JPH026130B2 - - Google Patents
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- JPH026130B2 JPH026130B2 JP10604079A JP10604079A JPH026130B2 JP H026130 B2 JPH026130 B2 JP H026130B2 JP 10604079 A JP10604079 A JP 10604079A JP 10604079 A JP10604079 A JP 10604079A JP H026130 B2 JPH026130 B2 JP H026130B2
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
本発明は、ノイズが小さいと共に走行方向が異
なつても再生出力が略一定した磁気記録体を提供
することに在る。 従来、合成樹脂材等の磁気記録用基材上に、斜
め入射蒸着法や斜め入射イオンプレーテイング法
等の斜め入射蒸着法により、磁性金属又は合金を
蒸着しその蒸着磁性膜を形成した磁気記録体は、
従来の塗布型磁気記録体に比し、高密度記録可能
な磁気記録体として期待されているが、バルクイ
レーズノイズ、バイアスノイズ等のノイズが大き
い欠点を有する。又その磁性蒸着膜は、その入射
方向が１方向にのみ傾むいたものであるため、再
生に当りその走行方向によつて、大きい出力差を
出ることが分つた。かゝるテープをオーデイオカ
セツトテープのように往復して使用する場合は、
欠点となる。 本発明者は、之を解決するため、種々検討し
た。磁性蒸着の入射方向を一層ごとに変えて正逆
交互方向より蒸着した蒸着膜を形成するときは、
走行方向によつての大きい出力差は殆んどなくな
つたが、ノイズが極めて増大することが分つた。
このノイズ増大は、傾斜方向の異なる磁性粒子が
重層連結し、結果的に粒子が粗大化するためと考
えられる。又基材面に直接斜め入射蒸着すること
も、磁性粒子を増大させてその結果、ノイズ増大
をもたらすことも分つた。 本発明は、上記の検討と知見に基きなされ、上
記の欠点を除去した磁気記録体を提供したもの
で、磁気記録用基材上に、磁性金属又は合金より
も高融点の非磁性物質の下地蒸着層とその上面に
該磁性金属又は合金の蒸着層とを交互に複数層形
成すると共に、該複数の磁性金属又は合金の蒸着
層を正逆交互に入射方向が変わる斜め蒸着層に形
成して成る。 第１図は、本発明の実施の１例を示し、１は、
合成樹脂製テープ基材、２と３は、その上面に順
次交互に形成した、磁性金属又は合金より高融点
の非磁性物質、例えばTi，Nb，Ｖ，Cr，Mo等
の高融点金属、Al2O3，Ti2O3，AlN，TiN等の
酸化物、窒化物等の高融点化合物から撰んだ１種
又は２種以上から成る好ましくはPVD法により
形成した下地蒸着層２の複数層（図示では５層）
とその上面に磁性金属又は合金の、例えばCo，
Ni，Fe又はこれらの合金から撰んだ１種又は２
種以上の磁性物の斜め蒸着層３の複数層（図示で
は５層）とであり、且つこれら斜め蒸着層３，３
…は各層毎にその入射方向が正逆交互になるよう
に蒸着されている。便宜的に、その斜め蒸着の状
態を、細長く柱状に生長した結晶粒子体３ａで表
わした。かくして下記に明らかにするように、複
数層の斜め蒸着層３，３…の入射方向を正逆交互
に変えることにより磁気記録体の走行方向が正逆
いづれに変わつてもその再生出力に殆んど差がな
くなると共に、斜め入射蒸着層３の下面に高融点
非磁性物質の蒸着層２を下地として設けることに
より、この下地層２を欠くものに比し、ノイズを
減少せしめることが出来る。 この場合、高融点物質として融点が高いもの
程、凝固点が高いので基板上で結晶が大きく成長
せず、その蒸着結晶粒が微細となり、それだけノ
イズ減少に効果があることが分る。又該下地蒸着
層２の膜厚は、100Å以上であれば良く、200〜
500Å程度が最適で、500Å以上でも差支えない
が、膜厚が大きくなるに従い結晶粒が粗大化して
くる傾向があり、幾分効果が減少するが差支えな
く、通常最大1000Å位までが適当である。尚、磁
性金属又は合金より融点の低いAl，Cu等で下地
層を蒸着形成した場合は、却つて、ノイズが増大
する結果が得られた。 第２図は、本発明の第１図示の如き磁気記録体
を製造する真空蒸着装置を示し、図面で１０は、
真空減圧装置に接続する真空容器を示し、その中
に、供給軸１１と、該供給軸１１にロール状に巻
き着けた合成樹脂製等のテープ状基材１と、該基
材１を案内する所定位置に配設された多数の案内
ロール１２と、巻き解した基材１を巻き取る巻き
取り軸１３と、巻き解した基材１を水平に保持移
行せしめる案内ロール１２，１２間の下方に高融
点物質を入れた電子ビーム蒸発源１４と、巻き解
した基材１を斜めに保持移行せしめる案内ロール
１２，１２間の下方に磁性金属又は合金を入れた
電子ビーム蒸発源１５と、その間に、垂直方向に
介在せしめて、蒸発源１５から蒸発する金属又は
合金を基材１の下面に案内する案内筒壁１６とを
夫々設置する。而して、１端の該供給軸１１より
テープ基材１を巻き解し各案内ロール１２を介し
て１方へ移行させ他端の巻き取り軸１３に巻き取
るようにする間に、一定の真空下、例えば１×
10-5トールに容器内を保持し乍ら、該蒸発源１４
より、高融点物質を蒸発せしめてその基材１１の
水平部下面に蒸着させて、次で、その先方に於
て、その傾斜部下面に、蒸発源１５からの磁性金
属又は合金を斜め入射蒸着させた後、該巻き取り
軸１３に製品として巻き取り、第１図示の基材１
上に高融点非磁性物質の蒸着層２とその上に斜め
入射磁性物質蒸着層３とを形成する。次でこれを
巻き取り軸１３から取りはづし、これを斜め蒸着
した時に磁性膜の傾斜方向が上記とは逆方向にな
るようにして供給軸１１に装着し、前と同様の蒸
着を順次行ない更に追加の第２の高融点非磁性物
質の蒸着層２と前記とは逆方向に斜め入射した第
２磁性物質蒸着層３とを積層形成して巻き取り軸
１３に巻き取り、同様にして第３、第４、第５の
蒸着層２及び３の蒸着形成を行ない第１図示の磁
気記録体を得た。 具体的な実施例として、25μポリエステルフイ
ルムを基材とし、Tiから成る厚さ200Åの蒸着層
５層とCo−20Niから成る厚さ500Åの蒸着層５層
とを形成した第１図示の多層構造の磁気記録体試
料No.１と、前記のTiに代りAl2O3、Zr、Mo或い
はAlNから成る厚さ200Åの蒸着層５層を有する
同様の本発明試料No.２、No.３、No.４及びNo.５とを
作成し、別に対照試料として、高融点非磁性蒸着
層を欠く、Co−20Niから成る厚さ200Åで且つ１
方向のみの斜め入射蒸着層５層から成る試料No.６
と、下地層としてTiから成る厚さ200Åの蒸着層
５層を介在せしめた前記試料No.６と同じ蒸着層５
層から成る試料No.７と、Ti蒸着層を欠くCo−
20Niから成る厚さ200Åの交互に斜め入射蒸着さ
せた蒸着層５層から成る試料No.８と、前記試料No.
１のTiの代わりにAl、Cuから成る蒸着層を有す
る試料No.９、No.10とを作成し、これら試料をカセ
ツトテープ状にスリツトして測定した。 尚斜め入射蒸着に於て保磁力は、どの試料も
900Oe程度となるように入射角を設定した。その
測定結果を下記第１表に示す。
なつても再生出力が略一定した磁気記録体を提供
することに在る。 従来、合成樹脂材等の磁気記録用基材上に、斜
め入射蒸着法や斜め入射イオンプレーテイング法
等の斜め入射蒸着法により、磁性金属又は合金を
蒸着しその蒸着磁性膜を形成した磁気記録体は、
従来の塗布型磁気記録体に比し、高密度記録可能
な磁気記録体として期待されているが、バルクイ
レーズノイズ、バイアスノイズ等のノイズが大き
い欠点を有する。又その磁性蒸着膜は、その入射
方向が１方向にのみ傾むいたものであるため、再
生に当りその走行方向によつて、大きい出力差を
出ることが分つた。かゝるテープをオーデイオカ
セツトテープのように往復して使用する場合は、
欠点となる。 本発明者は、之を解決するため、種々検討し
た。磁性蒸着の入射方向を一層ごとに変えて正逆
交互方向より蒸着した蒸着膜を形成するときは、
走行方向によつての大きい出力差は殆んどなくな
つたが、ノイズが極めて増大することが分つた。
このノイズ増大は、傾斜方向の異なる磁性粒子が
重層連結し、結果的に粒子が粗大化するためと考
えられる。又基材面に直接斜め入射蒸着すること
も、磁性粒子を増大させてその結果、ノイズ増大
をもたらすことも分つた。 本発明は、上記の検討と知見に基きなされ、上
記の欠点を除去した磁気記録体を提供したもの
で、磁気記録用基材上に、磁性金属又は合金より
も高融点の非磁性物質の下地蒸着層とその上面に
該磁性金属又は合金の蒸着層とを交互に複数層形
成すると共に、該複数の磁性金属又は合金の蒸着
層を正逆交互に入射方向が変わる斜め蒸着層に形
成して成る。 第１図は、本発明の実施の１例を示し、１は、
合成樹脂製テープ基材、２と３は、その上面に順
次交互に形成した、磁性金属又は合金より高融点
の非磁性物質、例えばTi，Nb，Ｖ，Cr，Mo等
の高融点金属、Al2O3，Ti2O3，AlN，TiN等の
酸化物、窒化物等の高融点化合物から撰んだ１種
又は２種以上から成る好ましくはPVD法により
形成した下地蒸着層２の複数層（図示では５層）
とその上面に磁性金属又は合金の、例えばCo，
Ni，Fe又はこれらの合金から撰んだ１種又は２
種以上の磁性物の斜め蒸着層３の複数層（図示で
は５層）とであり、且つこれら斜め蒸着層３，３
…は各層毎にその入射方向が正逆交互になるよう
に蒸着されている。便宜的に、その斜め蒸着の状
態を、細長く柱状に生長した結晶粒子体３ａで表
わした。かくして下記に明らかにするように、複
数層の斜め蒸着層３，３…の入射方向を正逆交互
に変えることにより磁気記録体の走行方向が正逆
いづれに変わつてもその再生出力に殆んど差がな
くなると共に、斜め入射蒸着層３の下面に高融点
非磁性物質の蒸着層２を下地として設けることに
より、この下地層２を欠くものに比し、ノイズを
減少せしめることが出来る。 この場合、高融点物質として融点が高いもの
程、凝固点が高いので基板上で結晶が大きく成長
せず、その蒸着結晶粒が微細となり、それだけノ
イズ減少に効果があることが分る。又該下地蒸着
層２の膜厚は、100Å以上であれば良く、200〜
500Å程度が最適で、500Å以上でも差支えない
が、膜厚が大きくなるに従い結晶粒が粗大化して
くる傾向があり、幾分効果が減少するが差支えな
く、通常最大1000Å位までが適当である。尚、磁
性金属又は合金より融点の低いAl，Cu等で下地
層を蒸着形成した場合は、却つて、ノイズが増大
する結果が得られた。 第２図は、本発明の第１図示の如き磁気記録体
を製造する真空蒸着装置を示し、図面で１０は、
真空減圧装置に接続する真空容器を示し、その中
に、供給軸１１と、該供給軸１１にロール状に巻
き着けた合成樹脂製等のテープ状基材１と、該基
材１を案内する所定位置に配設された多数の案内
ロール１２と、巻き解した基材１を巻き取る巻き
取り軸１３と、巻き解した基材１を水平に保持移
行せしめる案内ロール１２，１２間の下方に高融
点物質を入れた電子ビーム蒸発源１４と、巻き解
した基材１を斜めに保持移行せしめる案内ロール
１２，１２間の下方に磁性金属又は合金を入れた
電子ビーム蒸発源１５と、その間に、垂直方向に
介在せしめて、蒸発源１５から蒸発する金属又は
合金を基材１の下面に案内する案内筒壁１６とを
夫々設置する。而して、１端の該供給軸１１より
テープ基材１を巻き解し各案内ロール１２を介し
て１方へ移行させ他端の巻き取り軸１３に巻き取
るようにする間に、一定の真空下、例えば１×
10-5トールに容器内を保持し乍ら、該蒸発源１４
より、高融点物質を蒸発せしめてその基材１１の
水平部下面に蒸着させて、次で、その先方に於
て、その傾斜部下面に、蒸発源１５からの磁性金
属又は合金を斜め入射蒸着させた後、該巻き取り
軸１３に製品として巻き取り、第１図示の基材１
上に高融点非磁性物質の蒸着層２とその上に斜め
入射磁性物質蒸着層３とを形成する。次でこれを
巻き取り軸１３から取りはづし、これを斜め蒸着
した時に磁性膜の傾斜方向が上記とは逆方向にな
るようにして供給軸１１に装着し、前と同様の蒸
着を順次行ない更に追加の第２の高融点非磁性物
質の蒸着層２と前記とは逆方向に斜め入射した第
２磁性物質蒸着層３とを積層形成して巻き取り軸
１３に巻き取り、同様にして第３、第４、第５の
蒸着層２及び３の蒸着形成を行ない第１図示の磁
気記録体を得た。 具体的な実施例として、25μポリエステルフイ
ルムを基材とし、Tiから成る厚さ200Åの蒸着層
５層とCo−20Niから成る厚さ500Åの蒸着層５層
とを形成した第１図示の多層構造の磁気記録体試
料No.１と、前記のTiに代りAl2O3、Zr、Mo或い
はAlNから成る厚さ200Åの蒸着層５層を有する
同様の本発明試料No.２、No.３、No.４及びNo.５とを
作成し、別に対照試料として、高融点非磁性蒸着
層を欠く、Co−20Niから成る厚さ200Åで且つ１
方向のみの斜め入射蒸着層５層から成る試料No.６
と、下地層としてTiから成る厚さ200Åの蒸着層
５層を介在せしめた前記試料No.６と同じ蒸着層５
層から成る試料No.７と、Ti蒸着層を欠くCo−
20Niから成る厚さ200Åの交互に斜め入射蒸着さ
せた蒸着層５層から成る試料No.８と、前記試料No.
１のTiの代わりにAl、Cuから成る蒸着層を有す
る試料No.９、No.10とを作成し、これら試料をカセ
ツトテープ状にスリツトして測定した。 尚斜め入射蒸着に於て保磁力は、どの試料も
900Oe程度となるように入射角を設定した。その
測定結果を下記第１表に示す。
【表】
ここで、記録再生時におけるテープ走行方向の
「正」とは、１方向のみの斜め入射の蒸着層を有
するテープに於て、この傾倒方向とは逆の方向に
テープをヘツド前面を通過走行せしめる方向、換
言すればヘツドの相対的走行方向は、１方向に傾
倒した蒸着結晶粒子柱状体の傾倒方向に逆らわな
い順方向を意味する。 又10KHz再生出力とノイズの値は、市販の塗
布型CrO2テープを0dBとした時の値である。上
記の表から、対照試料No.６及びNo.７共、テープの
走行方向の正逆の相違により出力差が極めて大き
く、対照試料No.８、No.９及びNo.10はこの出力差は
殆んどないが、ノイズが極めて大きくなつている
ことが分る。これに対し、本発明試料No.１、No.
２、No.３、No.４及びNo.５は走行方向の正逆の相違
による出力差も無く、又ノイズも小さくなつてい
ることが分る。 このように本発明によるときは、磁気記録用基
材上に、磁性金属又は合金よりも高融点の非磁性
物質の下地蒸着層とその上面に該磁性金属又は合
金の蒸着層とを交互に複数層形成すると共に、該
複数の磁性金属又は合金の蒸着層を正逆交互に入
射方向が変わる斜め蒸着層に形成した磁気記録体
としたので、再生時、いずれの走行方向によつて
もその出力差は殆んどないと共にノイズの減少を
もたらし、ステレオカセツトテープ等の往復走行
使用に於て優れた効果をもたらす。
「正」とは、１方向のみの斜め入射の蒸着層を有
するテープに於て、この傾倒方向とは逆の方向に
テープをヘツド前面を通過走行せしめる方向、換
言すればヘツドの相対的走行方向は、１方向に傾
倒した蒸着結晶粒子柱状体の傾倒方向に逆らわな
い順方向を意味する。 又10KHz再生出力とノイズの値は、市販の塗
布型CrO2テープを0dBとした時の値である。上
記の表から、対照試料No.６及びNo.７共、テープの
走行方向の正逆の相違により出力差が極めて大き
く、対照試料No.８、No.９及びNo.10はこの出力差は
殆んどないが、ノイズが極めて大きくなつている
ことが分る。これに対し、本発明試料No.１、No.
２、No.３、No.４及びNo.５は走行方向の正逆の相違
による出力差も無く、又ノイズも小さくなつてい
ることが分る。 このように本発明によるときは、磁気記録用基
材上に、磁性金属又は合金よりも高融点の非磁性
物質の下地蒸着層とその上面に該磁性金属又は合
金の蒸着層とを交互に複数層形成すると共に、該
複数の磁性金属又は合金の蒸着層を正逆交互に入
射方向が変わる斜め蒸着層に形成した磁気記録体
としたので、再生時、いずれの走行方向によつて
もその出力差は殆んどないと共にノイズの減少を
もたらし、ステレオカセツトテープ等の往復走行
使用に於て優れた効果をもたらす。
第１図は本発明実施の１例の１部の断面図、第
２図は、本発明磁気記録体を製造する１例の装置
を示す。 １…基材、２…高融点非磁性物質蒸着層、３…
磁性金属又は合金の斜め入射蒸着層、１０…真空
蒸着装置。
２図は、本発明磁気記録体を製造する１例の装置
を示す。 １…基材、２…高融点非磁性物質蒸着層、３…
磁性金属又は合金の斜め入射蒸着層、１０…真空
蒸着装置。
Claims (1)
- １ 磁気記録用基材上に、磁性金属又は合金より
も高融点の非磁性物質の下地蒸着層とその上面に
該磁性金属又は合金の蒸着層とを交互に複数層形
成すると共に、該複数の磁性金属又は合金の蒸着
層を正逆交互に入射方向が変わる斜め蒸着層に形
成して成る磁気記録体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10604079A JPS5634139A (en) | 1979-08-22 | 1979-08-22 | Magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10604079A JPS5634139A (en) | 1979-08-22 | 1979-08-22 | Magnetic recording medium |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5634139A JPS5634139A (en) | 1981-04-06 |
| JPH026130B2 true JPH026130B2 (ja) | 1990-02-07 |
Family
ID=14423517
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10604079A Granted JPS5634139A (en) | 1979-08-22 | 1979-08-22 | Magnetic recording medium |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5634139A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57143730A (en) * | 1981-03-02 | 1982-09-06 | Fuji Photo Film Co Ltd | Magnetic recording medium |
| JPS5968815A (ja) * | 1982-10-12 | 1984-04-18 | Sony Corp | 磁気記録媒体 |
| JPS60103969A (ja) * | 1983-11-11 | 1985-06-08 | 日本メデイカルエンジニアリング株式会社 | 血液透析装置 |
| JPH01178119A (ja) * | 1988-01-06 | 1989-07-14 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| JP2848833B2 (ja) * | 1988-12-02 | 1999-01-20 | ティーディーケイ株式会社 | 磁気記録媒体 |
-
1979
- 1979-08-22 JP JP10604079A patent/JPS5634139A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5634139A (en) | 1981-04-06 |
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