JPH04351706A - 複合型薄膜磁気ヘッド - Google Patents

複合型薄膜磁気ヘッド

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JPH04351706A
JPH04351706A JP3126316A JP12631691A JPH04351706A JP H04351706 A JPH04351706 A JP H04351706A JP 3126316 A JP3126316 A JP 3126316A JP 12631691 A JP12631691 A JP 12631691A JP H04351706 A JPH04351706 A JP H04351706A
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JP
Japan
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layer
magnetic
head
yoke
recording
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JP3126316A
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English (en)
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Toshio Fukazawa
利雄 深澤
Yoshihiro Tozaki
善博 戸崎
Kumiko Wada
久美子 和田
Satoru Mitani
覚 三谷
Terumi Yanagi
柳　照美
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
    • G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
    • G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
    • G11B5/3906—Details related to the use of magnetic thin film layers or to their effects
    • G11B5/3916—Arrangements in which the active read-out elements are coupled to the magnetic flux of the track by at least one magnetic thin film flux guide
    • G11B5/3919—Arrangements in which the active read-out elements are coupled to the magnetic flux of the track by at least one magnetic thin film flux guide the guide being interposed in the flux path
    • G11B5/3922—Arrangements in which the active read-out elements are coupled to the magnetic flux of the track by at least one magnetic thin film flux guide the guide being interposed in the flux path the read-out elements being disposed in magnetic shunt relative to at least two parts of the flux guide structure
    • G11B5/3925—Arrangements in which the active read-out elements are coupled to the magnetic flux of the track by at least one magnetic thin film flux guide the guide being interposed in the flux path the read-out elements being disposed in magnetic shunt relative to at least two parts of the flux guide structure the two parts being thin films
    • G—PHYSICS
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    • G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
    • G11B5/3967—Composite structural arrangements of transducers, e.g. inductive write and magnetoresistive read

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気記録再生装置に使用
する複合型薄膜磁気ヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年，磁気記録技術の分野において，高
記録密度化に伴い，狭トラック、マルチトラック化され
た薄膜磁気ヘッドが必要となっている。この薄膜磁気ヘ
ッドとしてはバルクヘッドと同様にコイルを用いたイン
ダクティブ型ヘッドと磁気抵抗効果（ＭＲ効果）を利用
した再生用のＭＲヘッドが知られている。
【０００３】コイルを用いたインダクティブ型ヘッドは
その出力がテープ／ヘッドの相対速度に比例するため、
相対速度が小さい場合出力も小さくなり、良好な再生が
できない。一方、磁気抵抗効果（ＭＲ効果）を利用した
ＭＲヘッドは、磁気抵抗効果素子（以下ＭＲ素子という
）に流入する磁束に応じてその抵抗値が変化し、これに
より電磁変換を行なうため、テープ／ヘッドの相対速度
に無関係に高出力が得られるという利点があるが、記録
はできないため、これとは別に記録用ヘッドが必要であ
る。
【０００４】図３に記録用ヘッドであるインダクティブ
型ヘッドと再生用ヘッドであるＭＲヘッドを１チップ上
に構成した従来の複合型薄膜磁気ヘッドの断面図を示す
。まず、記録用ヘッドであるインダクティブ型ヘッドは
第１の磁性層となる磁性基板４１上に第１の絶縁層４２
を介してコイル層４３が形成され、第２の絶縁層４４を
介して第２の磁性層４５が形成されている。インダクテ
ィブ型ヘッドの前部ギャップ部４６では第２の絶縁層４
４によりギャップ長を規制し、後部ギャップ部４７では
磁性基板４１と第２の磁性層４５が磁気的に結合してい
る。
【０００５】そして記録用ヘッド上には非磁性材料から
なる分離層４８が形成されている。この分離層４８の上
にＭＲヘッドを構成するのであるが、分離層４８を形成
した直後においてはその表面がインダクティブ型ヘッド
の凹凸をそのまま転写しているため、ラップにより表面
を平滑にする。
【０００６】ＭＲヘッドは分離層４８の上に第２のヨー
ク４９を形成し、第３の絶縁層５０を介してバイアス層
５１が形成され、第４の絶縁層５２を介してＭＲ素子５
３が形成されている。ＭＲ素子５３にセンス電流を印加
するため、リード層（図示せず）がＭＲ素子５３の両端
に形成され、第５の絶縁層５４を介してテープ上の信号
磁界をＭＲ素子５３に印加する第１のヨーク５５が形成
されている。ＭＲヘッドの前部ギャップ部５６では第５
の絶縁層５４によりギャップ長を規制し、後部ギャップ
部５７では第２のヨーク４９と第１のヨーク５５が磁気
的に結合している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の複合型薄膜
磁気ヘッドでは記録用ヘッドと再生用ヘッドが完全に分
離独立しているため、長波長の信号を再生することが困
難である。すなわち、記録波長が分離層４８の膜厚より
大きい場合、記録用ヘッドの磁性層がシールドとして作
用するためテープ上の記録磁界が有効に再生ヘッドに流
入しない。これを避けるため、最長記録波長に合わせて
分離層４８の膜厚を大きくするとテープ走行時に分離層
４８の偏摩耗が発生し、良好な記録再生ができないとい
う問題を生じる。
【０００８】さらに、コイル端子取り出し部を形成する
ため、分離層４８をエッチングしてコイル層４３を露出
させなければならないが、分離層４８の膜厚が大きくな
るとエッチングが困難になり、また膜厚の大きな分離層
自体を形成することにも時間を要し、コスト増大の原因
ともなる。
【０００９】本発明はこのような課題を解決するもので
、長波長の信号磁界を容易に再生できる複合型薄膜磁気
ヘッドを提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明は、基板上に第１の磁性層と導電コイルと第２
の磁性層とからなる記録用薄膜磁気ヘッドと、第１のヨ
ークと第２のヨークを具備し前記第１のヨークの一部を
電磁変換素子たる磁気抵抗効果素子で置換した再生用薄
膜磁気ヘッドが積層した構造を有する複合型薄膜磁気ヘ
ッドであって、前記記録用薄膜磁気ヘッドの前記第１の
磁性層または前記第２の磁性層を前記再生用薄膜磁気ヘ
ッドの第２のヨークと兼用するものである。
【００１１】
【作用】本発明は上記した構成により，記録用ヘッドと
再生用ヘッドの磁性層が分離独立することがないためシ
ールド効果が発生せず、テープ上の長波長の信号磁界を
再生することができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例について、図面に基づ
いて説明する。まず、図１に基づき第１実施例について
説明する。記録用ヘッドであるインダクティブ型ヘッド
は第１の磁性層となる磁性基板１上に、第１の絶縁層２
を介してコイル層３が形成され、第２の絶縁層４を介し
て第２の磁性層５が形成されている。記録用ヘッドの前
部ギャップ部６では第２の絶縁層４によりギャップ長を
規制し、後部ギャップ部７では磁性基板１と第２の磁性
層５が磁気的に結合している。
【００１３】第２の磁性層５は記録トラック幅を規制す
るため、所定の形状にパターニングされており、第２の
磁性層５を形成した直後においてはその表面が記録用ヘ
ッドの凹凸がそのまま転写されている。そのため本実施
例では、第２の磁性層５を形成後、平坦化下地層８を第
２の磁性層５の膜厚以上に形成したのち、その表面が平
坦になるようにラップにより加工している。
【００１４】再生用ヘッドであるＭＲヘッドは第２のヨ
ークとなる第２の磁性層５上に第３の絶縁層９を介して
バイアス層１０が形成され、第４の絶縁層１１を介して
ＭＲ素子１２が形成されている。ＭＲ素子１２にセンス
電流を印加するため、リード層（図示せず）がＭＲ素子
１２の両端に形成され、第５の絶縁層１３を介してテー
プ上の信号磁界をＭＲ素子１２に印加する第１のヨーク
１４が形成されている。再生用ヘッドの前部ギャップ部
１５では第５の絶縁層１３によりギャップ長を規制し、
後部ギャップ部１６では第１の磁性層５と第１のヨーク
１４が磁気的に結合している。
【００１５】次に動作について説明すると、記録時には
コイル層３に記録電流が印加され、この電流に誘起され
た信号磁界が第１の磁性層たる磁性基板１、第２の磁性
層５からなる磁気回路を流れ、記録用ヘッドの前部ギャ
ップ部６で漏洩する磁界によりテープ上に記録する。
【００１６】再生時にはＭＲ素子１２にバイアス磁界を
印加するためバイアス層１０には直流電流が印加されて
おり、テープ上の信号磁界が再生用ヘッドの前部ギャッ
プ部１５から流入し、この磁界が第２の磁性層５、第１
のヨーク１４、ＭＲ素子１２からなる磁気回路を流れ、
ＭＲ素子１２において電磁変換が行なわれ、リード層に
よりその読み出しが行なわれる。
【００１７】そして記録用ヘッドの第２の磁性層と再生
用ヘッドの第２のヨークを兼用しているので、記録用ヘ
ッドの第１、第２の磁性層はシールドとして作用しない
ため、長波長の信号も良好に再生できる。
【００１８】また、コイル端子取り出し部を形成するた
め、平坦化下地層８をエッチングしてコイル層３を露出
させなければならないが、平坦化下地層８の膜厚は第２
の磁性層５と同じ膜厚であるのでエッチングも容易に行
なうことが可能である。
【００１９】次に図２に基づき第２実施例について説明
する。再生用ヘッドであるＭＲヘッドは非磁性基板２１
上に第１のヨーク２２が形成されている。第１のヨーク
２２上を第１の絶縁層２３で平坦化した後、第２の絶縁
層２４を介してＭＲ素子２５が形成される。ＭＲ素子２
５にセンス電流を印加するため、リード層（図示せず）
がＭＲ素子２５の両端に形成され、第３の絶縁層２６を
介してバイアス層２７が形成され、第４の絶縁層２８を
介して第２のヨークとなる第１の磁性層２９が形成され
る。
【００２０】第１のヨーク２２は再生トラック幅を規制
するため、所定の形状にパターニングされており、第１
の磁性層２９は形成した直後においてはその表面に再生
用ヘッドの凹凸がそのまま転写されているため、本実施
例では第１の磁性層２９を形成後、平坦化下地層３０を
第１の磁性層２９の膜厚以上に形成したのち、その表面
が平坦になるようにラップにより加工している。再生用
ヘッドの前部ギャップ部３１では第４の絶縁層２８によ
りギャップ長を規制し、後部ギャップ部３２では第１の
ヨーク２２と第１の磁性層２９が磁気的に結合している
。
【００２１】記録用ヘッドであるインダクティブ型ヘッ
ドは第１の磁性層２９上に、第５の絶縁層３３を介して
コイル層３４が形成され、第６の絶縁層３５を介して第
２の磁性層３６が形成されている。記録用ヘッドの前部
ギャップ部３７では第６の絶縁層３５によりギャップ長
を規制し、後部ギャップ部３８では第１の磁性層２９と
第２の磁性層３６が磁気的に結合している。第２の磁性
層３６は記録トラック幅を規制するため、所定の形状に
パターニングされている。
【００２２】次に動作について説明すると、記録時には
コイル層３４に記録電流が印加され、この電流に誘起さ
れた信号磁界が第１の磁性層２９、第２の磁性層３６か
らなる磁気回路を流れ、記録用ヘッドの前部ギャップ部
３７で漏洩する磁界によりテープ上に記録する。
【００２３】再生時にはＭＲ素子２５にバイアス磁界を
印加するためバイアス層２７には直流電流が印加されて
おり、テープ上の信号磁界が再生用ヘッドの前部ギャッ
プ部３１から流入し、この磁界が第１のヨーク２２、第
１の磁性層２９、ＭＲ素子２５からなる磁気回路を流れ
、ＭＲ素子２５において電磁変換が行なわれ、リード層
によりその読み出しが行なわれる。
【００２４】そして記録用ヘッドの第１の磁性層と再生
用ヘッドの第２のヨークを兼用しているので、記録用ヘ
ッドの磁性層はシールドとして作用しないため、長波長
の信号も良好に再生できる。
【００２５】また、バイアス端子、リード端子取り出し
部を形成するために、平坦化下地層３０をエッチングし
てバイアス層２７、リード層（図示せず）を露出させな
ければならないが、平坦化下地層３０の膜厚は第１の磁
性層２９と同じ膜厚であるのでエッチングも容易に行な
うことが可能である。
【００２６】
【発明の効果】以上のように本発明による複合型薄膜磁
気ヘッドでは、記録用ヘッドの上部磁性層と再生用ヘッ
ドの下部磁性層を兼用しているので、記録用ヘッドの磁
性層はシールドとして作用しないため、長波長の信号も
良好に再生できるという効果を有する。
【００２７】また、下層に形成された記録用ヘッドのコ
イル端子、または再生用ヘッドのバイアス端子、リード
端子の取り出し部の形成は、平坦化下地層の膜厚が従来
より小さいため、エッチングにより容易に形成できると
いう効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例における複合型薄膜磁気ヘ
ッドの断面図である。
【図２】本発明の第２実施例における複合型薄膜磁気ヘ
ッドの断面図である。
【図３】従来例における複合型薄膜磁気ヘッドの断面図
である。
【符号の説明】
１　　磁性基板 ２　　第１の絶縁層 ３　　コイル層 ４　　第２の絶縁層 ５　　第２の磁性層 ６　　前部ギャップ部 ７　　後部ギャップ部 ８　　平坦化下地層 ９　　第３の絶縁層 １０　　バイアス層 １１　　第４の絶縁層 １２　　ＭＲ素子 １３　　第５の絶縁層 １４　　第１のヨーク １５　　前部ギャップ部 １６　　後部ギャップ部 ２１　　非磁性基板 ２２　　第１のヨーク ２３　　第１の絶縁層 ２４　　第２の絶縁層 ２５　　ＭＲ素子 ２６　　第３の絶縁層 ２７　　バイアス層 ２８　　第４の絶縁層 ２９　　第１の磁性層 ３０　　平坦化下地層 ３１　　前部ギャップ部 ３２　　後部ギャップ部 ３３　　第５の絶縁層 ３４　　コイル層 ３５　　第６の絶縁層 ３６　　第２の磁性層 ３７　　前部ギャップ部 ３８　　後部ギャップ部

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　基板上に第１の磁性層と導電コイルと
    第２の磁性層とからなる記録用薄膜磁気ヘッドと、第１
    のヨークと第２のヨークを具備し前記第１のヨークの一
    部を電磁変換素子たる磁気抵抗効果素子で置換した再生
    用薄膜磁気ヘッドが積層した構造を有する複合型薄膜磁
    気ヘッドであって、前記記録用薄膜磁気ヘッドの前記第
    １の磁性層または前記第２の磁性層を前記再生用薄膜磁
    気ヘッドの第２のヨークと兼用することを特徴とする複
    合型薄膜磁気ヘッド。
JP3126316A 1991-05-30 1991-05-30 複合型薄膜磁気ヘッド Pending JPH04351706A (ja)

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JP3126316A JPH04351706A (ja) 1991-05-30 1991-05-30 複合型薄膜磁気ヘッド
EP92108793A EP0516022B1 (en) 1991-05-30 1992-05-25 Integrated thin film magnetic head
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US08/332,048 US5535079A (en) 1991-05-30 1994-11-01 Integrated thin film magnetic head

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