JP3609104B2 - 磁気抵抗効果型薄膜ヘッド - Google Patents
磁気抵抗効果型薄膜ヘッド Download PDFInfo
- Publication number
- JP3609104B2 JP3609104B2 JP11555293A JP11555293A JP3609104B2 JP 3609104 B2 JP3609104 B2 JP 3609104B2 JP 11555293 A JP11555293 A JP 11555293A JP 11555293 A JP11555293 A JP 11555293A JP 3609104 B2 JP3609104 B2 JP 3609104B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- film
- magnetoresistive
- thin film
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】
本発明は磁気ディスク装置、或いは磁気テープ装置等に用いられる再生専用の磁気抵抗効果型薄膜ヘッドに関するものである。
【0002】
近年、磁気ディスク装置等においては、小型、大容量化に伴って高密度記録化が進められ、その高密度記録化に対して再生出力の高い磁気ヘッドが要求されている。このため、再生専用の磁気ヘッドとして再生出力が磁気記録媒体の移動速度に依存せず、しかも大きな再生出力が得られる磁気抵抗効果型薄膜ヘッド(以下、MRヘッドと略称する)が提案されているが、更に再生特性が良好で、信頼性の高い磁気抵抗効果型薄膜ヘッドが必要とされている。
【0003】
【従来の技術】
従来の磁気抵抗効果型薄膜ヘッド(以下、MRヘッドと称する)は図6の概略斜視図及び図7の要部側断面図に示すように、長手方向の中央部に信号検出領域11a を画定するようにその両端部にそれぞれ磁区制御用磁性膜12a と12b 及びAl膜等からなる引出し導体13a と13b とが積層配置された磁気抵抗効果素子 (以下、MR素子と称する)11の両側に、それぞれ Al2O3等からなる非磁性絶縁膜14を介してNiFe膜等からなる第1シールド磁性体15と第2シールド磁性体16とが配置された構成からなっている。
【0004】
なお、前記磁区制御用磁性膜12a, 12bはFeMn膜からなり、この磁区制御用磁性膜12a, 12bの配置によりMR素子11の長手方向に異方性磁界が印加されて該MR素子11の磁区構造を単磁区化し、再生時に磁壁の不規則な移動に起因するバルクハウゼン雑音の発生により再生信号が劣化することを防止している。
【0005】
そしてかかるMRヘッドを矢印Aの方向に移動する磁気記録媒体18上に所定間隔をもって浮上動作させた状態で、前記MR素子11にその両端の各引出し導体13a と13b を通してセンス電流Isを供給することにより発生する磁界によって前記第1シールド磁性体15が磁化され、その磁化により該MR素子11にバイアス磁界が印加される。
【0006】
このバイアス磁界の印加によるMR素子11での信号検出領域11a の磁化は、前記磁気記録媒体18からの信号磁界により変化され、それに対応して磁気抵抗効果により生じる信号検出領域11a の電気抵抗値の変化を前記引出し導体13a, 13bより電圧の変化として出力することによって再生を行っている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記した構成の従来のMRヘッドにおいては、再生時にMR素子11の多磁区化による磁壁の不規則な移動により発生するバルクハウゼンノイズを低減するために、長手方向に長いアスペクト比の大きい矩形形状のMR素子11を用いると共に、その長手方向の両端部に反強磁性膜であるFeMn膜からなる磁区制御用磁性膜12a, 12bを配置することにより該MR素子11の信号検出領域11a の長手方向に大きな異方性磁界が印加されてその磁区構造を単磁区化していることから、その印加された大きな異方性磁界のために、再生時におけるMR素子11の信号検出領域11a の長手方向への磁化が対向する磁気記録媒体18からの信号磁界により直交する方向に回転する、所謂、磁化回転が抑制されてスムーズに行われないので該MR素子11での抵抗変化が緩慢になる。
【0008】
従って、磁気記録媒体18からの微弱な記録磁界信号に対して再生感度が十分に得られないという問題と、そのような再生感度の低下により磁気記録媒体18の高密度記録の再生に対処できないといった問題があった。
【0009】
本発明は上記した従来の問題点に鑑み、磁区制御用磁性膜の配置により印加されるMR素子の信号検出領域への異方性磁界を減少させて磁気記録媒体からの信号磁界による磁化回転を円滑化して抵抗の変化率を急峻にし、再生感度の向上を図った新規な磁気抵抗効果型薄膜ヘッドを提供することを目的とするものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記した目的を達成するため、矩形形状の磁気抵抗効果素子であって、その長手方向の両端部に第1の磁区制御用の一対の磁性膜が接合され、かつその磁区制御用の磁性膜上を含む両端部に設けた一対の引出し導体により中央部に画定され、前記矩形形状の長手方向に平行な一辺を記録媒体対向面とする信号検出領域を有し、前記磁気抵抗効果素子の両側に非磁性絶縁膜を介して設けられたシールド磁性体とを備える磁気抵抗効果型薄膜ヘッドにおいて、前記磁気抵抗効果素子の記録媒体対向面側とは反対側に該磁気抵抗効果素子と磁気的に結合された磁界制御用の磁性膜を配置し、該磁界制御用の磁性膜の表面に第2の磁区制御用の磁性膜を接合した構成とする。
【0011】
また、矩形形状の磁界制御用の磁性膜が磁気抵抗効果素子に平行して配設され、該磁性膜の記録媒体対向側端部を非磁性絶縁膜を介して該磁気抵抗効果素子に重ね合わせた構成とする。
【0012】
また、矩形形状の磁界制御用の磁性膜が磁気抵抗効果素子に平行して配設され、該磁性膜の記録媒体対向面端部を部分的に突出させ、該突出部を前記磁気抵抗効果素子の信号検出領域の縁端部に非磁性絶縁膜を介して重ね合わせた構成とする。
【0013】
また、前記磁界制御用の磁性膜が前記一対の引出し導体間に配設され、該磁性膜の記録媒体対向側端部を磁気抵抗効果素子の信号検出領域の縁端部に非磁性絶縁膜を介して重ね合わせた構成とする。
【0014】
また、矩形形状の磁界制御用の磁性膜が、記録媒体対向側端部を磁気抵抗効果素子の記録媒体対向側とは反対側の端部と微小間隔を隔てて突き合わせて配置された構成とする。
【0015】
更に、前記した磁界制御用の磁性膜の全表面に磁区制御用の磁性膜を接合した構成とする。
更に、前記磁気抵抗効果素子の長手方向に沿って長い矩形形状からなる第2の磁界制御用の磁性膜の両端部に磁区制御用の磁性膜を接合した構成とする。
【0016】
【作用】
本発明の磁気抵抗効果型薄膜ヘッド(MRヘッド)では、本来のアスペクト比を変えることなく両端部に磁区制御用の磁性膜が接合された磁気抵抗効果素子(MR素子)の記録媒体対向面側とは反対側の全縁端部、或いは信号検出領域の縁端部に非磁性絶縁膜を介して磁界制御用の磁性膜を磁気的に結合配置した構成とすることにより、MR素子の長手方向に対する高さを恰も高くしたことと同様な形状的な作用効果によって該MR素子の信号検出領域に印加される異方性磁界を減少させることが可能となり、再生時におけるMR素子の信号検出領域の長手方向への磁化が対向する磁気記録媒体からの信号磁界により回転する、所謂、磁化回転がスムーズに行われる。その結果、該MR素子での抵抗の変化が急峻になり、再生感度が向上する。
【0017】
また、前記MR素子の記録媒体対向面側とは反対側に磁界制御用の磁性膜を磁気的に結合配置することにより、再生時にバルクハウゼンノイズが発生する恐れがある場合には、該磁界制御用の磁性膜の長手方向の両端部上、または該磁性膜全面に磁区制御用の磁性膜を結合配置することで前記バルクハウゼンノイズの発生を防止することができる。
【0018】
【実施例】
以下図面を用いて本発明の実施例について詳細に説明する。
図1(a),(b) は本発明に係る磁気抵抗効果型薄膜ヘッドの第1実施例を示す図であり、図(a) は要部側断面図、図(b) はその磁気抵抗効果素子の要部平面図である。なお、図6及び図7と同等部分には同一符号を付している。
【0019】
これら両図に示すように本実施例では、NiFe軟磁性膜等からなる第1シールド磁性体15と第2シールド磁性体16との間に、 Al2O3等からなる非磁性絶縁膜14をそれぞれ介在して磁気記録媒体18と対向するヘッドの先端面、即ち、記録媒体対向面に先端面が露出するように配置したNiFe膜からなる磁気抵抗効果素子 (MR素子)11 としては、その一方の面の中央部に信号検出領域11a を画定するようにその両端部にそれぞれ約 200Åの膜厚のFeMn膜等からなる磁区制御用磁性膜12a と12b 及びAu膜、或いはW膜等からなる引出し導体13a と13b とが積層配置されている。
【0020】
そして、そのような構成のMR素子11の記録媒体対向面17側とは反対側の前記一対の引出し導体13a と13b 上を含む全縁端部上に、約1000Åの膜厚のAl2O3 等からなる図示しない非磁性絶縁膜を介して該MR素子11の長手方向に沿って平行に長い矩形形状で 500〜2000Åの膜厚のNiFe膜からなる磁界制御用磁性膜21を1μm程度重ね合わせて磁気的に結合した状態で配置した構成とされている。
【0021】
このような第1実施例のヘッド構成では、前記MR素子11に磁気的に結合配置された磁界制御用磁性膜21により、該MR素子11の長さ方向に対する高さを恰も高くしたのと同様な形状的な作用効果によってそのMR素子11の信号検出領域11a に印加される異方性磁界を、該MR素子11の単磁区化を妨げない程度に減少させることが可能となる。
【0022】
従って、再生時においてMR素子11の信号検出領域11a での長手方向への磁化が対向する磁気記録媒体18からの信号磁界により円滑に磁化回転が行われるので、該MR素子11での抵抗の変化が急峻となり、再生感度が向上する。
【0023】
図2(a),(b) は本発明に係る磁気抵抗効果型薄膜ヘッドの第2実施例を示す図であり、図(a) は要部側断面図、図(b) はその磁気抵抗効果素子の要部平面図であり、図1(a),(b) と同等部分には同一符号を付している。
【0024】
これら両図で示す実施例が図1(a),(b) で示す第1実施例と異なる点は、前記MR素子11の記録媒体対向面17側とは反対側の前記一対の引出し導体13a と13b 上を含む全縁端部に沿って0.5 〜1.0 μmの間隙を介して該MR素子11の長手方向に沿って平行に長い矩形形状で 500〜2000Åの膜厚のNiFe膜からなる磁界制御用磁性膜31を配置すると共に、その磁性膜31の記録媒体対向面側の端部を部分的に突出させ、その突出部分を図示のようにMR素子11の信号検出領域11a の縁端部上に約1000Åの膜厚のAl2O3 等からなる図示しない非磁性絶縁膜を介して1μm程度重ね合わせて磁気的に結合した構成とした点にある。
【0025】
このような第2実施例のヘッド構成によっても図1(a),(b) による実施例と同様に前記MR素子11の信号検出領域11a に印加される異方性磁界を、該MR素子11の単磁区化を妨げない程度に減少させることが可能となり、それによって再生時におけるMR素子11の信号検出領域11a での磁化回転が円滑に行われるので、該MR素子11での抵抗の変化が急峻となり、再生感度が向上する。
【0026】
図3(a),(b) は本発明に係る磁気抵抗効果型薄膜ヘッドの第3実施例を示す図であり、図(a) は要部側断面図、図(b) はその磁気抵抗効果素子の要部平面図であり、図1(a),(b) と同等部分には同一符号を付している。
【0027】
これら両図で示す実施例が図1(a),(b) で示す第1実施例と異なる点は、前記MR素子11の記録媒体対向面17側とは反対側の前記一対の引出し導体13a と13b との間に 500〜2000Åの膜厚のNiFe膜からなる磁界制御用磁性膜41を、その一部が図示のようにMR素子11の信号検出領域11a の縁端部上に約1000Åの膜厚のAl2O3 等からなる図示しない非磁性絶縁膜を介して1μm程度重ね合わせて磁気的に結合配置した構成としたことである。
【0028】
このような第3実施例のヘッド構成によっても図1(a),(b) による実施例と同様に前記MR素子11の信号検出領域11a に印加される異方性磁界を減少させることが可能となり、それによって再生時におけるMR素子11の信号検出領域11a での磁化回転が円滑に行われるので、該MR素子11での抵抗の変化が急峻となり、再生感度が向上する。また、前記MR素子11に対する磁界制御用磁性膜41の配設構造により両者がショートする確率も低減することができる。
【0029】
図4(a),(b) は本発明に係る磁気抵抗効果型薄膜ヘッドの第4実施例を示す図であり、図(a) は要部側断面図、図(b) はその磁気抵抗効果素子の要部平面図であり、図1(a),(b) と同等部分には同一符号を付している。
【0030】
これら両図で示す実施例が図1(a),(b) で示す第1実施例と異なる点は、前記MR素子11の記録媒体対向面17側とは反対側の端部に対して 0.5〜1.0 μmの間隙を隔てて同一平面となるように該MR素子11の長手方向に沿った長い矩形形状で 500〜2000Åの膜厚のNiFe膜からなる磁界制御用磁性膜21を平行に配置して磁気的に結合した構成としたことである。
【0031】
このような第4実施例のヘッド構成によっても図1(a),(b) による実施例と同様に前記MR素子11の信号検出領域11a に印加される異方性磁界を減少させることができ、しかも、それによって再生時におけるMR素子11の信号検出領域11a での磁化回転が円滑化され、再生感度を向上させることができる。
【0032】
図5(a),(b) は本発明に係る磁気抵抗効果型薄膜ヘッドの第5実施例を示す図であり、図(a) は要部側断面図、図(b) はその磁気抵抗効果素子の要部平面図であり、図3(a),(b) と同等部分には同一符号を付している。
【0033】
これら両図で示す実施例が図3(a),(b) で示す第3実施例と異なる点は、前記MR素子11の記録媒体対向面17側とは反対側の前記一対の引出し導体13a と13b との間に、MR素子11の信号検出領域11a の縁端部に対して図示のように 0.5〜1.0 μmの間隙を隔てて同一平面となるように 500〜2000Åの膜厚のNiFe膜からなる磁界制御用磁性膜41を平行に配置して磁気的に結合した構成としたことである。
【0034】
このような第5実施例のヘッド構成によっても図3(a),(b) による実施例と同様に前記MR素子11の信号検出領域11a に印加される異方性磁界を減少させることができ、しかも、それによって再生時におけるMR素子11の信号検出領域11a での磁化回転が円滑化され、再生感度を向上させることができる。
【0035】
なお、以上の第1実施例〜第5実施例においてMR素子11の記録媒体対向面17側とは反対側に前記した種々の配設構造により磁界制御用磁性膜を磁気的に結合配置した場合、再生時に該磁界制御用磁性膜の多磁区化による磁壁の不規則な移動によりバルクハウゼンノイズが発生する恐れがあるので、その磁界制御用磁性膜の全面にFeMn膜等からなる磁区制御用磁性膜を結合配置する、或いは第1実施例、第2実施例及び第4実施例における磁界制御用磁性膜の長手方向の両端部上にFeMn膜等からなる磁区制御用磁性膜を結合配置することにより前記バルクハウゼンノイズの発生を防止することができ、このようなノイズ防止構成を適用することが望ましい。
【0036】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明に係る磁気抵抗効果型薄膜ヘッドによれば、本来のアスペクト比を変えることなく両端部に磁区制御用磁性膜を接合した磁気抵抗効果素子(MR素子)の信号検出領域に印加される異方性磁界を減少させることが可能となり、再生時におけるMR素子の信号検出領域での磁化回転が円滑化されて該MR素子での抵抗の変化が急峻になり、再生感度を向上させることができるなど高密度記録用の磁気抵抗効果型薄膜ヘッドに適用して極めて有利であり、実用上優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の磁気抵抗効果型薄膜ヘッド(MRヘッド)の第1実施例を示す要部側断面図及びその磁気抵抗効果素子(MR素子)の要部平面図である。
【図2】本発明の磁気抵抗効果型薄膜ヘッド(MRヘッド)の第2実施例を示す要部側断面図及びその磁気抵抗効果素子(MR素子)の要部平面図である。
【図3】本発明の磁気抵抗効果型薄膜ヘッド(MRヘッド)の第3実施例を示す要部側断面図及びその磁気抵抗効果素子(MR素子)の要部平面図である。
【図4】本発明の磁気抵抗効果型薄膜ヘッド(MRヘッド)の第4実施例を示す要部側断面図及びその磁気抵抗効果素子(MR素子)の要部平面図である。
【図5】本発明の磁気抵抗効果型薄膜ヘッド(MRヘッド)の第5実施例を示す要部側断面図及びその磁気抵抗効果素子(MR素子)の要部平面図である。
【図6】従来の磁気抵抗効果型薄膜ヘッド(MRヘッド)を説明するための概略斜視図である。
【図7】従来の磁気抵抗効果型薄膜ヘッド(MRヘッド)を説明するための要部側断面図である。
【符号の説明】
11 MR素子
12a,12b 磁区制御用磁性膜
13a,13b 引出し導体
14 非磁性絶縁膜
15 第1シールド磁性体
16 第2シールド磁性体
17 記録媒体対向面
18 磁気記録媒体
21,31,41 磁界制御用磁性膜
【産業上の利用分野】
本発明は磁気ディスク装置、或いは磁気テープ装置等に用いられる再生専用の磁気抵抗効果型薄膜ヘッドに関するものである。
【0002】
近年、磁気ディスク装置等においては、小型、大容量化に伴って高密度記録化が進められ、その高密度記録化に対して再生出力の高い磁気ヘッドが要求されている。このため、再生専用の磁気ヘッドとして再生出力が磁気記録媒体の移動速度に依存せず、しかも大きな再生出力が得られる磁気抵抗効果型薄膜ヘッド(以下、MRヘッドと略称する)が提案されているが、更に再生特性が良好で、信頼性の高い磁気抵抗効果型薄膜ヘッドが必要とされている。
【0003】
【従来の技術】
従来の磁気抵抗効果型薄膜ヘッド(以下、MRヘッドと称する)は図6の概略斜視図及び図7の要部側断面図に示すように、長手方向の中央部に信号検出領域11a を画定するようにその両端部にそれぞれ磁区制御用磁性膜12a と12b 及びAl膜等からなる引出し導体13a と13b とが積層配置された磁気抵抗効果素子 (以下、MR素子と称する)11の両側に、それぞれ Al2O3等からなる非磁性絶縁膜14を介してNiFe膜等からなる第1シールド磁性体15と第2シールド磁性体16とが配置された構成からなっている。
【0004】
なお、前記磁区制御用磁性膜12a, 12bはFeMn膜からなり、この磁区制御用磁性膜12a, 12bの配置によりMR素子11の長手方向に異方性磁界が印加されて該MR素子11の磁区構造を単磁区化し、再生時に磁壁の不規則な移動に起因するバルクハウゼン雑音の発生により再生信号が劣化することを防止している。
【0005】
そしてかかるMRヘッドを矢印Aの方向に移動する磁気記録媒体18上に所定間隔をもって浮上動作させた状態で、前記MR素子11にその両端の各引出し導体13a と13b を通してセンス電流Isを供給することにより発生する磁界によって前記第1シールド磁性体15が磁化され、その磁化により該MR素子11にバイアス磁界が印加される。
【0006】
このバイアス磁界の印加によるMR素子11での信号検出領域11a の磁化は、前記磁気記録媒体18からの信号磁界により変化され、それに対応して磁気抵抗効果により生じる信号検出領域11a の電気抵抗値の変化を前記引出し導体13a, 13bより電圧の変化として出力することによって再生を行っている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記した構成の従来のMRヘッドにおいては、再生時にMR素子11の多磁区化による磁壁の不規則な移動により発生するバルクハウゼンノイズを低減するために、長手方向に長いアスペクト比の大きい矩形形状のMR素子11を用いると共に、その長手方向の両端部に反強磁性膜であるFeMn膜からなる磁区制御用磁性膜12a, 12bを配置することにより該MR素子11の信号検出領域11a の長手方向に大きな異方性磁界が印加されてその磁区構造を単磁区化していることから、その印加された大きな異方性磁界のために、再生時におけるMR素子11の信号検出領域11a の長手方向への磁化が対向する磁気記録媒体18からの信号磁界により直交する方向に回転する、所謂、磁化回転が抑制されてスムーズに行われないので該MR素子11での抵抗変化が緩慢になる。
【0008】
従って、磁気記録媒体18からの微弱な記録磁界信号に対して再生感度が十分に得られないという問題と、そのような再生感度の低下により磁気記録媒体18の高密度記録の再生に対処できないといった問題があった。
【0009】
本発明は上記した従来の問題点に鑑み、磁区制御用磁性膜の配置により印加されるMR素子の信号検出領域への異方性磁界を減少させて磁気記録媒体からの信号磁界による磁化回転を円滑化して抵抗の変化率を急峻にし、再生感度の向上を図った新規な磁気抵抗効果型薄膜ヘッドを提供することを目的とするものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記した目的を達成するため、矩形形状の磁気抵抗効果素子であって、その長手方向の両端部に第1の磁区制御用の一対の磁性膜が接合され、かつその磁区制御用の磁性膜上を含む両端部に設けた一対の引出し導体により中央部に画定され、前記矩形形状の長手方向に平行な一辺を記録媒体対向面とする信号検出領域を有し、前記磁気抵抗効果素子の両側に非磁性絶縁膜を介して設けられたシールド磁性体とを備える磁気抵抗効果型薄膜ヘッドにおいて、前記磁気抵抗効果素子の記録媒体対向面側とは反対側に該磁気抵抗効果素子と磁気的に結合された磁界制御用の磁性膜を配置し、該磁界制御用の磁性膜の表面に第2の磁区制御用の磁性膜を接合した構成とする。
【0011】
また、矩形形状の磁界制御用の磁性膜が磁気抵抗効果素子に平行して配設され、該磁性膜の記録媒体対向側端部を非磁性絶縁膜を介して該磁気抵抗効果素子に重ね合わせた構成とする。
【0012】
また、矩形形状の磁界制御用の磁性膜が磁気抵抗効果素子に平行して配設され、該磁性膜の記録媒体対向面端部を部分的に突出させ、該突出部を前記磁気抵抗効果素子の信号検出領域の縁端部に非磁性絶縁膜を介して重ね合わせた構成とする。
【0013】
また、前記磁界制御用の磁性膜が前記一対の引出し導体間に配設され、該磁性膜の記録媒体対向側端部を磁気抵抗効果素子の信号検出領域の縁端部に非磁性絶縁膜を介して重ね合わせた構成とする。
【0014】
また、矩形形状の磁界制御用の磁性膜が、記録媒体対向側端部を磁気抵抗効果素子の記録媒体対向側とは反対側の端部と微小間隔を隔てて突き合わせて配置された構成とする。
【0015】
更に、前記した磁界制御用の磁性膜の全表面に磁区制御用の磁性膜を接合した構成とする。
更に、前記磁気抵抗効果素子の長手方向に沿って長い矩形形状からなる第2の磁界制御用の磁性膜の両端部に磁区制御用の磁性膜を接合した構成とする。
【0016】
【作用】
本発明の磁気抵抗効果型薄膜ヘッド(MRヘッド)では、本来のアスペクト比を変えることなく両端部に磁区制御用の磁性膜が接合された磁気抵抗効果素子(MR素子)の記録媒体対向面側とは反対側の全縁端部、或いは信号検出領域の縁端部に非磁性絶縁膜を介して磁界制御用の磁性膜を磁気的に結合配置した構成とすることにより、MR素子の長手方向に対する高さを恰も高くしたことと同様な形状的な作用効果によって該MR素子の信号検出領域に印加される異方性磁界を減少させることが可能となり、再生時におけるMR素子の信号検出領域の長手方向への磁化が対向する磁気記録媒体からの信号磁界により回転する、所謂、磁化回転がスムーズに行われる。その結果、該MR素子での抵抗の変化が急峻になり、再生感度が向上する。
【0017】
また、前記MR素子の記録媒体対向面側とは反対側に磁界制御用の磁性膜を磁気的に結合配置することにより、再生時にバルクハウゼンノイズが発生する恐れがある場合には、該磁界制御用の磁性膜の長手方向の両端部上、または該磁性膜全面に磁区制御用の磁性膜を結合配置することで前記バルクハウゼンノイズの発生を防止することができる。
【0018】
【実施例】
以下図面を用いて本発明の実施例について詳細に説明する。
図1(a),(b) は本発明に係る磁気抵抗効果型薄膜ヘッドの第1実施例を示す図であり、図(a) は要部側断面図、図(b) はその磁気抵抗効果素子の要部平面図である。なお、図6及び図7と同等部分には同一符号を付している。
【0019】
これら両図に示すように本実施例では、NiFe軟磁性膜等からなる第1シールド磁性体15と第2シールド磁性体16との間に、 Al2O3等からなる非磁性絶縁膜14をそれぞれ介在して磁気記録媒体18と対向するヘッドの先端面、即ち、記録媒体対向面に先端面が露出するように配置したNiFe膜からなる磁気抵抗効果素子 (MR素子)11 としては、その一方の面の中央部に信号検出領域11a を画定するようにその両端部にそれぞれ約 200Åの膜厚のFeMn膜等からなる磁区制御用磁性膜12a と12b 及びAu膜、或いはW膜等からなる引出し導体13a と13b とが積層配置されている。
【0020】
そして、そのような構成のMR素子11の記録媒体対向面17側とは反対側の前記一対の引出し導体13a と13b 上を含む全縁端部上に、約1000Åの膜厚のAl2O3 等からなる図示しない非磁性絶縁膜を介して該MR素子11の長手方向に沿って平行に長い矩形形状で 500〜2000Åの膜厚のNiFe膜からなる磁界制御用磁性膜21を1μm程度重ね合わせて磁気的に結合した状態で配置した構成とされている。
【0021】
このような第1実施例のヘッド構成では、前記MR素子11に磁気的に結合配置された磁界制御用磁性膜21により、該MR素子11の長さ方向に対する高さを恰も高くしたのと同様な形状的な作用効果によってそのMR素子11の信号検出領域11a に印加される異方性磁界を、該MR素子11の単磁区化を妨げない程度に減少させることが可能となる。
【0022】
従って、再生時においてMR素子11の信号検出領域11a での長手方向への磁化が対向する磁気記録媒体18からの信号磁界により円滑に磁化回転が行われるので、該MR素子11での抵抗の変化が急峻となり、再生感度が向上する。
【0023】
図2(a),(b) は本発明に係る磁気抵抗効果型薄膜ヘッドの第2実施例を示す図であり、図(a) は要部側断面図、図(b) はその磁気抵抗効果素子の要部平面図であり、図1(a),(b) と同等部分には同一符号を付している。
【0024】
これら両図で示す実施例が図1(a),(b) で示す第1実施例と異なる点は、前記MR素子11の記録媒体対向面17側とは反対側の前記一対の引出し導体13a と13b 上を含む全縁端部に沿って0.5 〜1.0 μmの間隙を介して該MR素子11の長手方向に沿って平行に長い矩形形状で 500〜2000Åの膜厚のNiFe膜からなる磁界制御用磁性膜31を配置すると共に、その磁性膜31の記録媒体対向面側の端部を部分的に突出させ、その突出部分を図示のようにMR素子11の信号検出領域11a の縁端部上に約1000Åの膜厚のAl2O3 等からなる図示しない非磁性絶縁膜を介して1μm程度重ね合わせて磁気的に結合した構成とした点にある。
【0025】
このような第2実施例のヘッド構成によっても図1(a),(b) による実施例と同様に前記MR素子11の信号検出領域11a に印加される異方性磁界を、該MR素子11の単磁区化を妨げない程度に減少させることが可能となり、それによって再生時におけるMR素子11の信号検出領域11a での磁化回転が円滑に行われるので、該MR素子11での抵抗の変化が急峻となり、再生感度が向上する。
【0026】
図3(a),(b) は本発明に係る磁気抵抗効果型薄膜ヘッドの第3実施例を示す図であり、図(a) は要部側断面図、図(b) はその磁気抵抗効果素子の要部平面図であり、図1(a),(b) と同等部分には同一符号を付している。
【0027】
これら両図で示す実施例が図1(a),(b) で示す第1実施例と異なる点は、前記MR素子11の記録媒体対向面17側とは反対側の前記一対の引出し導体13a と13b との間に 500〜2000Åの膜厚のNiFe膜からなる磁界制御用磁性膜41を、その一部が図示のようにMR素子11の信号検出領域11a の縁端部上に約1000Åの膜厚のAl2O3 等からなる図示しない非磁性絶縁膜を介して1μm程度重ね合わせて磁気的に結合配置した構成としたことである。
【0028】
このような第3実施例のヘッド構成によっても図1(a),(b) による実施例と同様に前記MR素子11の信号検出領域11a に印加される異方性磁界を減少させることが可能となり、それによって再生時におけるMR素子11の信号検出領域11a での磁化回転が円滑に行われるので、該MR素子11での抵抗の変化が急峻となり、再生感度が向上する。また、前記MR素子11に対する磁界制御用磁性膜41の配設構造により両者がショートする確率も低減することができる。
【0029】
図4(a),(b) は本発明に係る磁気抵抗効果型薄膜ヘッドの第4実施例を示す図であり、図(a) は要部側断面図、図(b) はその磁気抵抗効果素子の要部平面図であり、図1(a),(b) と同等部分には同一符号を付している。
【0030】
これら両図で示す実施例が図1(a),(b) で示す第1実施例と異なる点は、前記MR素子11の記録媒体対向面17側とは反対側の端部に対して 0.5〜1.0 μmの間隙を隔てて同一平面となるように該MR素子11の長手方向に沿った長い矩形形状で 500〜2000Åの膜厚のNiFe膜からなる磁界制御用磁性膜21を平行に配置して磁気的に結合した構成としたことである。
【0031】
このような第4実施例のヘッド構成によっても図1(a),(b) による実施例と同様に前記MR素子11の信号検出領域11a に印加される異方性磁界を減少させることができ、しかも、それによって再生時におけるMR素子11の信号検出領域11a での磁化回転が円滑化され、再生感度を向上させることができる。
【0032】
図5(a),(b) は本発明に係る磁気抵抗効果型薄膜ヘッドの第5実施例を示す図であり、図(a) は要部側断面図、図(b) はその磁気抵抗効果素子の要部平面図であり、図3(a),(b) と同等部分には同一符号を付している。
【0033】
これら両図で示す実施例が図3(a),(b) で示す第3実施例と異なる点は、前記MR素子11の記録媒体対向面17側とは反対側の前記一対の引出し導体13a と13b との間に、MR素子11の信号検出領域11a の縁端部に対して図示のように 0.5〜1.0 μmの間隙を隔てて同一平面となるように 500〜2000Åの膜厚のNiFe膜からなる磁界制御用磁性膜41を平行に配置して磁気的に結合した構成としたことである。
【0034】
このような第5実施例のヘッド構成によっても図3(a),(b) による実施例と同様に前記MR素子11の信号検出領域11a に印加される異方性磁界を減少させることができ、しかも、それによって再生時におけるMR素子11の信号検出領域11a での磁化回転が円滑化され、再生感度を向上させることができる。
【0035】
なお、以上の第1実施例〜第5実施例においてMR素子11の記録媒体対向面17側とは反対側に前記した種々の配設構造により磁界制御用磁性膜を磁気的に結合配置した場合、再生時に該磁界制御用磁性膜の多磁区化による磁壁の不規則な移動によりバルクハウゼンノイズが発生する恐れがあるので、その磁界制御用磁性膜の全面にFeMn膜等からなる磁区制御用磁性膜を結合配置する、或いは第1実施例、第2実施例及び第4実施例における磁界制御用磁性膜の長手方向の両端部上にFeMn膜等からなる磁区制御用磁性膜を結合配置することにより前記バルクハウゼンノイズの発生を防止することができ、このようなノイズ防止構成を適用することが望ましい。
【0036】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明に係る磁気抵抗効果型薄膜ヘッドによれば、本来のアスペクト比を変えることなく両端部に磁区制御用磁性膜を接合した磁気抵抗効果素子(MR素子)の信号検出領域に印加される異方性磁界を減少させることが可能となり、再生時におけるMR素子の信号検出領域での磁化回転が円滑化されて該MR素子での抵抗の変化が急峻になり、再生感度を向上させることができるなど高密度記録用の磁気抵抗効果型薄膜ヘッドに適用して極めて有利であり、実用上優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の磁気抵抗効果型薄膜ヘッド(MRヘッド)の第1実施例を示す要部側断面図及びその磁気抵抗効果素子(MR素子)の要部平面図である。
【図2】本発明の磁気抵抗効果型薄膜ヘッド(MRヘッド)の第2実施例を示す要部側断面図及びその磁気抵抗効果素子(MR素子)の要部平面図である。
【図3】本発明の磁気抵抗効果型薄膜ヘッド(MRヘッド)の第3実施例を示す要部側断面図及びその磁気抵抗効果素子(MR素子)の要部平面図である。
【図4】本発明の磁気抵抗効果型薄膜ヘッド(MRヘッド)の第4実施例を示す要部側断面図及びその磁気抵抗効果素子(MR素子)の要部平面図である。
【図5】本発明の磁気抵抗効果型薄膜ヘッド(MRヘッド)の第5実施例を示す要部側断面図及びその磁気抵抗効果素子(MR素子)の要部平面図である。
【図6】従来の磁気抵抗効果型薄膜ヘッド(MRヘッド)を説明するための概略斜視図である。
【図7】従来の磁気抵抗効果型薄膜ヘッド(MRヘッド)を説明するための要部側断面図である。
【符号の説明】
11 MR素子
12a,12b 磁区制御用磁性膜
13a,13b 引出し導体
14 非磁性絶縁膜
15 第1シールド磁性体
16 第2シールド磁性体
17 記録媒体対向面
18 磁気記録媒体
21,31,41 磁界制御用磁性膜
Claims (6)
- 矩形形状の磁気抵抗効果素子であって、その長手方向の両端部に第1の磁区制御用の一対の磁性膜が接合され、かつその磁区制御用の磁性膜上を含む両端部に設けた一対の引出し導体により中央部に画定され、前記矩形形状の長手方向に平行な一辺を記録媒体対向面とする信号検出領域を有し、前記磁気抵抗効果素子の両側に非磁性絶縁膜を介して設けられたシールド磁性体とを備える磁気抵抗効果型薄膜ヘッドにおいて、前記磁気抵抗効果素子の前記記録媒体対向面側とは反対側に該磁気抵抗効果素子に磁気的に結合された磁界制御用の磁性膜を配置し、該磁界制御用の磁性膜の表面に第2の磁区制御用の磁性膜を接合してなることを特徴とする磁気抵抗効果型薄膜ヘッド。
- 前記磁界制御用の磁性膜は矩形形状であって、該磁性膜が磁気抵抗効果素子に平行して配設され、該磁性膜の記録媒体対向側端部を非磁性絶縁膜を介して該磁気抵抗効果素子に重ね合わせたことを特徴とする請求項1の磁気抵抗効果型薄膜ヘッド。
- 前記磁界制御用の磁性膜は矩形形状であって、該磁性膜が磁気抵抗効果素子に平行して配設され、該磁性膜の記録媒体対向面端部を部分的に突出させ、該突出部を前記磁気抵抗効果素子の信号検出領域の縁端部に非磁性絶縁膜を介して重ね合わせたことを特徴とする請求項1の磁気抵抗効果型薄膜ヘッド。
- 前記磁界制御用の磁性膜は矩形形状であって、該磁性膜が、前記一対の引出し導体間に配設され、該磁性膜の記録媒体対向側端部を磁気抵抗効果素子の信号検出領域の縁端部に非磁性絶縁膜を介して重ね合わせたことを特徴とする請求項1の磁気抵抗効果型薄膜ヘッド。
- 前記磁界制御用の磁性膜は矩形形状であって、該磁性膜の記録媒体対向側端部を磁気抵抗効果素子の記録媒体側とは反対側の端部と微小間隔を隔てて突き合わせて配置されてなることを特徴とする請求項1の磁気抵抗効果型薄膜ヘッド。
- 請求項2、または請求項3の磁界制御用の磁性膜の長手方向の両端部に前記第2の磁区制御用の磁性膜を接合してなることを特徴とする磁気抵抗効果型薄膜ヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11555293A JP3609104B2 (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | 磁気抵抗効果型薄膜ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11555293A JP3609104B2 (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | 磁気抵抗効果型薄膜ヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06325328A JPH06325328A (ja) | 1994-11-25 |
JP3609104B2 true JP3609104B2 (ja) | 2005-01-12 |
Family
ID=14665372
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11555293A Expired - Fee Related JP3609104B2 (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | 磁気抵抗効果型薄膜ヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3609104B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001091116A2 (en) * | 2000-05-25 | 2001-11-29 | Seagate Technology Llc | Shield design for magnetoresistive sensor |
-
1993
- 1993-05-18 JP JP11555293A patent/JP3609104B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06325328A (ja) | 1994-11-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5218497A (en) | Magnetic recording-reproducing apparatus and magnetoresistive head having two or more magnetoresistive films for use therewith | |
JP2790811B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
JP3377710B2 (ja) | 磁気抵抗装置および磁気センサ | |
JP3609104B2 (ja) | 磁気抵抗効果型薄膜ヘッド | |
EP0372420A2 (en) | Magnetic recording-reproducing apparatus and magnetoresistive head for use therewith | |
JP3209290B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド及び磁気ディスク装置 | |
JPH06203333A (ja) | 磁気抵抗効果型薄膜ヘッド | |
JP2000200404A (ja) | 磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッド | |
JPH08203039A (ja) | 薄膜磁気ヘッドの磁気抵抗素子 | |
JP3565925B2 (ja) | 磁気抵抗効果ヘッド | |
JP2812280B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子および外部磁場再生方法 | |
JPH07244822A (ja) | 磁気抵抗効果型磁気ヘッド | |
JP3184430B2 (ja) | 磁気媒体に対する記録・再生装置 | |
JP2927240B2 (ja) | 磁気抵抗効果・インダクティブ複合型薄膜磁気ヘッド | |
JP3590078B2 (ja) | 磁気抵抗効果型薄膜ヘッド | |
JPH0836715A (ja) | 磁気抵抗効果型磁気ヘッド | |
JPH0546946A (ja) | 磁気抵抗効果型ヘツド | |
JPH0256713A (ja) | 磁気抵抗効果型再生ヘッド | |
JP3578777B2 (ja) | 磁気抵抗効果型ヘッドの製造方法 | |
JP3040892B2 (ja) | 磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッド | |
JPH06119620A (ja) | 磁気抵抗効果ヘッド | |
JPH04298809A (ja) | 磁気ヘッド | |
JPS61287025A (ja) | 磁気抵抗効果型再生ヘツド | |
JPH052720A (ja) | 磁気抵抗効果型再生ヘツド | |
JPH07201019A (ja) | 磁気抵抗効果型ヘッド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030715 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040827 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20041013 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |