JPH06150258A - 磁気抵抗効果型薄膜ヘッド - Google Patents

磁気抵抗効果型薄膜ヘッド

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JPH06150258A
JPH06150258A JP29567792A JP29567792A JPH06150258A JP H06150258 A JPH06150258 A JP H06150258A JP 29567792 A JP29567792 A JP 29567792A JP 29567792 A JP29567792 A JP 29567792A JP H06150258 A JPH06150258 A JP H06150258A
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JP
Japan
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magnetic
flux guide
head
rear end
magnetoresistive effect
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Withdrawn
Application number
JP29567792A
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English (en)
Inventor
Yukinori Ikegawa
幸徳 池川
Yoshinori Otsuka
善徳 大塚
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は磁気ディスク装置等に用いられる磁
気抵抗効果型薄膜ヘッドに関し、ヘッド先端面に露出す
るフラックスガイドと磁気抵抗効果素子(MR素子)と
の磁気的な結合部分の磁気抵抗を低減してフラックスガ
イドからの磁束をMR素子へ流入し易くして再生効率を
向上することを目的とする。 【構成】 先端部が磁気記録媒体41と対向するヘッドの
先端面に露出するフラックスガイド35の後端部にMR素
子36を磁気的に結合し、かつこれらの両側に、それぞれ
非磁性絶縁膜34を介して第1、第2シールド磁性層33,
38を、その両シールド磁性層33, 38間の間隔をフラック
スガイド35の先端領域で狭め、MR素子36の後端領域で
接続して配設したヘッド構造において、前記フラックス
ガイド35の後端部がMR素子36の先端部をその両側から
挟むようにその間に絶縁材を介在して設け、その挟持部
分で当該磁気的結合部を形成した構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク装置、或い
は磁気テープ装置等に用いられる磁気抵抗効果型薄膜ヘ
ッド(以下MRヘッドと略称する)に関するものであ
る。
【0002】近年、磁気ディスク装置等においては、小
型、大容量化に伴って高密度記録化が進められ、その高
密度記録化に対して再生出力の高い磁気ヘッドが要求さ
れている。このため、再生専用の磁気ヘッドとして再生
出力が磁気記録媒体の速度に依存せず、しかも大きい再
生出力が得られるMRヘッドが注目されているが、より
再生効率の良好な、信頼性の高いMRヘッドが必要とさ
れている。
【0003】
【従来の技術】従来のMRヘッドは本出願人が特願平03
−272370号により既に出願している、例えば図4(a) の
概念的な要部側断面図に示すように、先端部が磁気記録
媒体17と対向するヘッドの先端面に露出するFeN膜、或
いはNiFe膜等からなるフラックスガイド14と、そのフラ
ックスガイド14の後端部の片面側に絶縁薄膜を介して重
ね合わせて磁気的に結合されたNiFe膜からなるMR素子
15の両側に、それぞれ非磁性絶縁膜13を介してNiFe膜等
からなる第1シールド磁性層11と第2シールド磁性層12
とを、その第1、第2シールド磁性層11, 12間の間隔を
フラックスガイド14の先端領域で狭め、かつMR素子15
の後端領域では接続した状態に配設されている。
【0004】また、前記MR素子15の両端部には図4
(b) の要部平面図に示すようにAu膜、Cu膜、或いはAl膜
等からなる一対の引出し導体16a, 16bが信号検出領域15
a を画定するように接続された構成からなっている。
【0005】そしてかかるMRヘッドを矢印方向に移動
する磁気記録媒体17上に所定間隙をもって浮上動作させ
た状態で、前記MR素子15にその各引出し導体16a, 16b
よりセンス電流Isを供給することにより発生する磁界に
よって磁化された前記第1シールド磁性層11からの磁界
が該MR素子15にバイアス磁界として印加される。
【0006】このとき生ずるMR素子15における信号検
出領域15a の磁化は磁気記録媒体17からの磁界により変
化され、磁気抵抗効果により生じる該信号検出領域15a
の電気抵抗値の変化を前記引出し導体16a, 16bより電圧
の変化として再生信号を検出することによって再生を行
なっている。
【0007】更に、上記した再生専用のMRヘッドの変
形例として図5の要部側断面図に示すように、前記NiFe
膜からなる第1シールド磁性層11と第2シールド磁性層
12との間にAl2O3 等からなる非磁性絶縁膜13をそれぞれ
介在して、前記したように磁気的に結合されたフラック
スガイド14及びMR素子15と、該フラックスガイド14及
びMR素子15と第2シールド磁性層12間に記録用のコイ
ル導体を配設し、前記第1シールド磁性層11と第2シー
ルド磁性層12をそれぞれ磁極として兼用するようにした
構成も提案されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記した2
つの従来のMRヘッドは、再生時に磁気記録媒体17に接
触しても該磁気記録媒体17と磁気抵抗の変化を検出する
ためにセンス電流Isを通電しているMR素子15とは電気
的に絶縁されているため、磁気記録媒体17面に対する電
気的な接触ショート等による損傷、或いはノイズの発生
が防止され、また前記第1シールド磁性層11と第2シー
ルド磁性層12間の間隔をそれらの両端部以外の領域で広
く構成することにより、MR素子15へのフラックスガイ
ド14からの磁束が該第1、第2シールド磁性層11、12側
へ漏出することを防止し、前記磁気記録媒体17からの磁
束をフラックスガイド14を介してMR素子15へ効率良く
導入するようにしている。
【0009】しかしながら、前記フラックスガイド14と
MR素子15との接合が両者を直接的に接触させて接合さ
せずに、該フラックスガイド14の後端部の片面側に電気
的に絶縁な薄膜を介してMR素子15の先端部を重ね合わ
せて磁束だけを流通させる磁気的な結合であるため、直
接的な接触により結合されている場合に比べてその結合
部分での磁気的抵抗が大きくなり、その磁気的抵抗の増
加によって該フラックスガイド14からの磁束がMR素子
15へ流入し難くなって再生効率が低下するという問題が
あった。
【0010】本発明は上記した従来の問題点に鑑み、フ
ラックスガイドとMR素子との磁気的な接合部分の磁気
抵抗を低減して該フラックスガイドからの磁束をMR素
子へ流入し易くして再生効率を向上させた新規な磁気抵
抗効果型薄膜ヘッドを提供することを目的とするもので
ある。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成するため、フラックスガイドに磁気抵抗効果素子を
磁気的に結合した磁気抵抗効果型磁気ヘッドにおいて、
前記フラックスガイドの後端部が磁気抵抗効果素子の先
端部をその両側から挟むように、かつ間に電気的な絶縁
材を介在して設けられ、その挟持部分で当該磁気的結合
部を形成した構成とする。
【0012】また、先端部が磁気記録媒体と対向するヘ
ッドの先端面に露出するフラックスガイドの後端部に磁
気抵抗効果素子を磁気的に結合し、かつこれらの両側
に、それぞれ非磁性絶縁膜を介してシールド磁性体を、
その両シールド磁性体間の間隔をフラックスガイドの先
端領域で狭め、磁気抵抗効果素子の後端領域で接続して
配設したヘッド構造において、前記フラックスガイドの
後端部が磁気抵抗効果素子の先端部をその両側から挟む
ように、かつ間に電気的な絶縁材を介在して設けられ、
その挟持部分で当該磁気的結合部を形成した構成とす
る。
【0013】更に、先端部が磁気記録媒体と対向するヘ
ッドの先端面に露出するフラックスガイドの後端部に磁
気抵抗効果素子を磁気的に接合し、該フラックスガイド
及び磁気抵抗効果素子に沿って記録用のコイル導体膜を
配設し、かつこれらの両側にそれぞれ非磁性絶縁膜を介
してシールド磁性体を、その両シールド磁性体間の間隔
をフラックスガイドの先端領域で狭め、磁気抵抗効果素
子の後端領域で接続して配設したヘッド構造において、
前記フラックスガイドの後端部が磁気抵抗効果素子の先
端部をその両側から挟むように、かつ間に電気的な絶縁
材を介在して設けられ、その挟持部分で当該磁気的結合
部を形成した構成とする。
【0014】
【作用】本発明では、2つのシールド磁性体間に非磁性
絶縁膜を介して配設するフラックスガイドと磁気抵抗効
果素子との磁気的な結合構造として、該フラックスガイ
ドの後端部が磁気抵抗効果素子の先端部をその両側から
絶縁薄膜を介して挟むように磁気的に結合させた構成と
することにより、両者の磁気的結合面積が従来よりも倍
増し、それによって磁気的抵抗も減少する。その結果、
該フラックスガイドからの磁束がMR素子へ流入し易く
なり、再生効率が向上する。
【0015】また、前記磁気抵抗効果素子の先端部をそ
の両側から絶縁薄膜を介して挟むように磁気的に結合さ
せるフラックスガイドの後端部の両接合面積を等しくす
ることにより、該フラックスガイドからの磁束がその後
端部の両接合面より磁気抵抗効果素子の先端部の両側面
へ均等に流入し、該磁気抵抗効果素子への磁束の流入と
信号検出が安定化する。
【0016】
【実施例】以下図面を用いて本発明の実施例について詳
細に説明する。図1は本発明の磁気抵抗効果型薄膜ヘッ
ドの第1実施例を示す要部側断面図である。
【0017】図において、31は Al2O3・TiC 等からなる
基板であり、該基板31上にAl2O3 等からなる絶縁層32を
介して配設されたNiFe膜からなる第1シールド磁性層33
と同じくNiFe膜からなる第2シールド磁性層38との間
に、SiO2膜、或いは Al2O3膜等からなる非磁性絶縁膜34
をそれぞれ介在して、先端部が磁気記録媒体41と対向す
るヘッドの先端面、即ち、媒体対向面40に露出し、かつ
後端部を二股形状に形成したFeN膜、或いはNiFe膜等か
らなるフラックスガイド35と中央部に信号検出領域を画
定するようにその両端部にAu膜、Cu膜、或いはAl膜等か
らなる一対の引出し導体37a, 37bが接合されたNiFe膜か
らなるMR素子36とが、該フラックスガイド35の二股後
端部をMR素子36の先端部の両側面と絶縁薄膜を介して
電気的に絶縁され、かつ磁気的に結合した状態に配置さ
れ、その第2シールド磁性層38上には更に Al2O3等から
なる絶縁保護膜39が被覆されている。
【0018】なお、前記第1シールド磁性層33と第2シ
ールド磁性層38間の間隔は、従来例と同様にフラックス
ガイド35の先端領域で狭め、かつMR素子36の後端領域
では接続され、それ以外の領域では十分に広い間隔が採
られている。
【0019】また、前記フラックスガイド35の幅形状は
その後端部で広く、先端部に向かって狭めた構成とさ
れ、更に、該フラックスガイド35の二股後端部とMR素
子36の先端部の両側面との接合としては、該MR素子36
の高さ方向に対して1/2 以下の領域で行うようにするこ
とが望ましい。
【0020】このような第1実施例のヘッド構成では、
第1、第2シールド磁性層33, 38間にそれぞれ非磁性絶
縁膜34を介して配設されたフラックスガイド35とMR素
子36との磁気的な結合が、該フラックスガイド35の二股
後端部をMR素子36の先端部の両側面に絶縁薄膜を介し
て磁気的に結合した構成としているため、両者の磁気的
結合面積が従来例よりも倍増して磁気的抵抗が著しく減
少する。
【0021】従って、該フラックスガイド35からの磁束
がMR素子36へ流入し易くなるので再生効率が向上す
る。また、前記MR素子36の先端部の両側面に対して磁
気的に接合するフラックスガイド35の二股後端部の形状
及びその両接合面積を等しくすることにより、該フラッ
クスガイド35からの磁束がその後端部の両接合面よりM
R素子36の先端部の両側面へ均等に流入されるようにな
り、該MR素子36に磁束が安定に流れ、前記信号検出領
域での信号検出も安定化することから大きな再生出力が
得られる。図2は本発明の磁気抵抗効果型薄膜ヘッドの
第2実施例を示す要部側断面図であり、図1と同等部分
には同一符号を付している。
【0022】この図で示す実施例が図1で示す第1実施
例と異なる点は、第1、第2シールド磁性層33, 38間に
それぞれ非磁性絶縁膜34を介して配設した前記第1実施
例と同様に磁気的に接合されたフラックスガイド35及び
MR素子36と第2シールド磁性層38との間に、その磁気
的に接合されたフラックスガイド35及びMR素子36に沿
ってスパイラル状の記録用のコイル導体膜51を配設した
点にあり、この場合、記録時には前記第1シールド磁性
層33と第2シールド磁性層38をそれぞれ磁極として兼用
するようにしている。
【0023】この第2実施例のヘッド構成によっても、
図1による第1実施例と同様な再生時の効果が得られる
と共に、簡単な記録用のコイル導体膜51の付加構成によ
り記録再生効率の良いMRヘッドを実現することができ
る。
【0024】図3は本発明の磁気抵抗効果型薄膜ヘッド
の第3実施例を示す要部側断面図であり、図1と同等部
分には同一符号を付している。この図で示す実施例が図
1で示す第1実施例と異なる点は、第1、第2シールド
磁性層33, 38間にそれぞれ非磁性絶縁膜34を介して配設
した前記第1実施例と同様に磁気的に接合されたフラッ
クスガイド35及びMR素子36の周囲に沿って記録用のヘ
リカル状、或いはスパイラル状のコイル導体膜61を配設
した点にあり、この場合も記録時には前記第1シールド
磁性層33と第2シールド磁性層38がそれぞれ磁極として
兼用される。
【0025】この第3実施例のヘッド構成によっても、
図1による第1実施例と同様な再生時の効果が得られる
と共に、前記記録用のコイル導体膜61の付加構成によっ
て図2による第2実施例よりも記録再生効率の良いMR
ヘッドを実現することができる。
【0026】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る磁気抵抗効果型薄膜ヘッドによれば、第1シール
ド磁性層と第2シールド磁性層間にそれぞれ非磁性絶縁
膜を介して配設されたフラックスガイドとMR素子との
磁気的な結合構造を、該フラックスガイドの後端部がM
R素子の先端部をその両側から絶縁膜を介して挟んだ形
で磁気的に結合した構成としているため、それら両者の
磁気的結合面積が従来例よりも倍増されて磁気的抵抗が
著しく減少するので該フラックスガイドからの磁束がM
R素子に流入し易くなって再生効率が向上し、大きな再
生出力が得られる。
【0027】また、前記のように磁気的に結合されたフ
ラックスガイドとMR素子に沿って記録用のコイル導体
膜を配置し、記録時に前記第1シールド磁性層と第2シ
ールド磁性層を磁極として兼用することにより、記録再
生効率の良好なMRヘッドを実現することができる等、
実用上優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の磁気抵抗効果型薄膜ヘッドの第1実
施例を示す要部側断面図である。
【図2】 本発明の磁気抵抗効果型薄膜ヘッドの第2実
施例を示す要部側断面図である。
【図3】 本発明の磁気抵抗効果型薄膜ヘッドの第3実
施例を示す要部側断面図である。
【図4】 従来の磁気抵抗効果型薄膜ヘッドを説明する
ための要部側断面図と要部平面図である。
【図5】 従来の磁気抵抗効果型薄膜ヘッドの変形例を
示す要部側断面図である。
【符号の説明】
31 基板 32 絶縁層 33 第1シールド磁性層 34 非磁性絶縁膜 35 フラックスガイド、 36 MR素子 37a,37b 引出し導体 38 第2シールド磁性層 39 絶縁保護膜 40 媒体対向面 41 磁気記録媒体 51,61 コイル導体膜

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 フラックスガイドに磁気抵抗効果素子を
    磁気的に結合した磁気抵抗効果型薄膜ヘッドにおいて、 前記フラックスガイドの後端部が磁気抵抗効果素子の先
    端部をその両側から挟むように、かつ間に電気的な絶縁
    材を介在して設けられ、その挟持部分で当該磁気的結合
    部を形成したことを特徴とする磁気抵抗効果型薄膜ヘッ
    ド。
  2. 【請求項2】 先端部が磁気記録媒体(41)と対向するヘ
    ッドの先端面に露出するフラックスガイド(35)の後端部
    に磁気抵抗効果素子(36)を磁気的に結合し、かつこれら
    の両側に、それぞれ非磁性絶縁膜(34)を介してシールド
    磁性体(33, 38)を、その両シールド磁性体(33, 38)間の
    間隔をフラックスガイド(35)の先端領域で狭め、磁気抵
    抗効果素子(36)の後端領域で接続して配設したヘッド構
    造において、 前記フラックスガイド(35)の後端部が磁気抵抗効果素子
    (36)の先端部をその両側から挟むように、かつ間に電気
    的な絶縁材を介在して設けられ、その挟持部分で当該磁
    気的結合部を形成したことを特徴とする磁気抵抗効果型
    薄膜ヘッド。
  3. 【請求項3】 先端部が磁気記録媒体(41)と対向するヘ
    ッドの先端面に露出するフラックスガイド(35)の後端部
    に磁気抵抗効果素子(36)を磁気的に接合し、該フラック
    スガイド(35)及び磁気抵抗効果素子(36)に沿って記録用
    のコイル導体膜(51)を配設し、かつこれらの両側にそれ
    ぞれ非磁性絶縁膜(34)を介してシールド磁性体(33, 38)
    を、その両シールド磁性体(33, 38)間の間隔をフラック
    スガイド(35)の先端領域で狭め、磁気抵抗効果素子(36)
    の後端領域で接続して配設したヘッド構造において、 前記フラックスガイド(35)の後端部が磁気抵抗効果素子
    (36)の先端部をその両側から挟むように、かつ間に電気
    的な絶縁材を介在して設けられ、その挟持部分で当該磁
    気的結合部を形成したことを特徴とする磁気抵抗効果型
    薄膜ヘッド。
JP29567792A 1992-11-05 1992-11-05 磁気抵抗効果型薄膜ヘッド Withdrawn JPH06150258A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6665152B2 (en) 2001-03-28 2003-12-16 Hitachi, Ltd. Magnetic head that detects leakage fluxes from a medium at a high resolution and leads the fluxes into a magneto-resistive element
US6888705B2 (en) * 2002-01-18 2005-05-03 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. High linear density tunnel junction flux guide read head with in-stack longitudinal bias stack (LBS)

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