JPS6166212A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS6166212A JPS6166212A JP18735884A JP18735884A JPS6166212A JP S6166212 A JPS6166212 A JP S6166212A JP 18735884 A JP18735884 A JP 18735884A JP 18735884 A JP18735884 A JP 18735884A JP S6166212 A JPS6166212 A JP S6166212A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- thin film
- substrate
- magnetic head
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の分野）
本発明は音声１画像、情報などの信号を再生するために
用いるｉｌ膜磁気ヘッドに関し、特に磁気抵抗効果型ヘ
ッドに関するものである。
用いるｉｌ膜磁気ヘッドに関し、特に磁気抵抗効果型ヘ
ッドに関するものである。
（発明の技術的背景および従来技術）
音声または画像などの記録再生用の磁気ヘッドとして、
磁気抵抗効果型ヘッドが広く用いられている。この磁気
ヘッドは磁界の変化を電気抵抗の変化に変換する磁気抵
抗効果素子を使用して、磁気テープまたは磁気ディスク
に記録された音声または画像などの信号を検出する装置
である。この磁気抵抗効果素子はパーマロイなどの強磁
性体のＷＩ膜を用いて形成する技術が知られており、そ
の形状は第３図および第４図にそれぞれ斜視図および正
面図として示すように、図中矢印しで示した方向をトラ
ック幅方向とする磁気テープまたは磁気ディスク１の信
号を読み出すための磁気抵抗効果素子部２と、その両端
において該磁気抵抗効果素子部２に対してほぼ直角に設
けられたボンディング端子部３とからなり、門形に一体
に形成されている。この磁気抵抗効果素子部２は一般に
トラック幅方向である長手方向に磁化容易軸を持つよう
に磁気異方性が与えられ、信号磁界の方向が磁化困難軸
と一致するように設定されている。
磁気抵抗効果型ヘッドが広く用いられている。この磁気
ヘッドは磁界の変化を電気抵抗の変化に変換する磁気抵
抗効果素子を使用して、磁気テープまたは磁気ディスク
に記録された音声または画像などの信号を検出する装置
である。この磁気抵抗効果素子はパーマロイなどの強磁
性体のＷＩ膜を用いて形成する技術が知られており、そ
の形状は第３図および第４図にそれぞれ斜視図および正
面図として示すように、図中矢印しで示した方向をトラ
ック幅方向とする磁気テープまたは磁気ディスク１の信
号を読み出すための磁気抵抗効果素子部２と、その両端
において該磁気抵抗効果素子部２に対してほぼ直角に設
けられたボンディング端子部３とからなり、門形に一体
に形成されている。この磁気抵抗効果素子部２は一般に
トラック幅方向である長手方向に磁化容易軸を持つよう
に磁気異方性が与えられ、信号磁界の方向が磁化困難軸
と一致するように設定されている。
この場合、第４図に示すようにトラック幅を２、素子幅
をＷとしたときに免をＷより十分に大きく設定すれば、
形状異方性により磁気抵抗効果素子部２の磁化容易軸は
見方向と一致させることができる。さらにこの磁気抵抗
効果素子部２を基板に蒸着してＨＩＩ磁気ヘッドを形成
するときに、見方向に磁界を印加して誘導異方性を付与
することも行なわれている。
をＷとしたときに免をＷより十分に大きく設定すれば、
形状異方性により磁気抵抗効果素子部２の磁化容易軸は
見方向と一致させることができる。さらにこの磁気抵抗
効果素子部２を基板に蒸着してＨＩＩ磁気ヘッドを形成
するときに、見方向に磁界を印加して誘導異方性を付与
することも行なわれている。
しかしながら、上述のような形状の磁気抵抗効果素子部
によると、２方向の端部にあられれる磁荷が反磁界をつ
くり出すため、特にトラック幅す領わちコア幅応が小さ
くなる場合には一軸異方性を付与することが困難になる
という欠点があった。
によると、２方向の端部にあられれる磁荷が反磁界をつ
くり出すため、特にトラック幅す領わちコア幅応が小さ
くなる場合には一軸異方性を付与することが困難になる
という欠点があった。
この−軸異方性が乱れるとバルクハウゼンノイズと呼ば
れる抵抗率の不連続な変化が発生し、再生信号の品質が
大きく劣化する結果となる。
れる抵抗率の不連続な変化が発生し、再生信号の品質が
大きく劣化する結果となる。
このような問題を解決する手段として、第５図に示すよ
うに磁気抵抗効果素子部２の両側に磁石４を配設するこ
とにより、前記バルクハウゼンノイズの発生を抑制する
方法が提案されている。この方法は両側の磁石４を用い
て磁気抵抗効果素子部２の磁化容易軸方向に磁界を印加
することにより、良好な一軸異方性を得ようとするもの
であるが、この方法によると磁石の形成のための工程が
増え、しかも磁石近傍の記録媒体の磁化を減磁するおそ
れがある。
うに磁気抵抗効果素子部２の両側に磁石４を配設するこ
とにより、前記バルクハウゼンノイズの発生を抑制する
方法が提案されている。この方法は両側の磁石４を用い
て磁気抵抗効果素子部２の磁化容易軸方向に磁界を印加
することにより、良好な一軸異方性を得ようとするもの
であるが、この方法によると磁石の形成のための工程が
増え、しかも磁石近傍の記録媒体の磁化を減磁するおそ
れがある。
また特開昭５９−５６２１０号には、磁気抵抗効果素子
部２とその電気抵抗が並列接続となるようなストライプ
部を形成して、磁気抵抗効果素子部２の両側に磁荷を生
じさせないようにした構造のものが提案されているが、
この場合には磁気抵抗効果素子部とストライプ部に流れ
る電流がそれぞれの抵抗値に応じて分流するため、磁気
ヘッドとしての再生出力電圧はストライプ部のない磁気
抵抗効果素子部単独の場合より低下するという問題があ
つた。
部２とその電気抵抗が並列接続となるようなストライプ
部を形成して、磁気抵抗効果素子部２の両側に磁荷を生
じさせないようにした構造のものが提案されているが、
この場合には磁気抵抗効果素子部とストライプ部に流れ
る電流がそれぞれの抵抗値に応じて分流するため、磁気
ヘッドとしての再生出力電圧はストライプ部のない磁気
抵抗効果素子部単独の場合より低下するという問題があ
つた。
（発明の目的）
本発明は上記のような問題点に鑑み、磁気ヘッドのトラ
ック幅が狭い場合にも良好な一軸真方性を示す磁気抵抗
効果素子部を有し、優れた品質の再生信号を得ることが
できる薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とするもの
である。
ック幅が狭い場合にも良好な一軸真方性を示す磁気抵抗
効果素子部を有し、優れた品質の再生信号を得ることが
できる薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とするもの
である。
（発明の構成）
本発明の薄膜磁気ヘッドは、電気的に絶縁性を有する酸
化物磁性体基板上に、磁気的絶縁膜を介して強磁性薄膜
からなる磁気抵抗効果素子部を形成し、この磁気抵抗効
果素子部の両端を前記基板に磁気的に接続して磁気的に
閉ループを形成したことを特徴とするものである。
化物磁性体基板上に、磁気的絶縁膜を介して強磁性薄膜
からなる磁気抵抗効果素子部を形成し、この磁気抵抗効
果素子部の両端を前記基板に磁気的に接続して磁気的に
閉ループを形成したことを特徴とするものである。
（発明の効果）
上記のように構成された本発明の？１ｌｉＷｆＪ磁気ヘ
ッドによれば、磁気抵抗効果素子部両端が磁性体基板に
接続しているので、この両端部に現われる磁荷が滞留す
ることがなく、この磁荷によって発生する反磁界に基づ
く前記磁気抵抗効果素子部の一軸異方性の劣化を除去あ
るいは大きく抑制することができる。特にトラック幅が
小さい場合でも一軸異方性の優れた良好な磁気抵抗効果
素子部を形成することが可能になる。
ッドによれば、磁気抵抗効果素子部両端が磁性体基板に
接続しているので、この両端部に現われる磁荷が滞留す
ることがなく、この磁荷によって発生する反磁界に基づ
く前記磁気抵抗効果素子部の一軸異方性の劣化を除去あ
るいは大きく抑制することができる。特にトラック幅が
小さい場合でも一軸異方性の優れた良好な磁気抵抗効果
素子部を形成することが可能になる。
（実 施 態 様）
以下、図面によって本発明の一実施態様について説明す
る。
る。
第１図は本発明による薄膜磁気ヘッドの一実施例を示す
斜視図、第２図は第１図の・Ａ−Ａ断面図である。（第
３図および第４図に示すものと同一または同等部分は同
一符号で示す。）電気的に絶縁性を有する酸化物磁性基
板、例えばフェライト基板５上に、酸化シリコン５１０
２を全面にスパッタリングして０．５〜１．Ｏｕｍ程度
の厚さの絶縁膜６を形成し、次工程で成膜する磁気抵抗
効果素子部２の両端に対応する位置における前記絶縁Ｉ
ｌｌ ６をエツチングにより選択的に除去してコンタク
ト窓部６ａを形成する。この膜６上にパーマロイＮｉ
Ｆｅなとの強磁性体を厚さ５００Ａ程度に全面蒸着した
模、感光性レジスト塗布・マスクを介しての露光、現像
、エツチング、剥脱など一連の公知のフォトリソグラフ
ィ技術によって、前記基板５の一辺近くにこの一辺に沿
って素子幅Ｗの磁気抵抗効果素子部２を形成する。この
ときに前記コンタクト窓部６ａにおいて該磁気抵抗効果
素子部２と前記基板５とは直接接触している。また前記
強磁性体の蒸着の際に、好ましくはコア幅方向に磁界を
かけて誘導異方性を付与する。前記磁気抵抗効果素子部
２を形成した後、その両端部においてほぼ直角な方向に
前記基板５の両側に沿って延びるポンディング端子部３
を、ＡＵ 、 Ａ９．などをパターニングして蒸着形成
する。
斜視図、第２図は第１図の・Ａ−Ａ断面図である。（第
３図および第４図に示すものと同一または同等部分は同
一符号で示す。）電気的に絶縁性を有する酸化物磁性基
板、例えばフェライト基板５上に、酸化シリコン５１０
２を全面にスパッタリングして０．５〜１．Ｏｕｍ程度
の厚さの絶縁膜６を形成し、次工程で成膜する磁気抵抗
効果素子部２の両端に対応する位置における前記絶縁Ｉ
ｌｌ ６をエツチングにより選択的に除去してコンタク
ト窓部６ａを形成する。この膜６上にパーマロイＮｉ
Ｆｅなとの強磁性体を厚さ５００Ａ程度に全面蒸着した
模、感光性レジスト塗布・マスクを介しての露光、現像
、エツチング、剥脱など一連の公知のフォトリソグラフ
ィ技術によって、前記基板５の一辺近くにこの一辺に沿
って素子幅Ｗの磁気抵抗効果素子部２を形成する。この
ときに前記コンタクト窓部６ａにおいて該磁気抵抗効果
素子部２と前記基板５とは直接接触している。また前記
強磁性体の蒸着の際に、好ましくはコア幅方向に磁界を
かけて誘導異方性を付与する。前記磁気抵抗効果素子部
２を形成した後、その両端部においてほぼ直角な方向に
前記基板５の両側に沿って延びるポンディング端子部３
を、ＡＵ 、 Ａ９．などをパターニングして蒸着形成
する。
上記のように構成された本発明の一実施態様によれば、
磁性体であるフェライト基板５と磁気抵抗効果素子部２
の両端部とが磁気的に接続し、閉回路を形成しているの
で、磁気抵抗効果素子部２の両端部に磁荷が滞留するこ
となく、反磁界の発生を防止するか大幅に抑制すること
ができ、良好な一軸異方性を有する磁気抵抗効果素子部
を形成することが可能となる。
磁性体であるフェライト基板５と磁気抵抗効果素子部２
の両端部とが磁気的に接続し、閉回路を形成しているの
で、磁気抵抗効果素子部２の両端部に磁荷が滞留するこ
となく、反磁界の発生を防止するか大幅に抑制すること
ができ、良好な一軸異方性を有する磁気抵抗効果素子部
を形成することが可能となる。
第１図は本発明に係るＩＩＩ！磁気ヘッドの一実施態様
を示す斜視図、 第２図は第１図のＡ−Ａ断面図、 第３図は従来の薄膜磁気ヘッドの一例を示す要部斜視図
、 第４図は第３図の正面図、 第５図は従来の薄膜磁気ヘッドの他の一例を示す正面図
である。 ２・・・磁気抵抗効果素子部 ３・・・ボンディング端子部 ４・・・磁 石 ５・・・フェライト基板６
・・・絶 縁 膜 ６ａ・・・コンタクト窓部第１
図 第２図 第３図 （自帽手続補正書 特許庁長官 殿 昭和５９年１０月
２３日特願昭５９−１８７３５８号 ２、発明の名称 薄膜磁気ヘッド ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 任 所 神奈川県南足柄市中沼２１０番地名 称
富士写真フィルム株式会社４、代理人 東京都港区六本木５丁目２番１号 ６、補正により増加する発明の数 な し７、補
正の対象 明細書の「特許請求の範囲」および８、補
正の内容 １）特許請求の範囲を別紙の通り補正します。 ２）明細書第２頁第３〜４行 「音声、画像、情報などの信号を再生するために用いる
」を削除する。 ３）同頁第１行および第１１行 「音声」の後に「情報信号」を挿入する。 ４）同頁第７行および第１２行 「画像」の後に「情報信号」を挿入する。 ５）同頁第１２行 「装置である。」を「素子である。」と訂正する。 ６）同頁第１９〜２０行 ［おいて該磁気抵抗効果素子部２に対してほぼ直角にＪ
を削除する。 ７）同第３頁第１行 「ング」の後に［用］を挿入する。 ８）同第６頁第１４行 ［して０．５〜１．Ｏｕｍ程度の厚さの」を削除する。 ９）同第８頁第１３行 「６・・・」の後に「磁気的」を特徴する特許請求の範
囲 １）［１１ｍ気抵抗抵抗素子部を含む強磁性薄膜からな
る磁気抵抗効果型薄膜−長気ヘッドにおいて、電気的に
絶縁性を有する酸化物磁性体からなる基板上に磁気的絶
縁膜を介して前記１４重気抵抗効果素子部が設けられ、
この磁気抵抗効果素子部の両端が前記基板に磁気的に接
続されて磁気的閉ループを形成していることを特徴とす
る薄膜磁気ヘッド。 ２）前記強磁性薄膜がパーマロイ薄膜であることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の薄膜磁気ヘッド。 ３）前記電気的に絶縁性を有する酸化物磁性体がフェラ
イトであることを特徴とする特許請求の範囲第１項また
は第２項記載の薄膜磁気ヘッド。 とする特許請求の範囲第１項、第２項または第３項記載
の薄膜磁気ヘッド。
を示す斜視図、 第２図は第１図のＡ−Ａ断面図、 第３図は従来の薄膜磁気ヘッドの一例を示す要部斜視図
、 第４図は第３図の正面図、 第５図は従来の薄膜磁気ヘッドの他の一例を示す正面図
である。 ２・・・磁気抵抗効果素子部 ３・・・ボンディング端子部 ４・・・磁 石 ５・・・フェライト基板６
・・・絶 縁 膜 ６ａ・・・コンタクト窓部第１
図 第２図 第３図 （自帽手続補正書 特許庁長官 殿 昭和５９年１０月
２３日特願昭５９−１８７３５８号 ２、発明の名称 薄膜磁気ヘッド ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 任 所 神奈川県南足柄市中沼２１０番地名 称
富士写真フィルム株式会社４、代理人 東京都港区六本木５丁目２番１号 ６、補正により増加する発明の数 な し７、補
正の対象 明細書の「特許請求の範囲」および８、補
正の内容 １）特許請求の範囲を別紙の通り補正します。 ２）明細書第２頁第３〜４行 「音声、画像、情報などの信号を再生するために用いる
」を削除する。 ３）同頁第１行および第１１行 「音声」の後に「情報信号」を挿入する。 ４）同頁第７行および第１２行 「画像」の後に「情報信号」を挿入する。 ５）同頁第１２行 「装置である。」を「素子である。」と訂正する。 ６）同頁第１９〜２０行 ［おいて該磁気抵抗効果素子部２に対してほぼ直角にＪ
を削除する。 ７）同第３頁第１行 「ング」の後に［用］を挿入する。 ８）同第６頁第１４行 ［して０．５〜１．Ｏｕｍ程度の厚さの」を削除する。 ９）同第８頁第１３行 「６・・・」の後に「磁気的」を特徴する特許請求の範
囲 １）［１１ｍ気抵抗抵抗素子部を含む強磁性薄膜からな
る磁気抵抗効果型薄膜−長気ヘッドにおいて、電気的に
絶縁性を有する酸化物磁性体からなる基板上に磁気的絶
縁膜を介して前記１４重気抵抗効果素子部が設けられ、
この磁気抵抗効果素子部の両端が前記基板に磁気的に接
続されて磁気的閉ループを形成していることを特徴とす
る薄膜磁気ヘッド。 ２）前記強磁性薄膜がパーマロイ薄膜であることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の薄膜磁気ヘッド。 ３）前記電気的に絶縁性を有する酸化物磁性体がフェラ
イトであることを特徴とする特許請求の範囲第１項また
は第２項記載の薄膜磁気ヘッド。 とする特許請求の範囲第１項、第２項または第３項記載
の薄膜磁気ヘッド。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）磁気抵抗効果素子部を含む強磁性薄膜からなる磁気
抵抗効果型薄膜磁気ヘッドにおいて、電気的に絶縁性を
有する酸化物磁性体からなる基板上に磁気的絶縁膜を介
して前記磁気抵抗効果素子部が設けられ、この磁気抵抗
効果素子部の両端が前記基板に磁気的に接続されて磁気
的閉ループを形成していることを特徴とする薄膜磁気ヘ
ッド。 ２）前記強磁性薄膜がパーマロイ薄膜であることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の薄膜磁気ヘッド。 ３）前記電気的に絶縁性を有する酸化物磁性体がフェラ
イトであることを特徴とする特許請求の範囲第１項また
は第２項記載の薄膜磁気ヘッド。 ４）前記磁気的絶縁膜がシリコン膜であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項、第２項または第３項記載の
薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18735884A JPS6166212A (ja) | 1984-09-07 | 1984-09-07 | 薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18735884A JPS6166212A (ja) | 1984-09-07 | 1984-09-07 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6166212A true JPS6166212A (ja) | 1986-04-05 |
Family
ID=16204595
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18735884A Pending JPS6166212A (ja) | 1984-09-07 | 1984-09-07 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6166212A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4932698B2 (ja) * | 2005-02-01 | 2012-05-16 | Ｔｈｋ株式会社 | レール取付孔の閉塞構造 |
-
1984
- 1984-09-07 JP JP18735884A patent/JPS6166212A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4932698B2 (ja) * | 2005-02-01 | 2012-05-16 | Ｔｈｋ株式会社 | レール取付孔の閉塞構造 |
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