JPS614238A

JPS614238A - 半導体装置の目視検査装置

Info

Publication number: JPS614238A
Application number: JP12685284A
Authority: JP
Inventors: Toshio Ono; 大野　利雄
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1984-06-18
Filing date: 1984-06-18
Publication date: 1986-01-10
Also published as: JPH0340945B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の技術分野〕この発明は、整列治具上に整列して並べられた多数個の
半導体装置のうち、Ｘ方向の分を一度に取上は裏面及び
側面の目視検査ができるようにした、半導体装置の目視
検査装置に関する〇〔従来技術〕多数個の半導体装置を整列して並べたラックを第１図に
斜視図で示す。（１）は整列治具をなすラックで、多数
条の突起部（２）上にＩＣなど半導体装置（３）が表面
（３ａ）を上ムして、互いに直交するＸ方向とＹ方向と
に整列して並べられている。（４）は半導体装置（３）
から出されたリードである。

このようなラック（１）の従来の半導体装置（３）の目
視検査は、次のようにしていた。ラック（１）上に整列
された多数の半導体装置（３）を、第２図のように作業
者が１個宛手（９）で取上げては、裏面（３ｂ）及び側
面（３ｃ）　、　Ｇｄ）を目視検査する。こうして、樹
脂封止工程後の半導体装置（３）の樹脂封止体（５）の
外観検査をする。樹脂封止体（５）の不良品としては、
第３図に示すように、表面に空気穴ができるボイド（６
）、内部にできる空気圧まりのブリスタ（７）、割れ（
８）などがある。作業者はラック（１）上の３６０個の
半導体装置（３）のうち、６０個を抜取り検査をし、不
良製品が多く発生した場合は、３６０個全数を目視検査
していた。

上記従来の目視検査でＶ：ｔ、、抜取り検査で全数置の
１／６を検査しておシ、殊に、不良製品が多発すると、
作業４ｉｌ′ｉラツク（１）上の３６０個の半導体装置
（３）全数を、１個宛取上けては目視検査をしていた。

このため、検査に多大の人員と時間を安していた。

ｆ　　　　　　〔発”０概要〕この発明は、多数個の半導体装置を整列して載せたラッ
クを、Ｙ方向に可動にされた可動支持板上に支持し、上
記ラック上の各半導体装置のうちＸ方向分に上方から対
応する複数の真空吸着具を回動支持棒の下部に固着し、
この回動支持棒を下降して各吸着具によりＸ方向分の各
半導体装置を吸着し、回動支持棒を上昇し９０°宛回動
し、吸着している各半導体装置を水平位置にしてから上
方位置にし、裏面と一方の側面及び他方の側面を目視検
査ができるようにし、複数個の半導体装置の目視検査が
効率よく行え、検査の人員と所要時間が減少される半導
体装置の目視検査装置を提供することを目的としている
。

〔発明の実施例〕

第４図及び第５図は、この発明の一実施例による半導体
装置を示す一部は断面にした正面図及び側面図である。

Ｑηはラック（１）を上面に支持する可動支持板で、下
部に４箇所に支持体（６）が固着され、それぞれスライ
ド軸受ａ３がはめられである。Ｕ＜は両側一対の案内軸
で、固定部の一対の側板αＱに両端が固定されており、
スライド軸受（至）を介し支持板ａυをＹ方向の移動可
能に支持している。

Ｕ・はラック（１）上の各半導体装置（３）のうちＸ方
向の１行分にそれぞれ上方から対応する位置に、回動保
持棒ｑ′ｉ）の下部に固着された複数の吸着共で、吸引
穴０６ａ）があけられてあり、外部の真空ボンダ（図示
は略す）により保持棒αηの連通穴（１７ａ）を介し真
空引きされ、下降された位置で半導体装置（３）を上方
から吸着保持する。

叫、αりは両端側一対の軸受台でミそれぞれ可動棒四上
端に固定されてあり、軸受ワηを介し回動保持棒Ｃ１？
）を回動自在に支持している０磐は可動支持棒四を上下
動自在に支持するスライド軸受で、軸受台のに保持され
ており、どれらの軸受台＠は固定部の支持板（財）に固
定されている。＠゛は双方の可動支持棒四を固着し上下
動する可動板、（７）は固定部に取付けられ可動板（２
）を上下動させる上下動駆動源で、例えば空気圧シリン
ダからなる。ｃｔｈは軸受台（ト）に取付けられた回動
駆動源で、例えば空気圧回動アクチェタからなり、圧縮
空気が矢印Ｂ又はＣ方向に圧入され、回動保持棒α力を
９０’宛６上方回動及び９０°宛の下方回動復帰させる
。

次に、に）は光電検出器で、回動保持棒ａ’ｔ＞に固着
されたスリット板（イ）の回動位置を検出することによ
り、吸着具０＊の回動位置の検出信号を出し制御装置（
図示は略す）に入れ、各駆動源（至）、＠の制御及び吸
着Ａ（１１の真空引き制御などをさせる。

上記一実施例の装置による半導体装置（１）の目視検査
は、次のようにする。ラック（１）上には多数の半導体
装置（３）が、第１図のようにＸ方向とＹ方向とに整列
して載せられてあり、−第４図の例ではＸ方向に２０列
並べられである。上下動駆動源（イ）に上り回動保持棒
αηを下降させ、各吸着共Ｑ１の下端をＸ方向位置の各
半導体装置（１）上に当て、一度に真穿吸着して上昇す
る。

第５図６ように、回動゛駆動源翰により回動保持棒（１
７）をＤ方向に９０°回動させ吸着具ｌＪＱを水平位置
にし、各゛半導体装置（３）の裏面（３ｂ）及び一方の
側面（３ｃ）を目視検査する。ついで、回動保持棒（１
７）をさらにＥ方向に９０°回動させ吸着具００を上方
位置にし、各半導体装置（３）の他方の側酊（３ｃ１）
を目視検査する。

検査が終れば、回動支持体αηを１８０’回動し吸着具
９時を下方位置に復帰させ、回動支持体α力な・下降し
て各吸着具ＱｆＪの各半導体装置（３）をラック（１）
の各突起部（２）上の元の位置に戻し、真空吸着を解除
する０つづいて、回動支持体αのを上昇復帰させる。

第５図に示すように、可動支持板（［１）を手動により
Ｙ方向に移動し、各Ｙ方向につき１８個の半導体装置（
３）のうち、ランダムに任意の位置のＸ方向の分２０個
を抜取り検査ができるようにしている。

なお、上記可動支持板αηの移動は、空気圧シリンダな
どの移動駆動源を設けて行うようにしてもよい。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、複数の真空吸着具を
回動支持棒の下面に固着し、ラック上に整列して載せら
れた多数個の半導体装置のうちＸ方向の分に対し、回動
支持棒を下降して各真空吸−着ＡＫＩＩ！に！Ｌ、　［
ｇＩａえ持棒、！、よ昇し、１ケ。。・宛回動し、吸着
している各半導体装置を水平位置にしてから上方位置に
し、裏面及び一方の側面と他方の側面とが目視検査され
るようにしたので、複数の半導体装置の目視検査が一度
に効率よくでき検査の人員及び時間が大幅に減少される
。

【図面の簡単な説明】

第１図は多数個の半導体装置を整列したラックの斜視図
、第２図は第１図のラックの従来の半導体装置の目視検
査の状態を示す斜視図、第３図は第２図の半導体装置の
裏面側の拡大斜視図、第４図はこの発明の一実施例によ
る半導体装置の一部は断面で示す正面図、第５図は第４
図の装置の概弱側面図である。（１）・・・ラック（整列治具）　、（３）・・・半導
体装置、（３ａ）・・・表面、（３ｂ）・・・裏面、（
３ｃ）・・・一方の側面、（３ｄ）・・・他方の側面、
αη・・・可動支持板、燵Ｑ・・・真空吸着具、０η・
・・回動保持棒、＠：・・可動支持板、（ハ）・・・上
ド動駆動源、翰・・・回動駆動源。なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）多数個の半導体装置を上面に互いに直角のＸ方向
とＹ方向とに整列して並べた整列治具、この整列治具を
上面に支持しＹ方向の移動可能にされた可動支持板、上
記整列治具の上方にＸ方向に配設され、回動駆動源によ
り９０°宛回動され、かつ、上下動駆動源により下降及
び上昇復帰される回動支持棒、及び上記整列治具の各半
導体装置のうちＸ方向の分にそれぞれ上方から対応し、
上記回動支持棒の下部に固着されてあり、下端で真空吸
着する複数の真空吸着具を備え、上記回動支持棒の下降
により上記各真空吸着具の下端が上記Ｘ方向の各半導体
装置の上面に接し真空吸着し、上記回動支持棒の上昇復
帰と９０°宛の回動により、上記吸着されている各半導
体装置を下方位置から水平位置を経て上方位置にし、裏
面と一方の側面及び他方の側面とが目視検査されるよう
にしたことを特徴とする半導体装置の目視検査装置。
（２）回動駆動源は空気圧回動アクチエータからなる特
許請求の範囲第１項記載の半導体装置の目視検査装置。
（３）上下動駆動源は空気圧シリンダからなる特許請求
の範囲第１項記載の半導体装置の目視検査装置。