JPS6174151A - 円板状記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、円板状記録媒体の製造方法の改良に関する。

〔従来の技術］ ″周知の如く、光学ディスクにおいては、現在、再生専
用形のビデオディスク、オーディオディスク（コンパク
トディスク）と記録再生形の計算機用メモリ、ビデオフ
ァイル、文書ファイルなどが実用化済か実用化中である
。これらは一度記録すると消去できない。また、光磁気
ディスクは、記録再生機能に消去機能を加えるもので、
各社で開発が進められているが、外見上ビデオディスク
と同様になるので、従来のものとして光学式ビデオディ
スクを取上げて比較する。

従来、光学式ビデオディスクは、例えば第７図（ａ）〜
（ｅ）に示すように製造されている。まず、第７図（ａ
）及び第８図に示すごとく、円板状のニッケル製スタン
パ１を用意する。、このスタンパ１には、予め信号ビッ
ト２や溝などの凹凸が付いている。なお、第８図は、第
７図（ａ）の斜視図である。つづいて、前記スタンパ１
を雄型として光学特性の良いプラスチックス例えばポリ
メチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）のディスク３を射出
成形法等で円板状に形成する（第７図（ｂ）及び第９図
図示）ａなお、第９図は、第１図（ｂ）の斜視図であり
、図中の４は信号ビットである。

次いで、前記ディスク３の信号印加面にＡ２反射膜５を
形成する（第７図（Ｃ）図示）。この際、生産性を上げ
るために、ディスク３を第１０図に示す如く基板取付は
根６の枠に取付け、この枠を一枚つづ搬送してスパッタ
リングターゲット７からＡ２をスパッタリング法で付着
させる。しかる後、第１１図に示す如く、前記Ａ２反射
膜５にＰＭＭＡ系塗料をスプレー法で吹付は保護膜８を
形成する（第７図（ｄ）図示）。更に、第７図（ｄ）の
状態のディスク３を、２枚互いの信号印加面が対向する
ようにゴム系接着材を用いて貼り合せ両面ディスクとし
ている（第７図（−ｅ）図示）。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、前述した製造方法によれば、次に示す欠
点を有する。

■、射出成形にて予め円板状に形成されるため、ハンド
リングが難しい。

■、ハンドリングのため、ディスク３を基板取付は板６
に取付けたり、取り外したりする工程が必要である。

■、連続的生産が困難である。

■、ディスク３を取扱う工程が多いため、ディスク３が
損傷し易い。

■、基板取付は板６が厚く熱伝導が悪いため、スパッタ
リング工程でディスクの表面温度が上昇する。これは、
ＡＪ２スパッタリングではそれ程問題とならないが、光
磁気薄膜の場合性能劣化の原因となる。また、ディスク
３の両面の温度差が生じ反りが生じる。

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、ハンドリン
グ回数を少なくしてディスクへの損傷を軽減するととも
に、生産性、膜質を向上し得る円板状記録媒体の製造方
法を提供することを目的とするものでる。

（問題点を解決するための手段） 光磁気ディスクは、プラスチックなどの基板上にある種
の磁性材料の薄膜を形成させ、レーザー光を当てるとそ
の部分のみ磁化方向が熱により反転し書込みが行われる
。これを読み出すには反転した磁界にレーザー偏向を当
てると偏向面が回転して反射されることを利用する。現
在層も実用化が速いと思われるのは希土類と鉄属金属な
どよりなるアモルファス磁性膜であるが、アモルファス
の２層構造やその上下に酸化物・窒化物などの酸化物・
誘電体層などを重ねて多層構造となる見込みが強い。そ
して、この生産設備を検討する中で、従来の光ディスク
と同様に円板状でハンドリングすることを考えると極め
て複雑な機構となり、しかもスパッタリング時の基板の
反り防止、表面温度制御法など困難な問題に当面した。

そこで、本発明者等は、種々研究を重ねた結果、プラス
チック製又は金属製の連続したフィルム又はシート上に
記録様能又は反射機能を有する薄膜を形成した後、フィ
ルムの場合はこれを芯材の片面又は両面に貼り付け、シ
ートの場合は互いに貼り合せ、しかる後これを所定形状
に同時に打抜いてディスク状にすることにより、前述し
た問題点を解消するに至ったものである。

〔作用〕

本発明によれば、以下に示す効果を得ることができる。

■、記録機能を有した薄膜を速く形成できるともに、そ
の膜質を良好にすること。

■、真空内の複雑な搬送機構を除くこと。

■、連続処、理で膜品質のバラツキを少なくするととも
に、生産性を向上すること。

■、ハンドリング回数を少なくして損傷率を少なくする
こと。

■、その池 〔実施例〕 以下、本発明の一実施例を第１図〜第４図及び第６図を
参照して説明する。ここで、第１図は連続スパッタリン
グ装置を、第２図はこの装置によって製造された片側に
薄膜を付けたプラスチックフィルムを、第３図はフィル
ム貼合せ打抜き装置を、第４図は本方法により製造され
た３層貼合せ　　　　□式ディスクを、第６図は第４図
の平面図を夫々示す。

まず、各部材の説明を図に沿って順に説明する。

第１図において、２ゴはフィルムの送出し、巻取りロー
ル、クーリングガン、ターゲットなどを内蔵し、内部を
真空に保つ真空至で、ある。なお、隔壁は必要外の部品
へのスパッタ防止のためである。前記真空烹２１には、
高真空排気装置に接続される排気口２２が設けられてい
る。同真空至２１の上部には、未処理プラスチックフィ
ルムを適切な速度で送出す送出しロール２３が設けられ
ている。この送出しロール２３の近くには、この送出し
ロール２３から送り出されたプラスチックフィルム（未
被覆）２４を第１の張力調整ロール（図示せず）を介し
て巻付けるクーリングガン２５が設けられている。この
クーリングガン２５は、スパッタ時に陽極となるととも
に、表面に巻付けられているフィルムを冷却する動きを
有する。該フィルムは、クーリングガン２５の表面に密
着して回転する。前記クーリングガン２５の下方には、
スパッタリングターゲット２６が設けられている。

このターゲット２６は、生成しようとする膜と略同組成
の金属、合金、化合物よりなる円板又は矩形板が用いら
れ陰極として働く。前記クーリングガン２５の近くには
、スパッタされたプラスチックフィルム（被覆流）２７
を第２の張力調整ロール（図示せず）を介して巻取る巻
取りロール２８が設けられている。

第２図において、３１はプラスチックフィルムであり、
この片面に記録機能を有する薄膜３２が形成されている
。ここで、簿膜３２は目的とする−　第２層としてＣｏ
Ｃｒｆｉ！などの垂直磁気異方性膜を形成したもの等が
あり、光ディスクの場合はＴｅ　（テルル）及びＴｅＯ
を適当な割合で形成したもの、更に光磁気ディスクの場
合はＡＭＮ等の誘電薄膜、Ｇｄ　Ｃｏ等の希土類と遷移
金属よりなるアモルファス垂直具］性膜、５１ｏ２等の
保護膜を重ねたものなどがある。なお、第３図では単純
な構造の場合を示したが、薄膜は単一膜とは限らず、記
録機能を発揮できるよう種々の多層膜を含むものでもよ
い。一方、プラスチックフィルム３１は磁気テープ、磁
気ディスクの場合は引張り強度、適度の剛性、耐熱強度
等が選択の条件となるが光ディスク、光磁気ディスクに
あっては、光の透過性、屈折率など光学特性と膜の酸化
防止のため酸素、水分等の透過の少ないものが選ばれね
ばならない。例えば、少し厚めのポリメチルメタクリレ
ート（ＰＭＭＡ）や複屈折を改善したポリカードネート
が該当する。

第３図において、４１は芯材送出しロールである。ここ
で、ディスクの強度部材となる芯材は比較的大径のロー
ルとして供給される。この芯材送出しロール４１の近く
には、２対のグルーイングロール４２．４２を有したブ
ルーイング装置４３が設けられている。ここで、２対の
グルーイングロール４２．４２は、前記送出しロール４
１から送られる芯材に接触して接着剤をその両面に塗布
する。なお、スプレー法を用いてもよい。前記ブルーイ
ング装置４３の近くには、被覆流プラスチック送出しロ
ール４４．４４が上下対象に設けられている。この送出
しロール４４は、前記芯材送出しロール４１と同一速度
となるように被覆流プラスチックフィルムを送り出す。

なお、機能膜面が外側になるように巻かれている。前記
送出しロール４４の近くには、貼合せを完全にするため
に圧着を行なう圧着ロール４５が設けられている。

なお、接着剤の種類により加熱又は冷却を行なう事もあ
る。前記圧着ロール４５の近くには、雄雌型を用いディ
スクの外形、内径を同時に打抜く。

なお、必要に応じ同時に溝を形成することも可能である
。そして、ディスクはフィルム幅の中央部から打扱かれ
打抜済ディスク４７が自動的に取出され、一方その残材
（フィルムの端部）は切離されず連続のまま残り、次の
引出しロール４８より引出された後、残材巻取りロール
４９によりｄきとられる。

第４図及び第６図において、５１はディスクの形状、平
面度を保つ機能を有する芯材である。この芯材５１の両
面には、片面に記録機能を有する薄膜５２を貼り付けた
プラスチックフィルム５３を薄膜面が互いに対向するよ
うに貼り付けられている。

次に、作用について説明する。

（１）、記録機能を有するプラスチックフィルムの製造
工程； これを第１図を参照して説明する。まず、送出しロール
２３から繰り出されるプラスチックフィルム２４を第１
の張力調整ロールを介してクーリングガン２５に巻付け
る。ここで、クーリングガン２５が陽極としてかつスパ
ッタリングターゲット２６が陰極として動いてスパッタ
リングを行ない、前記プラスチックフィルム２４に記録
機能を有する薄膜を形成する。この際、スパッタ速度は
、フィルム全体の軟化温度以下になるように押える必要
があるが、フィルム２４が薄い程低温に保ち得て速度を
上げることができる。また、スパッタリングターゲット
２６は、既述した如く、生成し−ようとする膜と略同組
成の金属等よりなる円板又は矩形形が用いられるが、真
空雰囲気中にＡｒ等のガスを流量（ガス圧１０４〜１０
’　Ｔｏｒｒ　）　４人し両極間に高周波（ＲＦ）をか
けＡｒが電離しプラズマ状となりＡｒＦＪ！イオンがタ
ーゲット２６を叩き、はね出されたターゲット物質がフ
ィルム状に付着し膜を生成することは周知の通りである
。

つづいて、スパッタリングされたプラスチックフィルム
（被覆済）２７を第２の張力調整ロールを介して巻取り
ロール２８により巻きとる。なお、フィルムが送られる
際、この張力は伸び、又はたるみを生じぬ範囲に調整さ
れねばならなず、調整装置の信号により送出しロール２
３及び巻取りロール２８の駆動モータの回転数、トルク
が調整される。

（２１，フィルム貼合せ打抜法によるディスクの製造工
程： これを第３図、第４図及び第６図を参照して説明する。

まず、芯材送出しロール４１から供給された芯材５１が
、ブルーイング装置４３によっつ両面に接着剤を付着さ
れる。つづいて、これを中心として被覆済プラスチック
送出しロール４４．４４から供給される２枚のフィルム
が上下から接近し、圧着ロール４５に置いて３枚が貼り
付けら−れる。

次いで、打抜プレス４６の雄雌型にてこれらを打抜いて
第４図及び第６図のような打抜流ディスク４７を得る。

一方、フィルムの端部は切離されず連続のまま残り、引
出しロール４８により引出された後、残材巻取りロール
４９により巻きとられる。

しかるに、本発明は、前記（１）のプラスチックフィル
ムの製造工程と（２１のディスクの製造工程の２工程に
より第４図の薄膜を付けたプラスチックフィルム（円板
状記録媒体）が製造されるため、以下に示す効果を有す
る。

■、プラスチックフィルム２４（又は５３）は薄（伝熱
性が良いため、薄膜３２の形成速度を極めて高めること
ができるとともに、裏面に冷却板を接触させた状態で表
面温度の上昇が押えられ、良質の膜が得られる。

■、フィルム状で扱うため、真空内の複雑な搬送機構が
除かれる。従って、ダストの発生が少なくなり、膜品質
が向上し記録読みだしの誤り率が低下する。

■、連続処理が可能になるため、膜品質のバラツキが少
なくなるとともに、生産性を向上できる。

■、ハンドリング回数が少ないため、損傷率が低下する
。

■、芯材５１は光学的性質に無関係のため、広い範囲で
選択可能となり、より丈夫な安価な材料が選択できる。

■、芯材５１に八βなどの金属を使用すれば、薄くて剛
性の高いものが得られ反射率向上の効果もある。

なお、上記実施例では、スパッタリング法によりプラス
チックフィルムに薄膜を形成する場合について述べたが
、これに限らない。例えば、スプレーによる塗布を始め
、真空蒸着法、イオンブレーティング法などの物理的製
！！法（ＰＶＤ法）や化学的製膜法（ＣＶＤ法）等があ
り、いずれでもよい。

上記実施例では、薄膜が内側にある場合について述べた
が、これに限らない。例えば、磁気ディスクの場合、第
４図で、プラスチックフィルム５３と簿膜５２を逆にし
てｉ１Ｍ！５２が外側になるようにする必要がある。

上記実施例では、フィルムの材料としてプラスチックを
用いたが、これに限らず、金属例えばＡ℃としてもよく
熱伝導が良く磁気ディスクに使用できる。

上記実施例では、プラスチックフィルムを用いて第４図
に示すような円板状記録媒体を製造した場合について述
べたが、これに限らず、第５図に示す如く片面に薄膜６
１を貼合せたプラスチックシート６２．６２を互いに薄
膜６１が対向するように貼り合せたものでもよい。この
場合、プラスチックシート６２は、前記プラスチックフ
ィルムより厚く、２枚合せることにより、ディスクの形
状、平面度を保つ機能を有すると同時に、薄膜連続装置
にて表面に記録機能膜を生成させる単体の役目をする。

また、第５図の２枚貼合せ式ディスクは、第３図で芯材
送出しロール４１と被覆済プラスチック送出しロール（
上部）４４の位置にシートロールを供給し、下部の送出
しロール４４、ブルーイング装置４２の下部分を除けば
他は上記実施例と同一工程で製造できる。なお、シート
の場合、比較的薄いものは実施例で述べたフィルムの場
合と同様であるが、厚さが厚くなる程第１図の各ロール
径を大きくすることになる。第５図の平面図も第６図と
なる。

〔発明の効果〕

以上詳述した如く本発明によれば、ディスクへの損傷の
軽減、生産性、膜質の向上等をなし得る等種々の顕著な
効果を有し、光磁気ディスク、光ディスク等の製品に応
用できる円板状記録媒体の製造方法を提供できるもので
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係る連続スパッタリング装
置の断面図、第２図は第１図の装置によって製造された
片側にＩＩ！を付けたプラスチックフィルムの断面図、
第３図は本発明の一実施例に係るフィルム貼合せ打抜装
置の説明図、第４図は本発明法により製造された３層貼
合せ式ディスクの断面図、第５図は２層貼合せ式ディス
クの断面図、第６図は第４図及び第５図の平面図、第７
図（ａ）〜（ｅ）は従来の光ビデオディスクの製造方法
を工程順に示す断面図、第８図は第７図（ａ）の斜視図
、第９図は第７図（ｂ）の斜視図、第１０図は従来のＡ
Ｒ反射膜のスパツタリングング工程を説明するための図
、第１１図は従来の保護膜の塗布工程を説明するための
図である。 ２１・・・真空室、２２・・・排気口、２３・・・送出
しロール、２４．２７．３１、．５３・・・プラスチッ
クフィルム、２５・・・クーリングガン、２６・・・ス
パッタリングターゲット、２８・・・巻取りロール、３
２・・・ａｌｌ、４１・・・芯材送出しロール、４３・
・・ブルーイング装置、４４・・・被覆済プラスチック
送出しロール、４５・・・圧着ロール、４６・・・打抜
ブレス、４７・・・打友済プレス、４８・・・引出しロ
ール、４９・・・残材巻取りロール、５１・・・芯材、
５２．６１・・・簿膜、６２・・・プラスチックシート
。 出願人復代理人　弁理士　鈴江武彦 第１図 第２図 第４図 第５図 らフ 第６図 第７図　　　　　　第８図 ５ゎ　１９．１へ２９８ 特許庁長官　　　志　賀　　　字　殿 ■、事件の表示 ｒｆａ昭５９−１９７０６４号 ９発明の名称 円板状記録媒体の製造方法 ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 （６２０）　　三菱重工某株式会社 ４復代理人 ６　補正の対象 明細書、図面 ７、補正の内容 （１）　　明細書第４負２０行目において「レーデ−偏
向」とあるを、「レーデ−偏光」と訂正する。 （２）　　明Ｍ書第５泊４〜５行目において「酸化物Ｊ
とあるを、「保護層」と訂正する （３）明細書第７負１行目、向負１１行目、同頁１２行
目、同ｆｉ１５行目、向負１６行目、同頁２０行目〜第
８Ｂ１行目、及び第１７頁１０行目において、「クーリ
ングガン」とあるを「クーリングカン」と訂正する。 ＋４１　　明細書第７負１１行目及び第８負３行目にお
いて「（図示せず）」とあるを、「７ノ（第１図図示）
」と訂正する。 （５）明細書簡８頁１５行目において「アモルファス垂
直異方性膜」とあるを、「アモルファス垂直磁気異方性
膜」と訂正する。 （６）　　明細書第１０負７行目において「内径を同時
に打抜く。」とあるを、「内径を同時に打抜く打抜グン
ス４６が設けられている。」と訂正する。 （７）　　明細書第１０貴１８行目において「貼り付け
た」とあるを、「生成させた」と訂正する。 （８）明細書第１２貝２０行目において「置いて」とあ
るを、「おいて」と訂正する。 （９）　　明細書第１０負７行目において「しかるく」
とある金、「このように」と訂正する。 ａα　明細書画ｘ５ｓ１６行目において「単体」とある
を、「担体」と訂正する。 （６）第１図及び第３図を別緘の如く訂正する。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 磁気ディスク、光ディスクまたは光磁気ディスク等の円
   板状記録媒体を製造する方法において、プラスチック製
   又は金属製の連続したフィルム又はシート上に、記録機
   能又は反射機能を有する薄膜を形成した後、フィルムの
   場合はこれを芯材の片面又は両面に貼り付け、シートの
   場合は互いに張合わせ、しかる後これを所定形状に同時
   に打抜いてディスク状にすることを特徴とする円板状記
   録媒体の製造方法。