JPS6147362B2 - - Google Patents
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- JPS6147362B2 JPS6147362B2 JP51154882A JP15488276A JPS6147362B2 JP S6147362 B2 JPS6147362 B2 JP S6147362B2 JP 51154882 A JP51154882 A JP 51154882A JP 15488276 A JP15488276 A JP 15488276A JP S6147362 B2 JPS6147362 B2 JP S6147362B2
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- JP
- Japan
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は部品などの外観検査を行うパターン検
査装置に関するものである。
査装置に関するものである。
対象の表面情報を光電変換する撮像装置を用
い、撮像装置から得られる映像信号を２値化し、
対象の良否を判定する自動外観検査装置におい
て、従来技術では第１図に示すように２値信号を
シフトレジスタ群に入力し、シフトレジスタで構
成する２次元局部メモリに対象２値化映像の部分
映像を一時貯え、２次元局部メモリ内で種々の判
定を行なつている。しかし、このような２次元局
部メモリ方式の判定方式では、例えば第２図に示
すように複数個の欠陥が近接して存在し、それぞ
れを独立に判定しなければならないような場合、
その判定が困難になる。即ち、一般に、部品外観
上の欠陥例としては、例えば、深さとしては浅い
ながらも割と広面積を有する欠け、ある幅と長さ
を有する割れ、腐食等によつて形成される小さな
穴（ピツト）等があり、これらの欠陥の検査基準
は、各々の欠陥の性質が異なることによつて異な
り、例えば欠けは面積を、割れは幅と長さを、ま
たピツトは直径をそれぞれ基準として検査する。
ここで、複数個の異なる欠陥が近接して存在する
場合、上記事情から、各欠陥パターンをそれぞれ
個別に分離して諸元を求めなければ、各欠陥の真
の検査は実行され得ない。
い、撮像装置から得られる映像信号を２値化し、
対象の良否を判定する自動外観検査装置におい
て、従来技術では第１図に示すように２値信号を
シフトレジスタ群に入力し、シフトレジスタで構
成する２次元局部メモリに対象２値化映像の部分
映像を一時貯え、２次元局部メモリ内で種々の判
定を行なつている。しかし、このような２次元局
部メモリ方式の判定方式では、例えば第２図に示
すように複数個の欠陥が近接して存在し、それぞ
れを独立に判定しなければならないような場合、
その判定が困難になる。即ち、一般に、部品外観
上の欠陥例としては、例えば、深さとしては浅い
ながらも割と広面積を有する欠け、ある幅と長さ
を有する割れ、腐食等によつて形成される小さな
穴（ピツト）等があり、これらの欠陥の検査基準
は、各々の欠陥の性質が異なることによつて異な
り、例えば欠けは面積を、割れは幅と長さを、ま
たピツトは直径をそれぞれ基準として検査する。
ここで、複数個の異なる欠陥が近接して存在する
場合、上記事情から、各欠陥パターンをそれぞれ
個別に分離して諸元を求めなければ、各欠陥の真
の検査は実行され得ない。
本発明の目的は上記した従来技術の欠点をなく
し、単一パターンを走査線方向に分離でき、単一
パターン毎の諸元（輪郭長さ、走査線方向及びそ
れに直角な方向の一次元の長さ）が簡単に求ま
り、更に連結する各単一パターンのパターンの諸
元（輪郭長さ、走査線方向及びそれに直角な方向
の一次元の長さ）の合成も、重複されるのが走査
線方向及びそれに直角な方向である故、容易にで
き、検査能力の高いパターン検査装置を提供する
にある。
し、単一パターンを走査線方向に分離でき、単一
パターン毎の諸元（輪郭長さ、走査線方向及びそ
れに直角な方向の一次元の長さ）が簡単に求ま
り、更に連結する各単一パターンのパターンの諸
元（輪郭長さ、走査線方向及びそれに直角な方向
の一次元の長さ）の合成も、重複されるのが走査
線方向及びそれに直角な方向である故、容易にで
き、検査能力の高いパターン検査装置を提供する
にある。
即ち、本発明は、上記目的を達成するために、
走査式撮像装置から出力される映像信号を２値化
して得られる２値化信号にてパターン検査を行な
うようになしたパターン検査装置において、上記
２値化信号を、各走査線において走査線上で連続
しているパターンに分離する分離手段と、該分離
手段により分離されたパターン毎にパターンの諸
元を抽出する抽出手段と、上記分離手段によつて
分離された現在の走査線上の現パターンの存在範
囲が、上記分離手段によつて分離された１つの前
の走査線上の前パターンの存在範囲が走査線方向
に見て重複しているか否かにより連結しているか
否かの判定をする第１の判定手段と、該第１の判
定手段により連結していると判定された内、複数
の前パターンから１つの現パターンに統合された
場合、上記複数の前パターンの内、一つのパター
ンを除く他のパターンを統合終了と判定する第２
の判定手段と、上記第１の判定手段により連結し
ていると判定された内、１つの前パターンから複
数の現パターンに分岐された場合、上記複数の現
パターンの内、一つのパターンを除く他のパター
ンを分岐新規パターンと判定する第３の判定手段
と、上記第１の判定手段により現パターンの一つ
が上記前パターンの一つと連結されていると判定
されたときは、上記現パターン一つのパターン番
号として上記前パターンの一つのパターン番号を
付与すると共に上記現パターンの一つの連結番号
として上記前パターンの一つの連結番号を付与
し、上記第２の判定手段により上記現パターンが
上記前パターンの複数から統合されたと判定され
たときは、上記前パターンの他のパターンは統合
終了ということでこの統合終了の前パターンの他
のパターンの連結番号として現パターンの連結番
号に更新処理すると共にこの統合終了された前パ
ターンの他のパターンと同じパターン番号を新た
なパターンに対して付与することを禁止し、上記
第１の判定手段により現パターンが前パターンに
連結していないと判定されたとき、現パターンの
パターン番号として新たなパターン番号を付与す
ると共に、現パターンの連結番号として新たな連
結番号を付与し、更に上記第３の判定手段によつ
て上記前パターンが分岐された現パターンの他の
パターンに連結していると判定されたときには、
現パターンの他のパターンのパターン番号として
新たなパターン番号を付与すると共に、現パター
ンの他のパターンの連結番号として前パターンの
連結番号を付与する番号付与手段と、該番号付与
手段によつて逐次走査線に同期して同パターン番
号が付与されるパターンに対して上記抽出手段に
よつて抽出されたパターンの諸元を合成して単一
パターンに対するパターンの諸元を求める第１の
合成手段と、全てのパターンについて撮像走査が
終了した時点で上記番号付与手段によつて求まる
連結地番号を用い、連結する各単一パターンのパ
ターン諸元を合成する第４の手段とを備え、単一
パターンに対して特にパターンの諸元内、走査線
方向及びこれに直角な方向の一次元の長さを簡単
に求めることができ、更にそれらを合成する場合
にも重複されるのが走査線方向とそれに直角な方
向と決められているので、容易にできることを特
徴とするパターン検査装置である。
走査式撮像装置から出力される映像信号を２値化
して得られる２値化信号にてパターン検査を行な
うようになしたパターン検査装置において、上記
２値化信号を、各走査線において走査線上で連続
しているパターンに分離する分離手段と、該分離
手段により分離されたパターン毎にパターンの諸
元を抽出する抽出手段と、上記分離手段によつて
分離された現在の走査線上の現パターンの存在範
囲が、上記分離手段によつて分離された１つの前
の走査線上の前パターンの存在範囲が走査線方向
に見て重複しているか否かにより連結しているか
否かの判定をする第１の判定手段と、該第１の判
定手段により連結していると判定された内、複数
の前パターンから１つの現パターンに統合された
場合、上記複数の前パターンの内、一つのパター
ンを除く他のパターンを統合終了と判定する第２
の判定手段と、上記第１の判定手段により連結し
ていると判定された内、１つの前パターンから複
数の現パターンに分岐された場合、上記複数の現
パターンの内、一つのパターンを除く他のパター
ンを分岐新規パターンと判定する第３の判定手段
と、上記第１の判定手段により現パターンの一つ
が上記前パターンの一つと連結されていると判定
されたときは、上記現パターン一つのパターン番
号として上記前パターンの一つのパターン番号を
付与すると共に上記現パターンの一つの連結番号
として上記前パターンの一つの連結番号を付与
し、上記第２の判定手段により上記現パターンが
上記前パターンの複数から統合されたと判定され
たときは、上記前パターンの他のパターンは統合
終了ということでこの統合終了の前パターンの他
のパターンの連結番号として現パターンの連結番
号に更新処理すると共にこの統合終了された前パ
ターンの他のパターンと同じパターン番号を新た
なパターンに対して付与することを禁止し、上記
第１の判定手段により現パターンが前パターンに
連結していないと判定されたとき、現パターンの
パターン番号として新たなパターン番号を付与す
ると共に、現パターンの連結番号として新たな連
結番号を付与し、更に上記第３の判定手段によつ
て上記前パターンが分岐された現パターンの他の
パターンに連結していると判定されたときには、
現パターンの他のパターンのパターン番号として
新たなパターン番号を付与すると共に、現パター
ンの他のパターンの連結番号として前パターンの
連結番号を付与する番号付与手段と、該番号付与
手段によつて逐次走査線に同期して同パターン番
号が付与されるパターンに対して上記抽出手段に
よつて抽出されたパターンの諸元を合成して単一
パターンに対するパターンの諸元を求める第１の
合成手段と、全てのパターンについて撮像走査が
終了した時点で上記番号付与手段によつて求まる
連結地番号を用い、連結する各単一パターンのパ
ターン諸元を合成する第４の手段とを備え、単一
パターンに対して特にパターンの諸元内、走査線
方向及びこれに直角な方向の一次元の長さを簡単
に求めることができ、更にそれらを合成する場合
にも重複されるのが走査線方向とそれに直角な方
向と決められているので、容易にできることを特
徴とするパターン検査装置である。
以下本発明を図に示す実施例にもとづいて具体
的に説明する。まづ本発明の検査方式を第３図乃
至第５図にもとづいて説明する。即ちまず撮像装
置からの映像信号を２値化し、この２値映像信号
によつて形成され２値パターンに対して第３図に
示すように走査線上において連続しており、かつ
一つの走査線上のパターンとその一つ前の走査線
上のパターンが連結していて、統合、分岐される
単一パターンに分離して記述する。この分離の例
が第４図及び第５図に示されている。即ち第４図
はパターンの出現が早い順にパターンを単一パタ
ーンに分離していく例であり、第５図はパターン
出現が遅い順にパターンを単一パターンに分離し
ていく例である。次にこのように分離した単一パ
ターンに対し、アドレスとなるパターン番号を出
現順に例えば“１”から順に与え、かつパターン
検査に必要な面積、輪郭長さ、一次元の長さ等の
パターンの諸元を各単一パターンについて求め、
更に他の単一パターンと連結性を有する単一パタ
ーンについては連結している各単一パターンのパ
ターン番号のうち、１つをれら連結されている複
数個の単一パターンの連結番号として、単一パタ
ーンの諸元の一つに加え、他の諸元とともに記憶
しておく。連続番号は例えば、各単一パターン番
号のうち最も大きいあるいは最も小さい番号を与
えればよく、他の単一パターンと連結していない
単一パターンには自身のパターン番号を与える。
このように各単一パターンに関し、パターンの諸
元を求めた後、連結番号が同一の単一パターンに
ついて、求めた諸元を求め、一つのパターンの諸
元を計算する。
的に説明する。まづ本発明の検査方式を第３図乃
至第５図にもとづいて説明する。即ちまず撮像装
置からの映像信号を２値化し、この２値映像信号
によつて形成され２値パターンに対して第３図に
示すように走査線上において連続しており、かつ
一つの走査線上のパターンとその一つ前の走査線
上のパターンが連結していて、統合、分岐される
単一パターンに分離して記述する。この分離の例
が第４図及び第５図に示されている。即ち第４図
はパターンの出現が早い順にパターンを単一パタ
ーンに分離していく例であり、第５図はパターン
出現が遅い順にパターンを単一パターンに分離し
ていく例である。次にこのように分離した単一パ
ターンに対し、アドレスとなるパターン番号を出
現順に例えば“１”から順に与え、かつパターン
検査に必要な面積、輪郭長さ、一次元の長さ等の
パターンの諸元を各単一パターンについて求め、
更に他の単一パターンと連結性を有する単一パタ
ーンについては連結している各単一パターンのパ
ターン番号のうち、１つをれら連結されている複
数個の単一パターンの連結番号として、単一パタ
ーンの諸元の一つに加え、他の諸元とともに記憶
しておく。連続番号は例えば、各単一パターン番
号のうち最も大きいあるいは最も小さい番号を与
えればよく、他の単一パターンと連結していない
単一パターンには自身のパターン番号を与える。
このように各単一パターンに関し、パターンの諸
元を求めた後、連結番号が同一の単一パターンに
ついて、求めた諸元を求め、一つのパターンの諸
元を計算する。
次に本発明のパターン検査装置について具体的
に説明する。第６図に本発明の全体を示す。２値
化信号５を入力し、この２値他化信号５と一つ前
の走査線上のパターンのデータを記憶する前走査
線上パターンデータレジスタ７とを連結性につい
て比較し、走査中の現パターンのデータを検出す
るのが走査中パターンデータ検出回路６であり、
この走査中パターンデータ検出回路６において検
出したデータはパターン終了と同時に現走査線上
パターンデータレジスタ８へ転送される。また、
走査中パターンデータ検出回路６におけるパター
ンデータ検出の過程において、前走査線上パター
ンデータレジスタ７及び走査が終了して統合され
る前の単一パターンのデータを記憶する統合終了
パターンデータレジスタ９の連結番号は連結され
る親パターンの出現により逐次修正されていく。
ただし、二つのパターンが一つのパターンに統合
連結されても、また一つのパターンから二つのパ
ターンに分岐連結されても、他の一つの単一パタ
ーンのパターン番号は変更されない。例えば、第
７図に示すようなパターンは、走査線方向にａ，
ｂ，ｃ，の３つの単一パターンに分離されるが、
パターンｃの走査が終了してパターンｂに統合連
結される場合、パターンｃのパターン番号はｃの
ままで、連結番号が自身の番号ｃからｂに更新さ
れ、更にパターンｂの走査が終了してパターンａ
に統合連結される場合、パターンｂのパターン番
号はｂのままで、連結番号が自身の番号ｂからａ
に更新され、パターンｃの連結番号もｂからａに
更新修正される。第８図、第９図に走査中パター
ン諸元検出回路６、前走査線上パターン諸元レジ
スタ７の具体例を示す。第８図において、１０は
撮像装置に同期信号であり、１１は同期信号１０
より、座標信号１２を発生する座標発生回路であ
る。１３，１４はそれぞれ２値化信号５と座標信
号１２から第１０図に示す、走査線上において連
続するパターンの始点Xs，終点Xeを求めるXs検
出回路、Xe検出回路である。１５，１６はそれ
ぞれXe検出回路１３、及びXe検出回路１４で求
めたXs及びXeを１時記憶するXs用レジスタ及び
Xe用レジスタである。１７，１８はそれぞれ一
つの前の走査線上における連続する各パターンの
Xs、及びXeの記憶しているXs用レジスタ及びXe
用のレジスタであり、Xs用レジスタ１７，及び
Xe用レジスタ１８と座標信号１２から一つ前の
走査線上に存在した連続したパターンの部分にＸ
方向の走査位置があることを判定し、かつ２値化
信号５から前の走査線と走査中のパターンが連結
しているかを判定するのがパターン連結判定回路
１９である。２０は１つの前の走査線における各
パターンに与えたパターン番号を記憶する前パタ
ーン番号レジスタであり、２１は１つの走査線に
おける各パターンに与えた連結番号を記憶する前
連結番号レジスタである。２２は新たに発生した
パターンに与えられるパターン番号を記憶してい
る新パターン番号レジスタである。２３は走査中
のパターンのパターン番号を記憶する現パターン
番号レジスタであり、２４はは走査中のパターン
の連結番号を記憶する現連結番号レジスタであ
る。２５はパターン番号を走査中のパターンに与
えたか否かを判定するパターン番号判定回路であ
り、、２６は同じく走査中のパターンに連結番号
を与えたかか否かを判定する連結番号判定回路で
ある。走査中の現パターンが終了したことを示す
信号２７がXe検出回路１４より出力され、パタ
ーン番号判定回路２５及び連結番号判定回路２６
がまだパターン番号、及び連結番号が与えられて
いないと判定したとき、新パターン番号レジスタ
２２に記憶された新パターン番号がゲート回路２
８，及び２９を介し、パターン番号レジスタ２３
及び連結番号レジスタ２４へ転送され、かつ、ゲ
ート回路２８が動作することにより、新パターン
番号レジスタ２２の値は＋１される。３０，３１
はそれぞれゲート回路であり、連結判定回路１９
により、走査中の現パターンが一つ前の走査線上
の前パターンを連結していると判定され、且つ現
パターンが二つの前パターンと統合連結していな
い場合、即ちパターン番号判定回路２５及び連結
番号判定回路２６の状態が、まだパターン番号が
与えられていないことを示す信号３２、及び連結
番号が与えられていないことを示す信号３３が出
力されているとき、現パターンに連結している前
パターンに対応するパターン番号及び連結番号を
前パターン番号レジスタ２０、及び前記連結番号
レジスタ２１から選択回路３４、及び３５を介
し、現パターン番号レジスタ２３、及び現連結番
号レジスタ２４に転送するものである。また、第
１１図に示すように斜線で示す一つの前パターン
から斜線と白で示す二つの現パターンに分岐され
た場合、二つの現パターンの内、白で示す他のパ
ターンには、前パターンと同じパターン番号を付
与させないために、選択回路３４は一度、１つの
パターン番号を選択すると再び同じパターン番号
を転送しないように構成されている。しかし、選
択回路３５は、二つの現パターンに対し、同じ連
結番号を付与するように作動する。このように、
ゲート回路３０、及び３１が動作すると、パター
ン番号判定回路２５、及び連結番号判定回路２６
は、夫々現パターン番号レジスタ２３、及び現連
結番号レジスタ２４によりパターン番号、及び連
結番号がすでに転送されていることを示す状態に
なる。３６はゲート回路であり、第１１図に示す
ように白で示す走査中の現パターンが斜線と白で
示す二つの前パターンと統合連結しているとき、
前パターンの白で示す他のパターンの連結番号を
白で示す走査中の現パターンの連結番号にするた
めに、現連結番号レジスタ２４に記憶されている
連結合号を前連結番号レジスタ２１へ転送するも
のである。３７は走査中の現パターンと連結して
いる一つ前の走査線上の前パターンの他のパター
ンに対応する前連結番号レジスタ２１を選択する
選択回路である。現連結番号レジスタ２４に記憶
されている連結番号はゲート回路３６、及び選択
回路３７を介し、修正されるべき前記連結番号レ
ジスタ２１へ転送される。３９は、一つ前の走査
において、パターンが終了したか否かを判定する
パターン終了判定回路であり、連結判定回路１９
において連結出力があり、且つそのときパターン
番号が前パターン番号レジスタ２０から選択さ
れ、現パターン番号レジスタ２３に転送されたと
き、そのパターンはまだ終了していないと判定
し、それ以外のとき、即ち連結関係にあつたパタ
ーンが終了したとき、及び統合された他の単一パ
ターンが終了したとき、パターンが終了したと判
定するものである。また、４０は走査中のパター
ンの１走査線上における面積を計算する面積計算
回路であり、４１は計算した面積を記憶する面積
用レジスタである。このような構成をとると例え
ば第１１図のような１つ前の走査線上のパターン
と走査中のパターンが与えられたとすると、斜線
部は連結しているパターンと判定されるが、他の
２つのパターンはそれぞれ終了したパターン、新
しいパターンと判定される。第９図にはこのよう
にして求めた走査中のパターンの諸元を現走査線
上パターン諸元レジスタ８へ転送する具体例を示
している。この現走査線上パターン諸元レジスタ
８はパターン番号を記憶するレジスタ４２、連結
番号を記憶するレジスタ４３，Xsを記憶するレ
ジスタ４４，Xeを記憶するレジスタ４５、及び
面積を記憶するレジスタ４６で構成され、パター
ンの順にパターンのXeが検出されるごとにパタ
ーン番号レジスタ２３、連結番号レジスタ２４，
Xs用レジスタ１５，Xe用レジスタ１６、面積用
レジスタ４１のデータが転送される。５２は２値
化信号を入力し、４２，４３，４４，４５，４６
の転送すべきレジスタのアドレスを決定する回路
であり、４７，４８，４９，５０，５１はそのア
ドレス信号により、データを転送するレジスタを
選択する選択回路である、ここで面積用レジスタ
４１には単に１走査線上でのパターンの面積しか
記憶されていないので、面積としては、同じパタ
ーン番号の１つ前の走査線までの面積に面積用レ
ジスタ４１のデータを加え、面積用レジスタ４６
にデータを転送する必要がある。５４は１つの走
査線までの面積の値を記憶するレジスタであり、
５３はパターン番号に応じ、５４のレジスタから
データを選択する選択回路であり、選択したデー
タと面積用レジスタとして記憶された面積を加算
するのが５５の加算回路である。一つの走査線の
走査が終了すると４２，４３，４４，４５，４６
は１７，１８，２０，２１，５４へ転送される。
これが現走査線上パターン諸元レジスタ８から前
走査線上パターン諸元レジスタ７へのデータ転送
である。また、同時にパターン終了判定回路３９
においてパターン終了が出力されているパターン
は走査終了パターン諸元レジスタ９へ転送され
る。この結果、単一パターンの面積は走査終了パ
ターン諸元レジスタ９のレジスタ５４に記憶され
る。このようにして、各単一パターンの諸元をも
とめることができる。第８図において、１つ前の
走査線上のパターンの連結番号の修正について説
明したが、これは走査終了パターン諸元レジスタ
９に記憶されている連結番号も修正しなければな
らない。この具体例を第１２図に示す。第１２図
において５６は２６の出力である連結番号修正信
号であり、この信号５６が出力されると選択回路
３５の出力がゲート回路５７を介し、比較回路５
８へ入力され、連結番号レジスタ５９の連結番号
と比較される。比較回路５８において同一である
と判定されるとゲート回路６０が動作し、連結番
号レジスタ２４のデータが連結番号レジスタ５９
へ転送される。パターンの合成について第１３図
を示す。第１３図において６１はレジスタであ
り、６１に適当な値をセツトし、連結番号レジス
タ５９の連結番号と順に比較回路６２を用い比較
し、一致したとき、対応する面積を面積用レジス
タ５４から読み出し、６３の加算回路で加算する
と、記憶したすべての単一パターンについてこの
処理を行なうと、加算結果には連結している一つ
のパターンの面積が算出される。また、レジスタ
６１にセツトする値を“１”から順に変化させて
いくと、連結している各パターンの面積の値が次
から次へと加算回路６３に出力されていく。本発
明はこのようにして求まる一連の連結したパター
ンの諸元を基準にして物体の検査を行なうもので
ある。また、前走査線上パターン諸元レジスタ７
及び現走査線上パターン諸元レジスタ８における
レジスタの数はそれぞれの諸元に対し、一走査線
の絵素数の1/2だけの数のパターンが出現する可
能性があるので、最大、それだけ設ければ十分で
ある。
に説明する。第６図に本発明の全体を示す。２値
化信号５を入力し、この２値他化信号５と一つ前
の走査線上のパターンのデータを記憶する前走査
線上パターンデータレジスタ７とを連結性につい
て比較し、走査中の現パターンのデータを検出す
るのが走査中パターンデータ検出回路６であり、
この走査中パターンデータ検出回路６において検
出したデータはパターン終了と同時に現走査線上
パターンデータレジスタ８へ転送される。また、
走査中パターンデータ検出回路６におけるパター
ンデータ検出の過程において、前走査線上パター
ンデータレジスタ７及び走査が終了して統合され
る前の単一パターンのデータを記憶する統合終了
パターンデータレジスタ９の連結番号は連結され
る親パターンの出現により逐次修正されていく。
ただし、二つのパターンが一つのパターンに統合
連結されても、また一つのパターンから二つのパ
ターンに分岐連結されても、他の一つの単一パタ
ーンのパターン番号は変更されない。例えば、第
７図に示すようなパターンは、走査線方向にａ，
ｂ，ｃ，の３つの単一パターンに分離されるが、
パターンｃの走査が終了してパターンｂに統合連
結される場合、パターンｃのパターン番号はｃの
ままで、連結番号が自身の番号ｃからｂに更新さ
れ、更にパターンｂの走査が終了してパターンａ
に統合連結される場合、パターンｂのパターン番
号はｂのままで、連結番号が自身の番号ｂからａ
に更新され、パターンｃの連結番号もｂからａに
更新修正される。第８図、第９図に走査中パター
ン諸元検出回路６、前走査線上パターン諸元レジ
スタ７の具体例を示す。第８図において、１０は
撮像装置に同期信号であり、１１は同期信号１０
より、座標信号１２を発生する座標発生回路であ
る。１３，１４はそれぞれ２値化信号５と座標信
号１２から第１０図に示す、走査線上において連
続するパターンの始点Xs，終点Xeを求めるXs検
出回路、Xe検出回路である。１５，１６はそれ
ぞれXe検出回路１３、及びXe検出回路１４で求
めたXs及びXeを１時記憶するXs用レジスタ及び
Xe用レジスタである。１７，１８はそれぞれ一
つの前の走査線上における連続する各パターンの
Xs、及びXeの記憶しているXs用レジスタ及びXe
用のレジスタであり、Xs用レジスタ１７，及び
Xe用レジスタ１８と座標信号１２から一つ前の
走査線上に存在した連続したパターンの部分にＸ
方向の走査位置があることを判定し、かつ２値化
信号５から前の走査線と走査中のパターンが連結
しているかを判定するのがパターン連結判定回路
１９である。２０は１つの前の走査線における各
パターンに与えたパターン番号を記憶する前パタ
ーン番号レジスタであり、２１は１つの走査線に
おける各パターンに与えた連結番号を記憶する前
連結番号レジスタである。２２は新たに発生した
パターンに与えられるパターン番号を記憶してい
る新パターン番号レジスタである。２３は走査中
のパターンのパターン番号を記憶する現パターン
番号レジスタであり、２４はは走査中のパターン
の連結番号を記憶する現連結番号レジスタであ
る。２５はパターン番号を走査中のパターンに与
えたか否かを判定するパターン番号判定回路であ
り、、２６は同じく走査中のパターンに連結番号
を与えたかか否かを判定する連結番号判定回路で
ある。走査中の現パターンが終了したことを示す
信号２７がXe検出回路１４より出力され、パタ
ーン番号判定回路２５及び連結番号判定回路２６
がまだパターン番号、及び連結番号が与えられて
いないと判定したとき、新パターン番号レジスタ
２２に記憶された新パターン番号がゲート回路２
８，及び２９を介し、パターン番号レジスタ２３
及び連結番号レジスタ２４へ転送され、かつ、ゲ
ート回路２８が動作することにより、新パターン
番号レジスタ２２の値は＋１される。３０，３１
はそれぞれゲート回路であり、連結判定回路１９
により、走査中の現パターンが一つ前の走査線上
の前パターンを連結していると判定され、且つ現
パターンが二つの前パターンと統合連結していな
い場合、即ちパターン番号判定回路２５及び連結
番号判定回路２６の状態が、まだパターン番号が
与えられていないことを示す信号３２、及び連結
番号が与えられていないことを示す信号３３が出
力されているとき、現パターンに連結している前
パターンに対応するパターン番号及び連結番号を
前パターン番号レジスタ２０、及び前記連結番号
レジスタ２１から選択回路３４、及び３５を介
し、現パターン番号レジスタ２３、及び現連結番
号レジスタ２４に転送するものである。また、第
１１図に示すように斜線で示す一つの前パターン
から斜線と白で示す二つの現パターンに分岐され
た場合、二つの現パターンの内、白で示す他のパ
ターンには、前パターンと同じパターン番号を付
与させないために、選択回路３４は一度、１つの
パターン番号を選択すると再び同じパターン番号
を転送しないように構成されている。しかし、選
択回路３５は、二つの現パターンに対し、同じ連
結番号を付与するように作動する。このように、
ゲート回路３０、及び３１が動作すると、パター
ン番号判定回路２５、及び連結番号判定回路２６
は、夫々現パターン番号レジスタ２３、及び現連
結番号レジスタ２４によりパターン番号、及び連
結番号がすでに転送されていることを示す状態に
なる。３６はゲート回路であり、第１１図に示す
ように白で示す走査中の現パターンが斜線と白で
示す二つの前パターンと統合連結しているとき、
前パターンの白で示す他のパターンの連結番号を
白で示す走査中の現パターンの連結番号にするた
めに、現連結番号レジスタ２４に記憶されている
連結合号を前連結番号レジスタ２１へ転送するも
のである。３７は走査中の現パターンと連結して
いる一つ前の走査線上の前パターンの他のパター
ンに対応する前連結番号レジスタ２１を選択する
選択回路である。現連結番号レジスタ２４に記憶
されている連結番号はゲート回路３６、及び選択
回路３７を介し、修正されるべき前記連結番号レ
ジスタ２１へ転送される。３９は、一つ前の走査
において、パターンが終了したか否かを判定する
パターン終了判定回路であり、連結判定回路１９
において連結出力があり、且つそのときパターン
番号が前パターン番号レジスタ２０から選択さ
れ、現パターン番号レジスタ２３に転送されたと
き、そのパターンはまだ終了していないと判定
し、それ以外のとき、即ち連結関係にあつたパタ
ーンが終了したとき、及び統合された他の単一パ
ターンが終了したとき、パターンが終了したと判
定するものである。また、４０は走査中のパター
ンの１走査線上における面積を計算する面積計算
回路であり、４１は計算した面積を記憶する面積
用レジスタである。このような構成をとると例え
ば第１１図のような１つ前の走査線上のパターン
と走査中のパターンが与えられたとすると、斜線
部は連結しているパターンと判定されるが、他の
２つのパターンはそれぞれ終了したパターン、新
しいパターンと判定される。第９図にはこのよう
にして求めた走査中のパターンの諸元を現走査線
上パターン諸元レジスタ８へ転送する具体例を示
している。この現走査線上パターン諸元レジスタ
８はパターン番号を記憶するレジスタ４２、連結
番号を記憶するレジスタ４３，Xsを記憶するレ
ジスタ４４，Xeを記憶するレジスタ４５、及び
面積を記憶するレジスタ４６で構成され、パター
ンの順にパターンのXeが検出されるごとにパタ
ーン番号レジスタ２３、連結番号レジスタ２４，
Xs用レジスタ１５，Xe用レジスタ１６、面積用
レジスタ４１のデータが転送される。５２は２値
化信号を入力し、４２，４３，４４，４５，４６
の転送すべきレジスタのアドレスを決定する回路
であり、４７，４８，４９，５０，５１はそのア
ドレス信号により、データを転送するレジスタを
選択する選択回路である、ここで面積用レジスタ
４１には単に１走査線上でのパターンの面積しか
記憶されていないので、面積としては、同じパタ
ーン番号の１つ前の走査線までの面積に面積用レ
ジスタ４１のデータを加え、面積用レジスタ４６
にデータを転送する必要がある。５４は１つの走
査線までの面積の値を記憶するレジスタであり、
５３はパターン番号に応じ、５４のレジスタから
データを選択する選択回路であり、選択したデー
タと面積用レジスタとして記憶された面積を加算
するのが５５の加算回路である。一つの走査線の
走査が終了すると４２，４３，４４，４５，４６
は１７，１８，２０，２１，５４へ転送される。
これが現走査線上パターン諸元レジスタ８から前
走査線上パターン諸元レジスタ７へのデータ転送
である。また、同時にパターン終了判定回路３９
においてパターン終了が出力されているパターン
は走査終了パターン諸元レジスタ９へ転送され
る。この結果、単一パターンの面積は走査終了パ
ターン諸元レジスタ９のレジスタ５４に記憶され
る。このようにして、各単一パターンの諸元をも
とめることができる。第８図において、１つ前の
走査線上のパターンの連結番号の修正について説
明したが、これは走査終了パターン諸元レジスタ
９に記憶されている連結番号も修正しなければな
らない。この具体例を第１２図に示す。第１２図
において５６は２６の出力である連結番号修正信
号であり、この信号５６が出力されると選択回路
３５の出力がゲート回路５７を介し、比較回路５
８へ入力され、連結番号レジスタ５９の連結番号
と比較される。比較回路５８において同一である
と判定されるとゲート回路６０が動作し、連結番
号レジスタ２４のデータが連結番号レジスタ５９
へ転送される。パターンの合成について第１３図
を示す。第１３図において６１はレジスタであ
り、６１に適当な値をセツトし、連結番号レジス
タ５９の連結番号と順に比較回路６２を用い比較
し、一致したとき、対応する面積を面積用レジス
タ５４から読み出し、６３の加算回路で加算する
と、記憶したすべての単一パターンについてこの
処理を行なうと、加算結果には連結している一つ
のパターンの面積が算出される。また、レジスタ
６１にセツトする値を“１”から順に変化させて
いくと、連結している各パターンの面積の値が次
から次へと加算回路６３に出力されていく。本発
明はこのようにして求まる一連の連結したパター
ンの諸元を基準にして物体の検査を行なうもので
ある。また、前走査線上パターン諸元レジスタ７
及び現走査線上パターン諸元レジスタ８における
レジスタの数はそれぞれの諸元に対し、一走査線
の絵素数の1/2だけの数のパターンが出現する可
能性があるので、最大、それだけ設ければ十分で
ある。
なお上記実施例では面積を求めるとして説明し
ているが、これは種々のパターンの諸元抽出回路
を設ければ、応用範囲を更に広げることができ
る。また連結番号ごとに個々のパターンを合成し
ていく処理はミニコンピユータ、マイクロコンピ
ユータを用いることも可能である。
ているが、これは種々のパターンの諸元抽出回路
を設ければ、応用範囲を更に広げることができ
る。また連結番号ごとに個々のパターンを合成し
ていく処理はミニコンピユータ、マイクロコンピ
ユータを用いることも可能である。
以上説明したように本発明のパターン検査装置
によれば、複数種類の欠陥パターンが近接して存
在するような場合、従来方式である対象パターン
の局部映像に対し、処理を行なう方式に比較して
個々の欠陥パターンを個別に処理することがで
き、特に走査線方向に単一パターンに分離したの
で、輪郭長さや一次元の長さの諸元を単一パター
ン毎に簡単に求めることができ、更にその合成も
比較的容易となり優れた検査能力を得ることがで
きる効果を有する。
によれば、複数種類の欠陥パターンが近接して存
在するような場合、従来方式である対象パターン
の局部映像に対し、処理を行なう方式に比較して
個々の欠陥パターンを個別に処理することがで
き、特に走査線方向に単一パターンに分離したの
で、輪郭長さや一次元の長さの諸元を単一パター
ン毎に簡単に求めることができ、更にその合成も
比較的容易となり優れた検査能力を得ることがで
きる効果を有する。
第１図は従来の方式を示す図、第２図、第３図
はパターンを示す図、第４図、第５図は単一パタ
ーンの分離例を説明する図、第６図は本発明のパ
ターン検査装置の全体構成を示す図、第７図は本
発明における連結番号の修正を説明するための
図、第８図は本発明に係る走査中のパターンの諸
元を算出する装置の具体的構成を示す図、第９図
は本発明に係る走査中に走査線上のパターンの諸
元を記憶する装置の具体構成を示す図、、第１０
図は走査線上の連続するパターン始点、終点を示
す図、第１１図はパターンの連結、終了、開始を
説明する図、第１２図は連結番号の修正を行う装
置の具体的構成を示す図、第１３図は本発明に係
る単一パターンの諸元を合成し、パターンの諸元
を算出する装置の具体的構成を示す図である。 符号の説明、５……２値化信号、６……走査中
パターン諸元検出回路、７……前走査線上パター
ン諸元レジスタ、８……現走査線上パターン諸元
レジスタ、９……走査終了パターン諸元レジス
タ、１１……座標発生回路、１９……連結判定回
路、２０……前パターン番号レジスタ、２３……
現パターン番号レジスタ、２１……前連結番号レ
ジスタ、２４……現連結番号レジスタ、２５……
パターン番号判定回路、２６……連結番号判定回
路、２７……パターン終了信号、２８〜３１……
ゲート回路、４１……面積計算回路、５６……連
結番号修正回路。
はパターンを示す図、第４図、第５図は単一パタ
ーンの分離例を説明する図、第６図は本発明のパ
ターン検査装置の全体構成を示す図、第７図は本
発明における連結番号の修正を説明するための
図、第８図は本発明に係る走査中のパターンの諸
元を算出する装置の具体的構成を示す図、第９図
は本発明に係る走査中に走査線上のパターンの諸
元を記憶する装置の具体構成を示す図、、第１０
図は走査線上の連続するパターン始点、終点を示
す図、第１１図はパターンの連結、終了、開始を
説明する図、第１２図は連結番号の修正を行う装
置の具体的構成を示す図、第１３図は本発明に係
る単一パターンの諸元を合成し、パターンの諸元
を算出する装置の具体的構成を示す図である。 符号の説明、５……２値化信号、６……走査中
パターン諸元検出回路、７……前走査線上パター
ン諸元レジスタ、８……現走査線上パターン諸元
レジスタ、９……走査終了パターン諸元レジス
タ、１１……座標発生回路、１９……連結判定回
路、２０……前パターン番号レジスタ、２３……
現パターン番号レジスタ、２１……前連結番号レ
ジスタ、２４……現連結番号レジスタ、２５……
パターン番号判定回路、２６……連結番号判定回
路、２７……パターン終了信号、２８〜３１……
ゲート回路、４１……面積計算回路、５６……連
結番号修正回路。
Claims (1)
- １ 走査式撮像装置から出力される映像信号を２
値化して得られる２値化信号にてパターン検査を
行なうようになしたパターン検査装置において、
上記２値化信号と、各走査線において走査線上で
連続しているパターンに分離する分離手段と、該
分離手段により分離されたパターン毎にパターン
の諸元を抽出する抽出手段と、上記分離手段によ
つて分離された現在の走査線上の現パターンの存
在範囲が、上記分離手段によつて分離された１つ
前の走査線上の前パターンの存在範囲が走査線方
向に見て重複しているか否かにより連結している
か否かの判定をする第１の判定手段と、該第１の
判定手段により連結していると判定された内、複
数の前パターンから１つの現パターンに統合され
た場合、上記複数の前パターンの内、一つのパタ
ーンを除く他のパターンを統合終了と判定する第
２の判定手段と、上記第１の判定手段により連結
していると判定された内、１つの前パターンから
複数の現パターンに分岐された場合、上記複数の
現パターンの内、一つのパターンを除く他のパタ
ーンを分岐新規パターンと判定する第３の判定手
段と、上記第１の判定手段により現パターンの一
つが上記前パターンの一つと連結されていると判
定されたときは、上記現パターンの一つのパター
ン番号として上記前パターンの一つのパターン番
号を付与すると共に上記現パターンの一つの連結
番号として上記前パターンの一つの連結番号を付
与し、上記第２の判定手段により上記現パターン
が上記前パターンの複数から統合されたと判定さ
れたときは、上記前パターンの他のパターンは統
合終了ということでこの統合終了の前パターンの
他のパターンの連結番号として現パターンの連結
番号に更新処理すると共にこの統合終了された前
パターンの他のパターンと同じパターン番号を新
たなパターンに対して付与することを禁止し、上
記第１の判定手段により現パターンが前パターン
に連結していないと判定されたとき、現パターン
のパターン番号として新たなパターン番号を付与
すると共に、現パターンの連結番号として新たな
連結番号を付与し、更に上記第３の判定手段によ
つて上記前パターンが分岐された現パターンの他
のパターンに連結していると判定されたときに
は、現パターンの他のパターンのパターン番号と
して新たなパターン番号を付与すると共に、現パ
ターンの他のパターンの連結番号として前パター
ンの連結番号を付与る番号付与手段と、該番号付
与手段によつて逐次走査線に同期して同じパター
ン番号が付与されるパターンに対して上記抽出手
段によつて抽出されたパターンの諸元を合成して
単一パターンに対するパターンの諸元を求める第
１の合成手段と、全てのパターンについて撮像走
査が終了した時点で上記番号付与手段によつて求
まる連結番号を用い、連結する各単一パターンの
パターン諸元を合成する第４の手段とを備えたこ
とを特徴とするパターン検査装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15488276A JPS5379571A (en) | 1976-12-24 | 1976-12-24 | Pattern inspecting apparatus |
| US05/859,206 US4162126A (en) | 1976-12-10 | 1977-12-09 | Surface detect test apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15488276A JPS5379571A (en) | 1976-12-24 | 1976-12-24 | Pattern inspecting apparatus |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5379571A JPS5379571A (en) | 1978-07-14 |
| JPS6147362B2 true JPS6147362B2 (ja) | 1986-10-18 |
Family
ID=15594006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15488276A Granted JPS5379571A (en) | 1976-12-10 | 1976-12-24 | Pattern inspecting apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5379571A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10731780B2 (en) | 2016-05-16 | 2020-08-04 | Victaulic Company | Sprung coupling |
| US11060639B2 (en) | 2015-12-28 | 2021-07-13 | Victaulic Company | Adapter coupling |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5837773A (ja) * | 1981-08-28 | 1983-03-05 | Fuji Electric Co Ltd | 複数パタ−ン処理装置 |
| JPS58158762A (ja) * | 1982-03-13 | 1983-09-21 | Ishida Scales Mfg Co Ltd | 面積及び個数演算装置 |
| JPS59216004A (ja) * | 1983-05-23 | 1984-12-06 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 円形状物の測定方法 |
| GB8320016D0 (en) * | 1983-07-25 | 1983-08-24 | Lloyd Doyle Ltd | Apparatus for inspecting printed wiring boards |
| JPS6363282A (ja) * | 1986-09-04 | 1988-03-19 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | 画像処理装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5214112B2 (ja) * | 1973-02-22 | 1977-04-19 |
-
1976
- 1976-12-24 JP JP15488276A patent/JPS5379571A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11060639B2 (en) | 2015-12-28 | 2021-07-13 | Victaulic Company | Adapter coupling |
| US10731780B2 (en) | 2016-05-16 | 2020-08-04 | Victaulic Company | Sprung coupling |
| US10859190B2 (en) | 2016-05-16 | 2020-12-08 | Victaulic Company | Sprung coupling |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5379571A (en) | 1978-07-14 |
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