JPH0340945B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、整列治具上に整列して並べられた
多数個の半導体装置のうち、Ｘ方向の分を一度に
取上げ裏面及び側面の目視検査ができるようにし
た、半導体装置の目視検査装置に関する。

〔従来技術〕

多数個の半導体装置を整列して並べたラツクを
第１図に斜視図で示す。１は整列治具をなすラツ
クで、多数条の突起部２上にICなど半導体装置
３が表面３ａを上にして、互いに直交するＸ方向
とＹ方向とに整列して並べられる。４は半導体装
置３から出されたリードである。

このようなラツク１の従来の半導体装置３の目
視検査は、次のようにしていた。ラツク１上に整
列された多数の半導体装置３を、第２図のように
作業者が１個宛手９で取上げては、裏面３ｂ及び
側面３ｃ，３ｄを目視検査する。こうして、樹脂
封止工程後の半導体装置３の樹脂封止体５の外観
検査をする。樹脂封止体５の不良品としては、第
３図に示すように、表面に空気穴ができるボイド
６、内部にできる空気だまりのブリスタ７、割れ
８などがある。作業者はラツク１上のすべての半
導体装置３のうち、適当数の抜取り検査をし、不
良製品が多く発生した場合は、ラツク１上の全数
を目視検査していた。

上記従来の目視検査では、抜取り検査で全数量
の一部を検査しており、殊に、不良製品が多発す
ると、作業者はラツク１上の半導体装置３全数
を、１個宛取上げては目視検査をしていた。この
ため、検査に多大の人員と時間を要していた。

〔発明の概要〕

この発明は、多数個の半導体装置を整列して載
せたラツクを、Ｙ方向に可動にされた可動支持板
上に支持し、上記ラツク上の各半導体装置のうち
Ｘ方向分に上方から対応する複数の真空吸着具を
回動支持棒の下部に固着し、この回動支持棒を下
降して各吸着具によりＸ方向分の各半導体装置を
吸着し、回動支持棒を上昇し90°宛回動し、吸着
している各半導体装置を水平位置にしてから上方
位置にし、裏面と一方の側面及び他方の側面を目
視検査ができるようにし、複数個の半導体装置の
目視検査が効率よく行え、検査の人員と所要時間
が減少される半導体装置の目視検査装置を提供す
ることを目的としている。

〔発明の実施例〕

第４図及び第５図は、この発明の一実施例によ
る半導体装置の目視検査装置を示す一部は断面に
した正面図及び側面図である。１１はラツク１を
上面に支持する可動支持板で、下部に４箇所に支
持体１２が固着され、それぞれスライド軸受１３
がはめられてある。１４は両側一対の案内軸で、
固定部の一対の側板１５に両端が固定されてお
り、スライド軸受１３を介して支持板１１をＹ方
向の移動可能に支持している。

１６はラツク１上の各半導体装置３のうちＸ方
向の１行分にそれぞれ上方から対応する位置に、
回動保持棒１７の下部に固着された複数の吸着具
で、吸引穴１６ａがあけられてあり、外部の真空
ポンプ（図示は略す）により保持棒１７の連通穴
１７ａを介し真空引きされ、下降された位置で半
導体装置３を上方から吸着保持する。

１８，１９は両端側一対の軸受台で、それぞれ
可動棒２０上端に固定されてあり、軸受２１を介
し回動保持棒１７を回動自在に支持している。２
２は可動支持棒２０を上下動自在に支持するスラ
イド軸受で、軸受台２３に保持されており、これ
らの軸受台２３は固定部の支持板２４に固定され
ている。２５は双方の可動支持棒２０を固着し上
下動する可動板、２６は固定部に取付けられ可動
板２５を上下動させる上下動駆動源で、例えば空
気圧シリンダからなる。２７は軸受台１８に取付
けられた回動駆動源で、例えば空気圧回動アクチ
エタからなり、圧縮空気が矢印Ｂ又はＣ方向に圧
入され、回動保持棒１７を90°宛の上方回動及び
90°宛の下方回動復帰させる。

次に、２８は光電検出器で、回動保持棒１７に
固着されたスリツト板２９の回動位置を検出する
ことにより、吸着具１６の回動位置の検出信号を
出し制御装置（図示は略す）に入れ、各駆動源２
６，２７の制御及び吸着具１６の真空引き制御な
どをさせる。

上記一実施例の装置による半導体装置１の目視
検査は、次のようにする。ラツク１上には多数の
半導体装置３が、第１図のようにＸ方向とＹ方向
とに整列して載せられてあり、第４図の例ではＸ
方向に20列並べられてある。上下動駆動源２６に
より回動保持棒１７を下降させ、各吸着具１６の
下端をＸ方向位置の各半導体装置１上に当て、一
度に真空吸着して上昇する。

第５図のように、回動駆動源２７により回動保
持棒１７をＤ方向に90°回動させ吸着具１６を水
平位置にし、各半導体装置３を裏面３ｂ及び一方
の側面３ｃを目視検査する。ついで、回動保持棒
１７をさらにＥ方向に90°回動させ吸着具１６を
上方位置にし、各半導体装置３の他方の側面３ｄ
を目視検査する。

検査が終れば、回動支持体１７を180°回動し吸
着具１６を下方位置に復帰させ、回動支持体１７
を下降して各吸着具１６の各半導体装置３をラツ
ク１の各突起部２上の元の位置に戻し、真空吸着
を解除する。つづいて、回動支持体１７を上昇復
帰させる。

第５図に示すように、可動支持板１１を手動に
よりＹ方向に移動し、各Ｙ方向につき18個の半導
体装置３のうち、ランダムに任意の位置のＸ方向
の１列分を抜取り検査ができるようにしている。

なお、上記可動支持板１１の移動は、空気圧シ
リンダなどの移動駆動源を設けて行うようにして
もよい。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、複数の真空
吸着具を回動支持棒の下面に固着し、ラツク上に
整列して載せられた多数個の半導体装置のうちＸ
方向の分に対し、回動支持棒を下降して各真空吸
着具に吸着し、回動支持棒を上昇して順次90°宛
回動し、吸着している各半導体装置を水平位置に
してから上方位置にし、裏面及び一方の側面と他
方の側面とが目視検査されるようにしたので、複
数の半導体装置の目視検査が一度に効率よくでき
検査の人員及び時間が大幅に減少される。

【図面の簡単な説明】

第１図は多数個の半導体装置を整列したラツク
の斜視図、第２図は第１図のラツクの従来の半導
体装置の目視検査の状態を示す斜視図、第３図は
第２図の半導体装置の裏面側の拡大斜視図、第４
図はこの発明の一実施例による半導体装置の目視
検査装置の一部は断面で示す正面図、第５図は第
４図の装置の概要側面図である。 １……ラツク（整列治具）、３……半導体装置、
３ａ……表面、３ｂ……裏面、３ｃ……一方の側
面、３ｄ……他方の側面、１１……可動支持板、
１６……真空吸着具、１７……回動保持棒、２５
……可動支持板、２６……上下動駆動源、２７…
…回動駆動源。なお、図中同一符号は同一又は相
当部分を示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 多数個の半導体装置を上面に互いに直角のＸ
   方向とＹ方向とに整列して並べた整列治具、この
   整列治具を上面に支持しＹ方向の移動可能にされ
   た可動支持板、上記整列治具の上方にＸ方向に配
   設され、回動駆動源により90°宛回動され、かつ、
   上下動駆動源により下降及び上昇復帰される回動
   支持棒、及び上記整列治具の各半導体装置のうち
   Ｘ方向の分にそれぞれ上方から対応し、上記回動
   支持棒の下部に固着されてあり、下端で真空吸着
   する複数の真空吸着具を備え、上記回動支持棒の
   下降により上記各真空吸着具の下端が上記Ｘ方向
   の各半導体装置の上面に接し真空吸着し、上記回
   動支持棒の上昇復帰と90°宛の回動により、上記
   吸着されている各半導体装置を下方位置から水平
   位置を経て上方位置にし、裏面と一方の側面及び
   他方の側面とが目視検査されるようにしたことを
   特徴とする半導体装置の目視検査装置。 ２ 回動駆動源は空気圧回動アクチエータからな
   る特許請求の範囲第１項記載の半導体装置の目視
   検査装置。 ３ 上下動駆動源は空気圧シリンダからなる特許
   請求の範囲第１項記載の半導体装置の目視検査装
   置。