JP2927240B2 - 磁気抵抗効果・インダクティブ複合型薄膜磁気ヘッド - Google Patents
磁気抵抗効果・インダクティブ複合型薄膜磁気ヘッドInfo
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気抵抗効果を用
いた再生ヘッドとインダクティブ型記録ヘッドとを併せ
持つ磁気抵抗効果・インダクティブ複合薄膜磁気ヘッド
（以下、「ＭＲ複合ヘッド」という。）に関し、詳しく
は、再生出力信頼性を低下させるバルクハウゼンノイズ
を低減させたＭＲ複合ヘッドに関するものである。
いた再生ヘッドとインダクティブ型記録ヘッドとを併せ
持つ磁気抵抗効果・インダクティブ複合薄膜磁気ヘッド
（以下、「ＭＲ複合ヘッド」という。）に関し、詳しく
は、再生出力信頼性を低下させるバルクハウゼンノイズ
を低減させたＭＲ複合ヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスク装置の記録容量の近年の増
大には目を見張るものがある。この記録容量の増大は、
主として磁気記録密度の向上によるものである。磁気記
録密度が向上するに連れて、一般には磁気ヘッドで再生
する信号出力が低下する。これを改善するために、従来
のインダクティブ型の再生磁気ヘッドに代わる磁気抵抗
効果型の再生磁気ヘッドが実用に供せられるようになっ
た。磁気記録を行うには、この磁気抵抗効果型再生磁気
ヘッドに隣接させてインダクティブ型磁気ヘッドを設け
る。このような構造を持つ記録再生ヘッドを、ＭＲ複合
ヘッドという。
大には目を見張るものがある。この記録容量の増大は、
主として磁気記録密度の向上によるものである。磁気記
録密度が向上するに連れて、一般には磁気ヘッドで再生
する信号出力が低下する。これを改善するために、従来
のインダクティブ型の再生磁気ヘッドに代わる磁気抵抗
効果型の再生磁気ヘッドが実用に供せられるようになっ
た。磁気記録を行うには、この磁気抵抗効果型再生磁気
ヘッドに隣接させてインダクティブ型磁気ヘッドを設け
る。このような構造を持つ記録再生ヘッドを、ＭＲ複合
ヘッドという。
【０００３】図７は、従来のＭＲ複合ヘッドを示す断面
図である。以下、この図面に基づき説明する。
図である。以下、この図面に基づき説明する。
【０００４】従来のＭＲ複合ヘッド８０は、シールドパ
タン８２とシールドパタン８４との間に電気絶縁層８
６，８８を介して磁気抵抗効果型感磁素子（以下、「Ｍ
Ｒ感磁素子」という。）９０が挟持され、シールドパタ
ン８４と記録用軟磁性ヨークパタン９２との間にギャッ
プ層９４及び導体コイルパタン９６が挟持されてなるも
のである。
タン８２とシールドパタン８４との間に電気絶縁層８
６，８８を介して磁気抵抗効果型感磁素子（以下、「Ｍ
Ｒ感磁素子」という。）９０が挟持され、シールドパタ
ン８４と記録用軟磁性ヨークパタン９２との間にギャッ
プ層９４及び導体コイルパタン９６が挟持されてなるも
のである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このようなＭＲ複合ヘ
ッド８０の再生動作において、ＭＲ感磁素子９０の磁区
硬構造に関連するバルクハウゼンノイズによる再生出力
の変動現象が往々にして観察される。この解決のため
に、特開昭６３−９６７１４号公報では、ＭＲ感磁素子
の磁気異方性の方向をコントロールする技術が開示され
ている。しかしながら、ＭＲ複合ヘッドのように記録ヘ
ッドがＭＲ感磁素子の近傍に配置された場合、ＭＲ感磁
素子の磁気異方性の制御のみでは、再生出力の変動の制
御には不十分であった。
ッド８０の再生動作において、ＭＲ感磁素子９０の磁区
硬構造に関連するバルクハウゼンノイズによる再生出力
の変動現象が往々にして観察される。この解決のため
に、特開昭６３−９６７１４号公報では、ＭＲ感磁素子
の磁気異方性の方向をコントロールする技術が開示され
ている。しかしながら、ＭＲ複合ヘッドのように記録ヘ
ッドがＭＲ感磁素子の近傍に配置された場合、ＭＲ感磁
素子の磁気異方性の制御のみでは、再生出力の変動の制
御には不十分であった。
【０００６】また、従来のＭＲ複合ヘッドでは記録再生
を繰り返すと、再生出力振幅が不規則に変化する現象が
知られている。再生出力が不規則に変動すると、このよ
うなＭＲ複合ヘッドを搭載した磁気ディスク装置のデー
タエラーが増加する。変動の程度によっては磁気ディス
ク装置の誤動作を生じることがある。このような現象
は、ＭＲ複合ヘッドの構成材料であるＭＲ感磁素子、磁
気シールド材料等の磁区構造の不規則な変化に伴うバル
クハウゼンノイズによるものであると理解されている。
ＭＲ複合ヘッドでも、従来のインダクティブ型ヘッドと
同様に、再生動作のみでは出力変動は少なく、記録動作
を行なうと再生出力の変動を生じやすい問題点があっ
た。
を繰り返すと、再生出力振幅が不規則に変化する現象が
知られている。再生出力が不規則に変動すると、このよ
うなＭＲ複合ヘッドを搭載した磁気ディスク装置のデー
タエラーが増加する。変動の程度によっては磁気ディス
ク装置の誤動作を生じることがある。このような現象
は、ＭＲ複合ヘッドの構成材料であるＭＲ感磁素子、磁
気シールド材料等の磁区構造の不規則な変化に伴うバル
クハウゼンノイズによるものであると理解されている。
ＭＲ複合ヘッドでも、従来のインダクティブ型ヘッドと
同様に、再生動作のみでは出力変動は少なく、記録動作
を行なうと再生出力の変動を生じやすい問題点があっ
た。
【０００７】
【発明の目的】そこで、本発明は、ＭＲ複合ヘッドの記
録後の再生出力の変動を解決し、このＭＲ複合ヘッド搭
載した磁気ディスク装置の動作信頼性を向上させること
を目的とするものである。
録後の再生出力の変動を解決し、このＭＲ複合ヘッド搭
載した磁気ディスク装置の動作信頼性を向上させること
を目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者は、従来のＭＲ
複合ヘッドのこのような問題点について、研究を重ねた
結果、次のことを明らかにした。従来のＭＲ複合ヘッド
では、図７に示すように、シールドパタン８２とシール
ドパタン８４とが互いに磁気的に接続されてはいない。
また、シールドパタン８４と記録用軟磁性ヨークパタン
９２とは、導体コイルパタン９６と鎖交するように磁気
的に接続されている。このような構造の場合、導体コイ
ルパタン９６に記録電流を印加すると、ギャップ層９４
を除いてほぼ閉磁気回路をなす記録用軟磁性ヨークパタ
ン９２とシールドパタン８４とが強く磁化される。その
一方、シールドパタン８２は電流磁界ではほとんど磁化
されない。このため、強く磁化されたシールドパタン８
４とほとんど磁化されないシールドパタン８２とに挟ま
れたＭＲ感磁素子９０は、シールドパタン８４からの漏
洩磁界を強く受けることになる。すなわち、従来のＭＲ
複合ヘッド８０では、記録動作を行なう度に、ＭＲ感磁
素子９０に不要な磁界が印加され、ＭＲ感磁素子９０の
安定性を損なって、その後の再生動作の安定性が損なわ
れる欠点を有していた。
複合ヘッドのこのような問題点について、研究を重ねた
結果、次のことを明らかにした。従来のＭＲ複合ヘッド
では、図７に示すように、シールドパタン８２とシール
ドパタン８４とが互いに磁気的に接続されてはいない。
また、シールドパタン８４と記録用軟磁性ヨークパタン
９２とは、導体コイルパタン９６と鎖交するように磁気
的に接続されている。このような構造の場合、導体コイ
ルパタン９６に記録電流を印加すると、ギャップ層９４
を除いてほぼ閉磁気回路をなす記録用軟磁性ヨークパタ
ン９２とシールドパタン８４とが強く磁化される。その
一方、シールドパタン８２は電流磁界ではほとんど磁化
されない。このため、強く磁化されたシールドパタン８
４とほとんど磁化されないシールドパタン８２とに挟ま
れたＭＲ感磁素子９０は、シールドパタン８４からの漏
洩磁界を強く受けることになる。すなわち、従来のＭＲ
複合ヘッド８０では、記録動作を行なう度に、ＭＲ感磁
素子９０に不要な磁界が印加され、ＭＲ感磁素子９０の
安定性を損なって、その後の再生動作の安定性が損なわ
れる欠点を有していた。
【０００９】上記の問題点を解決するために、本発明に
係るＭＲ複合ヘッドは、第１のシールドパタンと第２の
シールドパタンとの間に電気絶縁層を介して磁気抵抗効
果型感磁素子が挟持され、前記第２のシールドパタンと
記録用軟磁性ヨークパタンとの間に記録ギャップ層及び
導体コイルパタンが挟持されてなるものである。そし
て、前記第１のシールドパタンと前記第２のシールドパ
タンとを磁気的に接続するとともに前記導体コイルパタ
ンに重なっているシールド接続部が形成され、このシー
ルド接続部の媒体対向面に近い方の一端から当該媒体対
向面までの距離が、前記導体コイルパタンの媒体対向面
に近い方の一端から当該媒体対向面までの距離よりも短
い、ことを特徴とするものである。
係るＭＲ複合ヘッドは、第１のシールドパタンと第２の
シールドパタンとの間に電気絶縁層を介して磁気抵抗効
果型感磁素子が挟持され、前記第２のシールドパタンと
記録用軟磁性ヨークパタンとの間に記録ギャップ層及び
導体コイルパタンが挟持されてなるものである。そし
て、前記第１のシールドパタンと前記第２のシールドパ
タンとを磁気的に接続するとともに前記導体コイルパタ
ンに重なっているシールド接続部が形成され、このシー
ルド接続部の媒体対向面に近い方の一端から当該媒体対
向面までの距離が、前記導体コイルパタンの媒体対向面
に近い方の一端から当該媒体対向面までの距離よりも短
い、ことを特徴とするものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１は、本発明に係るＭＲ複合ヘ
ッドの第一実施形態を示す断面図である。以下、この図
面に基づき説明する。ただし、図７と同一部分は同一符
号を付すことにより重複説明を省略する。
ッドの第一実施形態を示す断面図である。以下、この図
面に基づき説明する。ただし、図７と同一部分は同一符
号を付すことにより重複説明を省略する。
【００１１】本発明に係るＭＲ複合ヘッド１０は、シー
ルドパタン１２とシールドパタン１４との間に電気絶縁
層８６，８８を介してＭＲ感磁素子９０が挟持され、シ
ールドパタン１４と記録用軟磁性ヨークパタン９２との
間に記録ギャップ層９４及び導体コイルパタン９６が挟
持されてなるものである。そして、シールドパタン１２
とシールドパタン１４とが磁気的に接続されていること
を特徴とするものである。シールドパタン１２とシール
ドパタン１４とは、ＭＲ感磁素子９０と反対側の端部に
設けられたシールド接続部１６で、磁気的に接続されて
いる
ルドパタン１２とシールドパタン１４との間に電気絶縁
層８６，８８を介してＭＲ感磁素子９０が挟持され、シ
ールドパタン１４と記録用軟磁性ヨークパタン９２との
間に記録ギャップ層９４及び導体コイルパタン９６が挟
持されてなるものである。そして、シールドパタン１２
とシールドパタン１４とが磁気的に接続されていること
を特徴とするものである。シールドパタン１２とシール
ドパタン１４とは、ＭＲ感磁素子９０と反対側の端部に
設けられたシールド接続部１６で、磁気的に接続されて
いる
【００１２】いま、記録電流を導体コイルパタン９６に
印加すると、シールドパタン１２，１４は互いにシール
ド接続部１６を介して磁気的に接続されているため、電
流磁界による磁化状態はシールドパタン１２，１４でほ
ぼ同じとなる。したがって、その間に狭持されたＭＲ感
磁素子９０に加わるシールドパタン１２，１４の漏洩磁
界は、互いに打ち消し合って小さくなる。すなわち、記
録動作による不要な磁界が小さいため、ＭＲ感磁素子９
０の不安定性が損なわれることはなく、その後の再生動
作が安定となる。
印加すると、シールドパタン１２，１４は互いにシール
ド接続部１６を介して磁気的に接続されているため、電
流磁界による磁化状態はシールドパタン１２，１４でほ
ぼ同じとなる。したがって、その間に狭持されたＭＲ感
磁素子９０に加わるシールドパタン１２，１４の漏洩磁
界は、互いに打ち消し合って小さくなる。すなわち、記
録動作による不要な磁界が小さいため、ＭＲ感磁素子９
０の不安定性が損なわれることはなく、その後の再生動
作が安定となる。
【００１３】ＭＲ感磁素子９０での漏洩磁界の打ち消し
を効率よく行なうためには、シールドパタン１２から発
生する総磁束量とシールドパタン１４から発生する総磁
束量が、できるだけ等しい方が望ましい。この総磁束量
は、一般にシールドパタン材料（軟磁性材料）の飽和磁
束密度Ｂｒとその断面積Ｓの積で表される。シールドパ
タン１２，１４の幅はＭＲ感磁素子９０の幅よりも十分
に長いため、シールドパタン１２，１４からの漏洩磁界
を等しくすることは、単位長さあたりの総磁束量を等し
くすることと等価である。すなわち、シールドパタン１
２の膜厚とその飽和磁束密度Ｂｒとの積及びシールドパ
タン１４の膜厚とその飽和磁束密度Ｂｒとの積を等しく
することが、ＭＲ感磁素子９０に印加される不要磁界を
低減するのに効果的である。
を効率よく行なうためには、シールドパタン１２から発
生する総磁束量とシールドパタン１４から発生する総磁
束量が、できるだけ等しい方が望ましい。この総磁束量
は、一般にシールドパタン材料（軟磁性材料）の飽和磁
束密度Ｂｒとその断面積Ｓの積で表される。シールドパ
タン１２，１４の幅はＭＲ感磁素子９０の幅よりも十分
に長いため、シールドパタン１２，１４からの漏洩磁界
を等しくすることは、単位長さあたりの総磁束量を等し
くすることと等価である。すなわち、シールドパタン１
２の膜厚とその飽和磁束密度Ｂｒとの積及びシールドパ
タン１４の膜厚とその飽和磁束密度Ｂｒとの積を等しく
することが、ＭＲ感磁素子９０に印加される不要磁界を
低減するのに効果的である。
【００１４】図２は、本発明に係るＭＲ複合ヘッドの第
二実施形態を示す断面図である。以下、この図面に基づ
き説明する。ただし、図１と同一部分は同一符号を付す
ことにより重複説明を省略する。
二実施形態を示す断面図である。以下、この図面に基づ
き説明する。ただし、図１と同一部分は同一符号を付す
ことにより重複説明を省略する。
【００１５】本実施形態のＭＲ複合ヘッド２０では、シ
ールドパタン１２，１４のシールド接続部２２が、第一
実施形態のＭＲ複合ヘッド１０（図１）と異なってい
る。まず、シールド接続部２２の位置にあらかじめ電気
絶縁層８６，８８の合計厚さに等しいスペーサパタン２
４を設ける。スペーサパタン２４は、軟磁性パタンでも
非磁性パタンでも特に規定はしない。次に、シールドパ
タン１２を設け、電気絶縁層８６、ＭＲ感磁素子９０、
電気絶縁層８８の順に積層し、平面化処理を行ない、電
気絶縁層８８とシールドパタン１２との上面のレベル合
わせを行なう。その後は、シールドパタン１４、ギャッ
プ層９４、導体コイルパタン９６、記録用軟磁性ヨーク
パタン９２を順次形成する。このような構成を採ること
により、記録用軟磁性ヨークパタン９２の段差が軽減さ
れるので、シールドパタン１４の接続が容易になる利点
がある。
ールドパタン１２，１４のシールド接続部２２が、第一
実施形態のＭＲ複合ヘッド１０（図１）と異なってい
る。まず、シールド接続部２２の位置にあらかじめ電気
絶縁層８６，８８の合計厚さに等しいスペーサパタン２
４を設ける。スペーサパタン２４は、軟磁性パタンでも
非磁性パタンでも特に規定はしない。次に、シールドパ
タン１２を設け、電気絶縁層８６、ＭＲ感磁素子９０、
電気絶縁層８８の順に積層し、平面化処理を行ない、電
気絶縁層８８とシールドパタン１２との上面のレベル合
わせを行なう。その後は、シールドパタン１４、ギャッ
プ層９４、導体コイルパタン９６、記録用軟磁性ヨーク
パタン９２を順次形成する。このような構成を採ること
により、記録用軟磁性ヨークパタン９２の段差が軽減さ
れるので、シールドパタン１４の接続が容易になる利点
がある。
【００１６】図３は、本発明に係るＭＲ複合ヘッドの第
三実施形態を示す断面図である。以下、この図面に基づ
き説明する。ただし、図２と同一部分は同一符号を付す
ことにより重複説明を省略する。
三実施形態を示す断面図である。以下、この図面に基づ
き説明する。ただし、図２と同一部分は同一符号を付す
ことにより重複説明を省略する。
【００１７】本実施形態のＭＲ複合ヘッド３０では、シ
ールドパタン１２，１４のシールド接続部３２及びスペ
ーサパタン３４が、第二実施形態のＭＲ複合ヘッド２０
（図２）と異なっている。シールド接続部３２の媒体対
向面側が導体コイルパタン９６の直下まで迫り出すこと
により、シールド接続部３２の面積が大きくなってい
る。シールド接続部３２の面積を大きくすることによ
り、各シールドパタン１２，１４の磁化状態がより等し
くなる。
ールドパタン１２，１４のシールド接続部３２及びスペ
ーサパタン３４が、第二実施形態のＭＲ複合ヘッド２０
（図２）と異なっている。シールド接続部３２の媒体対
向面側が導体コイルパタン９６の直下まで迫り出すこと
により、シールド接続部３２の面積が大きくなってい
る。シールド接続部３２の面積を大きくすることによ
り、各シールドパタン１２，１４の磁化状態がより等し
くなる。
【００１８】図４は、本発明に係るＭＲ複合ヘッドの第
四実施形態を示す断面図である。以下、この図面に基づ
き説明する。ただし、図３と同一部分は同一符号を付す
ことにより重複説明を省略する。
四実施形態を示す断面図である。以下、この図面に基づ
き説明する。ただし、図３と同一部分は同一符号を付す
ことにより重複説明を省略する。
【００１９】本実施形態のＭＲ複合ヘッド４０では、シ
ールドパタン１２，１４のシールド接続部４２及びスペ
ーサパタン４４が、第三実施形態のＭＲ複合ヘッド３０
（図３）と異なっている。シールド接続部４２の媒体対
向面側がさらに媒体対向面よりに位置し、シールド接続
部４２の面積が増大している。また、シールド接続部４
２全体が、導体コイルパタン９６と重なり合っている。
このために、導体コイルパタン９６からの電流磁界がよ
り効率的に、シールドパタン１２，１４に印加され、各
シールドパタン１２，１４の磁化状態の均一性が向上す
る。
ールドパタン１２，１４のシールド接続部４２及びスペ
ーサパタン４４が、第三実施形態のＭＲ複合ヘッド３０
（図３）と異なっている。シールド接続部４２の媒体対
向面側がさらに媒体対向面よりに位置し、シールド接続
部４２の面積が増大している。また、シールド接続部４
２全体が、導体コイルパタン９６と重なり合っている。
このために、導体コイルパタン９６からの電流磁界がよ
り効率的に、シールドパタン１２，１４に印加され、各
シールドパタン１２，１４の磁化状態の均一性が向上す
る。
【００２０】図５は、本発明に係るＭＲ複合ヘッドの第
五実施形態を示す断面図である。以下、この図面に基づ
き説明する。ただし、図１と同一部分は同一符号を付す
ことにより重複説明を省略する。
五実施形態を示す断面図である。以下、この図面に基づ
き説明する。ただし、図１と同一部分は同一符号を付す
ことにより重複説明を省略する。
【００２１】本実施形態のＭＲ複合ヘッド５０では、シ
ールドパタン１２，１４のシールド接続部５２が、第一
実施形態のＭＲ複合ヘッド１０（図１）と異なってい
る。電気絶縁層８６，８８を第一実施形態のＭＲ複合ヘ
ッド１０の場合よりもより多く削除することにより、シ
ールド接続部５２を形成している。その効果は、第四実
施形態で説明したと同様である。
ールドパタン１２，１４のシールド接続部５２が、第一
実施形態のＭＲ複合ヘッド１０（図１）と異なってい
る。電気絶縁層８６，８８を第一実施形態のＭＲ複合ヘ
ッド１０の場合よりもより多く削除することにより、シ
ールド接続部５２を形成している。その効果は、第四実
施形態で説明したと同様である。
【００２２】図６は、本発明に係るＭＲ複合ヘッドの第
六実施形態を示す断面図である。以下、この図面に基づ
き説明する。ただし、図１と同一部分は同一符号を付す
ことにより重複説明を省略する。
六実施形態を示す断面図である。以下、この図面に基づ
き説明する。ただし、図１と同一部分は同一符号を付す
ことにより重複説明を省略する。
【００２３】本実施形態のＭＲ複合ヘッド６０では、こ
れまでの実施形態とは異なり、積層順序が逆になってい
る。積層順序が逆になっていても、シールドパタン１
２，１４をシールド接続部１６で磁気的に接続すること
により、ＭＲ感磁素子９０に加わる不要磁界を軽減する
という効果は、これまでと同様である。
れまでの実施形態とは異なり、積層順序が逆になってい
る。積層順序が逆になっていても、シールドパタン１
２，１４をシールド接続部１６で磁気的に接続すること
により、ＭＲ感磁素子９０に加わる不要磁界を軽減する
という効果は、これまでと同様である。
【００２４】
【発明の効果】本発明に係るＭＲ複合ヘッドによれば、
ＭＲ複合ヘッドの記録後の再生出力の振幅の不安定性を
改善できる。その理由は、ＭＲ感磁素子に加わる記録動
作時に発生する不要磁界が、それを狭持するシールドパ
タンを接続することにより軽減できるからである。
ＭＲ複合ヘッドの記録後の再生出力の振幅の不安定性を
改善できる。その理由は、ＭＲ感磁素子に加わる記録動
作時に発生する不要磁界が、それを狭持するシールドパ
タンを接続することにより軽減できるからである。
【００２５】また、第１のシールドパタンと第２のシー
ルドパタンとを磁気的に接続するシールド接続部が導体
コイルパタンに重なっていることにより、シールド接続
部の面積を大きくできるので、各シールドパタンの磁化
状態をより等しくできる。したがって、ＭＲ複合ヘッド
の記録後の再生出力の振幅の不安定性をより改善でき
る。
ルドパタンとを磁気的に接続するシールド接続部が導体
コイルパタンに重なっていることにより、シールド接続
部の面積を大きくできるので、各シールドパタンの磁化
状態をより等しくできる。したがって、ＭＲ複合ヘッド
の記録後の再生出力の振幅の不安定性をより改善でき
る。
【００２６】しかも、第１のシールドパタンと第２のシ
ールドパタンとを磁気的に接続するシールド接続部の一
端（媒体対向面に近い方）から媒体対向面までの距離
が、導体コイルパタンの一端（媒体対向面に近い方）か
ら媒体対向面までの距離よりも短いことにより、シール
ド接続部の面積をより大きくできるので、各シールドパ
タンの磁化状態をさらにより等しくできる。したがっ
て、ＭＲ複合ヘッドの記録後の再生出力の振幅の不安定
性をより改善できる。
ールドパタンとを磁気的に接続するシールド接続部の一
端（媒体対向面に近い方）から媒体対向面までの距離
が、導体コイルパタンの一端（媒体対向面に近い方）か
ら媒体対向面までの距離よりも短いことにより、シール
ド接続部の面積をより大きくできるので、各シールドパ
タンの磁化状態をさらにより等しくできる。したがっ
て、ＭＲ複合ヘッドの記録後の再生出力の振幅の不安定
性をより改善できる。
【００２７】請求項２のＭＲ複合ヘッドによれば、第１
のシールドパタンの膜厚とその飽和磁束密度との積が第
２のシールドパタンの膜厚とその飽和磁束密度との積に
実質的に等しいことにより、ＭＲ感磁素子に印加される
不要磁界を効果的に低減できる。したがって、ＭＲ複合
ヘッドの記録後の再生出力の振幅の不安定性をより改善
できる。
のシールドパタンの膜厚とその飽和磁束密度との積が第
２のシールドパタンの膜厚とその飽和磁束密度との積に
実質的に等しいことにより、ＭＲ感磁素子に印加される
不要磁界を効果的に低減できる。したがって、ＭＲ複合
ヘッドの記録後の再生出力の振幅の不安定性をより改善
できる。
【図１】本発明に係るＭＲ複合ヘッドの第一実施形態を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図２】本発明に係るＭＲ複合ヘッドの第二実施形態を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図３】本発明に係るＭＲ複合ヘッドの第三実施形態を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図４】本発明に係るＭＲ複合ヘッドの第四実施形態を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図５】本発明に係るＭＲ複合ヘッドの第五実施形態を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図６】本発明に係るＭＲ複合ヘッドの第六実施形態を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図７】従来のＭＲ複合ヘッドを示す断面図である。
１０，２０，３０，４０，５０，６０ ＭＲ複合ヘッド １２ （第１の）シールドパタン １４ （第２の）シールドパタン １６，２２，３２，４２，５２ シールド接続部 ８６，８８ 電気絶縁層 ９０ ＭＲ感磁素子 ９２ 記録用軟磁性ヨークパタン ９４ 記録ギャップ層 ９６ 導体コイルパタン
Claims (2)
- 【請求項１】 第１のシールドパタンと第２のシールド
パタンとの間に電気絶縁層を介して磁気抵抗効果型感磁
素子が挟持され、前記第２のシールドパタンと記録用軟
磁性ヨークパタンとの間に記録ギャップ層及び導体コイ
ルパタンが挟持されてなる磁気抵抗効果・インダクティ
ブ複合型薄膜磁気ヘッドにおいて、 前記第１のシールドパタンと前記第２のシールドパタン
とを磁気的に接続するとともに前記導体コイルパタンに
重なっているシールド接続部が形成され、 このシールド接続部の媒体対向面に近い方の一端から当
該媒体対向面までの距離が、前記導体コイルパタンの媒
体対向面に近い方の一端から当該媒体対向面までの距離
よりも短い、 ことを特徴とする磁気抵抗効果・インダクティブ複合型
薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項２】 第１のシールドパタンと第２のシールド
パタンとの間に電気絶縁層を介して磁気抵抗効果型感磁
素子が挟持され、前記第２のシールドパタンと記録用軟
磁性ヨークパタンとの間に記録ギャップ層及び導体コイ
ルパタンが挟持されてなる磁気抵抗効果・インダクティ
ブ複合型薄膜磁気ヘッドにおいて、前記第１のシールドパタンと前記第２のシールドパタン
とを磁気的に接続するとともに前記導体コイルパタンに
重なっているシールド接続部が形成され、 このシールド接続部の媒体対向面に近い方の一端から当
該媒体対向面までの距離が、前記導体コイルパタンの媒
体対向面に近い方の一端から当該媒体対向面までの距離
よりも短く、 前記第１のシールドパタンの膜厚とその飽和磁束密度と
の積が前記第２のシールドパタンの膜厚とその飽和磁束
密度との積に実質的に等しい、 ことを特徴とする磁気抵抗効果・インダクティブ複合型
薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15400396A JP2927240B2 (ja) | 1996-06-14 | 1996-06-14 | 磁気抵抗効果・インダクティブ複合型薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15400396A JP2927240B2 (ja) | 1996-06-14 | 1996-06-14 | 磁気抵抗効果・インダクティブ複合型薄膜磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH103621A JPH103621A (ja) | 1998-01-06 |
| JP2927240B2 true JP2927240B2 (ja) | 1999-07-28 |
Family
ID=15574795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15400396A Expired - Fee Related JP2927240B2 (ja) | 1996-06-14 | 1996-06-14 | 磁気抵抗効果・インダクティブ複合型薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2927240B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3560872B2 (ja) | 1999-10-12 | 2004-09-02 | Ｔｄｋ株式会社 | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 |
-
1996
- 1996-06-14 JP JP15400396A patent/JP2927240B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH103621A (ja) | 1998-01-06 |
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