JPS6163545A - コーチングガラスおよびその製法 - Google Patents
コーチングガラスおよびその製法Info
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- JPS6163545A JPS6163545A JP60178484A JP17848485A JPS6163545A JP S6163545 A JPS6163545 A JP S6163545A JP 60178484 A JP60178484 A JP 60178484A JP 17848485 A JP17848485 A JP 17848485A JP S6163545 A JPS6163545 A JP S6163545A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
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- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
- C03C17/3417—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials all coatings being oxide coatings
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
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- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/133337—Layers preventing ion diffusion, e.g. by ion absorption
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
未発□明は、ガラスの表面からアルカリ金属イオンが移
行するのを阻止するコーチングを表面に施したガラスの
製法および用途、ならびにこのようなコーチングガラス
を利用した関連製品に関するものである。
行するのを阻止するコーチングを表面に施したガラスの
製法および用途、ならびにこのようなコーチングガラス
を利用した関連製品に関するものである。
アルカリ金属イオンがガラス表面からコーチング内部へ
移行する結果、ガラスの表面に施したコーチングが劣化
することがあることは知られている。たとえば、英国特
許第７０５，９３４号明細書には。
移行する結果、ガラスの表面に施したコーチングが劣化
することがあることは知られている。たとえば、英国特
許第７０５，９３４号明細書には。
ソーダ石炭石英ガラスに施した透明電尋性コーチングが
曇る現象について述べられている。この曇り現象は、電
導性コーチング処理をする前に、ガラス表面からアルカ
リ金属イオンを除去することによって減少させうるであ
ろうし、あるいはまた、電導性コーチング処理をする前
に、シリカや酸化チタン等を中間被膜として付加するこ
とによっても減少させうるであろう。シリカ被膜は、ま
ず揮発性非水溶液とした４塩化珪素、４臭化珪素または
シリコクロロホルムをガラスと反応させ、大気にさらし
コーチングを乾燥させた後、コーチング面が輝くまで磨
いて仕上げる。あるいは、ガラス板を１部分的に加水分
解した珪酸エステル、たとえばエチルオルト珪酸塩の溶
液に浸してから乾燥しても、シリカ被膜を作ることがで
きる。
曇る現象について述べられている。この曇り現象は、電
導性コーチング処理をする前に、ガラス表面からアルカ
リ金属イオンを除去することによって減少させうるであ
ろうし、あるいはまた、電導性コーチング処理をする前
に、シリカや酸化チタン等を中間被膜として付加するこ
とによっても減少させうるであろう。シリカ被膜は、ま
ず揮発性非水溶液とした４塩化珪素、４臭化珪素または
シリコクロロホルムをガラスと反応させ、大気にさらし
コーチングを乾燥させた後、コーチング面が輝くまで磨
いて仕上げる。あるいは、ガラス板を１部分的に加水分
解した珪酸エステル、たとえばエチルオルト珪酸塩の溶
液に浸してから乾燥しても、シリカ被膜を作ることがで
きる。
欧州特許第Ｅ Ｐ ００７１８６５Ａ ３号明細書でも
、同様に、アルカリ金属イオンがガラス表面に拡散し。
、同様に、アルカリ金属イオンがガラス表面に拡散し。
アルカリ金属に侵されやすい表皮層と反応する結果、ソ
ーダ石炭石英ガラスの電導性コーチングが曇ってくる現
象について関心を示している。この明細書では、電導性
層が白濁すること、透明度が低下すること、電気抵抗が
増大すること、またこのような拡散の当然の結果として
物理化学的耐久性が低下することなどが述べられている
。さらに、ガラス支持体からアルカリ金属イオンが拡散
する結果として、液晶表示装置、エレクトロクロミンク
装置や非晶質珪素光電池等の性能劣化についても言及し
ている。この種の装置には、一般的にガラスの上に電導
性層たとえばインジウム・錫酸化物等の被覆を施すが、
欧州特許第ＥＰ ００７１８６５Ａ ３号明細書には（電導性層に及ぼす
アルカリ金属イオンの直接的影響のほかに）電導性層を
覆う表皮層とアルカリ金属イオンが反応する結果として
もたらされる影響についても記載しである。
ーダ石炭石英ガラスの電導性コーチングが曇ってくる現
象について関心を示している。この明細書では、電導性
層が白濁すること、透明度が低下すること、電気抵抗が
増大すること、またこのような拡散の当然の結果として
物理化学的耐久性が低下することなどが述べられている
。さらに、ガラス支持体からアルカリ金属イオンが拡散
する結果として、液晶表示装置、エレクトロクロミンク
装置や非晶質珪素光電池等の性能劣化についても言及し
ている。この種の装置には、一般的にガラスの上に電導
性層たとえばインジウム・錫酸化物等の被覆を施すが、
欧州特許第ＥＰ ００７１８６５Ａ ３号明細書には（電導性層に及ぼす
アルカリ金属イオンの直接的影響のほかに）電導性層を
覆う表皮層とアルカリ金属イオンが反応する結果として
もたらされる影響についても記載しである。
欧州特許第Ｅ Ｐ ００７１８６５ Ａ、 ３号明細書
では、珪素と結合した水素を含む酸化珪素のバリヤ層を
使って、ガラス支持体からのアルカリ金属イオンの拡散
を阻止する方法が提案されている。バリヤ層を作るには
、真空蒸着法、スパッター法、イオンめっき法、ゾル／
ゲル法あるいは化学的蒸着法等が可能である。明細書に
開示された化学的蒸着法は、温度３００〜５５０℃の酸
化条件下、○、： ５ｉｎ４が１０：１〜６０：１の比
率であるような酸素ガスとモノシランガス（ＳｉＨ４）
から、ガラス表面上に酸化珪素層を蒸着させる方法であ
る。
では、珪素と結合した水素を含む酸化珪素のバリヤ層を
使って、ガラス支持体からのアルカリ金属イオンの拡散
を阻止する方法が提案されている。バリヤ層を作るには
、真空蒸着法、スパッター法、イオンめっき法、ゾル／
ゲル法あるいは化学的蒸着法等が可能である。明細書に
開示された化学的蒸着法は、温度３００〜５５０℃の酸
化条件下、○、： ５ｉｎ４が１０：１〜６０：１の比
率であるような酸素ガスとモノシランガス（ＳｉＨ４）
から、ガラス表面上に酸化珪素層を蒸着させる方法であ
る。
英国特許第２，０３１，７５６８号明細書には、ガラス
上に半導体金属酸化物の赤外線反射コーチングを施した
ときに現れる真珠光沢を減少させるための色彩減衰層と
して、酸化珪素を含む金属酸化物の層を利用することが
述べられている６半導体金属酸化物は、弗素添加酸化錫
を用いればよいが、前記明細書には、ガラスからのアル
カリ金属イオンの拡散を阻止し、これによって酸化錫層
の上に引続き沈着する層に曇りが生じるのを避けるのに
有効な非晶質酸化珪素層の既知の効果についても記載し
である。英国特許第２，０３１，７５６Ｂ号明細書に述
へである色彩減衰層は１．７〜１．８の屈折率をもち、
厚さは６４〜８０ｎｍである。酸化珪素を含有する層は
、酸化性ガスの存在下、シランを用い３００〜５００℃
の加熱ガラス上に化学的蒸着を行なって形成する。
上に半導体金属酸化物の赤外線反射コーチングを施した
ときに現れる真珠光沢を減少させるための色彩減衰層と
して、酸化珪素を含む金属酸化物の層を利用することが
述べられている６半導体金属酸化物は、弗素添加酸化錫
を用いればよいが、前記明細書には、ガラスからのアル
カリ金属イオンの拡散を阻止し、これによって酸化錫層
の上に引続き沈着する層に曇りが生じるのを避けるのに
有効な非晶質酸化珪素層の既知の効果についても記載し
である。英国特許第２，０３１，７５６Ｂ号明細書に述
へである色彩減衰層は１．７〜１．８の屈折率をもち、
厚さは６４〜８０ｎｍである。酸化珪素を含有する層は
、酸化性ガスの存在下、シランを用い３００〜５００℃
の加熱ガラス上に化学的蒸着を行なって形成する。
英国特許第１，５０７，４６５号明細書には１審美的に
優れた銀鏡反射色をもった太陽光抑制ガラスを作るだめ
に、平板ガラスに珪素の反射コーチングを施す方法が開
示されている。この方法は、ガラス表面に向って開口し
ている高温域にシランガスを送り、この高温域を非酸化
条件に保持して、熱分解されたシランをガラス表面上の
反射性珪素コーチングとして蒸着させるコーチング法で
ある。英国特許第１，５７３，１５４号明細書には、先
行する第１．５０７，６４５号明細書に述べられた反射
型太陽光抑制ガラスの製法についての改良が開示されて
いるこの改良法によれば、ガス状電子供与剤たとえばエ
チレンを、シラン含有ガスに加えると、外部のアルカリ
により侵食に対するコーチングガラスの抵抗性が増大す
るという予期せざる効果がもたらされる。電子供与剤と
シランとの比は、一般的に０．１〜２．０であり、好適
には０．２〜０．５である。ただしこの明細書中では、
比が２．５以上、たとえば５である場合についても言及
しており、このような場合にはアルカリに強い珪素コー
チングであって、耐摩耗性の非常に高いものができるが
、電子供与剤を使用し−ないときに得られる可視光に対
する高い反射率は犠牲になってしまう。このようなコー
チングは建築用ガラスに利用されるものであり、実施例
としては、厚さ６ｎｎのソーダ石炭石莢ガラスに、フロ
ート法およびロール成形法の両場合についてコーチング
を施す方法が説明されている。
優れた銀鏡反射色をもった太陽光抑制ガラスを作るだめ
に、平板ガラスに珪素の反射コーチングを施す方法が開
示されている。この方法は、ガラス表面に向って開口し
ている高温域にシランガスを送り、この高温域を非酸化
条件に保持して、熱分解されたシランをガラス表面上の
反射性珪素コーチングとして蒸着させるコーチング法で
ある。英国特許第１，５７３，１５４号明細書には、先
行する第１．５０７，６４５号明細書に述べられた反射
型太陽光抑制ガラスの製法についての改良が開示されて
いるこの改良法によれば、ガス状電子供与剤たとえばエ
チレンを、シラン含有ガスに加えると、外部のアルカリ
により侵食に対するコーチングガラスの抵抗性が増大す
るという予期せざる効果がもたらされる。電子供与剤と
シランとの比は、一般的に０．１〜２．０であり、好適
には０．２〜０．５である。ただしこの明細書中では、
比が２．５以上、たとえば５である場合についても言及
しており、このような場合にはアルカリに強い珪素コー
チングであって、耐摩耗性の非常に高いものができるが
、電子供与剤を使用し−ないときに得られる可視光に対
する高い反射率は犠牲になってしまう。このようなコー
チングは建築用ガラスに利用されるものであり、実施例
としては、厚さ６ｎｎのソーダ石炭石莢ガラスに、フロ
ート法およびロール成形法の両場合についてコーチング
を施す方法が説明されている。
電子供与剤としてエチレンを用いたコーチングの分析を
行ってみたら、非酸化性条件下で処理したにも拘らず、
コーチングには若干の酸素が含まれていることが判明し
た。
行ってみたら、非酸化性条件下で処理したにも拘らず、
コーチングには若干の酸素が含まれていることが判明し
た。
本発明者は、英国特許第１，５７３，１５４号明細書に
述べであるような電子供与剤を高い比率で加え。
述べであるような電子供与剤を高い比率で加え。
薄い透明コーチングを作ってみたところ、コーチングに
はガラスから移った酸素が含まれていたが。
はガラスから移った酸素が含まれていたが。
さらに驚くべきことには、このコーチングはガラス表面
からのアルカリ金属イオンの移行に対するバリヤ（阻止
障壁）として有効であることを発見した。このようにし
て得られたコーチングガラスは、アルカリ金属イオンと
反応しやすい表皮層（バリヤ被膜の上に直接被覆する形
式でも、あるいは中間層を介して被覆する形式であって
も）に対する支持体として非常に有効である。
からのアルカリ金属イオンの移行に対するバリヤ（阻止
障壁）として有効であることを発見した。このようにし
て得られたコーチングガラスは、アルカリ金属イオンと
反応しやすい表皮層（バリヤ被膜の上に直接被覆する形
式でも、あるいは中間層を介して被覆する形式であって
も）に対する支持体として非常に有効である。
本発明は、ガラスと被覆層との間に、シランガスの熱分
解によって得られた珪素と酸素とを含む透明バリヤコー
チングを施して、アルカリ金属イオンを含むガラスから
、被覆層へのアルカリ金属イオンの拡散を減少させる方
法において、シランをガス状電子供与剤の存在下６００
℃以上でガラス表面上にて熱分解し、そのさいガラスか
らのｖ１素が珪素と協働し、ガラス表面上に厚さ５０ｎ
ｍまでの透明バリヤコーチングを形成することを特徴と
するコーチングガラスの製造方法を提供するものである
。
解によって得られた珪素と酸素とを含む透明バリヤコー
チングを施して、アルカリ金属イオンを含むガラスから
、被覆層へのアルカリ金属イオンの拡散を減少させる方
法において、シランをガス状電子供与剤の存在下６００
℃以上でガラス表面上にて熱分解し、そのさいガラスか
らのｖ１素が珪素と協働し、ガラス表面上に厚さ５０ｎ
ｍまでの透明バリヤコーチングを形成することを特徴と
するコーチングガラスの製造方法を提供するものである
。
ここに”透明バリヤコーチングなる表現は、厚メμまで
の透明フロートガラスの上に施され、その結果として少
なくとも７５％の光透過率をもったコーチングガラスが
得られた場合におけるそのコーチングを指すものとする
。
の透明フロートガラスの上に施され、その結果として少
なくとも７５％の光透過率をもったコーチングガラスが
得られた場合におけるそのコーチングを指すものとする
。
本発明はさらに、シランガスをガス状電子供与剤の存在
下６００℃以上でガラス表面上にて熱分解し、そのさい
ガラスからの酸素が珪素と協働し、ガラス表面上に珪素
と酸素とを含み厚さ５０ｎｍまでの透明バリヤコーチン
グを形成し、次いでこのコーチングガラス表面の上にガ
ラスから拡散するアルカリ金属イオンと反応しやすい層
を被覆することから成るアルカリ金属イオンを含むガラ
スのコーチング方法をも提供する。
下６００℃以上でガラス表面上にて熱分解し、そのさい
ガラスからの酸素が珪素と協働し、ガラス表面上に珪素
と酸素とを含み厚さ５０ｎｍまでの透明バリヤコーチン
グを形成し、次いでこのコーチングガラス表面の上にガ
ラスから拡散するアルカリ金属イオンと反応しやすい層
を被覆することから成るアルカリ金属イオンを含むガラ
スのコーチング方法をも提供する。
ガラスから拡散するアルカリ金属イオンに侵されやすい
被覆層としては、金属酸化物をドープして作った光透過
性層がある。
被覆層としては、金属酸化物をドープして作った光透過
性層がある。
電子供与剤とは、結合状態の電子であれ孤立電子対であ
れ、電子を含んだ物質であって、適当な電子受容体分子
の電子構造に電子を供与するような物質をいう。結合状
態の供与電子を含む電子供与剤の例としては、不飽和炭
化水素、特にオレフィン（アルケン）やアセチレン（ア
ルキン）がある。たとえば、エチレン、ブタジェン、ペ
ンテン、ジフルオロエチレンおよびアセチレン（Ｃ２Ｈ
２）である。さらに芳香族炭化水素たとえば、ベンゼン
やキシレンも例としてあげることができる。つぎに孤立
電子対の形で供与電子を含んだ電子供与剤の例としては
、エーテル、アミン、アルデヒド、ケトン、アルコール
、窒素の水素化物、１酸化炭素および２ｊ！９化炭素が
あげられる６便利さから言えば１通常の周囲条件下でガ
ス状を呈する電子供与剤が好都合である。ただし、この
条件を満たさない電子供与剤であっても、６０℃にお番
プる蒸気圧が少なくとも５ｋＰａであるようなものは、
それほどの困難なしに使える。
れ、電子を含んだ物質であって、適当な電子受容体分子
の電子構造に電子を供与するような物質をいう。結合状
態の供与電子を含む電子供与剤の例としては、不飽和炭
化水素、特にオレフィン（アルケン）やアセチレン（ア
ルキン）がある。たとえば、エチレン、ブタジェン、ペ
ンテン、ジフルオロエチレンおよびアセチレン（Ｃ２Ｈ
２）である。さらに芳香族炭化水素たとえば、ベンゼン
やキシレンも例としてあげることができる。つぎに孤立
電子対の形で供与電子を含んだ電子供与剤の例としては
、エーテル、アミン、アルデヒド、ケトン、アルコール
、窒素の水素化物、１酸化炭素および２ｊ！９化炭素が
あげられる６便利さから言えば１通常の周囲条件下でガ
ス状を呈する電子供与剤が好都合である。ただし、この
条件を満たさない電子供与剤であっても、６０℃にお番
プる蒸気圧が少なくとも５ｋＰａであるようなものは、
それほどの困難なしに使える。
電子供与剤を使ってみた結果、反応の態様は不明である
が、ガラスからの酸素と、シランからの珪素とが協働し
、ガラスの上に透明なバリヤコーチングが形成されると
いう事実が判明した。反応の詳細なメカニズムはまだ解
明されていないが、ガラス表面に電子供与剤が吸収され
ることは確かである。
が、ガラスからの酸素と、シランからの珪素とが協働し
、ガラスの上に透明なバリヤコーチングが形成されると
いう事実が判明した。反応の詳細なメカニズムはまだ解
明されていないが、ガラス表面に電子供与剤が吸収され
ることは確かである。
このように、熱分解が全く酸素を含まないガス中で行な
われるにも拘らず、珪素とガラスから出てきた酸素とを
含有する透明なコーチングが得られ、これは光の反射性
をもった珪素コーチングとは別物である。
われるにも拘らず、珪素とガラスから出てきた酸素とを
含有する透明なコーチングが得られ、これは光の反射性
をもった珪素コーチングとは別物である。
ガラスから酸素を含有する化学種が移行する割合は、ガ
ラスの温度に左右される。したがって、ガラスからの酸
素含有種の利用率を高めるためには、ガラス温度を６０
０℃以上にしてコーチングを行なえばよい。
ラスの温度に左右される。したがって、ガラスからの酸
素含有種の利用率を高めるためには、ガラス温度を６０
０℃以上にしてコーチングを行なえばよい。
透明バリヤコーチング内の酸素のすべてをガラスから得
る必要ななく、その一部を電子供与剤から求めてもよい
。コーチング処理が終了してがらち、コーチングしたガ
ラスを大気中の酸素にさらすと、ある程度の酸化が起る
。しかしながら、酸素を含まない電子供与剤、あるいは
ある程度の酸素を含んでいても一般に還元性であるとみ
なされるような電子供与剤、たとえば１酸化炭素とがア
ルコール等を使うのがよい。一般論として、酸素含有カ
スは、シランが高温のガラス表面に到達する以前に、シ
ランと反応し、酸化珪素の粉末状付着層ができてしまう
。したがって酸素含有ガスの使用は避けた方が賢明であ
る。特に、酸素が分子状で存在するものは、避けるべき
である。
る必要ななく、その一部を電子供与剤から求めてもよい
。コーチング処理が終了してがらち、コーチングしたガ
ラスを大気中の酸素にさらすと、ある程度の酸化が起る
。しかしながら、酸素を含まない電子供与剤、あるいは
ある程度の酸素を含んでいても一般に還元性であるとみ
なされるような電子供与剤、たとえば１酸化炭素とがア
ルコール等を使うのがよい。一般論として、酸素含有カ
スは、シランが高温のガラス表面に到達する以前に、シ
ランと反応し、酸化珪素の粉末状付着層ができてしまう
。したがって酸素含有ガスの使用は避けた方が賢明であ
る。特に、酸素が分子状で存在するものは、避けるべき
である。
本発明の好適な実施態様としての電子供与剤は、酸素を
含まないものである。使用に適する酸素非含有電子供与
剤の例としては、不飽和炭化水素、芳香族炭化水素、ア
ミンおよび窒素の水素化物をあげることができる。
含まないものである。使用に適する酸素非含有電子供与
剤の例としては、不飽和炭化水素、芳香族炭化水素、ア
ミンおよび窒素の水素化物をあげることができる。
ガラスから得られる酸素含有種の量は限られているので
、酸素を含まない電子供与剤を用いて作った透明コーチ
ングの厚さには限界がある。ところで、本発明は、珪素
と酸素とを含む透明バリヤコーチングであって特に５０
ｎｍ（ナノメートルｌｎｍ＝１０−’ｍ）に至る厚さを
もった透明バリヤコーチングに係るものである。
、酸素を含まない電子供与剤を用いて作った透明コーチ
ングの厚さには限界がある。ところで、本発明は、珪素
と酸素とを含む透明バリヤコーチングであって特に５０
ｎｍ（ナノメートルｌｎｍ＝１０−’ｍ）に至る厚さを
もった透明バリヤコーチングに係るものである。
透明コーチングを作るのに必要な電子供与剤対シランの
割合は、使用する特定の電子供与剤によって左右される
が、その電子供与剤とシランとの割合は、所望の光透過
性コーチングができるまで割合を増してゆくという簡単
な実験によって容易に求めることができる。ガス状電子
供与剤対シランの適当な割合は、一般に容量比で０．５
： １〜１５：ｌの範囲内にある。オレフィンを使用
した場合、オレフィンニジランの比を、３：１〜１０：
ｌにすると、最良の結果が得られることがわかった。
割合は、使用する特定の電子供与剤によって左右される
が、その電子供与剤とシランとの割合は、所望の光透過
性コーチングができるまで割合を増してゆくという簡単
な実験によって容易に求めることができる。ガス状電子
供与剤対シランの適当な割合は、一般に容量比で０．５
： １〜１５：ｌの範囲内にある。オレフィンを使用
した場合、オレフィンニジランの比を、３：１〜１０：
ｌにすると、最良の結果が得られることがわかった。
ある種の酸素非含有電子供与剤をシランに対して過剰に
使ってみたところ、コーチングの形成が阻害されること
がわかった。したがってこのような過剰使用は避けるべ
きである。過剰使用となる割合は、使用する電子供与剤
の種類によって異なるが、これは簡単な実験で容易に判
別できる。
使ってみたところ、コーチングの形成が阻害されること
がわかった。したがってこのような過剰使用は避けるべ
きである。過剰使用となる割合は、使用する電子供与剤
の種類によって異なるが、これは簡単な実験で容易に判
別できる。
本発明に係る透明バリヤコーチングは、自由酸素や一般
に酸化剤とみなされるような化合物が存在しない状態で
作る。このようにすれば、板ガラス製造用の溶融金属浴
上をフロートガラスが進行してゆく途中で、この帯状フ
ロートガラスにバリヤコーチングを施しても、溶融全屈
が酸化してしまうという不都合な危険を回避できる。ガ
ラスの温度が６００〜７５０℃の範囲で、コーチングを
するとよい。特に、６００〜７００℃の範囲のガラス温
度が好適である。
に酸化剤とみなされるような化合物が存在しない状態で
作る。このようにすれば、板ガラス製造用の溶融金属浴
上をフロートガラスが進行してゆく途中で、この帯状フ
ロートガラスにバリヤコーチングを施しても、溶融全屈
が酸化してしまうという不都合な危険を回避できる。ガ
ラスの温度が６００〜７５０℃の範囲で、コーチングを
するとよい。特に、６００〜７００℃の範囲のガラス温
度が好適である。
英国特許第１，５０７，４６５号明細書に開示しである
ような帰流状態での板ガラス製造法および製造装置を利
用して、バリヤコーチングを施することができる。−好
適には、使用するシランとして、モノシランを選び、こ
れを不活性ガスたとえば窒素と混合して用いるとよい６ 本発明で用いるコーチングは、アルカリ金属イオンの移
行に対する阻止障壁として甚だ有効であって、厚１５ｎ
ｍのコーチングでも優れた効果を奏し、さらに薄いたと
えば５ｎｍ以下のコーチングでも、バリヤとしての有効
性を保っている。
ような帰流状態での板ガラス製造法および製造装置を利
用して、バリヤコーチングを施することができる。−好
適には、使用するシランとして、モノシランを選び、こ
れを不活性ガスたとえば窒素と混合して用いるとよい６ 本発明で用いるコーチングは、アルカリ金属イオンの移
行に対する阻止障壁として甚だ有効であって、厚１５ｎ
ｍのコーチングでも優れた効果を奏し、さらに薄いたと
えば５ｎｍ以下のコーチングでも、バリヤとしての有効
性を保っている。
用途によっては、高い透明度が要求されることがある。
このような場合、コーチングは厚さ６ｍに達する透明フ
ロートガラスの上に被覆されるのであるから、少なくと
も８０％の光透過率を備えていることが好ましい。さら
に、ある種の用途に対しては、バリヤコーチング自体が
外部からのアルカリに対して十分な抵抗性をもつことが
望まれる。本発明者は、有機物質である電子供与剤を用
いて作ったコーチングには、かなりの量の炭素が含まれ
、そして外部のアルカリによる侵食に対し優れた耐久性
を示すことを発見した。
ロートガラスの上に被覆されるのであるから、少なくと
も８０％の光透過率を備えていることが好ましい。さら
に、ある種の用途に対しては、バリヤコーチング自体が
外部からのアルカリに対して十分な抵抗性をもつことが
望まれる。本発明者は、有機物質である電子供与剤を用
いて作ったコーチングには、かなりの量の炭素が含まれ
、そして外部のアルカリによる侵食に対し優れた耐久性
を示すことを発見した。
バリヤコーチングの蒸着を行なった後に、ガラスから拡
散してくるアルカリ金属イオンに侵されやすい表皮層を
、バリヤコーチングの上に被覆する。この種の層は、コ
ーチングを施した表面の上に、液体状または固体状の反
応物を周知の方法たとえばスパッター、化学的蒸着また
はスプレー等によって被覆する。
散してくるアルカリ金属イオンに侵されやすい表皮層を
、バリヤコーチングの上に被覆する。この種の層は、コ
ーチングを施した表面の上に、液体状または固体状の反
応物を周知の方法たとえばスパッター、化学的蒸着また
はスプレー等によって被覆する。
本発明に係るバリヤコーチングを施したガラスは、アル
カリ金属イオンを含むガラスから、アルカリ金属イオン
に侵されやすい表皮層へ、アルカリ金属イオンが拡散す
ると、不都合である場合に利用される。この場合、アル
カリ金属イオンに弱い表皮層が、バリヤコーチングの上
に有接被覆されるか、あるいは中間層を介して被覆され
るかは問わない。表皮層としては、光を透過しかつ電気
伝導性を備えた金属酸化物のコーチングが多い。
カリ金属イオンを含むガラスから、アルカリ金属イオン
に侵されやすい表皮層へ、アルカリ金属イオンが拡散す
ると、不都合である場合に利用される。この場合、アル
カリ金属イオンに弱い表皮層が、バリヤコーチングの上
に有接被覆されるか、あるいは中間層を介して被覆され
るかは問わない。表皮層としては、光を透過しかつ電気
伝導性を備えた金属酸化物のコーチングが多い。
商業ｇ瘍途に適したこの種のコーチングは、５ｏＯΩ／
□以下の表面電気抵抗をもっているのが一般的であるが
、用途によってはそれよりも小さい表面電気抵抗たとえ
ば５０Ω／□以下を要求されることもあり、このような
場合には、できるだけ表面電気抵抗が小さく、シがも十
分な光学的性質を備えたコーチングを採用する。前に引
用した欧州鮎詐第Ｅ Ｐ ００７１８６５Ａ ３号明細
書によれば、この種のコーチングは、塗布基板としての
ガラス支持体からのアルカリ金属イオンの拡散によって
劣化しやすく、光の透過率が低下すると共に、電気伝導
度も減少してゆく。光の透過性と電導性とを兼ね備えた
金属酸化物の例としては、ドープした金属酸化物があり
、これには錫と共にドープした酸化インジウムが含まれ
、通常はスパッターによって表面に沈着させる。さらに
酸化錫、特に弗素を添加した酸化錫のドープは、スパッ
ターによる沈着、あるいは化学的蒸着、あるいは溶液状
か粉末状のスプレーによって処理する。電導性をもった
層の厚さは、必要とされる電気伝導度によって異なって
くるが、通常は５０〜１５００ｎｍの範囲内にある。
□以下の表面電気抵抗をもっているのが一般的であるが
、用途によってはそれよりも小さい表面電気抵抗たとえ
ば５０Ω／□以下を要求されることもあり、このような
場合には、できるだけ表面電気抵抗が小さく、シがも十
分な光学的性質を備えたコーチングを採用する。前に引
用した欧州鮎詐第Ｅ Ｐ ００７１８６５Ａ ３号明細
書によれば、この種のコーチングは、塗布基板としての
ガラス支持体からのアルカリ金属イオンの拡散によって
劣化しやすく、光の透過率が低下すると共に、電気伝導
度も減少してゆく。光の透過性と電導性とを兼ね備えた
金属酸化物の例としては、ドープした金属酸化物があり
、これには錫と共にドープした酸化インジウムが含まれ
、通常はスパッターによって表面に沈着させる。さらに
酸化錫、特に弗素を添加した酸化錫のドープは、スパッ
ターによる沈着、あるいは化学的蒸着、あるいは溶液状
か粉末状のスプレーによって処理する。電導性をもった
層の厚さは、必要とされる電気伝導度によって異なって
くるが、通常は５０〜１５００ｎｍの範囲内にある。
透明な電導性金属酸化物、たとえば錫添加酸化インジウ
ムや弗素添加酸化錫は１通常赤外線放射を反射するので
、熱を建物内へ反射する窓ガラス用コーチングとして優
れている。この種のコーチングを赤外線反射被膜として
使った場合、一般的には２００〜１１０００ｎの範囲の
厚さである。
ムや弗素添加酸化錫は１通常赤外線放射を反射するので
、熱を建物内へ反射する窓ガラス用コーチングとして優
れている。この種のコーチングを赤外線反射被膜として
使った場合、一般的には２００〜１１０００ｎの範囲の
厚さである。
かくて１本発明はさらにガス状電子供与剤の存在下６０
０℃以上でガラス表面上にてシランガスの熱分解を行な
い珪素および酸素を含み厚さ５０ｎｍまでの透明バリヤ
コーチングを施したアルカリ金属イオン含有ガラス支持
体を含み、そのさいガラスからの酸素が珪素と協働して
ガラス表面上に透明バリヤコーチングを形成し、さらに
バリヤコーチング上に５００Ω／□以下の表面電気抵抗
をもった電導性金属酸化物層をも被覆した電導性コーチ
ングガラスを提供する。電導性金属酸化物被覆層には、
光透過性をもたせることができ、それにはドープした金
属酸化物を用いればよい。
０℃以上でガラス表面上にてシランガスの熱分解を行な
い珪素および酸素を含み厚さ５０ｎｍまでの透明バリヤ
コーチングを施したアルカリ金属イオン含有ガラス支持
体を含み、そのさいガラスからの酸素が珪素と協働して
ガラス表面上に透明バリヤコーチングを形成し、さらに
バリヤコーチング上に５００Ω／□以下の表面電気抵抗
をもった電導性金属酸化物層をも被覆した電導性コーチ
ングガラスを提供する。電導性金属酸化物被覆層には、
光透過性をもたせることができ、それにはドープした金
属酸化物を用いればよい。
同様に１本発明はさらに、ガス状電子供与剤の存在下６
００℃以上でガラス表面上にてシランガスの熱分解を行
なって珪素および酸素を含み厚さ５０ｎｍまでの透明バ
リヤコーチングを施したアルカリ金属イオン含有ガラス
支持体を含み、そのさいガラスからの酸素が珪素と協働
してガラス表面上に透明バリヤコーチングを形成し、さ
らにバリヤコーチングの上に光を透過しかつ赤外線を反
射する金属酸化物ドープ層を被覆した赤外線反射用コー
チングガラスを提供する。
００℃以上でガラス表面上にてシランガスの熱分解を行
なって珪素および酸素を含み厚さ５０ｎｍまでの透明バ
リヤコーチングを施したアルカリ金属イオン含有ガラス
支持体を含み、そのさいガラスからの酸素が珪素と協働
してガラス表面上に透明バリヤコーチングを形成し、さ
らにバリヤコーチングの上に光を透過しかつ赤外線を反
射する金属酸化物ドープ層を被覆した赤外線反射用コー
チングガラスを提供する。
バリヤコーチングを施したガラスは、複雑な構造に利用
したとき、さらに長所を発揮する。たとえば、液晶表示
装置における電導性金属酸化物被膜の支持体として利用
す場合である。この装置は、相対した２枚の電導性層の
中間に液晶材料を介在させ、各電導性層の上に配向層を
配置して成り。
したとき、さらに長所を発揮する。たとえば、液晶表示
装置における電導性金属酸化物被膜の支持体として利用
す場合である。この装置は、相対した２枚の電導性層の
中間に液晶材料を介在させ、各電導性層の上に配向層を
配置して成り。
電導性層の少なくとも１枚は光透過性を備えた層であっ
て、この層は電導性層とガラスとの間にバリヤコーチン
グを施したガラスの上に支持しである。このような場合
、バリヤコーチングは、単に電導性金属酸化物層がガラ
スからのアルカリ金属イオンによって直接腐食されるの
を防止するだけでなく、アルカリ金属イオンが電導性金
属酸化物層を通って液晶材料内まで拡散し、その結果と
して望ましからざる電気化学的反応が起ることをも防止
するのである。
て、この層は電導性層とガラスとの間にバリヤコーチン
グを施したガラスの上に支持しである。このような場合
、バリヤコーチングは、単に電導性金属酸化物層がガラ
スからのアルカリ金属イオンによって直接腐食されるの
を防止するだけでなく、アルカリ金属イオンが電導性金
属酸化物層を通って液晶材料内まで拡散し、その結果と
して望ましからざる電気化学的反応が起ることをも防止
するのである。
液晶表示装置に使用されるガラスは、非常に薄く、通常
は２ｍ以下であり、１．５ｍ＋ｎ以下が望ましいとされ
る。かくて、本発明はさらに新製品として、ガス状電子
供与剤の存在下シランの熱分解を行なうことによって蒸
着した珪素および酸素を含み厚さ５０ｎｍまでの透明バ
リヤコーチングを施し、そのさいガラスからの酸素が珪
素と協働してガラス表面上に透明バリヤコーチングを形
成するようにした厚さ２ａｒｎまでのコーチングガラス
を提供する。
は２ｍ以下であり、１．５ｍ＋ｎ以下が望ましいとされ
る。かくて、本発明はさらに新製品として、ガス状電子
供与剤の存在下シランの熱分解を行なうことによって蒸
着した珪素および酸素を含み厚さ５０ｎｍまでの透明バ
リヤコーチングを施し、そのさいガラスからの酸素が珪
素と協働してガラス表面上に透明バリヤコーチングを形
成するようにした厚さ２ａｒｎまでのコーチングガラス
を提供する。
さらに、相対した２枚の電導性層の中間に液晶材料を介
在させ、液晶材料と接触する配向層を前記各電導性層の
上に配設して成る液晶表示装置において、前記電導性層
の少なくとも１枚はアルカリ金属イオンを含有し厚さ２
０＋１１１までのガラス支持体によって支持され、そし
てガラスからの酸素が珪素と協働してガラス表面上に透
明バリヤコーチングを形成するように、ガス状電子供与
剤の存在下においてシランの熱分解を行なうことによっ
て、ガラス上に蒸着した珪素および酸素を含み厚さ５０
ｎｍまでの透明バリヤコーチングを、前記電導性層とガ
ラスとの間に施して得られたコーチングガラスを利用し
た液晶表示装置を提供する。
在させ、液晶材料と接触する配向層を前記各電導性層の
上に配設して成る液晶表示装置において、前記電導性層
の少なくとも１枚はアルカリ金属イオンを含有し厚さ２
０＋１１１までのガラス支持体によって支持され、そし
てガラスからの酸素が珪素と協働してガラス表面上に透
明バリヤコーチングを形成するように、ガス状電子供与
剤の存在下においてシランの熱分解を行なうことによっ
て、ガラス上に蒸着した珪素および酸素を含み厚さ５０
ｎｍまでの透明バリヤコーチングを、前記電導性層とガ
ラスとの間に施して得られたコーチングガラスを利用し
た液晶表示装置を提供する。
透明バリヤコーチングは、非晶質珪素中ＩＩＪ）を子の
表皮層としても役立つ、すなわち、アルカリ金属イオン
がガラス表面から非晶質珪素中に拡散すると、電池の効
率が著しく阻害されてしまうからである。
表皮層としても役立つ、すなわち、アルカリ金属イオン
がガラス表面から非晶質珪素中に拡散すると、電池の効
率が著しく阻害されてしまうからである。
本発明に係るバリヤコーチングは、アルカリ金属イオン
の移行を抑制するのに極めて有効である。
の移行を抑制するのに極めて有効である。
しかも、このバリヤコーチングはごく薄くても効果があ
るので、可視光透過率の高いガラスに対して施すバリヤ
コーチングとしても使用できる。またこのコーチングは
、ガラスから出てくる酸素を利用するので、強い酸化条
件を必要とせずに製作可能である。したがって、このコ
ーチングは、フロートガラスの帯がフロート浴上を進行
する工程中で、オンラインの工業的生産をするのに適し
ている。
るので、可視光透過率の高いガラスに対して施すバリヤ
コーチングとしても使用できる。またこのコーチングは
、ガラスから出てくる酸素を利用するので、強い酸化条
件を必要とせずに製作可能である。したがって、このコ
ーチングは、フロートガラスの帯がフロート浴上を進行
する工程中で、オンラインの工業的生産をするのに適し
ている。
本発明により、エチレンを使用して施した透明バリヤコ
ーチングを、赤外分光計で測定したところ、Ｓ ｉ −
Ｈ結合の存在が確認された。しかし、５ｉ−Ｈ結合に対
応する赤外線の吸収は、検出されなかった。
ーチングを、赤外分光計で測定したところ、Ｓ ｉ −
Ｈ結合の存在が確認された。しかし、５ｉ−Ｈ結合に対
応する赤外線の吸収は、検出されなかった。
以下、本発明の実施例について説明するが１本発明が実
施例に限定されるものでないことはもちろんである。特
に断らない″限り、ガスの容量は、標準的周囲条件、す
なわち約２０℃、１気圧の条件下で測定した値である。
施例に限定されるものでないことはもちろんである。特
に断らない″限り、ガスの容量は、標準的周囲条件、す
なわち約２０℃、１気圧の条件下で測定した値である。
〔実施例１〜４〕
厚さ６庇のフロートガラスの帯に、幅３ｍにわたってバ
リヤコーチングを被覆した。これは、英国特許第１，５
０７，９９６号明細書に記載しであるように、フロート
ガラスの帯がフロート浴上を進行するさいに、９ｏ容量
％の窒素中に１０容量％のモノシランを加えたガスの５
０ Ｑ ／ｍｉｎ流量と、さらにエチレンの１０１１１
／ｍｉｎ流量との混合ガスを、層流状態にあるガラスの
表面と平行に通過させることによって行なった。コーチ
ングステーションにおけるガラスの温度は、６２５℃で
あり、そしてガラス帯のレーア速度は３７０ｍ／ｈｒで
あった。次いで、エチレンの流量を増加してゆき、エチ
レン流量をそれぞれ２０，３０．４０および５０Ｑ／ｍ
ｉｎに増してバリヤコーチングを行なった。
リヤコーチングを被覆した。これは、英国特許第１，５
０７，９９６号明細書に記載しであるように、フロート
ガラスの帯がフロート浴上を進行するさいに、９ｏ容量
％の窒素中に１０容量％のモノシランを加えたガスの５
０ Ｑ ／ｍｉｎ流量と、さらにエチレンの１０１１１
／ｍｉｎ流量との混合ガスを、層流状態にあるガラスの
表面と平行に通過させることによって行なった。コーチ
ングステーションにおけるガラスの温度は、６２５℃で
あり、そしてガラス帯のレーア速度は３７０ｍ／ｈｒで
あった。次いで、エチレンの流量を増加してゆき、エチ
レン流量をそれぞれ２０，３０．４０および５０Ｑ／ｍ
ｉｎに増してバリヤコーチングを行なった。
コーチングガスに使用したエチレン：シランの比率とで
き上ったコーチングの測定結果を表１に示す。
き上ったコーチングの測定結果を表１に示す。
エチレンを使用した結果、光の反射率は減少しそしてエ
チレン：シランの比を４：１まで上げると、光の透過率
が急に増加した。エチレン：シランの比をさらに高くす
ると、光の透過率は上昇するが、その上り方は緩慢であ
った。
チレン：シランの比を４：１まで上げると、光の透過率
が急に増加した。エチレン：シランの比をさらに高くす
ると、光の透過率は上昇するが、その上り方は緩慢であ
った。
ガラス表面からのアルカリ金属イオンの移行に対する障
壁としてのコーチングの有効性は、次のようにして測定
した。
壁としてのコーチングの有効性は、次のようにして測定
した。
２枚のコーチングガラスのサンプルを、それぞれｉｏａ
ｍ平方に切取り、その中間に内径８゜５ａｎのシリコン
ゴムの環状リングを挟んで締め付け。
ｍ平方に切取り、その中間に内径８゜５ａｎのシリコン
ゴムの環状リングを挟んで締め付け。
ガラスのコーチング面とシリコンゴムリングの内面とで
画成される内壁をもった円筒形セルを作った。ゴムリン
グの穴を通し、セルの中に脱イオン水を満してから、穴
を閉じ、密封セルを９６℃の湯浴中に４８時間浸した。
画成される内壁をもった円筒形セルを作った。ゴムリン
グの穴を通し、セルの中に脱イオン水を満してから、穴
を閉じ、密封セルを９６℃の湯浴中に４８時間浸した。
溶液を取出し、炎光発光分光法によってナトリウム分析
を行なった。ナトリウムの抽出量を測定し、セル内の水
に暴露されたガラスの１０．ｆｆｌ毎のＮａ２Ｏ量をマ
イクログラ４（μｇ）で求めたゆ シリカ系イオン遮断表面層をもった市販のソーダ石炭石
英ガラスの多数についても実験を行なってみた。結果は
、６０ μｇ Ｎ ａ ｚ Ｏ／ ｄ ｒｎ’から１０
００μｇＮａ２０／ｄｍを越える範囲までの測定値が得
られた。市販されている非コーチングガラスでいわゆる
アルカリフリー（アルカリを含まない）ガラスについて
も検査したところ、１３μｇＮａ２０／ ｄ ｍの結果
であった。
を行なった。ナトリウムの抽出量を測定し、セル内の水
に暴露されたガラスの１０．ｆｆｌ毎のＮａ２Ｏ量をマ
イクログラ４（μｇ）で求めたゆ シリカ系イオン遮断表面層をもった市販のソーダ石炭石
英ガラスの多数についても実験を行なってみた。結果は
、６０ μｇ Ｎ ａ ｚ Ｏ／ ｄ ｒｎ’から１０
００μｇＮａ２０／ｄｍを越える範囲までの測定値が得
られた。市販されている非コーチングガラスでいわゆる
アルカリフリー（アルカリを含まない）ガラスについて
も検査したところ、１３μｇＮａ２０／ ｄ ｍの結果
であった。
本発明で用いたコーチングガラスは、市販の通称アルカ
リフリーガラスと比較して優れており、またフロートガ
ラスのオンラインコーチング法を適用しにくいため、オ
フライン法で処理したコーチングガラスに対しても優れ
ていることが明らかとなった。
リフリーガラスと比較して優れており、またフロートガ
ラスのオンラインコーチング法を適用しにくいため、オ
フライン法で処理したコーチングガラスに対しても優れ
ていることが明らかとなった。
実施例３の製品は、ＥＳＣＡ （化学分析用電子分光法
）によって分析した。この方法では、まず分析すべき表
面をＸ線で照射し、そして表面から放射される１次電子
のエネルギスペクトルを測定して、表面に存在する元素
を定性的、定量的に検出する。ついで、表面の原子層を
アルゴンエツチングによって取除き、次の原子層を露出
させ、再び上記のような定性、定量分析を行なう。エツ
チングと分析を繰返し、コーチングの厚さを越える深さ
のところまで、表面層の組成を調べる。
）によって分析した。この方法では、まず分析すべき表
面をＸ線で照射し、そして表面から放射される１次電子
のエネルギスペクトルを測定して、表面に存在する元素
を定性的、定量的に検出する。ついで、表面の原子層を
アルゴンエツチングによって取除き、次の原子層を露出
させ、再び上記のような定性、定量分析を行なう。エツ
チングと分析を繰返し、コーチングの厚さを越える深さ
のところまで、表面層の組成を調べる。
実施例３の製品について得られた結果を、つぎの表に示
す。
す。
コーチングには、珪素、酸素および炭素が含まれている
ことがわかる。コーチング表面における酸素：珪素の比
は約３＝２である。この比率は。
ことがわかる。コーチング表面における酸素：珪素の比
は約３＝２である。この比率は。
９００秒のエツチングを過ぎると１＝１まで下るが、そ
の後は上昇する。炭素の濃度は、表面において４５％で
あるが、コーチング内部では２０％前後で変化する。
の後は上昇する。炭素の濃度は、表面において４５％で
あるが、コーチング内部では２０％前後で変化する。
〔実施例５および６〕
厚さ２１ｎのフロートガラスの帯に、珪素および酸素の
透明バリヤコーチングを被覆した。これは、英国特許第
１，５０７，９９６号明細書に記載しであるように、フ
ロートガラスの帯がフロート浴を進行するさいに、モノ
シラン、窒素およびエチレンの混合ガスを、層流状態に
あるガラスの表面と平行に通過させることによって行な
った。コーチングステーションにおけるガラスの温度は
６６０℃であり、そしてガラス帯のレーア速度は１０３
０ｍ／１．１ｒであった。
透明バリヤコーチングを被覆した。これは、英国特許第
１，５０７，９９６号明細書に記載しであるように、フ
ロートガラスの帯がフロート浴を進行するさいに、モノ
シラン、窒素およびエチレンの混合ガスを、層流状態に
あるガラスの表面と平行に通過させることによって行な
った。コーチングステーションにおけるガラスの温度は
６６０℃であり、そしてガラス帯のレーア速度は１０３
０ｍ／１．１ｒであった。
得られた製品の性質およびガスの流れについて、表２に
示す。
示す。
得られたコーチングは、有効なイオン遮断特性を備えて
いた。光の反射率は、エチレン：シランの比と共に増大
し、比が３．３ ： １のとき、反射率は８４．９％で
あった６同様のコーチングを施したＪｊＪさ１ｍのガラ
スの光透過率を計算してみると、８５．４％になるはず
であり、これと比較してコーチングしない厚さ１ｍｎ＋
のガラスの透過率は９１．４％である。
いた。光の反射率は、エチレン：シランの比と共に増大
し、比が３．３ ： １のとき、反射率は８４．９％で
あった６同様のコーチングを施したＪｊＪさ１ｍのガラ
スの光透過率を計算してみると、８５．４％になるはず
であり、これと比較してコーチングしない厚さ１ｍｎ＋
のガラスの透過率は９１．４％である。
〔実施例７〜９〕
厚さ１．３ｍのフロートガラスの帯に、珪素と酸素のバ
リヤコーチングを施した。これは、英国特許第１，５０
７，９９６号明細書に記載しであるように、フロートガ
ラスの帯がフロート浴上を進行するさいに、モノシラン
、窒素およびエチレンの混合ガスを、層流状態にあるガ
ラスの表面と平行に通過させることによって行なった。
リヤコーチングを施した。これは、英国特許第１，５０
７，９９６号明細書に記載しであるように、フロートガ
ラスの帯がフロート浴上を進行するさいに、モノシラン
、窒素およびエチレンの混合ガスを、層流状態にあるガ
ラスの表面と平行に通過させることによって行なった。
コーチングステーションにおけるガラスの温度は６４０
℃であり、そしてガラス帯のレーア速度は１２００ｍ／
ｈｒであった。
℃であり、そしてガラス帯のレーア速度は１２００ｍ／
ｈｒであった。
得られた製品の性質およびガスの流れについて、表３に
示す。
示す。
イオン遮断性能（アルカリ金属イオン抽出試験で測定）
は、前記した実施例はどの顕著な特性ではなかったが、
それでも市販のガラスに比べて遜色なく、通常の商業的
用途には十分である。この製品は、高い光の透過率（約
９０％）を示す。
は、前記した実施例はどの顕著な特性ではなかったが、
それでも市販のガラスに比べて遜色なく、通常の商業的
用途には十分である。この製品は、高い光の透過率（約
９０％）を示す。
〔実施例１０〜１３〕
実験室において、厚さ４ｍのフロートガラスの静止サン
プルにコーチングを施した。これは窒素と、窒素中濃度
１０％のモノシランと、ガス状の電子供与剤（ＥＤＣ）
との混合ガスから成るコーチングガスを、加熱したガラ
スの表面上に通過させることによって行なった。使用し
たコーチングガスの組成、ガラスの温度および蒸着時間
ならびに得られたコーチングガラスの諸性質を表４に示
す。エチレンの代りに他の電子供与剤を使用しても、同
様なイオン遮断性を備えた透明コーチングが得られるは
ずである。コーチングは透明であり。
プルにコーチングを施した。これは窒素と、窒素中濃度
１０％のモノシランと、ガス状の電子供与剤（ＥＤＣ）
との混合ガスから成るコーチングガスを、加熱したガラ
スの表面上に通過させることによって行なった。使用し
たコーチングガスの組成、ガラスの温度および蒸着時間
ならびに得られたコーチングガラスの諸性質を表４に示
す。エチレンの代りに他の電子供与剤を使用しても、同
様なイオン遮断性を備えた透明コーチングが得られるは
ずである。コーチングは透明であり。
そして珪素と、ガラスから誘導された酸素とを含んでい
る。
る。
〔実施例１４〜１６〕
実験室において、厚さ４ｍのフロートガラスの静止サン
プルにコーチングを施した。これは、窒素の６．６Ｑ
／ ｍｉｎの流量と、窒素中１０容量％のモノシランの
０．４１２／ｍｉｎの流量と、エチレンの０ 、４ ｎ
／ｍｉｎの流量とから成る混合カスのコーチングガス
を、加熱したガラス表面上に６３０℃の温度で、１０〜
４０秒間通過させることによって行なった。使用した時
間および得られたコーチングの諸性質を、表５に示す。
プルにコーチングを施した。これは、窒素の６．６Ｑ
／ ｍｉｎの流量と、窒素中１０容量％のモノシランの
０．４１２／ｍｉｎの流量と、エチレンの０ 、４ ｎ
／ｍｉｎの流量とから成る混合カスのコーチングガス
を、加熱したガラス表面上に６３０℃の温度で、１０〜
４０秒間通過させることによって行なった。使用した時
間および得られたコーチングの諸性質を、表５に示す。
コーチングガラスの光反射率の測定値は、コーチング時
間と共に増大する。８０秒経過して得られたコーチング
は、ごく僅かな比率のエチレンを用いて製造した反射コ
ーチングに一見類似している。
間と共に増大する。８０秒経過して得られたコーチング
は、ごく僅かな比率のエチレンを用いて製造した反射コ
ーチングに一見類似している。
この一連の実験によって、次のことがわかった。
すなわちコーチング時間が長くなり、コーチングの厚さ
が増すにつれて、ガラスから得られる酸素が使い果たさ
れ、蒸着コーチングの透明度が失われてゆくことである
。これは、ガラスから出てくる酸素と珪素とを含む初期
の透明なコーチングの上に非酸化珪崇が沈着してしまう
ことに帰因すると思われる。実験したコーチングはすべ
てｓｏ’ｃの１規定ＮａＯＨ水溶液中に浸し、外部から
のアルカリ腐食に対する耐久性試験を行なった。
が増すにつれて、ガラスから得られる酸素が使い果たさ
れ、蒸着コーチングの透明度が失われてゆくことである
。これは、ガラスから出てくる酸素と珪素とを含む初期
の透明なコーチングの上に非酸化珪崇が沈着してしまう
ことに帰因すると思われる。実験したコーチングはすべ
てｓｏ’ｃの１規定ＮａＯＨ水溶液中に浸し、外部から
のアルカリ腐食に対する耐久性試験を行なった。
５０分経過後、いずれの場合にも、目視できる程度の腐
食の徴候は認められなかった。
食の徴候は認められなかった。
〔実施例１７〜３３〕
実験室において、厚さ４圃のフロートガラスの静止サン
プルにコーチングを施した。これは。
プルにコーチングを施した。これは。
６３０℃で加熱ガラス表面上にコーチングガスを通過さ
せることによって行なった。使用したコーチングガスの
組成、コーチング時間および得られたコーチング製品の
諸性質を表６に示す。
せることによって行なった。使用したコーチングガスの
組成、コーチング時間および得られたコーチング製品の
諸性質を表６に示す。
いずれの場合も、ガス状態の電子供与剤対シランの比は
、透明なコーチングを作るのに適した比に調整した。
、透明なコーチングを作るのに適した比に調整した。
〔実施例３４〕
エチレン対シランの比を５：１にして、実施例１〜４の
場合と同様な方法で作ったサンプルと、厚さ６１ｍ＋で
コーチングを施さないフロートガラスのサンプルとを、
弗素添加酸化錫でコーチングした。
場合と同様な方法で作ったサンプルと、厚さ６１ｍ＋で
コーチングを施さないフロートガラスのサンプルとを、
弗素添加酸化錫でコーチングした。
ジフルオロテトラクロロスタンネートアンモニウム（Ｎ
Ｈ４）ｚｓｎｃｌ、Ｆ、を、粒子径が５０μｍ以下にな
るまで粉砕し、空気流中に分散させる。
Ｈ４）ｚｓｎｃｌ、Ｆ、を、粒子径が５０μｍ以下にな
るまで粉砕し、空気流中に分散させる。
そして分散した粉末を含む空気流を、ガラスの表面１耐
当り８０ｇの割合で、臥度５８０℃にて、加熱したガラ
スサンプル上に吹付けた。このようにして作った弗素添
加酸化錫コーチングの厚さと、電気抵抗を測定した。測
定結果は、つぎのようであった。
当り８０ｇの割合で、臥度５８０℃にて、加熱したガラ
スサンプル上に吹付けた。このようにして作った弗素添
加酸化錫コーチングの厚さと、電気抵抗を測定した。測
定結果は、つぎのようであった。
バリヤコーチングを施した支持体上のコーチングの電気
抵抗が非常に低いことは、酸化１Ｍ層の電気抵抗に有害
な影響を及ぼすアルカリ金属イオンが、ガラスから移行
するのを阻止するバリヤコーチングとして有効であるこ
とを示している。
抵抗が非常に低いことは、酸化１Ｍ層の電気抵抗に有害
な影響を及ぼすアルカリ金属イオンが、ガラスから移行
するのを阻止するバリヤコーチングとして有効であるこ
とを示している。
〔実施例３５〕
実施例８の場合と同様にして透明バリヤコーチングを施
したガラスを支持体として用い、既述したような液晶表
示装置を作った。そして耐久性試験を行なったところ、
温度６０℃相対湿度９５％の下で、ｔ 、 ｏｏｏ時間
を越す寿命があることがわかった・ 各実施例で使用した電子供与剤は、以下の例外を除き、
いず九も６０℃において７６０＋ａ以上の蒸気圧を有し
ている。前記した例外の６０℃における蒸気圧はつぎの
とおりである。
したガラスを支持体として用い、既述したような液晶表
示装置を作った。そして耐久性試験を行なったところ、
温度６０℃相対湿度９５％の下で、ｔ 、 ｏｏｏ時間
を越す寿命があることがわかった・ 各実施例で使用した電子供与剤は、以下の例外を除き、
いず九も６０℃において７６０＋ａ以上の蒸気圧を有し
ている。前記した例外の６０℃における蒸気圧はつぎの
とおりである。
Claims (19)
- （１）ガラスと被覆層との間に、シランガスの熱分解に
よって得られた珪素と酸素とを含む透明バリヤコーチン
グを施して、アルカリ金属イオンを含むガラスから、被
覆層へのアルカリ金属イオンの拡散を減少させる方法に
おいて、シランをガス状電子供与剤の存在下６００℃以
上でガラス表面上にて熱分解し、そのさいガラスからの
酸素が珪素と協働し、ガラス表面上に厚さ５０ｎｍまで
の透明バリヤコーチングを形成することを特徴とするコ
ーチングガラスの製造方法。 - （２）シランガスをガス状電子供与剤の存在下６００℃
以上でガラス表面上にて熱分解し、そのさいガラスから
の酸素が珪素と協働し、ガラス表面上に珪素と酸素とを
含み厚さ５０ｎｍまでの透明バリヤコーチングを形成し
、次いでこのコーチングガラス表面の上にガラスから拡
散するアルカリ金属イオンと反応しやすい層を被覆する
ことから成るアルカリ金属イオンを含むガラスのコーチ
ング方法。 - （３）使用するシランガスはモノシラン（ＳｉＨ＿４）
であることを特徴とする特許請求の範囲の第（１）また
は（２）項に記載の方法。 - （４）シランを不活性ガスで稀釈することを特徴とする
特許請求の範囲の第（１）〜（３）項のいずれかに記載
の方法。 - （５）使用する電子供与剤には酸素が含まれていないこ
とを特徴とする特許請求の範囲第（１）〜（４）項のい
ずれかに記載の方法。 - （６）ガス状電子供与剤は２〜４個の炭素原子を含むオ
レフィンであることを特徴とする特許請求の範囲の第（
２）〜（４）項のいずれかに記載の方法。 - （７）ガス状電子供与剤がエチレンであることを特徴と
する特許請求の範囲の第（６）項に記載の方法。 - （８）ガス状電子供与剤対シランの容積比は０．５：１
〜１５：１であることを特徴とする特許請求の範囲の第
（１）〜（７）項のいずれかに記載の方法。 - （９）ガラスに施される透明バリヤコーチングは厚さ２
ｎｍを越えないことを特徴とする特許請求の範囲の第（
１）〜（８）項のいずれかに記載の方法。 - （１０）フロートガラスの帯がそれを形成する溶融金属
浴上を進行するさいに該フロートガラスの帯にバリヤコ
ーチングを施すことを特徴とする特許請求の範囲の第（
１）〜（９）項のいずれかに記載の方法。 - （１１）コーチングしたガラスの表面に、液体状または
固体状の反応物をスパッター、化学蒸着またはスプレー
することによって、アルカリ金属イオンと反応しやすい
層を被覆することを特徴とする特許請求の範囲の第（２
）〜（１０）項のいずれかに記載の方法。 - （１２）前記被覆層は金属酸化物をドープした光透過性
の層であることを特徴とする特許請求の範囲の第（１１
）項に記載の方法。 - （１３）ガス状電子供与剤の存在下６００℃以上でガラ
ス表面上にてシランガスの熱分解を行ない珪素および酸
素を含み厚さ５０ｎｍまでの透明バリヤコーチングを施
したアルカリ金属イオン含有ガラス支持体を含み、その
さいガラスからの酸素が珪素と協働してガラス表面上に
透明バリヤコーチングを形成し、さらにバリヤコーチン
グ上に５００Ω／□以下の表面電気抵抗をもった電導性
金属酸化物層をも被覆した電導性コーチングガラス。 - （１４）ガス状電子供与剤の存在下６００℃以上でガラ
ス表面上にてシランガスの熱分解を行なって珪素および
酸素を含み厚さ５０ｎｍまでの透明バリヤコーチングを
施したアルカリ金属イオン含有ガラス支持体を含み、そ
のさいガラスからの酸素が珪素と協働してガラス表面上
に透明バリヤコーチングを形成し、さらにバリヤコーチ
ングの上に光を透過しかつ赤外線を反射する金属酸化物
ドープ層を被覆した赤外線反射用コーチングガラス。 - （１５）ガス状電子供与剤の存在下６００℃以上でガラ
ス表面にてシランを含むガスの熱分解を行なうことによ
って蒸着した珪素および酸素を含み厚さ５０ｎｍまでの
透明バリヤコーチングを施し、そのさいガラスからの酸
素が珪素と協働してガラス表面上に透明バリヤコーチン
グを形成するようにした厚さ２ｍｍまでのコーチングガ
ラス。 - （１６）使用する電子供与剤には酸素が含まれていない
ことを特徴とする特許請求の範囲の第（１５）項に記載
のガラス。 - （１７）ガス状電子供与剤は２〜４個の炭素原子を含む
オレフィンであることを特徴とする特許請求の範囲の第
（１５）または（１６）項に記載のガラス。 - （１８）ガス状電子供与剤がエチレンであることを特徴
とする特許請求の範囲の第（１６）項に記載のガラス。 - （１９）相対した２枚の電導性層の中間に液晶材料を介
在させ、液晶材料と接触する配向層を前記各電導性層の
上に配設して成る液晶表示装置において、前記電導性層
の少なくとも１枚はアルカリ金属イオンを含有し厚さ２
ｍｍまでのガラス支持体によって支持され、そしてガラ
スからの酸素が珪素と協働してガラス表面上に透明バリ
ヤコーチングを形成するように、ガス状電子供与剤の存
在下においてシランの熱分解を行なうことによって、６
００℃以上のガラス表面上に蒸着した珪素および酸素を
含み厚さ５０ｎｍまでの透明バリヤコーチングを、前記
電導性層とガラスとの間に施したことを特徴とするコー
チングガラスを利用した液晶表示装置。
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|---|---|---|---|
| GB848420534A GB8420534D0 (en) | 1984-08-13 | 1984-08-13 | Coated products |
| GB8420534 | 1984-08-13 |
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|---|---|
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| JP2585514B2 JP2585514B2 (ja) | 1997-02-26 |
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| JP60178484A Expired - Lifetime JP2585514B2 (ja) | 1984-08-13 | 1985-08-13 | コ―チングガラスおよびその製法 |
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| BR (1) | BR8503814A (ja) |
| CA (1) | CA1255976A (ja) |
| CZ (1) | CZ281584B6 (ja) |
| DD (1) | DD237501A5 (ja) |
| DE (1) | DE3582636D1 (ja) |
| ES (1) | ES8609170A1 (ja) |
| FI (1) | FI89160C (ja) |
| GB (2) | GB8420534D0 (ja) |
| HK (1) | HK21589A (ja) |
| IN (1) | IN165410B (ja) |
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| MY (1) | MY101631A (ja) |
| RU (1) | RU2057730C1 (ja) |
| TR (1) | TR23260A (ja) |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014081030A1 (ja) * | 2012-11-26 | 2014-05-30 | 旭硝子株式会社 | 薄膜形成方法 |
Families Citing this family (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB8630918D0 (en) * | 1986-12-24 | 1987-02-04 | Pilkington Brothers Plc | Coatings on glass |
| GB2209176A (en) * | 1987-08-28 | 1989-05-04 | Pilkington Plc | Coating glass |
| GB8814922D0 (en) * | 1988-06-23 | 1988-07-27 | Pilkington Plc | Coatings on glass |
| GB8914047D0 (en) * | 1989-06-19 | 1989-08-09 | Glaverbel | Method of and apparatus for pyrolytically forming an oxide coating on a hot glass substrate |
| US5221352A (en) * | 1989-06-19 | 1993-06-22 | Glaverbel | Apparatus for pyrolytically forming an oxide coating on a hot glass substrate |
| GB2247691B (en) * | 1990-08-31 | 1994-11-23 | Glaverbel | Method of coating glass |
| GB9019117D0 (en) * | 1990-09-01 | 1990-10-17 | Glaverbel | Coated glass and method of manufacturing same |
| GB2248243B (en) * | 1990-09-01 | 1994-06-22 | Glaverbel | Coated glass and method of manufacturing same |
| FR2677639B1 (fr) * | 1991-06-14 | 1994-02-25 | Saint Gobain Vitrage Internal | Technique de formation par pyrolyse en voie gazeuse d'un revetement essentiellement a base d'oxygene et de silicium. |
| CA2084247A1 (en) | 1992-03-18 | 1993-09-19 | Francis Paul Fehlner | Lcd panel production |
| US5863337A (en) * | 1993-02-16 | 1999-01-26 | Ppg Industries, Inc. | Apparatus for coating a moving glass substrate |
| US5599387A (en) * | 1993-02-16 | 1997-02-04 | Ppg Industries, Inc. | Compounds and compositions for coating glass with silicon oxide |
| US5356718A (en) * | 1993-02-16 | 1994-10-18 | Ppg Industries, Inc. | Coating apparatus, method of coating glass, compounds and compositions for coating glasss and coated glass substrates |
| US5578103A (en) * | 1994-08-17 | 1996-11-26 | Corning Incorporated | Alkali metal ion migration control |
| CA2157948C (en) * | 1994-10-04 | 2000-01-11 | James J. Finley | Alkali metal diffusion barrier layer |
| US6352755B1 (en) * | 1994-10-04 | 2002-03-05 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Alkali metal diffusion barrier layer |
| US5830252A (en) * | 1994-10-04 | 1998-11-03 | Ppg Industries, Inc. | Alkali metal diffusion barrier layer |
| CA2159296C (en) * | 1994-10-14 | 2007-01-30 | Michel J. Soubeyrand | Glass coating method and glass coated thereby |
| US6231971B1 (en) | 1995-06-09 | 2001-05-15 | Glaverbel | Glazing panel having solar screening properties |
| EP0844985A1 (en) * | 1995-08-18 | 1998-06-03 | Adam Heller | Self-cleaning glass and method of making thereof |
| FR2738813B1 (fr) * | 1995-09-15 | 1997-10-17 | Saint Gobain Vitrage | Substrat a revetement photo-catalytique |
| WO2000015572A2 (en) * | 1998-09-17 | 2000-03-23 | Libbey-Owens-Ford Co. | Heat strengthened coated glass article and method for making same |
| US7372610B2 (en) | 2005-02-23 | 2008-05-13 | Sage Electrochromics, Inc. | Electrochromic devices and methods |
| DE102007058926B4 (de) * | 2007-12-05 | 2010-04-29 | Schott Ag | Solarglas und Verfahren zur Herstellung eines Solarglases sowie dessen Verwendung |
| DE102007058927B4 (de) * | 2007-12-05 | 2010-04-29 | Schott Ag | Substrat mit einer Sol-Gel-Schicht und Verfahren zur Herstellung eines Verbundmaterials sowie dessen Verwendung |
| US20120280373A1 (en) * | 2011-05-06 | 2012-11-08 | Jiangwei Feng | Active electronics on strengthened glass with alkali barrier |
| DE102012200799A1 (de) | 2011-09-26 | 2013-03-28 | Interpane Entwicklungs-Und Beratungsgesellschaft Mbh | Brandschutzelement mit Schutzbeschichtung und dessen Herstellungsverfahren |
| FR2982607A1 (fr) * | 2011-11-16 | 2013-05-17 | Saint Gobain | Materiau fonctionnel a haute durabilite |
| FR2982606A1 (fr) * | 2011-11-16 | 2013-05-17 | Saint Gobain | Vitrage hydrophobe |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53130717A (en) * | 1977-03-01 | 1978-11-15 | Pilkington Brothers Ltd | Coated glass and production thereof |
| JPS5826052A (ja) * | 1981-08-06 | 1983-02-16 | Asahi Glass Co Ltd | アルカリ拡散防止酸化ケイ素膜付ガラス体 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1524326A (en) * | 1976-04-13 | 1978-09-13 | Bfg Glassgroup | Coating of glass |
| US4100330A (en) * | 1977-03-28 | 1978-07-11 | Ppg Industries, Inc. | Method for coating glass with silicon and a metal oxide and resulting product |
-
1984
- 1984-08-13 GB GB848420534A patent/GB8420534D0/en active Pending
-
1985
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1987
- 1987-02-19 MY MYPI87000174A patent/MY101631A/en unknown
-
1989
- 1989-03-09 HK HK215/89A patent/HK21589A/xx not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53130717A (en) * | 1977-03-01 | 1978-11-15 | Pilkington Brothers Ltd | Coated glass and production thereof |
| JPS5826052A (ja) * | 1981-08-06 | 1983-02-16 | Asahi Glass Co Ltd | アルカリ拡散防止酸化ケイ素膜付ガラス体 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014081030A1 (ja) * | 2012-11-26 | 2014-05-30 | 旭硝子株式会社 | 薄膜形成方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3582636D1 (de) | 1991-05-29 |
| GB2163146B (en) | 1988-06-29 |
| AU4577485A (en) | 1986-02-20 |
| EP0174727B1 (en) | 1991-04-24 |
| BR8503814A (pt) | 1986-05-20 |
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| IN165410B (ja) | 1989-10-07 |
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| TR23260A (tr) | 1989-08-03 |
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