナ粉末を用い、アルミナ粉末90重量
部に有機バインダP、V、B、(ポリビニルブチラール
)、可塑剤B、 P、 B、 c、、 (ブチルフタリ
ルブチルグリコレート)及び溶剤を加えて混合してスラ
リーとした。このスラリーを、ドクターブレード法で厚
さ0.25a+mのグリーンシートに成形した。なおグ
リーンシート中の溶剤は、製造工程において揮散してい
る。
粉末としてアルミナ粉末を用い、アルミナ粉末90重量
部に有機バインダP、V、B、(ポリビニルブチラール
)、可塑剤B、 P、 B、 c、、 (ブチルフタリ
ルブチルグリコレート)及び溶剤を加えて混合してスラ
リーとした。このスラリーを、ドクターブレード法で厚
さ0.25a+mのグリーンシートに成形した。なおグ
リーンシート中の溶剤は、製造工程において揮散してい
る。
引張試験は幅10 wIs チャック間距離80簡の条
件で、せん断試験は直径24.03 mのダイ穴を設け
たダイ上にグリーンシートを!き、直径24瓢のポンチ
でダイ穴とのクリアランスを両側Iμmで行なった。こ
こで、ひずみ速度は両試験とも0.1 sec””であ
った。
件で、せん断試験は直径24.03 mのダイ穴を設け
たダイ上にグリーンシートを!き、直径24瓢のポンチ
でダイ穴とのクリアランスを両側Iμmで行なった。こ
こで、ひずみ速度は両試験とも0.1 sec””であ
った。
また、スルーホールの打抜きは、直径0.15mのポン
チと穴直径0.18mmのダイを用いてピッチ0.5鴎
で行なった。
チと穴直径0.18mmのダイを用いてピッチ0.5鴎
で行なった。
第4図はagの重合度OF、 V、 B、 ’t−用い
、B、 P、 B。
、B、 P、 B。
G、の量を変えたグリーンシートの変形抵抗比7とたる
み量8t−示す。これかられかるようにたるみ発生領域
Bでたるみが発生し、可塑剤量を減らすことによシ、た
るみが生じなくな夛、その童はP。
み量8t−示す。これかられかるようにたるみ発生領域
Bでたるみが発生し、可塑剤量を減らすことによシ、た
るみが生じなくな夛、その童はP。
v、B、の重合度によって異なるが、その時の変形抵抗
比7(引張強さ/ぜん断強さ)は0.64以上(第4図
中変形抵抗比0.64以上の領域大)となっている。
比7(引張強さ/ぜん断強さ)は0.64以上(第4図
中変形抵抗比0.64以上の領域大)となっている。
一方、P、V、B、の重合度が変わった時のグリーンシ
ートの成形性は第5図に示すように成形可能領域C1混
合不元分領域り1割れ発生領域Eが変わシ、気温、成形
前の脱泡によυ粘度が約3000 cpB変動すること
を考慮に入れるとP、 V、 B、の重合度の上限は2
000と考えられる。
ートの成形性は第5図に示すように成形可能領域C1混
合不元分領域り1割れ発生領域Eが変わシ、気温、成形
前の脱泡によυ粘度が約3000 cpB変動すること
を考慮に入れるとP、 V、 B、の重合度の上限は2
000と考えられる。
また、B、 P、 B、 G、の量を減らすと第6図に
示すように伸びが減少する。伸びが1%以下になるとグ
リーンシートが脆くな如ハンドリング性が悪くなる。こ
のことからB、 P、 B、 G、 tの下限は5チと
考えられる。
示すように伸びが減少する。伸びが1%以下になるとグ
リーンシートが脆くな如ハンドリング性が悪くなる。こ
のことからB、 P、 B、 G、 tの下限は5チと
考えられる。
これからグリーンシートを変形させることなく0.5m
m以下のピッチで打抜くには変形抵抗比を0.64以上
にすれば良く、その時、P、V、B、の重合度は100
0〜2000 、 B、 P、 B、 G、の童は5〜
7.3 vot ’X)が良い。
m以下のピッチで打抜くには変形抵抗比を0.64以上
にすれば良く、その時、P、V、B、の重合度は100
0〜2000 、 B、 P、 B、 G、の童は5〜
7.3 vot ’X)が良い。
また、P、 V、 B、の量を変えた場合、第7図に示
すようにP、 V、 B、の量を増やすことによυたる
みが発生しなくなシ、その時の変形抵抗はやに、90.
64以上(第7図中ハツチング部分人)となっている。
すようにP、 V、 B、の量を増やすことによυたる
みが発生しなくなシ、その時の変形抵抗はやに、90.
64以上(第7図中ハツチング部分人)となっている。
しかし、P、 V、 B、のtを垢やすと焼結時、ふく
れあるいは割れが発生しやすく、その上限は30 VO
L%が良い。
れあるいは割れが発生しやすく、その上限は30 VO
L%が良い。
以上、述べたように、微細穴を高密度にかつ高精度に打
抜くにはグリーンシートの変形抵抗比を大きくすれば良
く、直径0.15mのスルーホールをピッチ0.5w以
下で高精度に打抜くには変形抵抗比t−0,64以上に
すれば良い。この時P、 V、 B、の重合度は100
0〜2000 、配合量は20〜30 voL%、B、
P。
抜くにはグリーンシートの変形抵抗比を大きくすれば良
く、直径0.15mのスルーホールをピッチ0.5w以
下で高精度に打抜くには変形抵抗比t−0,64以上に
すれば良い。この時P、 V、 B、の重合度は100
0〜2000 、配合量は20〜30 voL%、B、
P。
B、 G、の配合量は5〜7、a votチが良い。
重合度1.250のP、 V、 B、を20 vot%
、B、 P、 B、 G。
、B、 P、 B、 G。
を7 vot%含有する残部アルミナよυなるグリーン
シートニ直径0.15mのスルーホールをピッチ0.5
mで120 X 120閣の領域に打抜いた結果、たる
みはなく、はとんど位置ずれのない高精度のスルーホー
ル加工が出来た。
シートニ直径0.15mのスルーホールをピッチ0.5
mで120 X 120閣の領域に打抜いた結果、たる
みはなく、はとんど位置ずれのない高精度のスルーホー
ル加工が出来た。
さらに、有機バインダ量を均やすことはセラミックグリ
ーンシートの面粗さを向上することになシ、配線の印刷
性が向上する。
ーンシートの面粗さを向上することになシ、配線の印刷
性が向上する。
また、セラミックはアルミナに限らずムライトなどでも
良い。
良い。
また、前記のスラリーに焼結助剤を8〜12重量部加え
たものを、ドクターブレード法でグリーンシートを作成
したものも同様の結果が得られた。
たものを、ドクターブレード法でグリーンシートを作成
したものも同様の結果が得られた。
また、グリーンシートの変形抵抗比とたるみを発生しな
いスルーホールピッチ(限界スルーホールピッチ)は第
9図に示すようになっており、これにより、0.5以下
のピッチでスルーホールを打抜く時グリーンシートの変
形抵抗比が決められる。
いスルーホールピッチ(限界スルーホールピッチ)は第
9図に示すようになっており、これにより、0.5以下
のピッチでスルーホールを打抜く時グリーンシートの変
形抵抗比が決められる。
以上述べたごとく本発明によれば微小ピッチでスルーホ
ールの打抜きが可能なため、回路基板が約174に小さ
く出来、性能は2倍以上になることが期待出来る。
ールの打抜きが可能なため、回路基板が約174に小さ
く出来、性能は2倍以上になることが期待出来る。
第1図はセラミックグリーンシートの機械的特性(ひず
み速度0.15ec−’ )を示す図、第2図はたるみ
の発生を示す模式図、第3図はスルーホールピッチとス
ルーホールの打抜きにおける半径方向最大応力と限外内
圧の比との関係を示す計算結果を示す図、第4図はB、
P、 B、 a、 ′jiとたるみ量及び変形抵抗比
との関係を示す図、第5図はグリーンシートの成形性を
示す図、第6図はB、 P、 B、 G、愈と伸びの関
係を示す図、第7図はP、 V、 B、の蓋とたるみ量
及び変形抵抗比の関係を示す図、第8図はセラミックグ
リーンシートのスルーホールピッチとたるみ量との関係
を示す図、第9図はグリーンシートの変形抵抗比とたる
みを発生しないスルーホールピッチの関係を示す図であ
る。 1.2.3.4.5・・・穴、6・・・変形領域、7・
・・変形抵抗比、8・・・たるみ鉦、A・・・変形抵抗
比0.64以上の領域、B・・・たるみ発生領域、C・
・・成形可能領域、D・・・混合不充分領域、E・・・
割れ発生領域。 代理人 弁理士 秋 本 正 実第1図 ひA゛2.(%) 第2図 第3図 スルーエール 第4図 B.P8.Gt (vo7%) 第5図 瓜をj量(vot%) 第6図 BP、B、G ’f: (vol olo)第7図 F!V、B量(vO(%) 第8図 スル、スールビ・ソf(mm) 第9図 史予北1克rヒ
み速度0.15ec−’ )を示す図、第2図はたるみ
の発生を示す模式図、第3図はスルーホールピッチとス
ルーホールの打抜きにおける半径方向最大応力と限外内
圧の比との関係を示す計算結果を示す図、第4図はB、
P、 B、 a、 ′jiとたるみ量及び変形抵抗比
との関係を示す図、第5図はグリーンシートの成形性を
示す図、第6図はB、 P、 B、 G、愈と伸びの関
係を示す図、第7図はP、 V、 B、の蓋とたるみ量
及び変形抵抗比の関係を示す図、第8図はセラミックグ
リーンシートのスルーホールピッチとたるみ量との関係
を示す図、第9図はグリーンシートの変形抵抗比とたる
みを発生しないスルーホールピッチの関係を示す図であ
る。 1.2.3.4.5・・・穴、6・・・変形領域、7・
・・変形抵抗比、8・・・たるみ鉦、A・・・変形抵抗
比0.64以上の領域、B・・・たるみ発生領域、C・
・・成形可能領域、D・・・混合不充分領域、E・・・
割れ発生領域。 代理人 弁理士 秋 本 正 実第1図 ひA゛2.(%) 第2図 第3図 スルーエール 第4図 B.P8.Gt (vo7%) 第5図 瓜をj量(vot%) 第6図 BP、B、G ’f: (vol olo)第7図 F!V、B量(vO(%) 第8図 スル、スールビ・ソf(mm) 第9図 史予北1克rヒ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、引張り強さとせん断強さの比が0.64以上である
ことを特徴としたセラミックグリーンシート。 2、特許請求の範囲第1項において、セラミックグリー
ンシートがアルミナ粉末62.7〜75volを%、重
合度1,000〜2,000のポリビニルブチラール2
0〜30vol%、ブチルフタリルブチルグリコレート
5〜7.3vol%よりなるものであることを特徴とす
るセラミックグリーンシート。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59204162A JPH0637325B2 (ja) | 1984-10-01 | 1984-10-01 | セラミックグリーンシート |
JP4318156A JPH0751461B2 (ja) | 1984-10-01 | 1992-11-27 | セラミックグリーンシート |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59204162A JPH0637325B2 (ja) | 1984-10-01 | 1984-10-01 | セラミックグリーンシート |
JP4318156A JPH0751461B2 (ja) | 1984-10-01 | 1992-11-27 | セラミックグリーンシート |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4318156A Division JPH0751461B2 (ja) | 1984-10-01 | 1992-11-27 | セラミックグリーンシート |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6183668A true JPS6183668A (ja) | 1986-04-28 |
JPH0637325B2 JPH0637325B2 (ja) | 1994-05-18 |
Family
ID=26514320
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59204162A Expired - Lifetime JPH0637325B2 (ja) | 1984-10-01 | 1984-10-01 | セラミックグリーンシート |
JP4318156A Expired - Lifetime JPH0751461B2 (ja) | 1984-10-01 | 1992-11-27 | セラミックグリーンシート |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4318156A Expired - Lifetime JPH0751461B2 (ja) | 1984-10-01 | 1992-11-27 | セラミックグリーンシート |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JPH0637325B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03170360A (ja) * | 1989-11-30 | 1991-07-23 | Taiyo Yuden Co Ltd | セラミックグリーンシート用組成物 |
JP2002158136A (ja) * | 2000-11-20 | 2002-05-31 | Murata Mfg Co Ltd | セラミックグリーンシートおよびその設計方法、ならびに積層セラミック電子部品 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10275747A (ja) * | 1997-03-28 | 1998-10-13 | Nec Corp | 電気二重層コンデンサ |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5614476A (en) * | 1979-07-06 | 1981-02-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture of piezoelectric sintered body sheet |
-
1984
- 1984-10-01 JP JP59204162A patent/JPH0637325B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-11-27 JP JP4318156A patent/JPH0751461B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5614476A (en) * | 1979-07-06 | 1981-02-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture of piezoelectric sintered body sheet |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03170360A (ja) * | 1989-11-30 | 1991-07-23 | Taiyo Yuden Co Ltd | セラミックグリーンシート用組成物 |
JP2002158136A (ja) * | 2000-11-20 | 2002-05-31 | Murata Mfg Co Ltd | セラミックグリーンシートおよびその設計方法、ならびに積層セラミック電子部品 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0637325B2 (ja) | 1994-05-18 |
JPH0751461B2 (ja) | 1995-06-05 |
JPH05319906A (ja) | 1993-12-03 |
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